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Dokumentenidentifikation DE19533779A1 14.03.1996
Titel Verfahren zum Messen einer Beschleunigung durch einen Sensor mit einem beweglichen Element und Beschleunigungssensor zum Durchführen des Verfahrens
Anmelder Société d'Applications Générales d'Electricité et de Mécanique SAGEM, Paris, FR
Erfinder Ebersohl, Jean-Philippe, Rouen, FR;
Berry, Jean-Paul, Ramonville St Agne, FR
Vertreter Patent- und Rechtsanwälte BOEHMERT & BOEHMERT, NORDEMANN UND PARTNER, 28209 Bremen
DE-Anmeldedatum 12.09.1995
DE-Aktenzeichen 19533779
Offenlegungstag 14.03.1996
Veröffentlichungstag im Patentblatt 14.03.1996
IPC-Hauptklasse G01P 15/13
IPC-Nebenklasse G01P 21/00   G01D 5/244   
Zusammenfassung Beschleunigungsmeßverfahren und entsprechender Beschleunigungssensor, bei dem man einem beweglichen Element eines Beschleunigungssensors ein Erregungssignal aufgibt, um eine Ruheposition des Elements aufzufinden, man das bewegliche Element der zu messenden Beschleunigung unterzieht, man ein Signal für die Positionsabweichung des Elements detektiert, welches durch das Erregungssignal erzeugt wird und von der zu messenden Beschleunigung abhängt, um ein Steuersignal zu liefern, welches die Größe und Richtung einer elektrischen Kraft regelt, die man an das bewegliche Element anlegt, um dieses in seine Ruhestellung zurückzuführen und man dann den Wert der Beschleunigung ausgehend von dem Steuersignal bestimmt, wobei man bei diesem Verfahren das Erregungssignal in der Form einer Modulation des Steuersignals anlegt und das Steuersignal permanent angelegt wird und durch Integration des Positionsabweichungssignals erzeugt wird.

Beschreibung[de]

Die Messung der von einem Sensor erfahrenen Beschleunigung dient zum Bestimmen der Belastung oder der Verlagerung, welche ein mechanisches Teil erfährt, das fest mit dem Sensor verbunden ist. So steuert in einem Automobil ein Aufprallsensor im Fall eines harten Stoßes das Aufblasen eines Airbags, welcher sich vor dem Fahrer entfaltet.

Man kennt Sensoren mit einem beweglichen, elektrisch leitenden Element, welches eine festgelegte Masse aufweist, elastisch an einem Träger montiert ist und sich unter der Einwirkung der Beschleunigung zu dem einen oder dem anderen von zwei elektrisch leitenden Elementen hin bewegt, welche es umgeben und starr an dem Träger befestigt sind.

Die festen Elemente oder Elektroden befinden sich auf zwei einander entgegengesetzten Potentialen und bilden, jeweils zusammen mit dem beweglichen Element, zwei Kondensatoren.

In Abwesenheit einer Beschleunigung haben die zwei festen Elemente oder Elektroden auf das bewegliche Element, das eine Position mit gleichem Abstand zu den zwei festen Elementen aufweist, einen elektrischen Einfluß, der sich kompensiert.

Wenn sich das bewegliche Element einer der festen Elektroden unter dem Einfluß einer Beschleunigung nähert, wächst der Wert der Kapazität zwischen dem beweglichen Element und der am nächsten liegenden festen Elektrode und umgekehrt nimmt der Wert der Kapazität zwischen der beweglichen Element und der am weitesten entfernt liegenden festen Elektrode ab. Diese differentielle Änderung der Kapazität kann über eine mit den festen Elektroden verbundene Kapazitätsmeßschaltung ausgelesen werden.

