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PRÜFVORRICHTUNG FÜR INTEGRIERTE SCHALTUNGEN - Dokument DE69115776T2
 
PatentDe  


Dokumentenidentifikation DE69115776T2 05.06.1996
EP-Veröffentlichungsnummer 0466939
Titel PRÜFVORRICHTUNG FÜR INTEGRIERTE SCHALTUNGEN
Anmelder Advantest Corp., Tokio/Tokyo, JP
Erfinder SEKINO, Takashi, Kitaadachi-gun, Saitama 369-01, JP
Vertreter Hoffmann, E., Dipl.-Ing., Pat.-Anw., 82166 Gräfelfing
DE-Aktenzeichen 69115776
Vertragsstaaten DE
Sprache des Dokument En
EP-Anmeldetag 01.02.1991
EP-Aktenzeichen 919036988
WO-Anmeldetag 01.02.1991
PCT-Aktenzeichen JP9100125
WO-Veröffentlichungsnummer 9111728
WO-Veröffentlichungsdatum 08.08.1991
EP-Offenlegungsdatum 22.01.1992
EP date of grant 27.12.1995
Veröffentlichungstag im Patentblatt 05.06.1996
IPC-Hauptklasse G01R 31/303
IPC-Nebenklasse G01R 31/319   G01R 31/28   G01R 31/26   H01L 21/66   

Beschreibung[de]
Technisches Gebiet

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine IC-(integrierte Halbleiterschaltung) Prüfvorrichtung.

Stand der Technik

Eine Prüfvorrichtung für integrierte Schaltungen weist, wie Fig. 1 zeigt, eine Hauptprüfkörpereinheit 10 und eine damit verbundene IC-Anschlußplatte 81 auf. Die IC-Anschlußplatte 81 wird Leistungsplatte oder Prüfaufsatz genannt, und daraufist ein IC-Stecksockel 82 angebracht. Es ist eine Vielzahl von Übertragungsleitungen L&sub1; bis Ln, beispielsweise Koaxialkabel oder Bandleitungen vorgesehen, die Kontakte des IC-Stecksockels 82 und Übergänge auf der IC- Anschlußplatte 81 mit der Prüfeinheit 10 verbinden. Der Hauptprüfkörper 10 und die IC- Anschlußplatte 81 werden dadurch miteinander verbunden, daß an einem von ihnen vorgesehene Stiftelektroden gegen am anderen vorgesehene Planarelektroden gedrängt werden, daß Planarelektroden, die an beiden vorgesehen sind, gegeneinander gedrückt werden, oder daß an beiden vorgesehene Verbinder miteinander in Eingriff gebracht werden. Eine zu prüfende integrierte Schaltung 1 wird auf dem IC-Stecksockel 82 angebracht.

Ein Signalerzeuger im Hauptprüfkörper 10, Formatierer genannt, erzeugt ein Prüfsignal logischer Pegel zu vorherbestimmten Zeitpunkten anhand eines Musters und eines Zeitsteuersignals. Das Prüfsignal wird von einem Treiber im Hauptprüfkörper 10 in eine Signalspannung von vorherbestimmtem Niveau, beispielsweise von ECL- oder TTL-Pegel umgewandelt, die vom Hauptprüfkörper 10 über die Übertragungsleitungen L&sub1; bis Ln der IC-Anschlußplatte 81 Stiften P&sub1; bis Pn der integrierten Schaltung 1 zugeführt wird. Die resultierenden IC-Ausgangsantwortsignale, die an den Stiften P&sub1; bis Pn der integrierten Schaltung 1 abgeleitet werden, werden dann über die Übertragungsleitungen L&sub1; bis Ln der IC-Anschlußplatte 81 des Hauptprüfkörpers 10 bereitgestellt, worin sie von einem Komparator mit einer Bezugsspannung zur Entscheidung über ihren logischen Pegel verglichen werden. Basierend auf der Entscheidung wird jedes logische Signal von einem logischen Komparator im Hauptprüfkörper 10 mit einem im Prüfmuster enthaltenen erwarteten Wertemuster verglichen und die Ausgabe des logischen Komparators dazu benutzt, festzustellen, ob die der Prüfung unterzogene integrierte Schaltung 1 gut oder schlecht ist.

