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Strahlungsmeßvorrichtung und Verfahren zu deren Herstellung - Dokument DE4418391A1
 
PatentDe  


Dokumentenidentifikation DE4418391A1 01.12.1994
Titel Strahlungsmeßvorrichtung und Verfahren zu deren Herstellung
Anmelder Hitachi Medical Corp., Tokio/Tokyo, JP
Erfinder Yoshida, Minoru, Tokio/Tokyo, JP;
Kobayashi, Hiromi, Ryugasaki, Ibaraki, JP
Vertreter Strehl, P., Dipl.-Ing. Dipl.-Wirtsch.-Ing.; Schübel-Hopf, U., Dipl.-Chem. Dr.rer.nat.; Groening, H., Dipl.-Ing.; Lang, G., Dipl.-Phys.; Rasch, M., Dipl.-Ing. Univ.; Frhr. von Brandis, H., Dipl.-Phys.Univ., Pat.-Anwälte, 80538 München
DE-Anmeldedatum 26.05.1994
DE-Aktenzeichen 4418391
Offenlegungstag 01.12.1994
Veröffentlichungstag im Patentblatt 01.12.1994
IPC-Hauptklasse G01T 1/202
IPC-Nebenklasse G01N 23/083   
Zusammenfassung Ein Szintillator (1) setzt auf ihn auffallende Strahlung in Licht um, die durch einen photoelektrischen Wandler (10) in ein elektrisches Signal umgewandelt wird. Zwischen dem Szintillator und dem photoelektrischen Wandler ist eine lichtdurchlässige Kleberschicht (9) angeordnet, die mehrere kugelförmige, lichtdurchlässige Abstandshalter (12) enthält, die die Dicke der Kleberschicht aufweisen, wodurch der Szintillator und der photoelektrische Wandler so miteinander verklebt sind, daß der Abstand zwischen ihnen gleichmäßig ist und dem Durchmesser der Abstandshalter entspricht.

Beschreibung[de]

Die Erfindung betrifft eine Strahlungsmeßvorrichtung und ein Verfahren zu deren Herstellung, und spezieller betrifft sie eine Strahlungsmeßvorrichtung, die zur Verwendung mit einem Röntgentomographen geeignet ist, sowie ein Verfahren zu deren Herstellung.

Die derzeit zur Verfügung stehende Strahlungsmeßvorrichtung, wie sie bei Röntgentomographen verwendet wird, weist einen Szintillator an Stelle eines herkömmlichen Detektors mit einer Xe-Ionisationskammer auf, der die einfallende Strahlung in Licht umsetzt, und sie weist einen photoelektrischen Wandler auf, der das Licht vom Szintillator in elektrische Signale umwandelt. Diese Komponenten werden durch einen durchsichtigen Kleber fest miteinander verbunden. Dieser Detektor wird allgemein als Strahlungs-Festkörperdetektor bezeichnet, der für sein hohes S/R-Verhältnis (Signal/ Rauschsignal-Verhältnis) bekannt ist.

Genauer gesagt, werden auf der Oberfläche eines Halbleitersubstrats, auf dem feldförmig angeordnete Photodioden (photoelektrische Wandler) ausgebildet sind, mittels des Klebers Szintillatoren angeordnet, die jeweils einer Photodiode entsprechen und die durch Trennplatten voneinander getrennt sind.

Bei einer Strahlungsmeßvorrichtung mit diesem Aufbau geht jedoch die Gleichmäßigkeit des Ausgangssignals von jeder Diode wegen Schwankungen der Szintillatoranordnungs-Ausrichtung in bezug auf das Halbleitersubstrat und wegen Schwankungen der Dicke der durchsichtigen Kleberschicht zwischen dem Szintillator und dem Halbleitersubstrat verloren.

