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Dokumentenidentifikation DE3939833A1 07.06.1990
Titel Tischanordnung für eine Musterzeichenvorrichtung
Anmelder Asahi Kogaku Kogyo K.K., Tokio/Tokyo, JP
Erfinder Andoh, Hiroaki;
Ohshima, Michio;
Matsui, Yuji;
Okuyama, Takashi;
Yoshimura, Toshitaka;
Yamaguchi, Hidetaka;
Ikeda, Yasushi;
Nonaka, Jun;
Miyoshi, Tamihiro;
Kakimoto, Mitsuo;
Iwama, Masatoshi;
Morita, Hideyuki;
Tachihara, Satoru;
Morimoto, Akira;
Ohwaki, Akira, Tokio/Tokyo, JP
Vertreter Eitle, W., Dipl.-Ing.; Hoffmann, K., Dipl.-Ing. Dr.rer.nat.; Lehn, W., Dipl.-Ing.; Füchsle, K., Dipl.-Ing.; Hansen, B., Dipl.-Chem. Dr.rer.nat.; Brauns, H., Dipl.-Chem. Dr.rer.nat.; Görg, K., Dipl.-Ing.; Kohlmann, K., Dipl.-Ing.; Kolb, H., Dipl.-Chem. Dr.rer.nat.; Ritter und Edler von Fischern, B., Dipl.-Ing., Pat.-Anwälte; Nette, A., Rechtsanw., 8000 München
DE-Anmeldedatum 01.12.1989
DE-Aktenzeichen 3939833
Offenlegungstag 07.06.1990
Veröffentlichungstag im Patentblatt 07.06.1990
IPC-Hauptklasse B43L 13/00
IPC additional class // H05K 3/00  
Zusammenfassung Eine Tischanordnung mit einfachem Aufbau, die dennoch einer Gierbewegung in wirksamer Weise widersteht und sich zur Verwendung mit einer Musterzeichnungs-Zeichenvorrichtung eignet, die kontinuierliche Bewegungen des Tisches aufweist. Die erfindungsgemäße Tischanordnung umfaßt einen Haupttisch (110), der gegenüber einem festliegenden Abschnitt der Gesamtanordnung verschiebbar ist und auf den unmittelbar eine Antriebskraft ausgeübt wird, um ihn in einer Richtung zu verschieben, sowie einen Arbeitstisch (150), der in der einen Richtung gegenüber dem festliegenden Abschnitt verschiebbar ist und der mit dem Haupttisch (110) mittels einer Verbindungseinrichtung (133) verbunden ist, die in der einen Richtung eine Steifigkeit hat und in einer Richtung senkrecht zu dieser einen Richtung Elastizität aufweist.

Beschreibung[de]

Die Erfindung betrifft eine Tischanordnung zur Verwendung in einer Musterzeichenvorrichtung, wie beispielsweise in einem Fotoplotter, um ein Werkstück, wie beispielsweise eine gedruckte Schaltungskarte, verschiebbar zu halten.

Musterzeichenvorrichtungen der allgemeinen Bauart, die die vorliegende Erfindung betrifft, werden dazu verwendet, feine Muster zu schreiben und hierzu muß nicht nur das optische System zur Durchführung der Belichtung, sondern auch die Vorrichtung zur Zufuhr des Tisches, der das Werkstück trägt, eine hohe Präzision haben.

Der übliche verschiebbare Tisch kann eine Verschiebebewegung ausführen, indem eine Drehbewegung mittels einer Einrichtung, die aus motorbetriebenen Kugelspindeln und am Tisch angebrachten Muttern besteht, die in Gewindeeingriff mit den Kugelspindeln stehen, in eine Linearbewegung umgewandelt wird.

Jedoch sind die Muttern Kräften unterworfen, die nicht nur in Andruckrichtung liegen, sondern auch in radialer Richtung. Selbst wenn der Fehler in der Größe eines Tischvorschubs durch Verbesserung der mechanischen Präzision der Bauelemente, wie beispielsweise der Spindeln und Führungsschienen verbessert wird, haben diese Elemente eine ausreichende Steifigkeit, um eine Gierbewegung zu erzeugen, d. h. um eine Drehung um eine Achse, die senkrecht zur Tischfläche verläuft. Infolgedessen kann sich im Randbereich des Tisches eine Abweichung von der Idealposition entwickeln und es unmöglich machen, den Musterzeichnungsvorgang mit verbesserter Genauigkeit durchzuführen.

Mittels einer Fortschaltvorrichtung oder einer anderen Einrichtung, die eine statische Belichtung vornimmt, ist es lediglich erforderlich, die Position des Tisches zu erfassen, um jeglichen Fehler zu ermitteln und die Tischposition derart zu korrigieren, daß der Fehler vor dem Beginn der Belichtung beseitigt wird. Jedoch erfordert dieses Verfahren sowohl eine Detektor- als auch eine Antriebseinheit zur Durchführung der beabsichtigten Korrektur, und macht somit die Gesamtanlage komplexer und erhöht ihre Kosten.

Ferner ist dieses Korrekturverfahren nicht gut zur Verwendung in einer Musterzeichenvorrichtung geeignet, die kontinuierliche Bewegungen des Tisches erfordert.

Im Hinblick auf die vorstehend genannten Umstände, liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine Tischanordnung zu schaffen, die einen einfachen Aufbau hat und dennoch in wirksamer Weise einer Gierbewegung widersteht. Ferner eignet sich diese Tischanordnung zur Verwendung mit einer Abtastmusterzeichenvorrichtung, die kontinuierliche Bewegungen des Tisches verwendet.

Entsprechend der vorstehend genannten Aufgabenstellung und weiteren Aufgabenstellungen sieht die Erfindung eine Tischanordnung vor, die einen Haupttisch aufweist, der in einer Richtung gegenüber einem festliegenden Abschnitt verschiebbar ist und auf den die durch einen Antrieb erzeugte Antriebskraft, die eine Verschiebung des Tisches in einer Richtung veranlaßt, unmittelbar übertragen wird, und einen Arbeitstisch, der in einer Richtung gegenüber dem festliegenden Abschnitt verschiebbar ist und der mit dem Haupttisch durch eine Verbindungseinrichtung verbunden ist, die in der einen Richtung eine Steifigkeit aufweist und Elastizität in einer Richtung senkrecht zu der einen Richtung.

Der Aufbau der erfindungsgemäßen Tischanordnung ist derart, daß die vom Haupttisch aufgenommene Druckkraft ungeschwächt auf den Arbeitstisch übertragen wird. Ferner, selbst wenn der Haupttisch wegen einer Kraftkomponente in Radialrichtung eine Gierbewegung ausführt, absorbiert die Verbindungseinrichtung, durch welche der Haupttisch mit dem Arbeitstisch verbunden ist, die Gierbewegung, so daß allein eine Übertragung der Kraft in Druckrichtung auf den Arbeitstisch übertragen wird.