In diesem Fall ist es nötig, die Zeitsteuerung zur Aussendung des Prüfsignals und die Zeitsteuerung zum Abruf des IC-Ausgabeantwortsignals im Hauptprüfkörper 10 unter Berücksichtigung nicht nur der relativen Verzögerungszeiten zwischen den jeweiligen Schaltkreisen im Hauptprüfkörper 10 entsprechend den Stiften P&sub1; bis Pn der integrierten Schaltung 1, sondern auch der Verzögerungszeiten T&sub1; bis Tn der Übertragungsleitungen L&sub1; bis Ln der IC-Anschlußplatte 81, die mit den Stiften P&sub1; bis Pn der integrierten Schaltung 1 verbunden sind, zu bestimmen.

Bisher sind zum Einstellen der Aussendezeit des Prüfsignals und der Erfassungszeit des IC- Ausgangsantwortsignals in Übereinstimmung mit den Verzögerungszeiten T&sub1; bis Tn der Übertragungsleitungen L&sub1; bis Ln auf der IC-Anschlußplatte 81 entsprechend den Stiften P&sub1; bis Pn der integrierten Schaltung 1 die folgenden zwei Verfahren vorgeschlagen worden.

Gemäß einem der beiden Verfahren erhalten die Übertragungsleitungen L&sub1; bis Ln die gleiche Länge, um die oben genannten Verzögerungszeiten T&sub1; bis Tn konstant zu machen (nachfolgend auch als Verzögerungszeiten T&sub1; bis Tn in der IC-Anschlußplatte 81 bezeichnet), und im Hauptprüfkörper 10 wird die oben genannte Zeitsteuerung unter Verwendung von Daten über die konstante Zeit korrigiert.

Gemäß dem anderen Verfahren werden die Längen der Übertragungsleitungen L&sub1; bis Ln, das heißt die oben erwähnten Verzögerungszeiten T&sub1; bis Tn durch ein ordentliches Verfahren gemessen, die Meßdaten in einem im Hauptprüfkörper 10 vorgesehenen Speicher gespeichert und die oben genannte Zeitsteuerung unter Benutzung der aus dem Speicher gelesenen Daten eingestellt.

Bei dem Verfahren, bei dem die Verzögerungszeiten T&sub1; bis Tn in der IC-Anschlußplatte 81 entsprechend den Stiften P&sub1; bis Pn der integrierten Schaltung 1 durch die Verwendung von Übertragungsleitungen L&sub1; bis Ln von gleicher Länge konstant gemacht werden und Daten über die konstante Zeit zum Einstellen der Aussendezeit des Prüfsignals und der Erfassungszeit des IC-Ausgangsantwortsignals im Hauptprüfkörper 10 benutzt wird, ist die Herstellung der IC- Anschlußplatte 81 mühsam und schwierig, wenn die integrierte Schaltung 1 eine große Anzahl von Stiften hat.