Anders gesagt, schwankt die lineare Charakteristik des Szintillators (Charakteristik für die von einer Änderung des Strahlungsenergiespektrums abhängige Empfindlichkeit) abhängig vom Einfallswinkel der einfallenden Strahlung. Diese Charakteristik ist bei einem Szintillator aus einem polykristallinen Sinterstoff (nachfolgend als Keramikszintillator bezeichnet) ausgeprägter als bei einem einkristallinen Szintillator.

Der Kleber hat nicht nur die Funktion des Befestigens der Szintillatoren am Halbleitersubstrat, sondern er hat auch die Funktion des Erleichterns des Einleitens des von den Szintillatoren erzeugten Lichts in die Photodioden. Dies erfordert es, daß sowohl die Anordnungsausrichtung der Szintillatoren in bezug auf die einzelnen Photodioden als auch die optischen Eigenschaften des Klebers gleichmäßig sind.

Die Fluideigenschaft des Klebers macht es jedoch schwer, die Kleberschicht über die gesamte Fläche gleichmäßig auszugestalten, wenn die Szintillatoren durch den Kleber mit dem Halbleitersubstrat verbunden werden. Dies wiederum bewirkt Schwankungen der optischen Eigenschaften des Klebers für jede Photodiode.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Strahlungsmeßvorrichtung mit gleichmäßiger Dicke der Kleberschicht zu schaffen. Der Erfindung liegt weiterhin die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zum Herstellen einer solchen Strahlungsmeßvorrichtung zu schaffen.

Die Erfindung ist für die Vorrichtung durch die Lehre von Anspruch 1 sowie für das Verfahren durch die Lehren der nebengeordneten Ansprüche 8, 10 und 11 gegeben.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung zeichnet sich dadurch aus, daß in der Kleberschicht Abstandshalter mit im wesentlichen gleicher Abmessung in Dickenrichtung der Kleberschicht vorhanden sind. Die erfindungsgemäßen Verfahren unterscheiden sich wie folgt voneinander. Beim Verfahren gemäß Anspruch 8 wird ein Kleber mit den Abstandshaltern zwischen den Szintillator und den photoelektrischen Wandler gegeben, und diese beiden Teile werden zusammengedrückt. Beim Verfahren gemäß Anspruch 10 werden zunächst die Abstandshalter mit dem einen der beiden genannten Teile verbunden, dann wird ein Kleber aufgetragen, und dann wird das andere Teil aufgedrückt. Beim Verfahren gemäß Anspruch 11 werden wiederum die Abstandshalter mit einem der beiden Teile verbunden, aber dann wird der Kleber auf das andere Teil aufgetragen, woraufhin die beiden Teile zusammengedrückt werden.

Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist die Anordnungsausrichtung der Szintillatoren gleichmäßig. Außerdem sind die optischen Eigenschaften der Kleberschicht und die Ausgangscharakteristik des photoelektrischen Wandlers gleichmäßig.

Die vorstehend genannten Aufgaben und Merkmale der Erfindung werden durch die folgende Beschreibung unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen deutlich.

Fig. 1 ist eine perspektivische Ansicht einer Strahlungsmeßvorrichtung gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung;

Fig. 2 ist ein Querschnitt entlang der Linie II-II&min; in Fig. 1;

Fig. 3 ist ein Querschnitt durch wesentliche Teile einer Strahlungsmeßvorrichtung zum Erläutern eines erfindungsgemäßen Herstellverfahrens;

Fig. 4 ist eine teilweise vergrößerte Ansicht von Fig. 1;

Fig. 5 ist eine teilweise vergrößerte, Fig. 4 entsprechende Ansicht eines anderen Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Strahlungsmeßvorrichtung; und

Fig. 6 ist eine teilweise vergrößerte, Fig. 4 entsprechende Ansicht noch eines anderen Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Strahlungsmeßvorrichtung.

