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Dokumentenidentifikation DE3688411T2 28.10.1993
EP-Veröffentlichungsnummer 0213836
Titel Metallgegenstand mit behandelter Oberfläche, Verfahren zu dessen Herstellung, photoleitfähiges Element wobei der Gegenstand benutzt wird und feste Kugel zur Behandlung der Oberfläche eines Metallgegenstandes.
Anmelder Canon K.K., Tokio/Tokyo, JP
Erfinder Honda, Mitsuru, Kashiwa-shi Chiba-ken, JP;
Koike, Atsushi, Chiba-shi Chiba-ken, JP;
Kimura, Tomohiro, Ueno-shi Mie-ken, JP;
Ogawa, Kyosuke, Nabari-shi Mie-ken, JP;
Murai, Keiichi, Kashiwa-shi Chiba-ken, JP
Vertreter Tiedtke, H., Dipl.-Ing.; Bühling, G., Dipl.-Chem.; Kinne, R., Dipl.-Ing.; Pellmann, H., Dipl.-Ing.; Grams, K., Dipl.-Ing.; Link, A., Dipl.-Biol. Dr., Pat.-Anwälte, 80336 München
DE-Aktenzeichen 3688411
Vertragsstaaten DE, FR, GB, NL
Sprache des Dokument En
EP-Anmeldetag 11.08.1986
EP-Aktenzeichen 863062063
EP-Offenlegungsdatum 11.03.1987
EP date of grant 12.05.1993
Veröffentlichungstag im Patentblatt 28.10.1993
IPC-Hauptklasse B24C 1/06
IPC-Nebenklasse B24C 11/00   G03G 5/10   

Beschreibung[de]

Diese Erfindung betrifft ein Bauelement eines elektrischen oder elektronischen Geräts, insbesondere ein photoleitfähiges Element wie z. B. ein elektrophotographisches photoempfindliches Element für die Anwendung bei einem elektrophotographischen Verfahren.

Verwandter Stand der Technik

Die Oberfläche von Metallkörpern ist verschiedenen Behandlungen zur spanenden Bearbeitung oder Schleifbehandlungen unterzogen worden, damit ihnen in Abhängigkeit von ihren Anwendungen eine gewünschte Oberflächengestalt verliehen wird.

Metallkörper in Form einer Platte, eines Zylinders, eines endlosen Bandes usw. werden beispielsweise als Substrate (Träger) eines photoleitfähigen Elements wie z. B. eines elektrophotographischen photoempfindlichen Elements usw. verwendet, und ihre Oberflächen werden durch spanende Bearbeitung als vorbereitenden Schritt für die Bildung von Schichten wie z. B. einer photoleitfähigen Schicht usw. auf dem Träger fertigbearbeitet, um eine spiegelnde Oberfläche usw. zu bilden. Die Oberflächen werden beispielsweise durch spanende Bearbeitung mit einer Drehmaschine, einer Fräsmaschine usw. unter Anwendung eines Diamant-Zerspanungswerkzeugs bis zur Erzielung einer Ebenheit der Oberfläche, die in einem vorgegebenen Bereich liegt, oder manchmal bis zur Erzielung von Unebenheiten mit einer vorgegebenen oder gewünschten Gestalt zur Verhinderung von Interferenz streifen fertigbearbeitet.

Bei der Bildung einer solchen Oberfläche durch spanende Bearbeitung kommt das Zerspanungswerkzeug jedoch mit feinen Bestandteilen wie z. B. starren Legierungskomponenten, Oxiden usw. oder Blasen, die in der Nähe der Oberfläche eines Metallkörpers vorhanden sind, in Berührung, wodurch der Wirkungsgrad der spanenden Bearbeitung vermindert wird und wobei durch die spanende Bearbeitung auch leicht Oberflächenfehler auftreten, die auf die Bestandteile usw. zurückzuführen sind. Wenn als Träger-Metallkörper beispielsweise eine Aluminiumlegierung verwendet wird, enthält sie in der Aluminiumstruktur Bestandteile wie z. B. intermetallische Verbindungen, z. B. Si-Al-Fe, Fe-Al, TiB&sub2; usw. oder Oxide von Al, Mg, Ti, Si und Fe oder durch H&sub2; verursachte Blasen und weist auch Oberflächenfehler wie z. B. Korngrenzenstörungen bzw. -abweichungen auf, die zwischen den benachbarten Al-Strukturen mit verschiedenen Kristallorientierungen vorhanden sind. Wenn aus einem Träger, der solch einen Oberflächenfehler aufweist, beispielsweise ein elektrophotographisches photoempfindliches Element hergestellt wird, können keine gleichmäßigen Schichten erhalten werden, und das photoempfindliche Element kann infolgedessen keine gleichmäßigen elektrischen und optischen Eigenschaften und Photoleitfähigkeitseigenschaften haben und erzeugt kein gutes Bild. Das heißt, solch ein photoempfindliches Element kann den praktischen Zweck nicht erfüllen.

Die spanende Bearbeitung hat auch andere Probleme wie z. B. die Erzeugung pulverförmiger Abfälle der spanenden Bearbeitung, den Verbrauch von Schneidöl, die komplizierte Beseitigung der pulverförmigen Abfälle der spanenden Bearbeitung und die Behandlung von Schneidöl, das auf der spanend bearbeiteten Oberfläche zurückbleibt.

Außer dem Mittel der spanenden Bearbeitung werden die herkömmlichen Mittel der plastischen Verformung wie z. B. Sandstrahlen, Kugelstrahlen usw. angewandt, um die Ebenheit oder Rauhigkeit der Oberfläche des Metallkörpers einzustellen, jedoch können die Unregelmäßigkeit der Gestalt, die Genauigkeit usw. der Metallkörperoberfläche durch solche Mittel nicht genau gesteuert bzw. eingestellt werden.

Wenn die Oberflächenrauhigkeit durch die vorstehenden Mittel erzielt wird, wird ferner an der Oberfläche ein unregelmäßiger Zustand, beispielsweise ein Zustand mit verhältnismäßig großen und spitzen bzw. scharfen Unebenheiten, freigelegt, und deswegen wird die Beständigkeit des resultierenden photoempfindlichen Elements gegen wiederholte Reibungen durch eine Reinigungseinrichtung usw. beträchtlich verschlechtert.