Die Meßspannung für diese differentielle Kapazität ist ein Positionssignal, welches es gestattet, eine Rückkopplungsschleife zu steuern, die ein Steuersignal liefert, das die mittleren Spannungen der zwei festen Elektroden festlegt, um über die an dem beweglichen Element angelegten elektrostatischen Kräfte ein mechanisches und damit auch elektrisches Gleichgewicht wiederherzustellen. Die Änderung des Steuersignals bezüglich seines Werts für die Ruhestellung des beweglichen Elements repräsentiert also die zu messende Beschleunigung.

Es ist bekannt, Kapazitätsänderungen durch die Messung der transportierten Ladungen zu messen, die sich aus dem Anlegen von Stufenspannungen durch sogenannte Schaltungen mit umgetasteter Kapazität an die Elektroden ergeben.

Es ist weiterhin bekannt, durch das Steuersignal individuell und im entgegengesetzten Sinn die Breite von Spannungsimpulsen oder den Rhythmus des Auftretens von zwei Impulszügen zu modulieren, die jeweils an die zwei festen Elektroden oder Elemente angelegt werden.

Die Amplitude jedes dieser Impulse wird von der Kapazitätsmeßschaltung als Stufe gesehen, welche einen Ladungstransport unabhängig von der Dauer dieser Impulse erzeugt (es findet eine Abtastung von Spannungsniveaus statt). Die so erhaltene Kapazitätsmeßspannung bestimmt die Dauer der Impulse mit Bezug auf einen Einstellwert. Diese Modulation der Breite der Impulse überträgt sich durch das Auftreten einer mittleren Rückstellspannung auf die Elektroden. Das (feste) Niveau der Impulse dient zur Messung der Position (variable Kapazität) und die Dauer der Impulse (bei festem Niveau) dient zum Regeln der Position.

Diese Impulse führen jedoch zu einem nicht vernachlässigbaren elektrischen Rauschen, welches die Messung stört, da sie eine große Amplitude erreichen müssen, um die notwendige elektrostatische Effektivität zu entfalten. Weiterhin ist diese Effektivität dadurch begrenzt, daß man Wartezeiten für das Öffnen und Schließen von elektronischen Gattern und vor allem für das Aufnehmen der Messung bei der Abfolge der Impulse vorsehen muß. Die Meßaufnahmefrequenz ist daher zwangsläufig dieselbe wie die der Regelung und daher durch das Antwortverhalten des elektromechanischen Systems begrenzt.

Aufgabe der Erfindung ist es, die Effektivität der zur Rückkopplung an den zwei festen Elementen angelegten Steuerspannungen zu erhöhen und das elektrische Rauschen zu begrenzen.

Hierfür sieht die Erfindung ein Beschleunigungsmeßverfahren vor, bei dem man an ein bewegliches Element eines Beschleunigungssensors ein Erregungssignal anlegt, um eine Ruhestellung des Elements zu ermitteln, man das bewegliche Element der zu messenden Beschleunigung unterzieht, man ein Signal für die Abweichung der Position des Elements erzeugt, welches durch das Erregungssignal hervorgerufen wird und von der zu messenden Beschleunigung abhängt, um ein Steuersignal zu erzeugen, welches die Größe und Richtung einer elektrischen Kraft bestimmt, die man an das bewegliche Element anlegt, um es in seine Ruhestellung zurückzuführen, und man dann den Wert der Beschleunigung ausgehend von dem Steuersignal bestimmt, und welches dadurch gekennzeichnet ist, daß man das Erregungssignal in Form einer Modulation des Steuersignals aufgibt und das Steuersignal permanent angelegt wird und durch Integration des Signals für die Abweichung der Position erzeugt wird.

Man setzt also eine kontinuierliche Steuerung ein, was nicht zu elektrischem Rauschen führt und das Erregungssignal kann auf einem relativ geringen, wenig störenden Niveau fixiert werden, da es ausschließlich zur Messung und nicht zur Regelung der elektrischen Kraft dient. Das Erregungssignal bewirkt eine Nachführung des elektrischen Gleichgewichts des beweglichen Elements. Dabei mißt jedes momentane Erregungssignal das residuelle momentane Ungleichgewicht, d. h. den in dem Steuersignal verbleibenden Fehler, und führt progressiv durch Integration zu einer Beseitigung dieses Fehlers.