Somit kann eine Gierbewegung des Arbeitstisches wirksam unterdrückt werden, ohne daß die Verwendung irgendwelcher Spezialvorrichtungen, wie beispielsweise eines elektrischen Kompensators, erforderlich sind, so daß nachteilige Wirkungen, die sonst während einer genauen Musterzeichnung wegen Fehler in der Bewegung der Tische auftreten könnten, durch eine einfache Konstruktion eliminiert werden.

Zusammenfassend ist die erfindungsgemäße Tischanordnung für eine Musterzeichenvorrichtung zur Lösung der eingangs genannten Aufgabenstellung, gekennzeichnet durch:

einen Haupttisch;

eine erste Befestigungseinrichtung zur Befestigung des Haupttisches, damit er in einer Richtung gegenüber einem festliegenden Abschnitt der Tischanordnung verschiebbar ist;

eine Antriebsanordnung, um eine Verschiebung des Haupttisches in der genannten einen Richtung zu verursachen, wobei die Antriebsanordnung unmittelbar mit dem Haupttisch verbunden ist;

einen Arbeitstisch;

eine zweite Befestigungseinrichtung zur Befestigung des Arbeitstisches derart, daß er in der genannten einen Richtung gegenüber dem festliegenden Abschnitt verschiebbar ist; und

eine Verbindungseinrichtung, die in der einen Richtung Steifigkeit und in einer Richtung senkrecht zu der einen Richtung Elastizität aufweist, um den Arbeitstisch mit dem Haupttisch zu verbinden.

In den Zeichnungen zeigen:

Fig. 1 eine Seitenansicht eines Laser-Fotoplotters mit einer Zeichenfläche-Einstelleinrichtung gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung;

Fig. 2 eine Vorderansicht des gleichen Laser-Fotoplotters;

Fig. 3 einen Grundriß des gleichen Laser-Fotoplotters;

Fig. 4 einen Grundriß eines X-Koordinatentisches;

Fig. 5 einen Querschnitt der Anordnung nach Fig. 4, gesehen in Richtung der Pfeile V;

Fig. 6 einen Querschnitt der Anordnung nach Fig. 4, gesehen in Richtung der Pfeile VI;

Fig. 7 einen Grundriß eines Y-Koordinatentisches;

Fig. 8 eine Seitenansicht des gleichen Y-Koordinatentisches;

Fig. 9 einen Querschnitt der Fig. 7, gesehen in Richtung der Pfeile IX;

Fig. 10 einen Querschnitt der Anordnung nach Fig. 7, gesehen in Richtung der Pfeile X;

Fig. 11 einen Querschnitt der Anordnung nach Fig. 7, gesehen in Richtung der Pfeile XI;

Fig. 12 eine Seitenansicht der Anordnung der Fig. 11; und

Fig. 13 eine perspektivische Darstellung, die schematisch den Aufbau der im Laser-Fotoplotter nach Fig. 1 verwendeten optischen Elemente angibt.

Die erfindungsgemäße Zeichenfläche-Einstellvorrichtung wird anschließend unter Bezugnahme auf eine bevorzugte Ausführungsform in Verbindung mit einem Laserfotoplotter beschrieben, der ein genaues Muster auf ein Werkstück, wie beispielsweise einen fotografischen Film, zeichnet.

Das Gesamtsystem der Vorrichtung wird zunächst schematisch unter Bezugnahme auf die Fig. 1 bis 3 erläutert.

Die Vorrichtung besteht hauptsächlich aus einem Hauptkörper (1) mit einem darauf aufgebrachten X-Tisch (100) und einem Y-Tisch (200) sowie einer Optikkopfeinheit (4), die über den Tischen mittels Tragsäulen (2, 3) befestigt ist, die sich an den gegenüberliegenden Enden der Längserstreckung des Hauptkörpers (1) befinden. Der X-Tisch (100) kann in einer Richtung am Rahmen des Hauptkörpers (1) verschoben werden und wird mit einem X-Achse-Motor (101) über eine Kugelspindel (102) angetrieben. Der Y-Tisch (200) ist längs Führungsschienen am X-Tisch (100) verschiebbar und wird mittels eines Y-Achse-Motors (201) über eine Kugelspindel (202) angetrieben. Gemäß Fig. 3 wird eine Zeichentafel (300) am Y-Tisch durch drei AF-Steuereinheiten (310, 320, 330) derart gehalten, daß sie vertikale Bewegungen und eine Schwenkbewegung durchführen kann.

Die Optikkopfeinheit (4) enthält optische Abtastelemente, wie einen Polygonalspiegel (450), zur Ablenkung des Strahles eines Abtastlasers (400) und eine f theta-Linse (500), durch welche der vom Polygonalspiegel (450) reflektierte Strahl an der Zeichenfläche konvergiert wird. Eine laserbetätigte Messvorrichtung ist ebenfalls vorgesehen, um die Tische genau zu positionieren. Diese Meßvorrichtung ist von bekannter Bauart, bei welcher der Strahl eines Lasers (460) in zwei Komponenten geteilt wird, wovon eine von einer X-Achse-Spiegeleinheit (470), die am X-Tisch (200) befestigt ist, reflektiert wird und wovon die andere von einem Y-Achse-Spiegel (480) reflektiert wird, der ebenfalls am Y-Tisch (200) befestigt ist, wobei der reflektierte Strahl erfaßt wird, um die Verschiebungsgrössen der jeweiligen Tische zu messen. Der Polygonalspiegel (450) ist an einer Spindeleinheit (451) an einem Ende der Optikkopfeinheit (4) befestigt und ist frei in einer Ebene drehbar, die senkrecht zur Zeichentafel (300) verläuft.

Wie bei der erfindungsgemäßen vorrichtung, verwendet ein bekanntes System zur Musterzeichnung mit Hilfe einer Vektorabtastung ebenfalls einen XY-Koordinatentisch. Jedoch war die Wirkung der beiden Achsen völlig mechanisch, da die Strahlrichtung festgelegt war, was zu geringen Zeichengeschwindigkeiten führte. Daher wurde ein verbessertes System entwickelt, indem die Tische in die Lage versetzt wurden, auf einer einzigen Achse gesteuert zu werden. Beim verbesserten System werden die Tische veranlaßt, sich nur in eine Richtung zu verschieben und die Muster werden durch eine Rasterabtastung der Zeichenfläche mit einem Optikkopf geschrieben, der als optisches Abtastsystem bezeichnet ist. Jedoch ist der bekannte Rasterabtaster vorgesehen, um Muster mit verhältnismäßig geringer Präzision zu zeichnen und der Durchmesser des Strahlenpunktes, der die minimale Linienbreite bestimmt, beträgt näherungsweise 30 µm. Falls das Zeichnen eines genaueren Musters gefordert wird, muß eine lichtstärkere Abtastlinse mit kürzerer Brennweite und daher kleinerer F/Zahl verwendet werden, um die Punktgröße zu verringern. In diesem Falle ist jedoch bei gleichem Abtastwinkel die Abtastbreite verringert, und desgleichen der Scharfeinstellbereich.