In der DE 3321648 ist eine Anordnung für die Erzielung einer vorgeschriebenen Oberflächenrauhigkeit auf einem Substrat für ein photoleitfähiges Element mit amorphem Silicium offenbart. Bei dieser offenbarten Anordnung wird ein Schleifstein angewendet, um die Injektion von Ladung aus dem Substrat in die photoempfindliche Schicht zu verhindern und das Haftvermögen der photoempfindlichen Schicht an dem Substrat zu verbessern. Bei dieser Anordnung gibt es jedoch noch das Problem, daß Interferenzstreifen erzeugt würden. Ferner würde wegen der Anwendung eines Schleifsteins pulverförmiger Schleifabfall erzeugt, und weil eine solche Anordnung normalerweise die Verwendung eines Schneidöls mit sich bringen würde, würde solch ein Öl die Oberfläche verunreinigen, wenn nicht für eine zweckmäßige Behandlung zu seiner Entfernung gesorgt würde. Die vorliegende Erfindung betrifft unter anderem die Überwindung solcher Probleme.

ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG

Gemäß der vorliegenden Erfindung weist ein photoleitfähiges Element auf einem Träger eine photoleitfähige Schicht auf, wobei der Träger ein oberflächenbehandelter Metallkörper ist, der darauf gebildete Unebenheiten hat, dadurch gekennzeichnet, daß die Unebenheiten aus einer Vielzahl von sphärischen Eindruckvertiefungen bestehen, die selbst auch feine Unebenheiten haben, die in ihnen gebildet sind.

KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN

Wie die vorliegende Erfindung durchgeführt werden kann, wird nun nur als Beispiel und unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben, in denen:

Fig. 1 bis 4 schematische Zeichnungen sind, die zur Erläuterung des unregelmäßigen Zustands einer Metallkörperoberfläche dienen, die zum Bau eines photoleitfähigen Elements gemäß der vorliegenden Erfindung angewendet wird;

Fig. 5 eine vergrößerte Schnittzeichnung einer sphärischen Eindruckvertiefung von Fig. 1 ist;

Fig. 6 eine Schnittzeichnung einer starren Kugel ist, die zur Herstellung der unregelmäßigen bzw. unebenen Oberfläche auf dem Metallkörper von Fig. 1 verwendet wird;

Fig. 7 und 8 eine Querschnittzeichnung bzw. eine Längsschnittzeichnung einer Vorrichtung zur Durchführung eines Verfahrens zur Herstellung des oberflächenbehandelten Metallkörpers von Fig. 1 sind und

Fig. 9 eine schematische Zeichnung einer Vorrichtung zur Herstellung eines photoleitfähigen Elements durch Zersetzung mittels Glimmentladung ist.

BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN

Ein in Fig. 1 gezeigter oberflächenbehandelter Metallkörper 1 hat eine unebene Oberfläche, die als eines der Merkmale an der Oberfläche 2 eine Vielzahl von sphärischen Eindruckvertiefungen 4 enthält. Das heißt, die sphärische Eindruckvertiefung 4 wird an der Oberfläche 2 gebildet, indem beispielsweise eine starre Kugel 3 aus einer vorgegebenen Höhe über der Oberfläche 2 spontan oder unter Zwang fallen gelassen wird. Auf diese Weise kann an der Oberfläche 2 eine Vielzahl von sphärischen Eindruckvertiefungen 4, die im wesentlichen denselben Krümmungsradius R und dieselbe Weite r haben, gebildet werden, indem eine Vielzahl von starren Kugeln 3, die im wesentlichen denselben Radius R' haben, im wesentlichen aus derselben Höhe h fallen gelassen wird.

Fig. 2 und 3 zeigen Eindruckvertiefungen, die in solch einem Fall gebildet werden.

In Fig. 2 ist gezeigt, daß eine Vielzahl von Vertiefungen 4-1, 4-1, . . .., die im wesentlichen denselben Krümmungsradius und dieselbe Weite haben, in lockerer Anordnung ohne Überlappung gebildet wird, indem eine Vielzahl von Kugeln 3-1, 3-1, . . .., die im wesentlichen denselben Radius haben, im wesentlichen aus derselben Höhe auf verschiedene Stellen an der Oberfläche 2-1 des Metallkörpers 1-1 fallen gelassen wird, wodurch die Unebenheiten gebildet werden.

In Fig. 3 ist gezeigt, daß eine Vielzahl von Vertiefungen 4-2, 4-2, . . .., die im wesentlichen denselben Krümmungsradius und dieselbe Weite haben, in dichter Anordnung mit Überlappung gebildet wird, indem eine Vielzahl von Kugeln 3-2, 3-2, . . .., die im wesentlichen denselben Radius haben, im wesentlichen aus derselben Höhe auf verschiedene Stellen an der Oberfläche 2-2 des Metallkörpers 1-2 fallen gelassen wird, wodurch im Vergleich zu der Ausführungsform von Fig. 2 der Unebenheitsgrad (die Oberflächenrauhigkeit) vermindert wird. In diesem Fall müssen die Kugeln selbstverständlich spontan fallen gelassen werden, damit die Zeitfolge für die Bildung überlappter Vertiefungen 4-2, 4-2, . . .., das heißt, die Zeitfolge für das Auftreffenlassen der Kugeln 3-2, 3-2, . . .. auf die Oberfläche 2-2 des Metallkörpers 1-2, versetzt werden kann.

In Fig. 4 ist andererseits gezeigt, daß eine Vielzahl von Vertiefungen 4-3, 4-3, . . .., die verschiedene Krümmungsradien und verschiedene Weiten haben, in dichter Anordnung mit Überlappung an der Oberfläche 2-3 eines Metallkörpers 1-3 gebildet wird, indem Kugeln mit mehreren verschiedenen Radien 3-3, 3-3, . . .., im wesentlichen aus derselben Höhe oder aus verschiedenen Höhen fallen gelassen werden, wodurch an der Oberfläche 2-3 Unebenheiten mit verschiedener Tiefe gebildet werden.

Auf diese Weise kann an der Oberfläche eines Metallkörpers eine Vielzahl von sphärischen Eindruckvertiefungen mit gewünschtem Krümmungsradius und gewünschter Weite mit einer gewünschten Dichte gebildet werden, indem Bedingungen wie z. B. die Härte der starren Kugeln und der Metallkörperoberfläche, der Radius der starren Kugeln, die Fallhöhe, die Masse der fallenden Kugeln usw. zweckmäßig eingestellt werden. Deshalb können durch Wahl der vorstehend erwähnten Bedingungen die Oberflächenrauhigkeit, das heißt die Fertigbearbeitung der Metallkörperoberfläche unter Erzielung einer spiegelnden Oberfläche oder einer nicht spiegelnden Oberfläche, die Tiefe und die Abstände der Unebenheiten usw. wie gewünscht eingestellt werden oder Unebenheiten mit einer gewünschten Gestalt gebildet werden.