Man kann daher das Erregungssignal mit einer deutlich höheren Frequenz als der Eigenfrequenz des Sensors aufgeben, welche durch das Steuersignal gegeben ist. Dies bedeutet, daß man nur ein sehr schwaches, wenig störendes Erregungssignal braucht, da hinsichtlich des Steuerns der Integrationseinrichtung die hohe Anzahl der instantanen Erregungssignale deren Schwäche kompensiert.

Vorteilhafterweise mißt man das Positionsabweichungssignal durch eine Messung der elektrischen Ladung, welche durch das Erregungssignal auf dem beweglichen Element induziert wurde.

Vorzugsweise moduliert man das Steuersignal durch zwei Impulszüge mit gleicher Amplitude und entgegengesetzter Polarität, die man jeweils auf zwei feste Elemente aufgibt, welche das bewegliche Element umgeben und bewirkt die Integration des Positionsabweichungssignals synchron mit den Modulationsimpulsen. Vorteilhafterweise schränken die für die Messung nötigen Signale nicht die Regeldynamik ein, so daß man die Messung und die Regelung als getrennt ansehen kann.

Die Erfindung betrifft weiterhin einen Beschleunigungssensor zum Durchführen des Verfahrens nach Anspruch 1, welcher zwischen zwei festen Elementen ein bewegliches Element aufweist, das dafür vorgesehen ist, aus einer Ruhestellung unter der Einwirkung einer zu messenden Beschleunigung und eines Erregungssignals ausgelenkt zu werden, und welcher dadurch gekennzeichnet ist, daß er eine mit dem beweglichen Element verbundene Integrationseinrichtung zum Integrieren eines Signals für die Positionsabweichung des Elements, das durch das Erregungssignal erzeugt wird und von der zu messenden Beschleunigung abhängt, und eine Addiereinrichtung umfaßt, die am Eingang mit der Integrationseinrichtung und am Ausgang mit den festen Elementen verbunden ist.

Die Erfindung läßt sich besser mit Hilfe der folgenden Beschreibung einer bevorzugten Ausführungsform eines Beschleunigungssensors, welcher das erfindungsgemäße Verfahren verwirklicht, anhand der beigefügten Zeichnungen verstehen.

Fig. 1 ist ein elektrisches Schaltbild des Sensors.

Fig. 2 bis 4 illustrieren den Verlauf der Steuersignale des Sensors über der Zeit t.

Fig. 5 und 6 illustrieren die zeitliche Antwort des Sensors bei einer Messung und

Fig. 7 bis 9 illustrieren dieselbe Antwort bei einem Test.

Der Sensor umfaßt ein Gehäuse 1, welches ein bewegliches Element 2 in Form einer weichen, elektrisch leitenden Zunge enthält, die elastisch mit dem Gehäuse 1 verbunden, jedoch von diesem elektrisch isoliert ist und eine Ruhestellung mit einem gleichen Abstand zu den zwei ebenen festen Elementen 3 und 4 einnimmt. Diese sind ebenfalls elektrisch leitend, parallel zu dem Element 2 angeordnet und schließen dieses ein.

Das Element 2 ist elektrisch mit dem invertierenden Eingang eines Operationsverstärkers 10 verbunden. Dieser ist außerdem mit seinem Ausgang über einen Kondensator 11 verbunden, der parallel zu einem elektronischen Schalter 12 geschaltet ist, der durch ein Zeittaktsignal H1 gesteuert wird. Der nicht invertierende Eingang des Verstärkers 10 ist mit der Masse verbunden. Der Verstärker 10 ist daher als elektrischer Ladungsverstärker zum Messen der elektrischen Ladung des Elements 2 geschaltet.