Um dieser Schwierigkeit zu begegnen, ist die in Frage stehende Vorrichtung so entworfen, daß, anstelle einer Abdeckung der gesamten Breite der Zeichenfläche in Richtung der Hauptabtastung durch einen einzigen Abtasthub, die Breite in eine Mehrzahl Streifen unterteilt ist, und die Tische werden um zwei Achsen bewegt, um sicherzustellen, daß ein Muster über die gesamte Breite in der Hauptabtastrichtung mittels mehrer Abtasthübe gezeichnet werden kann. In diesem Zusammenhang sollte erwähnt werden, daß die erfindungsgemäße Vorrichtung, die in der Hauptsache eine Rasterabtastung verwendet, die Tische nicht wie beim bekannten Vektorabtaster in beiden Richtungen antreiben muß, und der Antrieb um jede Achse während des Musterzeichnens wird nur in eine Richtung durchgeführt, um mögliche Wirkungen eines toten Ganges zu eliminieren.

Das Problem eines geringen Tiefenschärfebereiches wird erfindungsgemäß durch Anordnung einer Autofokus (AF)-Einrichtung und einer vertikalen Bewegung der Zeichentafel (300) gegenübr der Optikkopfeinheit (4) gelöst, so daß sie immer in der richtigen Stellung gehalten wird.

Der grundlegende Betrieb des Systems ist wie folgt.

Der X-Tisch (100), der sich gegenüber der festliegenden Optikkopfeinheit (4) bewegt, wird mit einem Strahlpunkt zum Musterzeichnen abgetastet. Ist die Abtastung in X-Achse-Richtung zum Abdecken einer vorgegebenen Breite beendet, so wird der Y-Tisch (200) um einen Betrag entsprechend dieser Abtastbreite bewegt und der X-Tisch (100) wird in die gleiche Position zurückgebracht, in der er sich bei Beginn des Schreibvorganges befand. Die Bewegung des X-Tisches (100) wird wieder aufgenommen und das Muster wird am Werkstück durch fortgesetztes Abtasten gezeichnet.

Der Aufbau des X- und des Y-Tisches wird nachstehend im einzelnen beschrieben.

Wie in den Fig. 4 bis 6 dargestellt ist, hat der X-Tisch (100) einen dualen Aufbau, der aus einem Haupttisch (110) besteht, der im mittigen Teil angeordnet ist, damit auf ihn die Antriebskraft des X-Achse-Motors (101) direkt übertragen wird, und einen Arbeitstisch (150), der den Haupttisch umgebend derart angeordnet ist, daß er in der gleichen Richtung verschiebbar ist und der mit ihm mit Hilfe von vier Blattfedern (130, 131, 132, 133) (siehe Fig. 4) gekoppelt ist.

Gemäß den Fig. 4 und 5 ist der Haupttisch (110) mit vier horizontalen Rollen (111, 112, 113, 114) ausgestattet, die seitlich gegen eine Hauptschiene (1a) am Hauptkörper (1) anliegen, um die Richtung zu bestimmen, in der sich der Haupttisch verschieben soll, und vier vertikale Rollen (115, 116, 117, 118), die gegen die Hauptschiene (1a) von oben anliegen, um das Gewicht des Haupttisches aufzunehmen. Eine Mutter (120), die in Gewindeeingriff mit der Kugelspindel (102) steht, ist am Haupttisch (110) befestigt und erzeugt während der Drehung des X-Achse-Motors (101) eine Antriebskraft in X-Achse-Richtung.

Die horizontalen Rollen werden von Platten (121, 122, 123, 124) an den vier Ecken des Haupttisches (110) gehalten und jeweils zwei Halteplatten, die einander über die Hauptschiene (1a) zugewandt sind, werden durch ein Verstärkungselement in Plattenform (125) gemäß Fig. 5 verbunden.

Der Arbeitstisch (150) ist mit vier horizontalen Rollen (151, 152, 153, 154) versehen, die seitlich gegen die Hauptschiene (1a) anliegen, um die Richtung zu bestimmen, in der sich der Arbeitstisch verschieben soll, und mit vier vertikalen Rollen (155, 156, 157, 158), die nach unten gegen Hilfsschienen (1b, 1c) anliegen, die am Hauptkörper (1) mittels der Hauptschiene angebracht sind und die das Gewicht des Arbeitstisches aufnehmen. Die jeweiligen horizontalen Rollen werden durch Winkelstücke (160, 161, 162, 163) gehalten, die mit dreieckförmigen Platten verstärkt sind. Der Arbeitstisch (150) ist ebenfalls mit einer Hauptschiene (170) und Hilfsschienen (171, 172) zum Halten des Y-Tisches (200) ausgestattet, die rechtwinklig zu den Schienen des Hauptkörpers (1) verlaufen.

Gemäß der vorstehend beschriebenen Anordnung wird die Antriebskraft des X-Achse-Motors (201), die auf den Haupttisch (110) ausgeübt wird, auf den Arbeitstisch (150) über die vier Blattfedern (130, 131, 132, 133) übertragen, wodurch der Arbeitstisch veranlaßt wird, sich zu verschieben. Da die Blattfedern derart angeordnet sind, daß sie eine Steifigkeit in der Richtung aufweisen, in der sich der Arbeitstisch (150) verschiebt, wird die vom Haupttisch (110) aufgenommene Druckkraft unverändert auf den Arbeitstisch (150) übertragen. Andererseits sind diese Blattfedern in einer Richtung senkrecht zur Verschiebebewegung elastisch, so daß, falls sich der Haupttisch (110), bedingt durch eine Kraftkomponente in radialer Richtung seitlich bewegt, die Blattfedern, die seitliche Bewgung absorbieren und es allein der Kraft in Druckrichtung gestatten, auf den Arbeitstisch (150) übertragen zu werden. Somit kann eine seitliche Bewegung des Arbeitstisches (150) wirksam unterdrückt werden, ohne daß irgendwelche speziellen Einrichtungen, wie beispielsweise ein elektrischer Kompensator, verwendet werden, und nachteilige Einwirkungen, die sonst während einer genauen Musterzeichnung im Hinblick auf Fehler in der Bewegung der Tische eintreten könnten, werden durch eine einfache Anordnung beseitigt.

Fig. 7 stellt den Y-Tisch (200) dar. Sein Aufbau ist im Grunde der gleiche wie jener des vorstehend beschriebenen X-Tisches (100), mit einem Haupttisch (210), der über vier Blattfedern (230, 231, 232, 233) mit einem Arbeitstisch (250) gekoppelt ist. Der Haupttisch (210) ist mit vier horizontalen Rollen (210, 212, 213, 214) ausgestattet, die sich seitlich gegen die Hauptschiene (170) am Arbeitstisch (150) im X-Tisch (100) anlegen, um die Richtung zu bestimmen, in der der Haupttisch sich verschieben soll, und mit vertikalen Rollen (215, 216, 217, 218), die sich von oben her gegen die Hauptschiene (170) anlegen, um das Gewicht des Haupttisches (210) aufzunehmen. Eine Mutter (220), die im Gewindeeingriff mit der Kugelspindel (202) steht, ist am Haupttisch (210) befestigt und erzeugt eine Kraft, um diesen während der Drehung des Y-Achse-Motors (201) in der Y-Achse-Richtung anzutreiben.