Bei Anwendung des Verfahrens, bei dem die Längen der Übertragungsleitungen L&sub1; bis Ln, das heißt die Verzögerungszeiten T&sub1; bis Tn in der IC-Anschlußplatte 81 entsprechend den Stiften P&sub1; bis Pn der integrierten Schaltung 1 gemessen und die Meßdaten im Speicher im Hauptprüfkörper 10 gespeichert und daraus entnommen wird, um die oben genannte Zeitsteuerung im Hauptprüfkörper 10 einzustellen, müssen, da manchmal eine andere IC-Anschlußplatte 81 mit dem Hauptprüfkörper 10 benutzt werden mag, die IC-Anschlußplatten 81 numeriert werden und eine Meßdatengruppe der Verzögerungszeiten T&sub1; bis Tn im Speicher im Hauptprüfkörper 10 in Übereinstimmung mit den entsprechenden Zahlen der IC-Anschlußplatten 81 gespeichert werden; nämlich, die Handhabung der IC-Anschlußplatten 81 ist mühselig, und ein Speicher großer Kapazität ist als Speicher im Hauptprüfkörper 10 erforderlich. Darüber hinaus muß der Hauptprüfkörper 10 mit speziellen Mitteln zum Lesen der Zahl der damit verbundenen IC-Anschlußplatte 81 versehen sein. Da die gleiche IC-Anschlußplatte 81 manchmal mit einem anderen Hauptprüfkörper 10 benutzt werden kann, muß obendrein die Meßdatengruppe der Verzögerungszeiten T&sub1; bis Tn in den IC-Anschlußplatten der entsprechenden Zahlen in den Speichern des ganzen Hauptprüfkörpers gespeichert werden.

Das Dokument Patent Abstracts of Japan, Band 6, Nr. 108 (P-123) [986], 18. Juni 1982 und JP-A-57-39363 (Nippon Denki K.K.), 4. März 1982, offenbart für eine Prüfvorrichtung eine Prüfplatte, die mit einem IC-Stecksockel zum Einbau einer zu prüfenden integrierten Schaltung ausgestattet ist, worin die Anschlüsse des Stecksockels jeweils durch einen entsprechenden Draht mit einem Verbinder verbunden sind, der zum Anschluß der Prüfplatte an die Prüfvorrichtung benutzt wird. Die Prüfplatte hat einen weiteren Verbinder zum Lesen eines Codes auf der Prüfplatte, des Codes, der zum Setzen einer Zeitverzögerung eines elektrischen Signals an jede zu prüfende integrierte Schaltung benutzt wird. Da bei diesem Stand der Technik jeweils nur ein Code zur Zeit gesetzt werden kann, muß die Zeitverzögerung hinsichtlich eines jeden Anschlusses der zu prüfenden integrierten Schaltung dieselbe sein.

Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine IC-Prüfvorrichtung zu schaffen, die eine Einstellung der Aussendezeit des Prüfsignals und der Erfassungszeit des IC-Ausgangsantwortsignals in Übereinstimmung mit der Verzögerungszeit in der IC-Anschlußplatte entsprechend jedem Anschluß einer zu prüfenden integrierten Schaltung ermöglicht und Leichtigkeit bei der Herstellung und Handhabung der IC-Anschlußplatte erlaubt und weder Speicher von großer Kapazität für den Hauptprüfkörper und die IC-Anschlußplatte erfordert, noch danach verlangt, den Hauptprüfkörper mit speziellen Einrichtungen zum Lesen der Zahl der IC-Anschlußplatte zu versehen.

Dieses Ziel wird mit einer IC-Prüfvorrichtung, wie in Anspruch 1 beansprucht, erreicht.

Spezielle Ausführungsbeispiele der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche.

Offenbarung der Erfindung

In der IC-Prüfvorrichtung des obigen Aufbaus gemäß der vorliegenden Erfindung brauchen die Übertragungsleitungen auf der IC-Anschlußplatte entsprechend den jeweiligen Anschlüssen der zu prüfenden integrierten Schaltung nicht die gleiche Länge zu haben, und infolgedessen ist die Herstellung der IC-Anschlußplatte leicht, selbst wenn die integrierte Schaltung eine große Anzahl der Anschlüsse hat. Außerdem ist, selbst wenn wahlweise unterschiedliche IC- Anschlußplatten mit dem gleichen Hauptprüfkörper benutzt werden, deren Handhabung leicht, und der Hauptprüfkörper braucht nicht mit speziellen Einrichtungen zum Lesen der Zahlen der IC-Anschlußplatten versehen zu sein, weil sie nicht numeriert zu sein brauchen. Da der Speicher auf der IC-Anschlußplatte nur Daten über die Verzögerungszeiten in den Übertragungsleitungen auf der IC-Anschlußplatte entsprechend den jeweiligen Anschlüssen der gerade geprüften integrierten Schaltung speichern muß, reicht außerdem ein Speicher von kleiner Kapazität aus, und selbst wenn die gleiche IC-Anschlußplatte mit einem anderen Hauptprüfkörper benutzt wird, brauchen die gleichen Daten nicht in einer Vielzahl von Speichern gespeichert zu werden.