Der Ausgang des Verstärkers 10 liefert über einen elektronischen Schalter 13 ein Positionsabweichungssignal EC, das im folgenden noch erläutert wird, zu einem Anschluß eines Kondensators 15, der mit einem weiteren Schalter 14 zum Verbinden mit der Masse verbunden ist. Der Schalter 13 wird durch ein Zeittaktsignal H2 gesteuert, während der Schalter 14 durch das Zeittaktsignal H1 gesteuert wird.

Der andere Anschluß des Kondensators 15 versorgt über einen elektronischen Schalter 16, der durch den Zeittakt H1 gesteuert wird, den invertierenden Eingang eines Verstärkers 20 und einen elektronischen Erdungsschalter 17, der durch das Zeittaktsignal H2 gesteuert wird. Ein Kondensator 21 verbindet den invertierenden Eingang mit dem Ausgang des Verstärkers 20, der also als Integrierer geschaltet ist.

Der Ausgang des Verstärkers 20 liefert ein Beschleunigungsmeßsignal ME und beaufschlagt über einen Widerstand 31, der parallel zu einem in Reihe geschalteten RC-Glied geschaltet ist, den invertierenden Eingang eines Verstärkers 30. Dieser empfängt weiterhin über einen Widerstand 32 Impulse IM mit geringer Amplitude, die deutlich kleiner als ein Volt sind und von einem Impulsgenerator 6 abgegeben werden.

Der nicht invertierende Eingang des Verstärkers 30 ist mit der Masse verbunden. Der Verstärker 30 weist einen invertierenden oder komplementären Ausgang sowie einen direkten Ausgang auf, der mit dem invertierenden Eingang über einen Widerstand 33 verbunden ist.

Die invertierenden Eingänge der zwei Verstärker 40 und 50 sind jeweils mit dem Mittelpunkt einer von zwei resistiven Spannungsteilerbrücken 41-42 bzw. 43-44 verbunden, die jeweils an einem Ende durch einen der zwei Ausgänge des Verstärkers 30 versorgt werden und an ihrem anderen Ende mit dem Ausgang des zugeordneten Verstärkers 40 bzw. 50 verbunden sind. Die festen Elemente 3 und 4 sind mit den Ausgängen der Verstärker 40 bzw. 50 verbunden. Die positiven Eingänge der Verstärker 40 und 50 werden durch eine Gleichspannungsquelle 9 polarisiert. Diese Gleichspannungsquelle 9 dient zum Vorpolarisieren der festen Elektroden 3 und 4 mit demselben Spannungswert, der zwei gleiche, aber entgegengesetzte Kräfte auf die bewegliche Elektrode 2 erzeugt, zu denen die differentiellen Regelspannungen (Kräfte) hinzukommen. Zwei Impulsgeneratoren 7 und 8 liefern die Zeittaktsignale H1 bzw. H2.

Die Form der Zeittaktsignale H1 und H2 ist als Funktion der Zeit t in den Fig. 2 bzw. 4 dargestellt, während die Impulse IM des Generators 6 in der Fig. 3 in Abhängigkeit von derselben Zeit t aufgetragen sind.

Bei diesem Beispiel ist eine Selbsttestschaltung vorgesehen, welche durch einen Generator 34 von Testimpulsen ST in Reihenschaltung mit einem resistiven Potentiometer 35 gebildet wird und zwischen dem invertierenden Eingang des Verstärkers 30 und der Masse geschaltet ist.

Die Funktionsweise des Sensors wird nun erläutert.

Die von dem Generator 6 abgegebenen Impulse IM, die durch den Verstärker 30 in zwei einander entgegengesetzte Impulse aufgeteilt werden, welche jeweils zu den festen Elementen 3 und 4 laufen, induzieren jeweils in dem beweglichen Element 2 eine elektrische Ladung, welche aus Symmetriegründen denselben Wert und das entgegengesetzte Vorzeichen wie diejenige hat, welche durch das andere feste Element 4 bzw. 3 induziert wird. Das bewegliche Element 2 lädt sich daher nicht auf und die Verstärker 10 und 20 bleiben im Ruhezustand.