Der um den Haupttisch (210) angeordnete Arbeitstisch (250) ist mit vier horizontalen Rollen (251, 252, 253, 254) ausgestattet, die sich seitlich gegen die Hauptschiene (170) am X-Tisch (100) legen, um die Richtung zu bestimmen, in der der Arbeitstisch sich verschieben soll, und mit vertikalen Rollen (255, 265, 257, 258), die sich gegen die Hilfsschienen (171, 172) am X-Tisch (100) von oben her legen, um das Gewicht dieses Arbeitstisches aufzunehmen. Der Arbeitstisch (250) ähnelt einer Rahmenform mit zentraler Öffnung (260). Der Arbeitstisch (250) ist mit einer ersten AF-Antriebseinheit (310) an einer Seite in einer Richtung senkrecht zu der Richtung ausgestattet, in der sich der Arbeitstisch verschiebt und er ist ferner mit einer zweiten und einer dritten AF-Antriebseinheit (320, 330) an der anderen Seite jenseits der Öffnung (260) ausgestattet.

Wie in Fig. 8 dargestellt ist, macht eine Seite der Zeichentafel (300) an einer Stelle Kontakt mit dem Ende einer Kugelspindel (311) in der ersten AF-Antriebseinheit (310) über ein zylindrisches Anschlagelement (340), und die andere Seite ist über zwei Lagerelemente (360) schwenkbar an einem vertikal bewegbaren Teil (350) befestigt, der mittels der zweiten und dritten AF-Antriebsenheit (320, 330), die durch das gleiche Signal gesteuert werden, parallele, vertikale Bewegungen durchführt. Da die zweite und dritte AF-Antriebseinheit durch das gleiche Signal gesteuert werden, verschwenkt sich die Zeichentafel nur um eine Achse. Die Neigung der Zeichenfläche kann ein Problem sein, was die Richtung der Hauptabtastung betrifft, da diese in enger Beziehung mit der Tiefenschärfe der f theta-Linse steht. Hinsichtlich der Unter-Abtastrichtung stellt eine gewisse Größe einer Neigung kein Problem bezüglich eines einzelnen Abtastfeldes dar, da diese durch vertikale Bewegung der gesamten Zeichenfläche anschließend an deren Verschiebebewegung eliminiert werden kann.

Wie in den Fig. 7 und 9 dargestellt ist, wobei letztere einen Querschnitt der Fig. 7, gesehen in Richtung der Pfeile IX, angibt, umfaßt die erste AF-Antriebseinheit (310) einen ersten Wechselstrommotor (312), eine in einem Getriebegehäuse (313) angeordnete Schnecke (314), die über eine Kupplung (312a) mit der Motorwelle verbunden ist, ein Schneckenrad (315) und ein erstes Stirnrad (316), die koaxial im Getriebegehäuse (316) aufgenommen werden, und ein zweites Stirnrad (317), das durch einen schraubbaren Eingriff mit dem ersten Stirnrad (316) drehbar ist. Eine drehbare Achse (315a), an der das Schneckenrad (315) und das erste Stirnrad (316) befestigt sind, ist am Getriebegehäuse (313) über an entgegengesetzten Enden angebrachte, einen einzelnen Laufring aufweisende Kugellager (315b, 315c) angebracht.

Die drehbare Welle des zweiten Stirnrades (317) ist die vorstehend erwähnte Kugelspindel (311), die in Gewindeeingriff mit einer am Arbeitstisch (250) befestigten Mutter (318) steht. Das erste Stirnrad (316) hat solche Dicke, daß ein Spielraum sowohl oben als auch unten vorhanden ist, um ein Lösen vom zweiten Stirnrad (317) zu verhindern, selbst wenn es vertikal durch die Wirkung der Kugelspindel (311) bewegt wird. Die Kugelspindel (311) hat an ihrem Ende einen Schuh (311a) und ein Kugelelement (341), das durch diesen Schuh (331a) kontaktiert werden soll ist drehbar am Anschlagelement (340) mittels eines einreihigen Kugellagers (342) befestigt.

Entsprechend der vorausgehend beschriebenen Anordnung wird, wenn der erste Wechselstrommotor (312) betrieben wird, auf die Kugelspindel (311) über die Zahnradanordnungen eine Drehkraft übertragen, und somit kann eine Seite der Zeichentafel (300) entsprechend dem Ausmaß, in welchem der Motor umläuft, vertikal bewegt werden.

Gemäß den Fig. 7 und 10, wobei letztere einen Querschnitt der Fig. 7, gesehen in Richtung der Pfeile X, darstellt, überträgt die dritte AF-Antriebseinheit (330) die Antriebskraft eines dritten Wechselstrommotors (331) über eine Kupplung (331a) auf eine in einem Getriebegehäuse (333) angeordnte Schnecke (334), wodurch sowohl ein Schneckenrad (335), das in Eingriff mit der Schnecke steht, und auch ein erstes Stirnrad (336), das koaxial zum Schneckenrad liegt, gedreht werden. Die dritte AF-Antriebseinheit dreht ferner ein zweites Stirnrad (337), das in Eingriff mit dem ersten Stirnrad (336) steht, durch vertikale Bewegungen einer Kugelspindel (338) veranlaßt werden, die in einem Gewindeeingriff mit einer Mutter (339) steht. Ein Schuh (338a) am Ende der Kugelspindel (338) steht in Kontakt mit einem Kugelelement (351a) in einem Anschlagelement (351), das an dem vertikal bewegten Teil (350) befestigt ist.

Zwei zylindrische lineare Buchsen (280) stehen vom Arbeitstisch (250) nach oben vor und sind im Zylinder (352) eingeschoben, die an den entgegengesetzten Enden des vertikal beweglichen Teils (350) befestigt sind.

Die vorstehende Beschreibung der dritten AF-Antriebseinheit gilt gleichermaßen für die zweite AF-Antriebseinheit (320). Das heißt, das vertikal bewegliche Teil (350) bewegt sich vertikal unter Führung durch die linearen Buchsen, wenn der zweite und dritte Wechselstrommotor laufen.

Das sich vertikal bewegende Teil (350) und die Zeichentafel (300) werden durch die Kugellagerelemente (360) verbunden, die, wie in Fig. 11 (ein Querschnitt der Fig. 7, gesehen in Richtung der Pfeile XI) und Fig. 12 (eine Seitenansicht der Fig. 11) dargestellt ist, jeweils aus einer Platte (361) bestehen, die an dem vertikal bewegten Teil (350) befestigt ist, einem Tragarm (361a), der sich vertikal von der befestigten Platte weg erstreckt, einer Halterung (361), die eine Schwenkachse (362) hält und die in den Tragarm (361a) eingefügt ist, einem Schwenkelement (365), das schwenkbar über ein kombiniertes Schrägkugellager (364) an einer Drehachse angeordnet ist, und einer Zeichentafelhalterung (366), die fest mit dem Schwenkelement (365) verbunden ist und an der die Zeichentafel (350) befestigt werden soll. Die Schwenkachse (362) wird an beiden Enden mittels einer Sicherungsmutter (367) befestigt. Die beschriebene Anordnung gewährleistet, daß der vertikal bewegbare Teil (350) mit der Zeichentafel (300) derart verbunden ist, daß letztere verschwenkbar ist.