Der vorliegende oberflächenbehandelte Metallkörper 1 hat ferner als weiteres Merkmal feine Unebenheiten in den sphärischen Eindruckvertiefungen 4. Das heißt, an einem Teil der Oberfläche oder an der gesamten Oberfläche in der sphärischen Eindruckvertiefung 4 sind, wie in Fig. 5 vergrößert gezeigt ist, feine Unebenheiten oder Gruppen von feinen Unebenheiten 5 gebildet. Solche feinen Unebenheiten werden gebildet, indem als starre Kugel 3 eine starre Kugel verwendet wird, die an der Oberfläche Unebenheiten 6 hat, wie sie beispielsweise in Fig. 6 gezeigt ist.

Die starren Kugeln, die Unebenheiten haben, können durch eine Behandlung zur plastischen Verformung wie z. B. Prägen, Riffelung bzw. Wellung usw.; Aufrauhen der Oberfläche wie z. B. Satinieren usw.; Bildung von Oberflächenunebenheiten durch mechanische Behandlung und Bildung von Oberflächenunebenheiten durch chemische Behandlung wie z. B. Ätzbehandlung usw. gebildet werden. Ferner kann die Oberfläche der starren Kugel, die die auf diese Weise gebildeten Unebenheiten hat, einer Oberflächenbehandlung wie z. B. Elektropolieren, chemischem Polieren, Fertigfeinpolieren usw. oder Filmbildung durch anodische Oxidation, Filmbildung durch chemische Reaktion, Plattieren bzw. Galvanisieren, Emaillieren, Beschichten, Bildung eines aufgedampften Films, Filmbildung durch chemisches Aufdampfen (CVD) usw. unterzogen werden, um die Unebenheit bzw. Unregelmäßigkeit der Gestalt (die Tiefe der Unebenheiten), die Härte usw. in zweckmäßiger Weise einzustellen.

Als Werkstoff für den vorliegenden oberflächenbehandelten Metallkörper kann in Abhängigkeit vom Verwendungszweck irgendeine Metallart verwendet werden, jedoch sind Aluminium und Aluminiumlegierungen, nichtrostender Stahl, Stahl, Kupfer und Kupferlegierungen, Magnesiumlegierungen usw. zweckmäßig. Es kann ein Metallkörper mit irgendeiner Gestalt verwendet werden. Beispielsweise sind als Substrat (Träger) eines elektrophotographischen photoempfindlichen Elements Gestalten wie z. B. eine Platte bzw. ein Blech, eine zylindrische Gestalt, eine säulenförmige Gestalt, die Gestalt eines endlosen Bandes usw. anwendbar.

Die starren Kugeln schließen verschiedene starre Kugeln aus beispielsweise Metallen wie z. B. nichtrostendem Stahl, Aluminium, Stahl, Nickel, Messing usw., keramischen Werkstoffen, Kunststoffen usw. ein, und insbesondere sind starre Kugeln aus nichtrostendem Stahl und Stahl wegen langer Haltbarkeit und geringer Kosten vorzuziehen. Die Härte der Kugel kann höher oder niedriger als die des Metallkörpers sein, jedoch ist es vorzuziehen, die Härte der Kugeln höher zu machen als die Härte eines Metallkörpers, wenn die Kugeln wiederholt zu verwenden sind.

Der vorliegende oberflächenbehandelte Metallkörper dient als Träger eines photoleitfähigen Elements wie z. B. eines elektrophotographischen photoempfindlichen Elements usw.; als Magnetplattensubstrat für einen Computerspeicher und als Spiegelpolygonsubstrat für die Laser-Abtastung.

Wenn der vorliegende oberflächenbehandelte Metallkörper als Träger für eine elektrophotographische photoempfindliche Walze verwendet wird, wird ein unter Anwendung einer Durchlaßöffnung oder eines Dorns durch die gewöhnliche Extrusionsbehandlung von Aluminiumlegierung usw. erhaltenes Rohr ferner einer Ziehbehandlung unterzogen, und der erhaltene gezogene Zylinder wird ferner nötigenfalls einer Wärmebehandlung, einer Behandlung zum Modifizieren der Qualität usw. unterzogen. Dann wird der Zylinder gemäß dem vorliegenden Verfahren einer Oberflächenbehandlung in einer Vorrichtung unterzogen, wie sie beispielsweise in Fig. 7 (schematische Querschnittzeichnung) und Fig. 8 (schematische Längsschnittzeichnung) gezeigt ist, wodurch der Träger gebildet werden kann.

In Fig. 7 und 8 bedeutet die Zahl 11 einen Aluminiumzylinder für die Bildung eines Trägers. Der Zylinder 11 kann ein gezogenes Rohr an sich sein oder eines sein, dessen Oberfläche bis zu einer zweckmäßigen Oberflächengenauigkeit bzw. -güte fertigbearbeitet worden ist. Der Zylinder 11 wird durch Lager 12 getragen und durch eine geeignete Antriebseinrichtung 13 wie z. B. einen Motor usw. angetrieben und ist im wesentlichen um die Mittelachse drehbar. Die Zahl 14 bedeutet einen Drehbehälter, der durch die Lager 12 getragen wird und in derselben Richtung wie der Zylinder 11 drehbar ist und eine große Zahl von starren Kugeln 15 enthält, die an den Oberflächen Unebenheiten haben.

Die starren Kugeln 15 werden durch mehrere Rippen 16, die an der Innenwand des Behälters 14 nach innen vorstehen, getragen und durch Drehen des Behälters 14 bis zum oberen Teil des Behälters befördert und dann auf den Zylinder 11 fallen gelassen.

Die Drehzahl und die Durchmesser des Zylinders 11 und des Drehbehälters 14, der die starren Kugeln 15 enthält, werden im Hinblick auf die Dichte der zu bildenden Eindruckvertiefungen, die Zuführungsgeschwindigkeit der starren Kugeln usw. in zweckmäßiger Weise gewählt und gesteuert bzw. eingestellt. Durch Drehen des Drehbehälters 14 kann bewirkt werden, daß die starren Kugeln 15, die an der Behälterwand anliegen und mit einer zweckmäßigen Drehzahl befördert werden, fallen und den Zylinder 11 bombardieren, wodurch an der Zylinderoberfläche Eindruckvertiefungen gebildet werden. Das heißt, die Unebenheiten werden daran gebildet.

Dadurch, daß an der Wand des Behälters 14 gleichmäßig Löcher vorgesehen werden, um einen Mechanismus herzustellen, durch den aus Brauserohren 17 außerhalb des Behälters 14 eine Waschlösung eingespritzt wird, während er gedreht wird, können der Zylinder 11, die starren Kugeln 15 und der Drehbehälter 14 gewaschen werden, wodurch Staub usw., der sich durch Berührung der Kugeln miteinander oder der Kugeln und des Drehbehälters elektrostatisch abgeschieden hat, aus dem Drehbehälter ausgewaschen werden und der gewünschte Träger erhalten werden kann. Um ein ungleichmäßiges Trocknen oder ein Tropfen von Flüssigkeit zu verhindern, ist es vorzuziehen, daß als die erwähnte Waschlösung nur eine nichtflüchtige Substanz oder eine Mischung davon mit einer gewöhnlichen Waschflüssigkeit wie z. B. Triethan(e), Trichlene bzw. Trichlorethen usw. verwendet wird.