Gemäß der vorliegenden Erfindung ist es auch möglich, eine Konstruktion zu benutzen, bei der die IC-Anschlußplatte mit einem Kennzeichenregister versehen ist, in welches ein Kennzeichen, das anzeigt, daß auf den oben erwähnten Speicher Zugriff genommen wurde, eingegeben wird, und welches durch den Anschluß oder die Unterbrechung des Anschlusses der Stromversorgung zur IC-Schaltungsplatte rückgesetzt wird, und bei der der Hauptprüfkörper mit einem Dateiregister zum Speichern von aus dem Speicher gelesenen Daten und einer Lese/Schreibsteuerschaltung versehen ist, welche die Inhalte des Dateiregisters liest und das Kennzeichenregister, wenn es sich in seinem Rücksetzzustand befindet, setzt und Daten vom Speicher in das Dateiregister einspeichert. Auf der Basis der aus dem Dateiregister gelesenen Daten stellt der Hauptprüfkörper die Aussendezeit des Prüfsignals und die Erfassungszeit des IC-Ausgangsantwortsignals ein.

In der Prüfvorrichtung für integrierte Schaltungen des obigen Aufbaus, insbesondere wenn die IC-Anschlußplatte mit dem Hauptprüfkörper verbunden ist, setzt die Lese/Schreibsteuerschaltung des Hauptprüfkörpers das Kennzeichenregister auf der IC-Anschlußplatte und lädt Daten aus dem Speicher der IC-Anschlußplatte in das Dateiregister des Hauptprüfkörpers. Selbst wenn Prüfungen wiederholt an integrierten Schaltungen vorgenommen werden, die eine nach der anderen mit dem IC-Stecksockel verbunden werden, bleibt das Kennzeichenregister auf der IC-Anschlußplatte in gesetztem Zustand, wenn nicht die IC-Anschlußplatte vom Hauptprüfkörper getrennt wird. Infolgedessen braucht beim Start der Prüfung jeder integrierten Schaltung die Lese/Schreibsteuerschaltung des Hauptprüfkörpers nur den Inhalt des Kennzeichenregisters zu lesen, um zu gewährleisten, daß das Kennzeichenregister gesetzt wurde, und Daten brauchen nicht aus dem Speicher auf dem IC-Anschluß gelesen zu werden; nämlich, die Aussendezeit des Prüfsignals und die Erfassungszeit des IC-Ausgangsantwortsignals werden aufgrund der bereits im Dateiregister des Hauptprüfkörpers gespeicherten Daten eingestellt, und infolgedessen wird die Einstellung in einer sehr kurzen Zeit gemacht. Obendrein wird in dem Fall, in dem die IC-Anschlußplatte vom Hauptprüfkörper getrennt und dann noch einmal mit ihm verbunden wird oder die IC-Anschlußplatte vom Hauptprüfkörper getrennt und dann mit einem anderen Hauptprüfkörper verbunden wird, das Kennzeichenregister auf der IC-Anschlußplatte durch den erneuten Anschluß der Stromversorgung an die IC-Anschlußplatte rückgesetzt, so daß Daten unweigerlich aus dem Speicher auf der IC-Anschlußplatte in das Dateiregister des gleichen oder anderen Hauptprüfkörpers übertragen wird.