Die Anordnung der optischen Elemente, die in der in Frage stehenden Anordnung verwendet werden, wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die Fig. 3 und 13 beschrieben, wobei letztere eine perspektivische Darstellung ist, die schematisch nur die in Fig. 3 gezeigten optischen Elemente angibt. Gleiche Elemente werden in den beiden Zeichnungen mit gleichen Bezugszeichen bezeichnet.

Der in Frage stehende Fotoplotter teilt den Laserstrahl aus dem abtastenden Laser (400) in drei Teilstrahlen auf, wovon zwei dazu verwendet werden, auf der Zeichenfläche Punkte zu bilden, und der Rest wird als Kontrollicht zur Erfassung der genauen Positionen dieser Punkte verwendet.

Abhängig von der Drehung des Polygonalspiegels (450) tasten die beiden Punkte auf der Zeichenfläche gleichzeitig jene Bereiche auf benachbarten Abtastlinien ab, die in Richtung der Hauptabtastung in Abstand voneinander liegen. Ein Abstand ist in der Hauptabtastrichtung vorgesehen, da der Abstand zwischen benachbarten Abtastlinien auf einen kleineren Wert eingestellt ist als der Durchmesser des Strahlpunktes, womit eine genaue Musterzeichnung gewährleistet wird, wobei, falls kein Abstand in der Hauptabtastrichtung vorgesehen ist, zwei Punkte sich teilweise überlappen können und durch ihre Überlagerung eine Instabilität in der Zeichnungsdurchführung einführen.

Ein polarisierender Strahlenteiler, der zwei Lichtstrahlen in Richtungen polarisiert, die im rechten Winkel zueinander liegen, wird gewöhnlich dazu verwendet, derartige Strahlen in eine optische Bahn zusammenzusetzen. Falls es jedoch gewünscht wird, den aus einer einzelnen Lichtquelle austretenden Strahl in drei Teile zu spalten und diese in einen einzigen Strahl zu rekombinieren, so daß er durch das gleiche Ablenkelement wie im unmittelbar vorstehend beschriebenen Fall abgetastet werden kann, ist das Verfahren der Ausführung eines Teilens und Zusammensetzens allein auf der Grundlage der Polarisationsrichtung keinesfalls effektiv.

Das in den Fig. 3 und 13 dargestellte optische System verwendet eine spezielle Technik, um die vorausgehend beschriebene Schwierigkeit zu überwinden. Gemäß dieser Technik werden die das Muster zeichnenden Lichtstrahlen von einem Kontrollstrahl unterschieden, indem die Polarisation ausgenützt wird, und die beiden Musterzeichnungsstrahlen werden auf die gleiche Linse gerichtet, jedoch in verschiedenen Richtungen, damit sie in der gleichen optischen Bahn zusammengesetzt werden. Dieses Verfahren des Zusammensetzens ist gestattet, da, wie bereits erwähnt, Musterzeichnungspunkte in Bereichen gebildet werden, die in Richtung der Hauptabtastung in Abstand voneinander liegen.

Laserlicht, das von dem abtastenden Laser (400) austritt, gelangt durch einen Verschluß (401) und wird beim Durchtritt durch einen 5% reflektierenden, halbverspiegelten Spiegel (402) in zwei Teile geteilt. Das von diesem halbverspiegelten Spiegel (402) reflektierte Licht wird als Kontrollicht (L0) verwendet. Das durch den halbverspiegelten Spiegel (402) hindurchtretende Licht hat seine Polarisationsrichtung mittels einer ersten Lambda/2-Platte (403) um 90° gedreht, so daß es als S-polarisierte Komponente gegen einen akusto-optischen (AO) Wandler (Ultraschall-optischen Wandler) gerichtet wird. Dieses Licht wird ferner durch einen ersten Strahlenteiler (404), der 50% Reflexion aufweist (d. h. 50% durchläßt) in Teile aufgespalten. Die resultierenden beiden Teilstrahlen werden als Musterzeichnungslicht zur Bildung zweier in Abstand liegender Punkte auf der Zeichenfläche verwendet.

Ein erster Musterzeichnungsteilstrahl (L1), der vom ersten Strahlenteiler (404) reflektiert wird, wird weiter durch eine Strahlumlenkeinrichtung (405) reflektiert und durch eine Linse (406) gesammelt, um an der Position des ersten Musterzeichnungs-AO-Wandlers (407) zu konvergieren. Der AO-Wandler (407) empfängt Laserlicht, das in einer Richtung einfällt, die der Bragg-Bedingung genügt und bricht dieses einfallende Licht, abhängig von einem dem Wandler zugeführten ultraschall-elektrischen Eingangssignal. Durch Ein- und Ausschalten des Ultraschalleingangs kann das in den AO-Wandler (407) eingeführte Licht von einem Licht nullter Ordnung in ein Licht erster Ordnung (primäres Licht) und umgekehrt umgewandelt werden, und das primäre Licht wird für die Musterzeichnungsstrahlen verwendet. Der AO-Wandler (407) wird durch ein Schreibsignal gesteuert, das Daten bezüglich der an der Zeichenfläche durchzuführenden punktförmigen Belichtung enthält.

Das modulierte EIN-Licht (primäres Licht) wird durch eine Linse (408) hinter dem AO-Wandler (407) kollimiert und der resultierende parallele Lichtstrahl wird über einen vorgegebenen Winkel abgelenkt, während er durch eine erste und zweite Einheit (410, 420) zur Feinabstimmung der optischen Achse hindurchtritt, wobei jede der Einheiten (410, 420) aus zwei Prismen besteht. Das abgelenkte Licht wird zu einer ersten Linseneinheit (430) geführt, nachdem es sich sehr nahe am Rande einer Strahlumlenkeinrichtung (409) bewegt hat.

Ein zweiter Musterzeichnungsteilstrahl (L2), der durch den ersten Strahlenteiler (404) übertragen wurde, wird durch einen Durchtritt durch eine Linse (406&min;) konvergiert und einem zweiten Musterzeichnungs-AO-Wandler (407&min;) zugeführt. Die Funktion des AO-Wandlers (407&min;) ist die gleiche wie jene des ersten Musterzeichnungs-AO-Wandlers (407), außer daß er durch ein Abtastsignal gesteuert wird, das eine Linie von der Linie entfernt ist, die durch das Eingangssignal zum ersten Musterzeichnungs-AO-Wandler (407) abgetastet werden soll.