Gemäß Fig. 1 weist eine Strahlungsmeßvorrichtung gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung eine gedruckte Schaltungsplatte 4, einen photoelektrischen Wandler 10, der auf der Oberfläche der gedruckten Schaltungsplatte 4 ausgebildet ist, und einen Szintillator 1 auf, der auf der Oberfläche des photoelektrischen Wandlers 10 ausgebildet ist, wobei eine Kleberschicht 9 dazwischen liegt. Der Szintillator 1 weist mehrere Szintillatorelemente 1a, 1b, . . . , 1n auf, die jeweils über rechteckigen Querschnitt verfügen, durch Unterteilungsplatten 2 in y-Richtung unterteilt sind und die sich in x-Richtung so erstrecken, daß sie Seite an Seite angeordnet sind. Die Kleberschicht 9 weist mehrere Kleberschichtelemente 9a, 9b, . . . , 9n auf, die durch die Unterteilungsplatten 2 unterteilt sind, wie in Fig. 2 dargestellt, und die dazu verwendet werden, den Szintillator 1 und den photoelektrischen Wandler 10 miteinander zu verbinden. Mehrere kugelförmige Abstandsstücke 12 gleicher Größe sind in jedes der Kleberschichtelemente 9a, 9b, . . . , 9n eingebettet, wie in Fig. 4 dargestellt. Der photoelektrische Wandler 10 weist, wie es in Fig. 2 dargestellt ist, ausgehend von der Seite der gedruckten Schaltungsplatte 4, eine Elektrode 15, ein aus einem n-Halbleiter wie Silizium bestehendes Substrat 3, eine p-Fremdstoffdiffusionsschicht 5, eine Elektrode 6 und eine Reflexionen verhindernde Schicht 7 auf, die aus einer Siliziumoxidschicht besteht. Die Fremdstoffdiffusionsschicht 5, die Elektrode 6 und die Reflexionen verhindernde Schicht 7 weisen mehrere Fremdstoffdiffusionsschicht-Elemente 5a, 5b, . . . , 5n, mehrere Elektrodenelemente 6a, 6b, 6n sowie mehrere Reflexionen verhindernde Schichtelemente 7a, 7b, . . . , 7n auf. Das Substrat 3 und die Fremdstoffdiffusionsschicht 5 bilden eine Photodiode.

Die Szintillatorelemente 1a, 1b, . . . , 1n können aus einem Einkristall wie einem solchen aus NaJ, CsJ, CdWO&sub4;, ZnWO&sub4; und BGO oder aus einem keramischen Szintillator wie Gd&sub2;O&sub2;S : Pr, Gd&sub2;O&sub2;S : Eu und Gd&sub2;O&sub3; : Eu bestehen. Diese Szintillatoren sind ungefähr 1-5 mm dick.

Die Kleberschichtelemente 9a, 9b, . . . , 9n weisen hohe Transparenz und hohes Lichtdurchlaßvermögen auf, und sie können aus einem Kunststoff wie einer Acrylverbindung, Epoxid oder Colophonium mit einem Brechungsindex von 1,5 bis 2,0 bestehen. Diese Kleberschichtelemente werden vorzugsweise dünn ausgebildet. Zu diesem Zweck kann vorzugsweise ein Verdünnungsmittel verwendet werden, um die Viskosität zu erniedrigen.

Das Verbinden des photoelektrischen Wandlers 10 und des Szintillators 1 erfolgt so, daß das Szintillatorelement 1 noch nicht unterteilt ist, wie es in Fig. 3 dargestellt ist. Danach wird der Szintillator 1 unter Verwendung einer Schneideinrichtung mit Gräben versehen, die bis in einen Teil des photoelektrischen Wandlers 10 reichen. Unterteilungsplatten 2 werden in diese Gräben eingesetzt, um eine Struktur zu bilden, wie sie in Fig. 2 dargestellt ist.