Beim Anlegen einer - in der Fig. 1 vertikal gerichteten - Beschleunigung an den Sensor nähert sich das bewegliche Element 2 einem der festen Elemente 3 und 4 und weist mit diesem zusammen eine erhöhte Kapazität auf. Der Impuls IM, welcher durch diese am nächsten liegende feste Elektrode 3 oder 4 empfangen wird, induziert dann eine erhöhte Anzahl von elektrischen Ladungen in dem beweglichen Element 2, während der umgekehrte Effekt, also eine Verringerung der Zahl der induzierten Ladungen, sich bei dem anderen festen Element 4, 3 einstellt.

Der Unterschied der in dem beweglichen Element 2 induzierten Ladungen führt zu dem Positionsabweichungssignal EC, welches am Ausgang des Verstärkers 10 auftritt.

Die Gruppe der Schalter/Kondensatoren 13-17 nimmt das Positionsabweichungssignal EC auf und überträgt es an den Integrationsverstärker 20, welcher am Ausgang das Maß für die Beschleunigung ME liefert, das mehrere Volt erreichen kann.

Das Meßsignal ME wird dann durch den Verstärker 30 aufgespalten, wobei die aufgespaltenen Meßsignale, die einander entgegengesetzt zu beiden Seiten eines Ruhewerts liegen, jeweils an die festen Elemente 3 und 4 angelegt werden, um zwei elektrostatische Kräfte zu erzeugen, deren Resultierende dahingehend wirkt, das bewegliche Element 2 in seine in der Mitte liegende Ruhestellung zurückzuführen.

Während der Übergangszeit zum Wiederherstellen der Ruhestellung ist die Messung ME, welche durch den Verstärker 20 geliefert wird, falsch. Die Impulse IM, die von dem Generator 6 abgegeben werden, induzieren, wie erläutert wurde, das Positionsabweichungssignal EC, welches hier im wesentlichen proportional zu der Positionsabweichung ist und fortgesetztermaßen durch den Verstärker 20 integriert wird, dessen Meß- und Regelausgang ME sich also bis zum Gleichgewicht in einer derartigen Weise entwickelt, daß das Positionsabweichungssignal EC tendenziell zu Null gemacht wird.

Die Fig. 6 illustriert die Entwicklung des Meßsignals ME in Abhängigkeit von der Zeit t in Antwort auf eine Beschleunigung AC, die in Fig. 5 dargestellt ist, und zeigt in Form von abnehmenden Amplitudenstufen die aufeinanderfolgenden Integrationen des Positionsabweichungssignals EC in dem Meßsignal ME.

Die Regelung findet also in einer geschlossenen Schleife statt und wird mit Hilfe der "Gleichspannung" bewirkt, welche das Meßsignal ME bildet und welche sich in Abhängigkeit von den Impulsen (oder Stimuli) IM des Generators 6 entwickelt, die den Regelfehler messen und eine Modulation des Meßsignals ME bilden, das an die festen Elemente 3 und 4 angelegt wird.

Kurz gesagt legt man bei diesem Verfahren an das bewegliche Element 2 das Erregungssignal IM an, um die Ruhestellung des Elements 2 zu finden, man unterzieht das bewegliche Element 2 der zu messenden Beschleunigung, man detektiert das Positionsabweichungssignal EC des Elements 2, welches durch das Erregungssignal IM erzeugt wird und von der zu messenden Beschleunigung abhängt, um das Steuersignal ME zu erzeugen, welches die Größe und Richtung einer elektrischen Kraft bestimmt, die man an das bewegliche Element 2 anlegt, um dieses in seine Ruhestellung zurückzuführen, und man bestimmt dann den Wert der Beschleunigung ausgehend von dem Steuersignal ME, wobei das Erregungssignal IM in der Form einer Modulation des Steuersignals ME angelegt wird, das permanent angelegt wird und durch Integration des Positionsabweichungssignals EC erzeugt wird.