Das primäre Licht, das aus dem zweiten Musterzeichnungs-AO-Wandler (407&min;) austritt, wird durch eine Linse (408&min;) geleitet und um einen vorgegebenen Winkel abgelenkt, während es durch eine dritte Einheit (410&min;) zur Feinabstimmung der optischen Achse, eine Strahlablenkeinrichtung (431), und eine vierte Einheit (420&min;) zur Feinabstimmung der optischen Achse hindurchtritt. Jede der Achse-Abstimmeinheiten (410&min;, 420&min;) besteht aus zwei Prismen. Das abgelenkte primäre Licht wird durch die Kante der Strahlumlenkeinrichtung (409) reflektiert und in die erste Linseneinheit (430) eingeführt.

Die Linsen (406, 406&min;) haben einen in der nachstehenden Tabelle (1) angegebenen Aufbau und die Linsen (408, 408&min;) haben einen in Tabelle 2 angegebenen Aufbau. In diesen Tabellen bedeutet f die Brennweite der Linse, ri den Krümmungsradius der i-ten Fläche, di den Abstand (Linsenstärke oder Luftabstand) zwischen der i-ten und der (i+1)-ten Fläche und ni die Brechungszahl des Mediums zwischen der i-ten und der (i+1)-ten Oberfläche bei der verwendeten Wellenlänge.

Um eine Anzahl Punkte auf der Bildebene geringe Beträge zu trennen während eine hohe Konvergenz eines jeden Punktes gewährleistet wird, müssen die abtastenden Lichtstrahlen an der gleichen Position an der Ablenkeinrichtung derart zusammengesetzt werden, daß sie ausreichend kleine Winkel haben. Zu diesem Zweck ist eine Feineinstellung und eine Adjustierung sowohl des Winkels als auch der Position erforderlich. Insbesondere müssen enge Toleranzen in der Winkelrichtung eingehalten werden, da sich ein diesbezüglicher Fehler auf der Bildebene vervielfacht. Eine ausreichende Genauigkeit kann durch eine Einstellung mit Spiegeln nicht erzielt werden.

Somit werden, wie vorausgehend beschrieben wurde, zwei Einheiten zur Feinabstimmung der optischen Achse für jede optische Bahn im System vorgesehen, im Hinblick auf den Zweck der Einstellung der Richtung der Lichtstrahlen und der Größe ihrer Verschwenkung mit kleiner Schrittweite. Aus dem gleichen Grund ist eine fünfte und sechste Einheit (410&min;&min;, 420&min;&min;) zur Feineinstellung der optischen Achse für das Kontrollicht (L0) vorgesehen.

Das erste und zweite Prisma (411, 412) in der ersten Abstimmeinheit (410) hat den in Fig. 14 und Tabelle 3 angegebenen Aufbau, während das erste und zweite Prisma (421, 422) in der zweiten Abstimmeinheit (420) den in Fig. 15 und der Tabelle 4 angegebenen Aufbau haben. Fig. 14 ist ein Querschnitt der Optikkopfeinheit (4), der durch die X-Z-Ebene senkrecht zur Oberseite der Optikkopfeinheit geführt ist, und Fig. 15 ist ein Querschnitt der gleichen Optikkopfeinheit, der durch die X-Y-Ebene parallel zu deren Oberseite geführt ist.

Die Prismen in der Abstimmeinheit (410) für die erste optische Achse sind nicht gegenüber der Richtung des in der X-Y-Ebene einfallenden Lichtes geneigt und spielen daher keine Rolle bei der Ablenkung in dieser Ebene. In ähnlicher Weise spielen die Prismen in der Abstimmeinheit (420) für die zweite optische Achse keine Rolle bezüglich der Ablenkung in der Y-Z-Ebene.

Um zu gewährleisten, daß die Prismen den in den Fig. 14 und 15 und in den Tabellen 3 und 4 angegebenen Einstellungen genügen, ist das erste Prisma (411) in der Abstimmeinheit (410) für die erste optische Achse in Richtung der optischen Achse einstellbar verschiebbar und das zweite Prisma (412) ist um die Schwenkachse parallel zur X-Achse einstellbar verschwenkbar. Ferner ist das erste Prisma (421) in der Abstimmeinheit (420) für die zweite optische Achse in Richtung der optischen Achse einstellbar verschiebbar und das zweite Prisma (422) ist um die Schwenkachse parallel zur Z-Achse einstellbar verschwenkbar. Einzelheiten der Einrichtungen zur Durchführung der erforderlichen Einstellungen werden anschließend beschrieben. Im vorliegenden Ausführungsbeispiel sind der erste und zweite Musterzeichnungslichtstrahl (L1, L2) derart gerichtet, daß ihre Mittelachsen einen Winkel von 0,27° in Richtung der Hauptabtastung und einen Winkel von 0,034° in Unterabtastrichtung bilden und ferner derart, daß sie gegen die erste Linseneinheit (430) aus einer Position gerichtet sind, die jeweils um 3,8 mm und um 4,48 mm in der Hauptabtastrichtung und der Unterabtastrichtung entfernt ist.

Die erste Linseneinheit (430), die die Lichtstrahlen einläßt, die von den Abstimmeinheiten (420, 420&min;) reflektiert werden, ist eine positive Linseneinheit, die aus einem positiven, einem negativen und einem positiven Element gemäß Tabelle 5 besteht. Diese Linseneinheit konvergiert das einfallende Laserlicht. Ein kompensierender AO-Wandler (432), der die Wirkung kompensiert, die durch Verschwenken des Polygonalspiegels (450) verursacht wird, ist vor dem Punkt der Kondensierung durch die erste Linseneinheit (430) in einem Luftabstand von 62 mm angeordnet.

Das Musterzeichnungslaserlicht, das aus dem kompensierenden AO-Wandler (432) austritt, tritt durch eine Relaislinseneinheit hindurch, die gemäß Tabelle 6 aus einem positiven und einem negativen Element besteht und wird anschließend gegen eine zweite Linseneinheit (434) gerichtet, die gemäß Tabelle 7 aus einem negativen und positiven Element besteht.

Die Amplitude des Musterzeichnungslaserlichtes, das erneut durch die zweite Linseneinheit (434) kollimiert wird, wird durch eine regelbare Filtereinheit (435) eingestellt und das Licht wird von einer Strahlumlenkeinrichtung (436) reflektiert, um in einen ersten polarisierenden Strahlenteiler (437) einzutreten, wo es mit dem Kontrollicht kombiniert wird. Das Kontrollicht, das von dem halbverspiegelten Spiegel (402) reflektiert wurde, wird ferner durch eine Strahlumlenkeinrichtung (438) reflektiert und durch die fünfte und sechste Abstimmeinheit (410&min;&min;, 420&min;&min;) für die optische Achse um einen vorgegebenen Winkel abgelenkt. Das abgelenkte Licht wird von den Strahlumlenkeinrichtungen (439, 440) reflektiert und als S-polarisierte Komponente dem ersten polarisierenden Strahlenteiler (437) zur Reflexion zugeführt.