Kurzbeschreibung der Zeichnungen

Fig. 1 ist eine Seitenansicht, die schematisch ein Beispiel einer herkömmlichen IC-Prüfvorrichtung zeigt;

Fig. 2 ist ein Blockschaltbild, welches ein Beispiel der IC-Prüfvorrichtung der vorliegenden Erfindung veranschaulicht;

Fig. 3 ist eine schematische Seitenansicht;

Fig. 4 ist ein Diagramm zur Erläuterung eines Beispiels eines Verfahrens, welches Verzögerungszeiten von Übertragungsleitungen auf einer IC-Anschlußplatte mißt und die Meßdaten in einem Speicher auf der IC-Anschlußplatte speichert;

Fig. 5 ist ein Ablaufdiagramm zur Erläuterung des Betriebs der IC-Prüfvorrichtung;

Fig. 6 ist eine schematische Seitenansicht eines weiteren Beispiels der IC-Prüfvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung;

Fig. 7 ist eine schematische Seitenansicht noch eines weiteren Beispiels der IC-Prüfvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung; und

Fig. 8 ist eine perspektivische Ansicht, die eine Halbleiterscheibe zeigt, auf der eine in Fig. 7 zu prüfende integrierte Schaltung gebildet ist.

Beste Ausführungsform der Erfindung

Die Fig. 2 und 3 veranschaulichen ein Ausführungsbeispiel der Prüfvorrichtung für integrierte Schaltungen gemäß der vorliegenden Erfindung.

Die IC-Prüfvorrichtung ist mit dem Hauptprüfkörper 10 und der IC-Anschlußplatte 81 versehen. Zu dem Hauptprüfkörper gehört ein Taktgenerator 11, ein Mustergenerator 12, sendeseitige Zeitabstandeinstellschaltungen 2&sub1; bis 2n, Signalerzeugerschaltungen 3&sub1; bis 3n, Treiber D&sub1; bis Dn, I/O-Relaisschalter S1&sub1; bis S1n, Komparatoren C&sub1; bis Cn, erfassungsseitige Zeitabstandeinstellschaltungen 4&sub1; bis 4n, logische Vergleichsschaltungen 5&sub1; bis 5n, eine Bezugssignalgeneratorschaltung 61, Bezugssignaltreiber RD&sub1; bis RDn, Bezugssignalunterbrechungsrelaisschalter S2&sub1; bis S2n, eine Steuerung 62, Zeitabstandeinstelldatenregister 66A und 66B, ein Dateiregister 67, ein Datensubtrahierer 68A, ein Datenaddierer 68B und eine Lese/Schreibsteuerschaltung 69. Die Zeitabstandeinstelldatenregister 66A und 66b, das Dateiregister 67, der Datensubtrahierer 68A und der Datenaddierer 68B haben jeweils eine n-Wortstruktur.

Auf der Grundlage eines internen Betriebstaktes CLK erzeugt der Taktgenerator 11 ein Taktsignal TM zur Anlage an die Signalerzeugerschaltungen 3&sub1; bis 3n, ein Freigabesignal SB zur Anlage an die Komparatoren C&sub1; bis Cn und ein Bezugszeitsignal RT zur Anlage an den Bezugssignalgenerator 61. Das Taktsignal TM wird den sendeseitigen Zeitabstandeinstellschaltungen 2&sub1; bis 2n bereitgestellt, worin seine Verzögerung ordnungsgemäß eingestellt wird, und das so eingestellte Signal wird von dort an die entsprechenden Signalerzeugerschaltungen 3&sub1; bis 3n angelegt. Das Freigabesignal SB wird den erfassungsseitigen Zeitabstandeinstellschaltungen 41 bis 4n zur Verfügung gestellt, worin seine Verzögerung ordnungsgemäß eingestellt wird, und das so eingestellte Signal wird von dort an die entsprechenden Komparatoren C&sub1; bis Cn angelegt. Der Bezugssignalgenerator 61 spricht auf das Bezugszeitsignal RT unter Erzeugung eines Bezugssignals an, welches eine Bezugszeitsteuerung zum Erhalt von Zeitabstandeinstelldaten bietet, und das Bezugssignal wird über die Treiber RD&sub1; bis RDD an die Komparatoren C&sub1; bis Cn geliefert. Der Mustergenerator 12 arbeitet synchron mit dem Betriebstakt CLK vom Taktgenerator 11 und erzeugt Muster AP&sub1; bis APn zur Bereitstellung für die Anschlußstifte P&sub1; bis Pn der gerade geprüften integrierten Schaltung 1 und Erwartungswertmuster EP&sub1; bis EPn zum Vergleich mit der Ausgangsantwortlogik von den Anschlußstiften P&sub1; bis Pn der gerade geprüften integrierten Schaltung 1. Die Muster AP&sub1; bis APn werden an die Signalerzeugerschaltungen 3&sub1; bis 3n angelegt, während die Erwartungswertmuster EP&sub1; bis EPn den logischen Vergleichsschaltungen 5&sub1; bis 5n zur Verfügung gestellt werden.