Beim Verbinden des noch nicht unterteilten Szintillators 1 mit dem Licht-Elektrizität-Wandler 10 wird ein Klebemittel auf die Oberfläche eines dieser Teile aufgetropft, und das andere wird auf die Oberfläche aufgesetzt, die mit dem Kleber versehen ist. Dann werden der Szintillator 1 und der photoelektrische Wandler 10 gegeneinander gepreßt, damit sich der Kleber gleichmäßig verteilt.

Wenn Röntgenstrahlung aus der in Fig. 1 dargestellten Richtung in den Szintillator 1 eintritt, wandeln die Szintillatorelemente 1a, 1b, . . . , 1n die einfallende Röntgenstrahlung in Licht um, das dann durch die Kleberschichtelemente 9a, 9b, . . . , 9n und die Reflexionen verhindernden Schichtelemente 7a, 7b, . . . , 7n läuft und auf die Fremdstoffdiffusionsschichtelemente 5a, 5b, . . . , 5n trifft, die Teile der Photodiode bilden. Die Photodiode erzeugt elektrische Ladungen abhängig von der empfangenen Menge einfallenden Lichts, was bewirkt, daß zwischen den Elektroden 6 und 15 ein Strom fließt. Dieser Strom entspricht der in den Szintillator 1 eingedrungenen Menge an Röntgenstrahlung.

Wie es in Fig. 4 dargestellt ist, sind in jedem der Kleberschichtelemente 9a, 9b, . . . , 9n mehrere kugelförmige Abstandsstücke 12 angeordnet. Wenn der nicht unterteilte Szintillator 1 und der photoelektrische Wandler 10 unter Druck zusammengehalten werden, wird der Kleber, der die Kleberschicht 9 zwischen ihnen bildet, zum Rand der Kontaktflächen herausgedrückt, so daß der Abstand zwischen dem Szintillator 1 und dem photoelektrischen Wandler 10, d. h. die Dicke der Kleberschichtelemente 9a, 9b, . . . , 9n, durch die Größe der Abstandshalter 12 festgelegt wird. Anders gesagt, entspricht die Dicke der Klebemittelschicht der Größe der Abstandshalter 12.

Der Abstandshalter 12 kann aus einem vernetzten Polymer aus einem hochmolekularen Harz mit hoher Transparenz bestehen, wie aus Acrylverbindungen, Epoxid und Divinylbenzol. Im Ergebnis entspricht der Brechungsindex des Abstandshalters 12 beinahe demjenigen der Kleberschichtelemente 9a, 9b, 9n, und seine Härte ist relativ gering, was ein Zerbrechen des photoelektrischen Wandlers 10 verhindert.

Ein idealer Kleber, in den Abstandshalter 12 eingemischt sind, enthält z. B. ein Epoxidharz vom Typ Bisphenol A (Handelsname: Epicoat 819), einen modifizierten Aminepoxidharz- Härter (Handelsname: Epomate B002), ein reagierendes Verdünnungsmittel (Handelsname: Shellbroc) sowie Abstandshalter aus vernetztem Polymerharzdivinylbenzol (Handelsname: Micropearl) im Gewichtsverhältnis 1,0 : 0,75 : 0,25 : 0,015.

Im allgemeinen gehören zu den Optimumsbedingungen für den Kleber geringe Wellenlängenselektivität im Lichtwellenlängenbereich (400-900 nm) des Szintillators 1, eine hohe Transparenz, um für einen hohen Lichttransmissionsfaktor zu sorgen, derselbe Brechungsindex, wie ihn die Abstandshalter 12 aufweisen, der dicht bei dem des Szintillators 1 und der Reflexionen verhindernden Schicht 7 liegt.

Fig. 5 zeigt einen Aufbau, der dem in Fig. 4 dargestellten ähnlich ist, mit der Ausnahme, daß die aus den Kleberschichtelementen 9a, 9b, . . . , 9n bestehende Kleberschicht 9 eine andere Kleberschicht 13 mit Kleberschichtelementen 13a, 13b, . . ., 13n aufweist. Die Kleberschicht 13 dient dazu, die Abstandshalter 12 vorab am Szintillator 1 zu befestigen, damit sie sich nicht bewegen können und gleichmäßig verteilt werden.