Die beiden Musterzeichnungsstrahlen werden durch die erste Lambda/2-Platte (403) für eine andere Richtung als das Kontrollicht polarisiert und werden als P-polarisierte Komponente dem ersten polarisierenden Strahlenteiler (437) zur Übertragung zugeführt.

Die beiden Musterzeichnungsstrahlen und der Kontrollstrahl haben ihre Polarisierungsrichtung um 90° durch eine zweite Lambda/2-Platte (441) gedreht und werden aufeinanderfolgend durch eine dritte Linseneinheit (442) geleitet, die gemäß Tabelle 8 aus einem negativen, einem positiven, einem negativen und einem positiven Element besteht, aus einer Strahlumlenkeinrichtung (443) und einer vierten Linseneinheit (444), die gemäß Tabelle 9 aus zwei positiven Elementen besteht. Die aus der vierten Linseneinheit (444) austretenden Strahlen werden durch drei Strahlumlenkeinrichtungen (445, 446, 447) geleitet und gegen die Polygonalspiegel (450) gerichtet, durch den sie reflektiert und abgelenkt werden.

Die erste und zweite Linseneinheit (430, 434) bilden eine erste Strahldehnereinheit, die sich für eine Vergrößerung um den Faktor 1,67 eignet, was einen Strahl mit einem Durchmesser von 0,7 auf einen Durchmesser von 1,17 verbreitert. Die dritte und vierte Linseneinheit (442, 444) bilden eine zweite Strahldehnereinheit, die sich für eine Vergrößerung um den Faktor 21,4 eignet, was die beiden Musterzeichnungsstrahlen von einem Punkt mit einem Durchmesser von 1,17 auf einen Durchmesser von 25 verbreitert.

Die Relaislinseneinheit (433) spielt keine Rolle für die Vergrößerungen dieser Strahldehnereinheiten; vielmehr macht sie den kompensierenden AO-Wandler (432) konjugierbar mit den Reflexionsflächen des Polygonalspiegels (450) und kompensiert nicht nur die Verschwenkung des Polygonalspiegels sondern auch jegliche nachfolgende Strahlverschiebung, die am Polygonalspiegel auftritt.

Die reflektierenden Flächen des Polygonalspiegels (450) unterliegen einem Schwenkwinkel, d. h. einer Neigung gegenüber der Drehachse, bedingt durch einen Bearbeitungsfehler oder irgendeinen anderen Faktor und so oft eine verschiedene Reflexionsfläche verwendet wird, weicht die Abtastlinie in Richtung einer Unterabtastung ab, die normal zur Abtastrichtung durch einen Strahlpunkt ist. Wird ein AO-Wandler lediglich zwischen der Lichtquelle und der Ablenkeinrichtung vorgesehen, um eine Feinablenkung des Einfallswinkels in der Unterabtastrichtung zu bewirken, so kann die Winkelabweichung des einfallenden Lichtes als Folge einer Verschwenkung korrigiert werden, jedoch tritt dann eine seitliche Verschiebung im reflektierten Licht auf. Diese seitliche Verschiebung veranlaßt das an der f theta-Linse einfallende Licht zu einer Abweichung in der Unterabtastrichtung und es können Schwierigkeiten auftreten, wie beispielsweise eine Verschlechterung der Linsenleistung, eine Krümmung der Abtastlinie, und sogar gelegentlich eine Vignettierung durch die Linsenhülse.

Um diese Schwierigkeiten zu vermeiden sind der kompensierende AO-Wandler (432 und der Polygonalspiegel (450) in dem in Frage stehenden System so bemessen, daß sie zueinander optisch konjugierbar sind. Der Ausdruck "optisch konjugierbar" bedeutet nicht notwendigerweise, daß die beiden Vorrichtungen einer Abbildungsbeziehung genügen, sondern ist dahingehend zu verstehen, daß, soweit die Hauptstrahlen betroffen sind, eine Winkelabweichung des Lichtes nicht zu einer Positionsabweichung führt.

Die reflektierten Strahlen vom Polygonalspiegel (450) werden durch die f theta-Linse (500) mit einer Brennweite von 151 mm, gemäß Tabelle 10, konvergiert. Die Musterzeichnungsstrahlen werden durch einen zweiten polarisierenden Strahlenteiler (448) übertragen, damit zwei Punkte mit einem Durchmesser von 5 µm auf der Zeichenfläche gebildet werden. Diese beiden Punkte haben einen Abstand von 20 µm voneinander in der Hauptabtastrichtung und von 2,5 µm in der Unterabtastrichtung, wobei letzterer gleich dem Zwischenlinienabstand ist.

Das Kontrollicht, das als S-polarisierte Komponente dem Strahlenteiler (480) zugeführt wird, wird von diesem reflektiert und gegen eine Kontroll-Detektoreinheit (800) gerichtet, die eine Skala (801) für eine Abtastkorrektur aufweist. Wie nachstehend erläutert wird, erfaßt die Kontroll-Deteketoreinheit (800) die Änderung im Übertragungsumfang des Strahls, der die Skala (801) abtastet und gibt einen Impuls mit einer Frequenz aus, die proportional der Abtastgeschwindigkeit ist.

Das Bezugszeichen (900) bezeichnet eine Scharfeinstellung-Erfassungseinrichtung, die aus drei Paaren von lichtaussendenden, lichterfassenden Elementen besteht. Wie anschließend beschrieben wird, erfaßt diese Einrichtung das reflektierte Licht von der Zeichenfläche und ermittelt, ob es innerhalb des Scharfeinstellungsbereiches der f theta-Linse (500) ist.

Tabelle 1 Linsen (406) und (406&min;) (wovon jede aus einem Einzelelement besteht); f = 130,02


Der Luftabstand von der zweiten Oberfläche jeder Linse zur Oberfläche des zugehörigen Musterzeichnungs-AO-Wandlers ist 127,89.

Tabelle 2 Linsen (408) und (408&min;) (wovon jede aus einem Einzelelement besteht); f = 130,02


Der Luftabstand vom Musterzeichnungs-AO-Wandler zur ersten Oberfläche einer jeden Linse ist 127,89.

Tabelle 3 Erste Abstimmeinheit (410) für die optische Achse (zwei Einheiten-zwei Elemente)


Die Luftentfernung von der zweiten Oberfläche der Linse (408) zur ersten Oberfläche der Abstimmeinheit ist 93,93.

Tabelle 4 Zweite Abstimmeinheit (420) für die optische Achse (zwei Einheiten-zwei Elemente)


Der Luftabstand von der vierten Oberfläche der ersten Abstimmeinheit (410) zur ersten Oberfläche der Abstimmeinheit (420) ist 120,00.

Tabelle 3 Erste Linseneinheit (430) (drei Einheiten-drei Elemente); f = 179,99


Der Luftabstand von der vierten Oberfläche der vierten Abstimmeinheit (420) zur ersten Oberfläche der ersten Linseneinheit (420) ist 150,00, der Luftabstand von der sechsten Oberfläche der ersten Linseneinheit (420) zum kompensierenden AO-Wandler (432) ist 54,67 und der Luftabstand vom Kondensierungspunkt durch die erste Linseneinheit zur Wandlerfläche ist 61,95.