Die Signalerzeugerschaltungen 3&sub1; bis 3n geben die Muster AP&sub1; bis APn als Prüfsignale zu den Zeitpunkten der den jeweiligen Signalerzeugerschaltungen 3&sub1; bis 3n gelieferten, eingestellten Taktsignale TM (nachfolgend einfach als Taktsignale bezeichnet) aus. Die Komparatoren C&sub1; bis Cn vergleichen jeweils den Eingangssignalpegel mit dem Bezugspegel zum Zeitpunkt des verfügbar gemachten, eingestellten Freigabesignals SB (nachfolgend einfach als Freigabesignale bezeichnet), und entscheiden dadurch die Logik des Eingabesignals. Die logischen Komparatoren 5&sub1; bis 5n vergleichen die so entschiedene Logik mit den Erwartungswertmustern EP&sub1; bis EPn, um zu unterscheiden, ob sie zusammenpassen oder nicht. Die resultierenden Vergleichssignale werden als Versuchsergebnisse an die Steuerung 62 angelegt, und wenn sie ein nichterlaubtes Nichtzusammenpassen enthalten, gibt die Steuerung 62 ein Signal ab, welches anzeigt, daß die der Prüfung unterzogene integrierte Schaltung 1 fehlerhaft ist oder speichert die Versuchsergebnisse in einem (nicht gezeigten) Speicher zur späteren Analyse.

Im Zeitabstandeinstelldatenregister 66A sind Werte der Verzögerungen gespeichert, die den sendeseitigen Zeitabstandeinstellschaltungen 2&sub1; bis 2n zur Verfügung gestellt werden sollen, um zu veranlassen, daß das Taktsignal TM die Signalerzeugerschaltungen 3&sub1; bis 3n zur gleichen Zeit vom Taktgenerator 11 erreicht. Im Zeitabstandeinstelldatenregister 66B sind Werte der Verzögerungen gespeichert, die den erfassungsseitigen Zeitabstandeinstellschaltungen 4&sub1; bis 4n zur Verfügung gestellt werden sollen, um zu veranlassen, daß das Freigabesignal SB die Komparatoren C&sub1; bis Cn zur gleichen Zeit vom Taktgenerator 11 erreicht. Übrigens ist das aus dem Taktgenerator 11, dem Mustergenerator 12, den Zeitabstandeinstellschaltungen 2&sub1; bis 2n und 4&sub1; bis 4n, den Signalerzeugerschaltungen 3&sub1; bis 3n, den logischen Vergleichsschaltungen 5&sub1; bis 5n, dem Bezugssignalgenerator 61, den Komparatoren C&sub1; bis Cn usw. bestehende Gebilde im wesentlichen das gleiche wie beispielsweise im US-Patent Nr.4 497 056 offenbart, und das Zeitabstandeinstellverfahren für die sendeseitigen und erfassungsseitigen Zeitabstandeinstellschaltungen 2&sub1; bis 2n und 4&sub1; bis 4n ist gleichfalls in dem oben genannten US-Patent beschrieben.