Ein Beispiel für die Struktur des photoleitfähigen Elements wird nachstehend beschrieben.

Das photoleitfähige Element besteht aus einem Träger und einer auf dem Träger bereitgestellten photoempfindlichen Schicht, die beispielsweise eine organische photoleitfähige Substanz oder eine anorganische photoleitfähige Substanz enthält.

Die Gestalt des Trägers wird in der gewünschten Weise gewählt. Wenn der Träger beispielsweise für die Elektrophotographie verwendet wird, ist für ein kontinuierliches Kopieren mit hoher Geschwindigkeit die Gestalt eines endlosen Bandes oder die erwähnte zylindrische Gestalt erwünscht. Die Dicke des Trägers wird derart gewählt, daß ein photoleitfähiges Element gebildet wird, wie es gewünscht wird, jedoch wird der Träger in dem Fall, daß das photoleitfähige Element flexibel sein muß, so dünn wie möglich gemacht, solange die Funktion als Träger in zufriedenstellender Weise erzielt werden kann. Die Dicke beträgt jedoch auch in solch einem Fall unter dem Gesichtspunkt der Fertigung des Trägers, der Handhabung, der mechanischen Festigkeit usw. im allgemeinen mindestens 400 um.

Der Träger wird der Oberflächenbehandlung gemäß der vorliegenden Erfindung unterzogen, wodurch die Oberfläche bis zur Erzielung einer spiegelnden Oberfläche oder einer nicht spiegelnden Oberfläche fertigbearbeitet wird oder mit Unebenheiten der Gestalt versehen wird, wie es zum Zweck der Verhinderung von Interferenzstreifen usw. erwünscht ist. Wenn aus der Oberfläche eines Trägers beispielsweise eine nicht spiegelnde Oberfläche gemacht oder diese Oberfläche aufgerauht wird, indem sie mit Unebenheiten versehen wird, wird auch die Oberfläche einer photoempfindlichen Schicht entsprechend den Unebenheiten der Trägeroberfläche uneben gemacht, jedoch tritt bei der Belichtung zwischen dem an der Trägeroberfläche und dem an der Oberfläche der photoempfindlichen Schicht reflektierten Licht eine Phasendifferenz auf, wodurch wegen Shearing-Interferenz ein Interferenzstreifen verursacht wird oder bei einer Umkehrentwicklung schwarze Flecken (schwarze Punkte) oder Streifen (Linien) verursacht werden. Dies führt zu Bildfehlern. Diese Erscheinungen sind im Fall der Belichtung mit einem Laserstrahl als interferenzfähigem Licht besonders deutlich.

Solch ein Interferenzstreifen kann verhindert werden, indem der Krümmungsradius R und die Weite r von sphärischen Eindruckvertiefungen, die an der Trägeroberfläche gebildet werden, eingestellt werden. Das heißt, im Fall der Verwendung des vorliegenden oberflächenbehandelten Metallkörpers als Träger sind wegen der Shearing-Interferenz in den einzelnen Eindruckvertiefungen mindestens 0,5 Newtonsche Ringe vorhanden, wenn r/R 0,035 oder mehr beträgt, und es kann erreicht werden, daß die Interferenzstreifen auf dem gesamten photoleitfähigen Element in einer in den einzelnen Eindruckvertiefungen verteilten Form vorhanden sind, und auf diese Weise kann die Interferenz verhindert werden. Für die Obergrenze von r/R gibt es keine besondere Beschränkung; es ist jedoch erwünscht, daß r/R in dem Bereich von 0,035 ≤ r/R ≤ 0,5 gewählt wird, weil die Weite der Vertiefung verhältnismäßig groß wird und mit der Entwicklung einer Ungleichmäßigkeit des Bildes usw. gerechnet werden muß, wenn r/R größer als 0,5 ist.

Es ist erwünscht, daß der Krümmungsradius R der Eindruckvertiefung in dem Bereich von 0,1 mm ≤ R ≤ 2,0 mm und vorzugsweise in dem Bereich von 0,2 mm ≤ R ≤ 0,4 mm gewählt wird. Wenn R kleiner als 0,1 mm ist, muß die Fallhöhe beibehalten werden, während die starren Kugeln kleiner und leichter gemacht werden, und die Bildung von Eindruckvertiefungen wird in unerwünschter Weise weniger steuerbar. Der Spielraum für die Wahl von r wird natürlich eingeengt. Wenn R andererseits größer als 2,0 mm ist, muß die Fallhöhe eingestellt werden, während die starren Kugeln größer und schwerer gemacht werden, und wenn beispielsweise erwünscht ist, daß r verhältnismäßig klein ist, muß die Fallhöhe stark verringert werden. Das heißt, daß die Bildung der Eindruckvertiefungen auch weniger steuerbar ist.

Es ist erwünscht, daß die Weite r der Eindruckvertiefungen 0,02 bis 0,5 mm beträgt. Wenn r weniger als 0,02 mm beträgt, muß auch die Fallhöhe beibehalten werden, während die starren Kugeln kleiner und leichter gemacht werden, und die Bildung von Eindruckvertiefungen ist in unerwünschter Weise auch weniger steuerbar. Ferner ist erwünscht, daß r kleiner ist als der Durchmesser des Lichtbestrahlungspunktes und insbesondere kleiner ist als das Auflösungsvermögen, wenn ein Laserstrahl angewendet wird. Wenn r größer als 0,5 mm ist, ist damit zu rechnen, daß Ungleichmäßigkeit des Bildes usw. auftritt, und ist es sehr wahrscheinlich, daß r größer als das Auflösungsvermögen ist.

Wenn starre Kugeln, die an den Oberflächen Unebenheiten haben, verwendet werden, um in den einzelnen Eindruckvertiefungen feine Unebenheiten zu bilden, kann die Wirkung der Streuung durch die feinen Unebenheiten zu der vorstehend erwähnten Wirkung der Verhinderung der Interferenz hinzugefügt werden, und die Interferenz kann somit mit viel größerer Sicherheit verhindert werden.

Nach dem Stand der Technik wird die Oberfläche eines Metallträgers für die Verwendung bei einem photoleitfähigen Element willkürlich bzw. regellos aufgerauht, um diffuse Reflexion zu erzielen, wodurch das Auftreten von Interferenzstreifen verhindert wird. Bei der Reinigung nach der Bildübertragung, beispielsweise unter Anwendung einer Rakel, berührt jedoch in diesem Fall die Rakelkante hauptsächlich die konvexen Teile der Unebenheiten, wodurch die Möglichkeit der Reinigung verschlechtert oder der Abrieb zwischen dem photoleitfähigen Element und der Rakelkante an den konvexen Teilen erhöht wird. Als Folge kann keine gute Haltbarkeit des photoleitfähigen Elements und der Rakelkante erzielt werden.