Die Fig. 2 bis 4 illustrieren die Abfolge der Aktivitäten der Schalter.

Allgemein gesprochen sind alle Schalter im blockierten Zustand, wenn das Zeittaktsignal H1 oder H2, das sie steuert, in dem blockierten Zustand ist, welcher hier einem Zustand mit niederem Niveau entspricht.

Die von dem Generator 6 abgegebenen Impulse IM haben eine vordere, hier ansteigende Flanke, welche auf die abfallende Flanke des Signals H1 folgt, während ihre abfallende Flanke im selben Zeitpunkt auftritt wie die wieder ansteigende Flanke von H1.

Das Signal H2 weist positive Impulse auf, die strikt "im Inneren" der Impulse IM liegen; das heißt, daß das Signal H2 ein zeitliches Lesefenster für die Wirkung der Impulse IM ist. Die Abfolge ist wie folgt.

Das Signal H1 liegt anfänglich auf dem hohen Niveau und die Schalter 14 und 16 sind geschlossen, d. h. leitend, und verbinden den Kondensator 15 mit der Masse und dem Verstärker 20.

Beim Abfallen dem Signals H1 öffnen sich die Schalter 12, 14 und 16. Der Impuls IM wird dann ausgesandt und erzeugt das Positionsabweichungssignal EC am Ausgang des Verstärkers 10. Das Signal H2 steuert während des Lese- oder Aufnahmefensters das Schließen der Schalter 13 und 17 und der Kondensator 15 lädt sich auf den Wert des Positionsabweichungssignals EC auf. Das Signal H1 steigt dann wieder an und der Impuls IM fällt wieder ab. Der Schalter 12 beseitigt zwischen zwei Messungen die auf dem beweglichen Element 2 induzierten Ladungen.

Auf diese Weise wird eine Aufnahme- und Selbsthaltungsschaltung realisiert.

Die Integration des Positionsabweichungssignals EC wird also hier synchron mit den Modulationsimpulsen durchgeführt.

Bei diesem Beispiel waren zwei feste Elemente vorgesehen, welche elektrische Ladungen in dem beweglichen Element induzieren. Allgemein braucht man zumindest ein festes Element, welches auf das bewegliche Element eine Rückstellkraft ausübt, die entgegengesetzt zu der Kraft aufgrund der Beschleunigung gerichtet ist, welche wiederum proportional zu der Masse des beweglichen Elements ist. Die Rückstellkraft kann auch z. B. magnetisch sein.

Die Selbsttestschaltung 34-35 hat eine gleichartige Auswirkung wie der Generator 6, d. h. das Anlegen einer Rechteckspannung durch den Generator 34 erzeugt eine elektrostatische Kraft, welche jedoch die Elektrode oder seismische Masse 2 aus dem Gleichgewicht bringt. Das durch den Verstärker 20 integrierte Positionsabweichungssignal EC hat die Wirkung, daß die Ausgangsspannung ME um einen Wert stufenweise herabgesetzt wird, welcher proportional zu der Amplitude der Testimpulse ST mit dem Verhältnis der Widerstände 31 und 35 ist. Die Fig. 7 bis 9 illustrieren die zeitliche Entwicklung der Testimpulse ST, der Positionsmodulation P der beweglichen Elektrode 2, die daraus resultiert, sowie die entsprechende Modulation des Meßsignals ME.

Man kann also den Selbsttest in Realzeit, ohne die Funktionen des Sensors zu deaktivieren, und insbesondere unter Beibehaltung der Arbeitsweise mit geschlossener Schleife durchführen. Weiterhin ist der Selbsttest bidirektional und die gesteuerte Verlagerung des beweglichen Elements 2 ist durch Betätigung des Potentiometers 35 einstellbar und kann den vollen Meßbereich erfassen. Darüberhinaus erzeugt der Selbsttest eine mechanische Erregung der seismischen Masse 2, welche äquivalent zu einer Beschleunigung ist, ohne daß es nötig ist, dem Sensor auf einem vibrierenden Topf zu montieren, wenn man bei der Produktion den Sensor einer Art von Einlaufbetrieb unterziehen will.