Der Kleber, der die Kleberschicht 13 bildet, enthält vorzugsweise Epoxidharz vom Typ Bisphenol A (Handelsname: Epicoat 819), einen modifizierten Aminepoxidharz-Härter (Handelsname: Epomate B002) und ein reagierendes Verdünnungsmittel (Handelsname: Shellbroc) im Gewichtsverhältnis 1.0 : 0,75 : 0,25.

Die Abstandshalter 12 können auf die folgende Weise am Szintillator 1 befestigt werden. Ein Kleber wie eine Acrylverbindung, Epixod oder Colophoniumharz mit hohem Brechungsindex (n = 1,5 bis 2,0) wird mit einem Verdünnungsmittel (organisches Lösungsmittel wie Aceton, Toluol oder Xylol) verdünnt und mit Abstandshaltern 12 vermischt. Der mit Abstandshaltern vermischte verdünnte Kleber wird sehr dünn auf die zu verklebende Fläche des Szintillators 1 entweder durch Auf sprühen, Drucken, Walzbeschichten, Schleuderbeschichten oder unter Verwendung eines Mikrospenders aufgetragen.

Der mit den Abstandshaltern 12 wie vorstehend beschrieben versehene Szintillator 1 wird in einem Elektroofen erwärmt, um das in den Kleberschichtteil 13 eingemischte Verdünnungsmittel (organisches Lösungsmittel wie Aceton, Toluol oder Xylol) zu verdampfen und den Kleber auszuhärten. Das Aushärten des Klebers erfolgt vorzugsweise im Zustand eines Vorabbindens. Das heißt, daß der Kleber nicht vollständig ausgehärtet wird, sondern nur vorabgebunden wird, damit er beim erneuten Erhitzen aushärtet. Wenn z. B. ein Epoxidkleber verwendet wird, werden ein Epoxidharz vom Typ Bisphenol A (Handelsname: Epicoat 819), modifizierter Aminepoxidharz- Härter (Handelsname: Epomate B002), ein Verdünnungsmittel (Toluol) und kugelförmige Abstandshalter aus vernetztem Polymerharzvinylbenzol (Handelsname: Micropearl) im Gewichtsverhältnis 1 : 0,5 : 0,4 : 0,015 vermischt. Die Mischung wird auf den Szintillator aufgesprüht, der dann im Elektroofen erwärmt wird. Um ein Vorabbinden zu erzielen, erfolgt ein Erwärmen auf 60-80°C für 10-5 Minuten. Wie es in Fig. 5 dargestellt ist, soll die Menge des aufzutragenden Klebermaterials dergestalt sein, daß die Dicke der Kleberschicht nicht größer als der Durchmesser der verwendeten Abstandshalter 12 ist.

Fig. 6 zeigt den Fall, daß die Abstandshalter durch die Kleberschicht 13 nicht am Szintillator sondern am photoelektrischen Wandler 10 befestigt sind. Auch in diesem Fall werden ähnliche Wirkungen wie im Fall von Fig. 5 erzielt.

Wie vorstehend beschrieben, wird beim Aufbau dieses Ausführungsbeispiels die Kleberschicht 9, die zwischen das Halbleitersubstrat 3 und den Szintillator 1 eingefügt wird, um sie miteinander zu verbinden, mit Abstandshaltern 12 vermischt, die einen Durchmesser aufweisen, der der Dicke des Kleberschichtteils 9 entspricht.

Daher wird die Dicke der Kleberschicht 9, wenn der Szintillator 1 und der Licht-Elektrizität-Wandler 10 gegeneinander gedrückt werden, wobei ein flüssiger Kleber dazwischen liegt, durch den Durchmesser der Abstandshalter 12 bestimmt.