Wenn andererseits der vorliegende oberflächenbehandelte Metallkörper als Träger verwendet wird, kann die Oberflächenbehandlung auf die Oberfläche angewandt werden, die ursprünglich bis zu einem gewissen Grade geglättet worden ist, und weil die streuenden Oberflächen in den vertieften Teilen (konkaven Teilen) vorhanden sind, berührt die Rakelkante keine konvexen Teile, sondern während der gesamten Reinigung die gleichmäßige flache Oberfläche. Auf die Rakel oder auf die Oberfläche des photoleitfähigen Elements wird somit keine große Belastung ausgeübt, und die Haltbarkeit der Rakel und des photoleitfähigen Elements kann erhöht werden.

Für die Erzielung eines Bildes mit hoher Qualität ist es erwünscht, daß der Grad bzw. die Tiefe der feinen Unebenheiten, mit denen die Eindruckvertiefungen versehen werden, das heißt die Oberflächenrauhigkeit Rmax, in einem Bereich von 0,5 bis 20 um liegt. Unterhalb von 0,5 um kann keine zufriedenstellendete Streuungswirkung erzielt werden, während die feinen Unebenheiten oberhalb von 20 um im Vergleich zu den Unebenheiten der Eindruckvertiefungen zu groß werden und infolgedessen die Eindruckvertiefungen den sphärischen Zustand verlieren und keine zufriedenstellende Wirkung der Verhinderung von Interferenzstreifen erzielt werden kann. Ferner wird die Ungleichmäßigkeit einer photoleitfähigen Schicht erhöht, und die Entwicklung von Bildfehlern ist wahrscheinlich.

Wenn auf dem Träger des vorliegenden photoleitfähigen Elements eine photoempfindliche Schicht, die beispielsweise aus einem organischen Photoleiter besteht, bereitgestellt wird, kann die photoempfindliche Schicht hinsichtlich ihrer Funktion in eine Ladungserzeugungsschicht und eine Ladungstransportschicht getrennt werden. Ferner kann zwischen der photoempfindlichen Schicht und dem Träger eine Zwischenschicht, die beispielsweise aus einem organischen Harz besteht, bereitgestellt werden, um beispielsweise eine Injektion von Ladungsträgern aus der photoempfindlichen Schicht zu dem Träger zu verhindern oder das Haftvermögen der photoempfindlichen Schicht an dem Träger zu verbessern. Die Ladungserzeugungsschicht kann gebildet werden, indem mindestens eines der bekannten Azo-Pigmente, Chinon-Pigmente, Chinocyanin-Pigmente, Perylen-Pigmente, Indigo-Pigmente, Bisbenzimidazol-Pigmente, Chinacridon-Pigmente, Azulen-Verbindungen, die in der Offengelegten Japanischen Patentanmeldung (Kokai) Nr. 165263/82 offenbart sind, metallfreien Phthalocyanin-Pigmente, metallionhaltigen Phthalocyanin-Pigmente usw. als Ladung erzeugende Substanz unter Verwendung eines organischen Lösungsmittels in einem Bindemittelharz wie z. B. Polyester, Polystyrol, Polyvinylbutyral, Polyvinylpyrrolidon, Methylcellulose, Polyacrylsäureestern, Celluloseestern usw. dispergiert wird, worauf die Dispersion aufgetragen wird. Die Dispersion enthält 20 bis 300 Masseteile des Bindemittelharzes pro 100 Masseteile der Ladung erzeugenden Substanz. Die erwünschte Dicke der Ladungserzeugungsschicht liegt im Bereich von 0,01 bis 1,0 um.

Die Ladungstransportschicht kann gebildet werden, indem positive Löcher transportierende Substanzen wie z. B. Verbindungen, die beispielsweise in der Hauptkette oder der Seitenkette polycyclische aromatische Verbindungen wie z. B. Anthracen, Pyren, Phenanthren, Coronen usw. haben, oder Verbindungen, die eine stickstoffhaltige cyclische Verbindung wie z. B. Indol, Oxazol, Isooxazol, Thiazol, Imidazol, Pyrazol, Oxadiazol, Pyrazolin, Thiadiazol, Triazol usw. haben, oder Hydrazonverbindungen usw. unter Verwendung eines organischen Lösungsmittels in einem Bindemittelharz wie z. B. Polycarbonat, Polymethacrylsäureester, Polyacrylat, Polystyrol, Polyester, Polysulfon, Styrol-Acrylnitril-Copolymer, Styrol-Methylmethacrylat-Copolymer usw. dispergiert werden, worauf die Dispersion aufgetragen wird. Die Dicke der Ladungstransportschicht beträgt 5 bis 20 um.

Die Ladungserzeugungsschicht und die Ladungstransportschicht können in irgendeiner gewünschten Reihenfolge des Laminierens aufeinandergebracht werden. Das Laminieren kann beispielsweise in der Reihenfolge der Ladungserzeugungsschicht und der Ladungstransportschicht von der Trägerseite aus oder in der dieser entgegengesetzten Reihenfolge des Laminierens durchgeführt werden.

Die vorstehend erwähnte photoempfindliche Schicht ist nicht auf die vorstehende beschränkt, sondern es ist auch möglich, eine photoempfindliche Schicht anzuwenden, bei der ein Charge-transfer-Komplex, der aus Polyvinylcarbazol und Trinitrofluorenon besteht und in IBM Journal of the Research and Development, Januar-Nummer (1971), Seiten 75-98, offenbart ist, eine Verbindung auf Pyryliumbasis, die in den US-Patentschriften 4 395 183; 4 327 169 usw. offenbart ist, oder eine bekannte anorganische photoleitfähige Substanz wie z. B. Zinkoxid, Cadmiumsulfid usw., die in Harz dispergiert ist, ein aufgedampfter Film aus Selen, Selen-Tellur usw. oder ein Film, der aus einer Siliciumatome enthaltenden amorphen Substanz besteht, verwendet wird. Unter ihnen weist ein photoleitfähiges Element, bei dem ein Film verwendet wird, der aus einer amorphen Substanz, die Siliciumatome enthält, als photoempfindlicher Substanz besteht, einen Träger der vorliegenden Erfindung wie vorstehend beschrieben und beispielsweise eine Ladungsinjektion verhindernde Schicht, eine photoempfindliche Schicht (photoleitfähige Schicht) und eine Oberflächenschutzschicht auf, die nacheinander auf den Träger aufgebracht sind.