Anspruch[de]
  1. 1. Beschleunigungsmeßverfahren, welches die folgenden Schritte umfaßt:
    1. - Anlegen eines Erregungssignals (IM) an ein bewegliches Element (2) eines Beschleunigungssensors zum Ermitteln einer Ruhestellung des Elements (2),
    2. - Unterziehen des beweglichen Elements (2) unter die zu messende Beschleunigung,
    3. - Detektieren eines Signals für die Positionsabweichung (EC) des Elements (2), welches durch das Erregungssignal (IM) erzeugt wird und von der zu messenden Beschleunigung abhängt, um ein Steuersignal (ME) zu erzeugen, welches die Größe und die Richtung einer elektrischen Kraft regelt, die an das bewegliche Element (2) angelegt wird, um dieses in seine Ruhestellung zurückzuführen, und
    4. - Bestimmen des Werts der Beschleunigung ausgehend von dem Steuersignal (ME), dadurch gekennzeichnet, daß das Erregungssignal (IM) in der Form einer Modulation des Steuersignals (ME) angelegt wird und daß das Steuersignal (ME) permanent angelegt wird und durch Integration (20) des Positionsabweichungssignals (EC) erzeugt wird.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Positionsabweichungssignal (EC) durch eine Messung der elektrischen Ladung gemessen wird, welche durch das Erregungssignal (IM) auf dem beweglichen Element (2) induziert wird.
  3. 3. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß man das Steuersignal (ME) durch zwei Impulszüge mit gleichen Amplituden und entgegengesetzter Polarität moduliert, welche man entsprechend an zwei feste Elemente (3, 4) anlegt, welche das bewegliche Element (2) umgeben.
  4. 4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß man die Integration des Positionsabweichungssignals (EC) synchron mit den Modulationsimpulsen (IM) durchführt.
  5. 5. Beschleunigungssensor zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, welcher zwischen zwei festen Elementen (3, 4) ein bewegliches Element (2) umfaßt, welches dafür vorgesehen ist, aus einer Ruhestellung unter der Einwirkung einer zu messenden Beschleunigung und eines Erregungssignals (IM) ausgelenkt zu werden, gekennzeichnet durch

    eine Integrationseinrichtung (20), welche mit dem beweglichen Element (2) verbunden ist, um ein Signal für die Positionsabweichung (EC) des Elements (2) zu integrieren, welches durch das Erregungssignal (IM) erzeugt wird und von der zu messenden Beschleunigung abhängt, und

    eine Addiereinrichtung (30), welche an ihrem Eingang mit der Integrationseinrichtung (20) und an ihrem Ausgang mit den festen Elementen (3, 4) verbunden ist.
  6. 6. Sensor nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß ein Verstärker (10) zum Messen von elektrischen Ladungen am Eingang mit dem beweglichen Element (2) und am Ausgang mit der Integrationseinrichtung (20) verbunden ist.
  7. 7. Sensor nach einem der Ansprüche 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß eine Aufnahme- und Selbsthaltungseinrichtung (13-17) vorgesehen ist, um von dem beweglichen Element (2) synchron mit dem Rhythmus des Auftretens des Erregungssignals (IM) das Positionsabweichungssignal (EC) abzunehmen und dieses dem Eingang der Integrationseinrichtung (20) zuzuführen.
  8. 8. Sensor nach einem der Ansprüche 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß eine Selbsttesteinrichtung (34, 35) vorgesehen ist, welche dafür eingerichtet ist, über die festen Elemente (3, 4) zu dem beweglichen Element (2) ein Testsignal (ST) zu übertragen, welches diesem eine festgelegte Beschleunigung aufgibt.






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