Auf der IC-Anschlußplatte 81 ist der IC-Stecksockel 82 angebracht, und es sind die Übertragungsleitungen L&sub1; bis Ln vorgesehen, welche Kontakte auf dem Stecksockel 82 mit den Übergängen zwischen der IC-Anschlußplatte 81 und dem Hauptprüfkörper 10 verbinden. Die Längen der Übertragungsleitungen L&sub1; bis Ln sind insbesondere nicht die gleichen, und infolgedessen sind die Verzögerungszeiten T&sub1; bis Tn in den Übertragungsleitungen L&sub1; bis Ln auf der IC- Anschlußplatte 81 entsprechend den Stiften P&sub1; bis Pn der integrierten Schaltung 1 nicht dieselben.

Die IC-Anschlußplatte 81 umfaßt ferner einen Speicher 83 und ein Kennzeichenregister 84. Der Speicher 83 ist ein nichtflüchtiger n-Wortspeicher, insbesondere ein EPROM, in welchem Daten über die Verzögerungszeiten T&sub1; bis Tn in den Übertragungsleitungen L&sub1; bis Ln auf der IC- Anschlußplatte 81, die den Stiften P&sub1; bis Pn der integrierten Schaltung 1 entsprechen, im voraus gespeichert sind. Das Kennzeichenregister 84 hat einen Ein-Bit Aufbau, in den ein Kennzeichen geschrieben wird, welches anzeigt, daß auf den Speicher 83 Zugriff genommen wurde, wie später beschrieben. Die IC-Anschlußplatte 81 erhält, wenn sie mit dem Hauptprüfkörper 10 verbunden ist, von diesem Strom PW. Dem Kennzeichenregister 84 ist etwas einverleibt, was Strom-EIN-Rücksetzungschaltung genannt wird, und wenn die IC-Anschlußplatte 81 mit dem Hauptprüfkörper 10 verbunden und mit dem Strom PW versorgt wird, wird das Kennzeichenregister 84 rückgesetzt. Es ist auch möglich, als Kennzeichenregister 84 ein Register zu benutzen, welches die Strom-EIN-Rücksetzschaltung nicht einschließt und dessen gespeicherte Inhalte beim Abschalten der Stromzufuhr PW zur IC-Anschlußplatte 81, wenn diese vom Hauptprüfkörper 10 getrennt wird, automatisch gelöscht werden.

Fig. 4 zeigt ein Beispiel eines Verfahrens, gemäß dem die zuvor genannten Verzögerungszeiten T&sub1; bis Tn gemessen und die Meßdaten im Speicher 83 auf der IC-Anschlußplatte 81 gespeichert wird. In diesem Fall ist auf der IC-Anschlußplatte 81 keine integrierte Schaltung angebracht. Ein Ende eines am anderen Ende mit einer Verzögerungszeitmeßvorrichtung 101 des Schleifenschwingungstyps verbundenen Kabels 102 ist mit einem Ende einer der Übertragungsleitungen L&sub1; bis Ln auf der IC-Anschlußplatte 81 verbunden, die am anderen Ende mit dem IC-Stecksockel 82 verbunden ist. Ähnlich ist ein Ende eines Kabels 103, welches am anderen Ende mit der Verzögerungszeitmeßvorrichtung 101 des Schleifenschwingungstyps verbunden ist, mit demjenigen der Kontakte des IC-Stecksockels 82 verbunden, der mit dem anderen Ende der oben genannten einen Übertragungsleitung verbunden ist, wodurch eine Schleife gebildet wird, die eine der Übertragungsleitungen L&sub1; bis Ln enthält, die mit der Verzögerungszeitmeßvorrichtung 101 des Schleifenschwingungstyps über die Kabel 102 und 103 verbunden ist. Auf diese Weise werden nacheinander Schleifen gebildet, die je eine der Übertragungsleitungen L&sub1; bis Ln enthalten. Dann werden die Verzögerungszeiten T&sub1; bis Tn in den Übertragungsleitungen L&sub1; bis Ln der Reihe nach von der Verzögerungszeitmeßvorrichtung 101 des Schleifenschwingungstyps gemessen und als digitale Daten erhalten, die von einer Einschreibeinheit 104 in den Speicher 83 auf der IC-Anschlußplatte 81 geschrieben wird. Die Messungen der Verzögerungszeiten T&sub1; bis Tn und das Speichern der Meßdaten im Speicher 83 werden auf der Stufe durchgeführt, wo die IC-Anschlußplatte 81 hergestellt worden ist.