Die Ladungsinjektion verhindernde Schicht besteht beispielsweise aus amorphem Silicium, das Wasserstoffatome (H) und/oder Halogenatome (X) enthält, [a-Si(H, X)] und enthält als Substanz zur Steuerung der Leitfähigkeit Atome von Elementen, die zu der Gruppe III oder V des Periodensystems gehören und in einem Halbleiter üblicherweise als Fremdstoffe verwendet werden. Die Dicke der Ladungsinjektion verhindernden Schicht beträgt vorzugsweise 0,01 bis 10 um, insbesondere 0,05 bis 8 um und vor allem 0,07 bis 5 um.

Anstelle der Ladungsinjektion verhindernden Schicht kann eine Sperrschicht bereitgestellt werden, die aus einer elektrisch isolierenden Substanz wie z. B. Al&sub2;O&sub3;, SiO&sub2;, Si&sub3;N&sub4;, Polycarbonat usw. besteht, oder eine Ladungsinjektion verhindernde Schicht und eine Sperrschicht können zusammen verwendet werden.

Die photoempfindliche Schicht besteht aus a-Si, das beispielsweise Wasserstoffatome und Halogenatome hat, und enthält gewünschtenfalls eine Substanz zur Steuerung der Leitfähigkeit, die von der in der Ladungsinjektion verhindernden Schicht verwendeten verschieden ist. Die Dicke der photoempfindlichen Schicht beträgt vorzugsweise 1 bis 100 um, insbesondere 1 bis 80 um und vor allem 2 bis 50 um.

Die Oberflächenschutzschicht besteht beispielsweise aus Si1-xCx (0 < x < 1), Si1-xNx (0 < x < 1) usw., und die Schichtdicke beträgt vorzugsweise 0,01 bis 10 um, insbesondere 0,02 bis 5 um und vor allem 0,04 bis 5 um.

Eine photoleitfähige Schicht, die aus a-Si(H, X) usw. besteht, kann durch bisher bekannte Vakuumaufdampfungsverfahren unter Anwendung von elektrischen Entladungserscheinungen wie z. B. Glimmentladung, Zerstäubung, Ionenplattierung usw. gebildet werden.

Ein Beispiel für ein Verfahren zur Herstellung eines photoleitfähigen Elements durch Glimmentladungs-Zersetzung wird nachstehend beschrieben.

In Fig. 9 ist eine Vorrichtung zur Herstellung eines photoleitfähigen Elements durch Glimmentladungs-Zersetzung gezeigt, bei der ein Abscheidungsbehälter 21 eine Bodenplatte 22, eine Behälterwand 23 und eine Deckplatte 24 aufweist und in dem Abscheidungsbehälter 21 kathodische Elektroden 25 angeordnet sind. In der Mitte zwischen den kathodische Elektroden 25 ist ein Aluminiumlegierung-Träger 26 der vorliegenden Erfindung angeordnet, auf dem ein abgeschiedener a-Si(H, X)-Film zu bilden ist und der als anodische Elektrode dient.

Um auf dem Träger in der Vorrichtung den abgeschiedenen a-Si (H,X)-Film zu bilden, werden zuerst ein Einströmventil 27 für gasförmige Ausgangsmaterialien und ein Ausströmventil 28 geschlossen, und ein Evakuierventil 29 wird geöffnet, um das Gas aus dem Abscheidungsbehälter 21 auszupumpen. Wenn der Anzeigewert an einem Vakuummeßgerät 30 einen Druck von 5·10&supmin;&sup6; Torr erreicht hat, wird das Einströmventil 27 für gasförmigen- Ausgangsmaterialien geöffnet, um eine Mischung von gasförmigen Ausgangsmaterialien zuzuführen, die beispielsweise SiH&sub4;-Gas, Si&sub2;H&sub6;-Gas, SiF&sub4;-Gas usw. enthält und durch einen Durchflußregler 31 auf ein gewünschtes Mischungsverhältnis eingestellt worden ist, und der Öffnungsgrad des Evakuierventils 29 wird eingestellt, während der Anzeigewert an dem Vakuummeßgerät 30 beobachtet wird, so daß der Druck in dem Abscheidungsbehälter 21 einen gewünschten Wert erreichen kann. Nachdem bestätigt worden ist, daß die Oberflächentemperatur des walzenförmigen Trägers 26 durch eine Heizvorrichtung 32 auf einen vorgeschriebenen Wert eingestellt worden ist, wird eine Hochfrequenz-Stromquelle 33 auf eine gewünschte Leistung eingestellt, um in dem Abscheidungsbehälter 21 eine Glimmentladung zu erzeugen.

Während der Abscheidung der Schicht wird der walzenförmige Träger 26 durch einen Motor 34 mit einer konstanten Drehzahl gedreht, um eine gleichmäßige Bildung der Schicht sicherzustellen. In dieser Weise kann auf dem walzenförmigen Träger 26 der abgeschiedene a-Si(H, X)-Film gebildet werden.

Die vorliegende Erfindung wird nachstehend unter Bezugnahme auf Beispiele näher beschrieben.

VERSUCHSBEISPIEL

Starre Kugeln aus nichtrostendem Stahl (SUS) mit einem Durchmesser von 0,6 mm wurden einer chemischen Behandlung zum Ätzen der Oberfläche unterzogen, wodurch darauf Unebenheiten gebildet wurden. Das Behandlungsmittel für diesen Zweck kann eine Säure wie z. B. Salzsäure, Flußsäure, Schwefelsäure, Chromsäure usw. oder ein Alkali wie z. B. Natriumhydroxid usw. sein. Bei dem vorliegenden Versuchsbeispiel wurden Salzsäurelösungen verwendet, die ein Volumenteil konzentrierte Salzsäure und 1 bis 4 Volumenteile reines Wasser enthielten, und die Unebenheiten der Gestalt wurden in der gewünschten Weise eingestellt, indem die Eintauchzeit der starren Kugeln, die Säurekonzentration usw. verändert wurden.

Die Oberflächen von Zylindern aus Aluminiumlegierung mit einem Durchmesser von 60 mm und einer Länge von 298 mm wurden in einer Vorrichtung, die in Fig. 7 und 8 gezeigt ist, mit den auf diese Weise behandelten starren Kugeln (Grad bzw. Tiefe der Unebenheiten der Oberfläche Rmax = 5 um) behandelt, um an der Zylinderoberfläche Unebenheiten zu bilden.

Beziehungen zwischen dem Radius R' der Kugeln, der Fallhöhe h, dem Krümmungsradius R der Eindruckvertiefungen und ihrer Weite r wurden untersucht. Es wurde gefunden, daß der Krümmungsradius R der Eindruckvertiefungen und ihre Weite r von dem Radius R' der Kugeln und der Fallhöhe h abhängen. Ferner wurde gefunden, daß der Abstand der Eindruckvertiefungen (Dichte der Eindruckvertiefungen oder Abstand der Unebenheiten) durch Einstellen bzw. Steuern der Drehzahl oder Umlauffrequenz des Zylinders oder der Zahl der fallenden starren Kugeln auf einen gewünschten Wert eingestellt werden konnte. Ferner wurde gefunden, daß in den Eindruckvertiefungen gemäß den Unebenheiten der Oberfläche oder der Oberflächenrauhigkeit der starren Kugeln feine Unebenheiten gebildet wurden.