So weist die Kleberschicht 9 über die gesamte Fläche gleichmäßige Dicke auf, wodurch die Ausrichtungen der verbundenen Szintillatorelemente 9a, 9b, . . . , 9n und die optischen Eigenschaften der Kleberschicht 9 gleichmäßig gehalten werden.

Da sich der Druck zwischen dem Szintillator 1 und dem photoelektrischen Wandler 10 nicht auf einen speziellen Ort konzentriert, sondern da er abhängig von der Anzahl verwendeter Abstandshalter 12 verteilt wird, kann verhindert werden, daß die Oberfläche des photoelektrischen Wandlers 10 zerstört wird.

Während das vorstehende Ausführungsbeispiel kugelförmige Abstandshalter 12 verwendet, ist es auch möglich, Abstandshalter anderer Form zu verwenden, wie stab- oder rohrförmige Abstandshalter, um ähnliche Ziele zu erreichen.

Beim vorstehenden Ausführungsbeispiel sind auf der Oberfläche des Halbleitersubstrats 3 - auf der Photodioden in einem Feld angeordnet sind - Szintillatoren 1 angeordnet, die voneinander durch die Unterteilungsplatten 2 so getrennt sind, daß sie den zugeordneten Photodioden entsprechen, wobei die Kleberschicht 9 zwischen dem Substrat und dem Szintillator angeordnet ist. Die Erfindung kann auch auf andere Anordnungen angewandt werden, bei denen z. B. der Szintillator an der Oberfläche einer Photodiode mit einem einzelnen Element befestigt ist. In diesem Fall können dann, wenn diese Seite an Seite angeordnet werden, ihre Eigenschaften gleichmäßig ausgestaltet werden (insbesondere die Anordnungsausrichtungen der Szintillatoren und die optischen Eigenschaften des Klebers).

Zusammengefaßt ist demgemäß festzustellen, daß es bei einer erfindungsgemäßen Strahlungsmeßvorrichtung möglich ist, daß die Anordnungsausrichtungen der Szintillatorelemente in bezug auf den photoelektrischen Wandler sowie die optischen Eigenschaften des transparenten Klebers, der zum Befestigen der Szintillatoren verwendet wird, gleichmäßig gemacht werden können.

Da es ersichtlich ist, daß gegenüber den vorstehend beschriebenen Einzelheiten viele Änderungen und Modifizierungen vorgenommen werden können, ohne von der Art und dem Geist der Erfindung abzuweichen, ist zu beachten, daß die Erfindung nicht durch die hier beschriebenen Einzelheiten beschränkt ist.