Tabelle 6 Relaislinseneinheit (433) (zwei Einheiten-drei Elemente); f = 56,18


Der Luftabstand von der Wandlerfläche des kompensierenden AO-Wandlers zur ersten Oberfläche der Relaislinseneinheit ist 140,38.

Tabelle 7 Zweite Linseneinheit (434) (zwei Einheiten-zwei Elemente); f = 299,99


Der Luftabstand zwischen der vierten Oberfläche der Relaislinseneinheit und der ersten Oberfläche der zweiten Linseneinheit ist 76,55.

Tabelle 8 Dritte Linseneinheit (442) (vier Einheiten-vier Elemente); f = 16,16


Der Luftabstand zwischen der vierten Oberfläche der zweiten Linseneinheit (434) und der ersten Oberfläche der dritten Linseneinheit (442) ist 317,00.

Tabelle 9 Vierte Linseneinheit (444) (zwei Einheiten-zwei Elemente); f = 346,22


Der Luftabstand zwischen der achten Oberfläche der dritten Linseneinheit (442) und der ersten Oberfläche der vierten Linseneinheit (444) ist 196,94, und der Luftabstand von der vierten Oberfläche der vierten Linseneinheit (444) zum Polygonalspiegel ist 1261,00.

Tabelle 10 f theta-Linse; F-Zahl = 6,0; f = 151,207; 2 theta = 40°; Pupillenposition: 94,030 mm vor der ersten Oberfläche


Anspruch[de]
  1. 1. Tischanordnung für eine Musterzeichnungseinrichtung, gekennzeichnet durch:

    einen Haupttisch (110);

    eine erste Befestigungseinrichtung zur Befestigung des Haupttisches (110), damit er in einer Richtung gegenüber einem festliegenden Abschnitt der Tischanordnung verschiebbar ist,

    eine Antriebsanordnung (101, 102, 120), um eine Verschiebung des Haupttisches in der genannten einen Richtung zu verursachen, wobei die Antriebsanordnung unmittelbar mit dem Haupttisch verbunden ist;

    einen Arbeitstisch (150);

    eine zweite Befestigungseinrichtung zur Befestigung des Arbeitstisches (150) derart, daß er in der genannten einen Richtung gegenüber dem festliegenden Abschnitt verschiebbar ist; und

    eine Verbindungseinrichtung (130, 131, 132, 133), die in der einen Richtung Steifigkeit und in einer Richtung senkrecht zu der einen Richtung Elastizität aufweist, um den Arbeitstisch (150) mit dem Haupttisch (110) zu verbinden.
  2. 2. Tischanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Haupttisch (110) in einem mittigen Abschnitt des Arbeitstisches (150) derart angeordnet ist, daß der Arbeitstisch den Haupttisch umgebend positioniert ist.
  3. 3. Tischanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Befestigungseinrichtung eine Anzahl erster horizontaler Rollen (111, 112, 113, 114) umfaßt, die sich seitlich an ein Paar Schienen anlegen.
  4. 4. Tischanordnung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Befestigungseinrichtung ferner vier Halteplatten (121, 122, 123, 124) umfaßt, die an den jeweiligen Ecken des Haupttisches (110) montiert sind, daß jede der Halteplatten mindestens eine der horizontalen Rollen (111, 112, 113, 114) trägt, und daß ein Paar Verstärkungselemente (125) jeweils Plattenform hat und jedes der Verstärkungselemente jeweils zwei der Halteplatten, die einander zugewandt sind, miteinander verbindet.
  5. 5. Tischanordnung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Befestigungseinrichtung eine Anzahl zweiter horizontaler Rollen (151, 152, 153, 154) umfaßt, die sich seitlich an das Schienenpaar anlegen.
  6. 6. Tischanordnung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Befestigungseinrichtung ferner eine Anzahl Winkelstücke mit einer verstärkenden dreieckförmigen Platte umfaßt, um die zweiten horizontalen Rollen zu tragen.
  7. 7. Tischanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Verbindungseinrichtung (130, 131, 132, 133) eine Anzahl Blattfedern umfaßt.
  8. 8. Tischanordnung für eine Musterzeichnungsvorrichtung, gekennzeichnet durch:

    einen ersten Haupttisch (110),

    eine erste Befestigungseinrichtung (111, 112, 113, 114) zur Befestigung des Haupttisches, damit er in einer Richtung gegenüber einem festen Abschnitt der Tischanordnung verschiebbar ist;

    eine erste Antriebsanordnung (101, 102, 120), um den ersten Haupttisch zur Verschiebung in der genannten einen Richtung zu veranlassen, wobei die erste Antriebsanordnung unmittelbar mit dem ersten Haupttisch verbunden ist;

    einen ersten Arbeitstisch (150);

    eine zweite Befestigungseinrichtung (151, 152, 153, 154), um den ersten Arbeitstisch verschiebbar in der genannten einen Richtung gegenüber dem festliegenden Abschnitt zu befestigen;

    eine erste Verbindungseinrichtung (130, 131, 132, 133), die in der einen Richtung Steifigkeit und in einer senkrecht zu der einen Richtung verlaufenden Richtung Elastizität aufweist, um den ersten Arbeitstisch (150) mit dem ersten Haupttisch (110) zu verbinden;

    einen zweiten Haupttisch (210);

    eine dritte Befestigungseinrichtung, um den zweiten Haupttisch gegenüber dem ersten Haupttisch in einer Richtung senkrecht zur ersten Richtung verschiebbar zu befestigen;

    eine zweite Antriebsanordnung (201, 202, 220), um den zweiten Haupttisch (210) in einer Richtung senkrecht zu der einen Richtung verschiebbar zu befestigen, wobei die Antriebsanordnung unmittelbar mit dem zweiten Haupttisch verbunden ist;

    einen zweiten Arbeitstisch (250);

    eine vierte Befestigungseinrichtung zur Befestigung des zweiten Arbeitstisches derart, daß er gegenüber dem ersten Arbeitstisch in der genannten Richtung senkrecht zu der einen Richtung verschiebbar ist; und

    eine zweite Verbindungseinrichtung (230, 231, 232, 233), die in der genannten Richtung senkrecht zu der einen Richtung eine Steifigkeit und in der erwähnten einen Richtung Elastizität aufweist, um den zweiten Arbeitstisch (250) mit dem zweiten Haupttisch (210) zu verbinden.
  9. 9. Tischanordnung nach Anspruch 1, ferner gekennzeichnet durch ein Paar Führungsschienen (170, 170), die am ersten Arbeitstisch (150) befestigt sind, und ferner dadurch, daß die dritte und vierte Befestigungseinrichtung jeweils eine Anzahl Rollen (211-214; 251-254) aufweisen, die an den Führungsschienen anliegen.






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