Beispiele 1 bis 6 und Vergleichsbeispiel 1

Die Oberflächen von Zylindern aus Aluminiumlegierung wurden in derselben Weise wie in dem Versuchsbeispiel behandelt, außer daß r/R auf die in Tabelle 1 angegebenen Werte eingestellt wurde, und als Träger für ein elektrophotographisches photoleitfähiges Element verwendet.

Gleichzeitig wurden die einzelnen oberflächenbehandelten Zylinder visuell und mit einem Metallmikroskop auf Oberflächenfehler (ausgehöhlte Schrammen, Risse, streifenförmige Schrammen usw.), die nach der Oberflächenbehandlung gebildet worden waren, geprüft. Ergebnisse sind in Tabelle 1 gezeigt.

Dann wurden auf den in dieser Weise oberflächenbehandelten Zylindern aus Aluminiumlegierung durch das vorstehend näher beschriebene Glimmentladungs-Zersetzungsverfahren in einer Vorrichtung zur Herstellung eines photoleitfähigen Elements, wie sie in Fig. 9 gezeigt ist, unter den folgenden Bedingungen Schichten abgeschieden, und dadurch wurden photoleitfähige Elemente hergestellt.

Reihenfolge des Laminierens von abgeschiedenen Schichten Verwendete gasförmige Ausgangsmaterialien Schichtdicke (1) Ladungsinjektion verhindernde Schicht (2) Photoleitfähige Schicht (3) Oberflächenschutzschicht

Die jeweiligen auf diese Weise hergestellten photoleitfähigen Elemente wurden in einem Prüfgerät (modifizierter Laserstrahldrucker LBP-X, hergestellt durch Canon K.K.) bereitgestellt und einer Bilderzeugung unterzogen, um eine Gesamtbewertung in bezug auf Interferenzstreifen, schwarze Punkte, Bildfehler usw. durchzuführen. Die Ergebnisse sind in Tabelle 1 gezeigt.

Zum Vergleich wurde ein photoleitfähiges Element in derselben Weise wie vorstehend aus einem Zylinder aus Aluminiumlegierung hergestellt, dessen Oberfläche durch das herkömmliche Diamant- Zerspanungswerkzeug behandelt worden war, und ebenfalls der Gesamtbewertung unterzogen.

Tabelle 1
Beispiel Nr. Zahl der Fehler, die während der Oberflächenbehandlung erzeugt wurden Ergebnisse der Gesamtbewertung (*) in bezug auf Interferenzstreifen, schwarze Flecken und Bildfehler Beispiel Vergl.beispiel zahlreich

(*): x Praktisch nicht akzeptierbar

Etwas schlecht bei der praktischen Anwendung für die Aufzeichnung von Bildern mit hoher Qualität

Praktisch akzeptierbar für die Aufzeichnung von Bildern mit hoher Qualität

Praktisch gut für die Aufzeichnung von Bildern mit hoher Qualität

Praktisch sehr gut für die Aufzeichnung von Bildern mit hoher Qualität

Bei den Trägern für die photoleitfähigen Elemente der Beispiele 1 bis 6 lag R in einem Bereich von 0,1 bis 2,0 mm und lag r in einem Bereich von 0,02 bis 0,5 mm.

Beispiele 7 bis 10 und Vergleichsbeispiel 2

Photoleitfähige Elemente wurden in derselben Weise wie in Beispiel 5 hergestellt, außer daß starre Kugeln mit den in Tabelle 2 gezeigten Graden bzw. Tiefen der Unebenheiten der Oberfläche (Rmax) verwendet wurden. Die auf diese Weise erhaltenen photoleitfähigen Elemente wurden in derselben Weise wie in Tabelle 1 bewertet, und die Ergebnisse sind in Tabelle 2 gezeigt.

Tabelle 2
Beispiel Nr. Zahl der Fehler, die während der Oberflächenbehandlung erzeugt wurden Ergebnisse der Gesamtbewertung (*) in bezug auf Interferenzstreifen, schwarze Flecken und Bildfehler Beispiel Vergl.beispiel Viele schwarze Flecken wurden erzeugt (*): Der Bewertungsmaßstab mit x, , , und ist derselbe wie in Tabelle 1.

Beispiele 11 und 12

Photoleitfähige Elemente wurden in derselben Weise wie in Beispielen 1 bis 6 hergestellt, außer daß die Schichtbildung in der nachstehend angegebenen Weise durchgeführt wurde. Das heißt, zwei photoleitfähige Elemente wurden aus Zylindern aus Aluminiumlegierung hergestellt, deren Oberfläche einen r/R-Wert von 0,2 (Beispiel 11) bzw. 0,1 (Beispiel 12) hatte.

Zuerst wurde unter Verwendung einer Beschichtungslösung von copolymerisiertem Polyamidharz in einem Lösungsmittel eine Zwischenschicht mit einer Schichtdicke von 1 um gebildet.

Dann wurde auf die Zwischenschicht eine Beschichtungslösung, die Kupferphthalocyanin vom ε-Typ und als Bindemittelharz Butyralharz enthielt, aufgebracht, um eine Ladungserzeugungsschicht mit einer Schichtdicke von 0,15 um zu bilden, und dann wurde auf die Ladungserzeugungsschicht eine Beschichtungslösung, die eine Hydrazonverbindung und als Bindemittelharz ein Styrpl-Methylmethacrylat-Copolymerharz enthielt, aufgebracht, um eine Ladungstransportschicht mit einer Schichtdicke von 16 um zu bilden, wodurch die photoleitfähigen Elemente hergestellt wurden.

Die auf diese Weise erhaltenen photoleitfähigen Elemente wurden in derselben Weise wie in Beispielen 1 bis 6 einer Gesamtbewertung unterzogen, und es wurde gefunden, daß die der Beispiele 11 und 12 praktisch verwendbar waren und insbesondere das photoleitfähige Element von Beispiel 11 ausgezeichnet war.