Anspruch[de]
  1. 1. Strahlungsmeßvorrichtung mit:
    1. - mindestens einem Szintillatorelement (1a, 1b, . . . , 1n) zum Umwandeln von Strahlung, die in es einfällt, in Licht;
    2. - einem photoelektrischen Wandler (10) zum Umwandeln des umgesetzten Lichts in ein elektrisches Signal; und
    3. - mindestens einem Kleberschichtelement (9a, 9b, . . . , 9n), das zwischen jedem jeweiligen Szintillatorelement und dem photoelektrischen Wandler angeordnet ist, um diese miteinander zu verbinden;
  2. gekennzeichnet durch
    1. - mehrere Abstandshalter (12), die in der Kleberschicht vorhanden sind und größenmäßig einander in Dickenrichtung des mindestens einen Kleberschichtelements im wesentlichen entsprechen.
  3. 2. Strahlungsmeßvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das mindestens eine Kleberschichtelement (9a, 9b, . . . , 9n) und die Abstandshalter (12) lichtdurchlässig sind.
  4. 3. Strahlungsmeßvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß jeder der Abstandshalter (12) kugelförmig ist.
  5. 4. Strahlungsmeßvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß jeder der Abstandshalter stabförmig oder rohrförmig mit kreisförmigem Querschnitt ist, wobei die Längsrichtung jedes der Abstandshalter im wesentlichen rechtwinklig zur Dickenrichtung des mindestens einen Kleberschichtelements (9a, 9b, . . . , 9n) steht.
  6. 5. Strahlungsmeßvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das mindestens eine Kleberschichtelement (9a, 9b, . . . , 9n) einen Kleberschichtteil (13) aufweist, um die Abstandshalter (12) mit dem Szintillator (1) oder dem photoelektrischen Wandler (10) zu verbinden.
  7. 6. Strahlungsmeßvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der photoelektrische Wandler (10) eine Photodiode und eine Reflexionen verhindernde Schicht (7a, 7b, . . . , 7n) aufweist, die auf der Oberfläche der Photodiode so ausgebildet ist, daß sie das mindestens eine Kleberschichtelement (9a, 9b, . . . , 9n) kontaktiert.
  8. 7. Strahlungsmeßvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Kugeln jeweils einen Durchmesser zwischen 5 µm und 20 µm aufweisen.
  9. 8. Verfahren zum Herstellen einer Strahlungsmeßvorrichtung mit einem Szintillator und einem photoelektrischen Wandler, der mit dem Szintillator verklebt ist, gekennzeichnet durch die folgenden Schritte:
    1. - Auftragen eines Klebers mit mehreren Abstandshaltern mit im wesentlichen gleicher Größe auf der Oberfläche des Szintillators oder des photoelektrischen Wandlers; und
    2. - Gegeneinanderpressen des Szintillators und des photoelektrischen Wandlers, bis der Kleber und die Abstandshalter mit dem Szintillator und dem photoelektrischen Wandler in Kontakt kommen, wodurch diese beiden miteinander verklebt werden.
  10. 9. Verfahren zum Herstellen einer Strahlungsmeßvorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß für die Abstandshalter und den Kleber lichtdurchlässige Materialien verwendet werden und daß die Abstandshalter jeweils einen Durchmesser zwischen 5 µm und 20 µm aufweisen.
  11. 10. Verfahren zum Herstellen einer Strahlungsmeßvorrichtung mit einem Szintillator und einem photoelektrischen Wandler, der mit dem Szintillator verklebt ist, gekennzeichnet durch die folgenden Schritte:
    1. - Befestigen mehrerer im wesentlichen dieselbe Größe aufweisender Abstandshalter unter Verwendung eines ersten lichtdurchlässigen Klebers an der Oberfläche des Szintillators oder des photoelektrischen Wandlers auf solche Weise, daß sie mit dieser Oberfläche in Kontakt stehen;
    2. - Auftragen eines zweiten lichtdurchlässigen Klebers auf dem Szintillator oder dem photoelektrischen Wandler, der die Abstandshalter trägt; und
    3. - Zusammenpressen des Szintillators und des photoelektrischen Wandlers, um die Abstandshalter auch mit dem photoelektrischen Wandler bzw. dem Szintillator in Kontakt zu bringen und um dadurch diese beiden miteinander zu verbinden.
  12. 11. Verfahren zum Herstellen einer Strahlungsmeßvorrichtung mit einem Szintillator und einem photoelektrischen Wandler, der mit dem Szintillator verklebt ist, gekennzeichnet durch die folgenden Schritte:
    1. - Befestigen mehrerer im wesentlichen dieselbe Größe aufweisender Abstandshalter unter Verwendung eines ersten lichtdurchlässigen Klebers an der Oberfläche des Szintillators oder des photoelektrischen Wandlers auf solche Weise, daß sie mit dieser Oberfläche in Kontakt stehen;
    2. - Auftragen eines zweiten Klebers auf den photoelektrischen Wandler bzw. den Szintillator;
    3. - Zusammenpressen des Szintillators und des photoelektrischen Wandlers, um die Abstandshalter auch mit dem photoelektrischen Wandler bzw. dem Szintillator in Kontakt zu bringen und um dadurch diese beiden miteinander zu verbinden.






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