Der oberflächenbehandelte Metallkörper der vorliegenden Erfindung kann durch Oberflächenbehandlung ohne spanende Bearbeitung, die dazu neigt, Oberflächenfehler zu entwickeln, die die gewünschten Anwendungseigenschaften verschlechtern, erhalten werden, und wenn der vorliegende Metallkörper als Träger eines photoleitfähigen Elements verwendet wird, kann ein photoleitfähiges Element erhalten werden, das in Bezug auf die Gleichmäßigkeit der Schichten und die Gleichmäßigkeit der elektrischen und optischen Eigenschaften und der Photoleitfähigkeitseigenschaften ausgezeichnet ist. Ein Bild mit hoher Qualität, das weniger Bildfehler hat, kann besonders in dem Fall erhalten werden, daß das photoleitfähige Element als elektrophotographisches photoempfindliches Element verwendet wird. Im einzelnen kann im Fall der Anwendung eines interferenzfähigen Lichts wie z. B. eines Laserstrahls usw. ein Bild ohne Interferenzstreifen erhalten werden.

Durch starre Kugeln, deren Oberflächen uneben bzw. unregelmäßig gemacht worden sind, können in Eindruckvertiefungen feine Unebenheiten gebildet werden, und auf diese Weise können genauere Unebenheiten gebildet werden, wodurch auch aufgrund der Streuungswirkung ein ausgezeichnetes Bild ohne Interferenz streifen erzeugt werden kann.


Anspruch[de]

1. Photoleitfähiges Element der Art, die auf einem Träger (1) eine photoleitfähige Schicht aufweist, wobei der Träger (1) ein oberflächenbehandelter Metallkörper ist, der darauf gebildete Unebenheiten hat, dadurch gekennzeichnet, daß die Unebenheiten aus einer Vielzahl von sphärischen Eindruckvertiefungen (4) bestehen, die selbst auch feine Unebenheiten (5) haben, die in ihnen gebildet sind.

2. Photoleitfähiges Element nach Anspruch 1, bei dem die Vertiefungen (4) sphärisch sind.

3. Photoleitfähiges Element nach Anspruch 1 oder 2, bei dem die Vertiefungen alle im wesentlichen denselben Krümmungsradius und dieselbe Weite haben.

4. Photoleitfähiges Element nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem der Krümmungsradius R und die Weite r der Vertiefungen (4) in einem Bereich von 0,035 ≤ r/R ≤ 0,5 liegen.

5. Photoleitfähiges Element nach einem der Ansprüche 1 bis 4, bei dem der Krümmungsradius R der Vertiefungen (4) in einem Bereich von 0,1 mm ≤ R ≤ 2,0 mm liegt.

6. Photoleitfähiges Element nach einem der Ansprüche 1 bis 4, bei dem die Weite r der Vertiefungen (4) in einem Bereich von 0,02 mm ≤ r ≤ 0,5 mm liegt.

7. Photoleitfähiges Element nach einem der Ansprüche 1 bis 5, bei dem die Tiefen der feinen Unebenheiten (5) in den sphärischen Eindruckvertiefungen in einem Bereich von 0,5 bis 20 um liegen.

8. Photoleitfähiges Element nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem das Element zylinderförmig ist.

9. Photoleitfähiges Element nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem der Träger aus Aluminiumlegierung besteht.

10. Photoleitfähiges Element nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem der Träger ein Zylinder aus einer Aluminiumlegierung ist.

11. Photoleitfähiges Element nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem die photoleitfähige Schicht eine organische photoleitfähige Substanz enthält.

12. Photoleitfähiges Element nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem die photoleitfähige Schicht eine Ladungserzeugungsschicht und eine Ladungstransportschicht enthält.

13. Photoleitfähiges Element nach Anspruch 12, bei dem die Dicke der Ladungserzeugungsschicht 0,01 bis 1,0 u beträgt.

14. Photoleitfähiges Element nach Anspruch 12, bei dem die Dicke der Ladungstransportschicht 5 bis 20 u beträgt.

15. Photoleitfähiges Element nach Anspruch 12, bei dem die Ladungserzeugungsschicht aus einer Mischung von 20 bis 300 Masseteilen eines Bindemittels pro 100 Masseteile einer Ladung erzeugenden Substanz besteht.

16. Photoleitfähiges Element nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem die photoleitfähige Schicht aus einem amorphen Silicium besteht.

17. Photoleitfähiges Element nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem zwischen dem Träger und der photoleitfähigen Schicht eine Ladungsinjektion verhindernde Schicht angeordnet ist.

18. Photoleitfähiges Element nach Anspruch 17, bei dem die Ladungsinjektion verhindernde Schicht aus einem amorphen Silicium besteht, das Wasserstoffatome und/oder Halogenatome enthält.

19. Photoleitfähiges Element nach Anspruch 18, bei dem die Ladungsinjektion verhindernde Schicht mindestens einen Vertreter von Elementen der Gruppe III oder der Gruppe V des Periodensystems enthält.

20. Photoleitfähiges Element nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem zwischen dem Träger und der photoleitfähigen Schicht eine Sperrschicht angeordnet ist.

21. Photoleitfähiges Element nach Anspruch 20, bei dem die Sperrschicht aus einer elektrisch isolierenden Substanz besteht.

22. Photoleitfähiges Element nach Anspruch 20, bei dem die Sperrschicht aus einer Substanz besteht, die aus der Gruppe ausgewählt ist, die aus Al&sub2;O&sub3;, SiO&sub2;, Si&sub3;N&sub4; und Polycarbonat besteht.

23. Photoleitfähiges Element nach Anspruch 17, bei dem die Dicke der Ladungsinjektion verhindernden Schicht 0,01 bis 10 u beträgt.

24. Photoleitfähiges Element nach Anspruch 16, bei dem das amorphe Silicium durch das Glimmentladungsverfahren hergestellt wird.

25. Photoleitfähiges Element nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem sich auf dem photoleitfähigen Element eine Oberflächenschutzschicht befindet.

26. Photoleitfähiges Element nach Anspruch 25, bei dem die Dicke der Oberflächenschutzschicht 0,01 bis 10 u beträgt.

27. Photoleitfähiges Element nach Anspruch 25, bei dem die Oberflächenschutzschicht aus einer Substanz besteht, die aus der Gruppe ausgewählt ist, die aus SixC1-x, SixN1-x und SixO1-x (0 < x < 1) besteht.

28. Photoleitfähiges Element nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem die Dicke der photoleitfähigen Schicht 1 bis 100 u beträgt.

29. Verfahren nach Anspruch 29, bei dem das photoleitfähige Element einer Information tragenden elektromagnetischen Welle ausgesetzt wird, um ein elektrostatisches Bild zu erzeugen, wobei die elektromagnetische Welle aus einem Laserstrahl besteht.

31. Verfahren nach Anspruch 29 oder 30, bei dem ferner das erzeugte entwickelte Bild nach der Entwicklung übertragen wird.

32. Verfahren nach Anspruch 31, bei dem ferner die Oberfläche des photoleitfähigen Elements nach der Übertragung gereinigt wird.

33. Verfahren nach Anspruch 32, bei dem die Reinigung mit einer Rakel durchgeführt wird.







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