Der Hauptprüfkörper 10 und die IC-Anschlußplatte 81 werden dadurch miteinander verbunden, daß Stiftelektroden, die an einem von ihnen vorgesehen sind und eine Planarelektrode am anderen gegeneinandergedrückt werden.

In der IC-Testvorrichtung des obigen Aufbaus wird vor dem Prüfen jeder integrierten Schaltung Zeitabstandeinstelldaten in jedem der Zeitabstandeinstelldatenregister 66A und 66B gespeichert, und Daten über die Verzögerungszeiten T&sub1; bis Tn in den Übertragungsleitungen L&sub1; bis Ln auf der IC-Anschlußplatte 81, die den Stiften P&sub1; bis Pn der integrierten Schaltung 1 entsprechen, werden vom Speicher 83 zum Dateiregister 67 übertragen, wie nachfolgend beschrieben. Der Datensubtrahierer 68A und der Datenaddierer 68B geben immer die Ergebnisse der Subtraktion und Addition der Inhalte der Einstelldatenregister 66A und 66B und der Inhalte des Dateiregisters 67 aus, und Verzögerungsbeträge entsprechend den Subtraktions- und Additionsergebnissen werden in den sendeseitigen Zeitabstandeinstellschaltungen 2&sub1; bis 2n bzw. den erfassungsseitigen Zeitabstandeinstellschaltungen 4&sub1; bis 4n gesetzt.

Zunächst werden die I/O-Relaisschalter S1&sub1; bis S1n abgeschaltet und die Bezugssignalunterbrechungsrelaisschalter S2&sub1; bis S2n eingeschaltet, woraufhin ein Signal, welches zum Beispiel einem Prüfsignal von H-Pegel entspricht, aus dem Bezugssignalgenerator 61 anhand des Bezugszeitsignals RF vom Taktgenerator 11 erzeugt. Das Bezugssignal wird an jeden der Bezugssignaltreiber RD&sub1; bis RDn angelegt, in welchen es in eine Signalspannung des ECL- oder TTL-Pegels umgewandelt wird. Die jeweiligen Signalspannungen werden über die Relaisschalter S2&sub1; bis S2n den Komparatoren C&sub1; bis Cn zugeführt, wo sie mit der Bezugsspannung in dem Zeitpunkt der Freigabesignale SB verglichen werden, welche über die erfassungsseitigen Zeitabstandeinstellschaltungen 4&sub1; bis 4n vom Taktgenerator 11 bereitgestellt werden, wodurch deren Logik entschieden wird. Das Ausgabesignal von den Komparatoren C&sub1; bis Cn werden den logischen Vergleichsschaltungen 5&sub1; bis 5n zum logischen Vergleich mit den ihnen jeweils bereitgestellten vorherbestimmten Erwartungswertmustern EP&sub1; bis EPn (die zum Beispiel alle H- Pegel haben) zugeführt. In der Praxis werden die gesetzten Verzögerungsbeträge der erfassungsseitigen Zeitabstandeinstellschaltungen 4&sub1; bis 4n in einer Richtung geändert und dadurch so eingestellt, daß das Freigabesignal SB mit dem Anstiegspunkt des Bezugssignals zusammentrifft, welches an jeden der Komparatoren C&sub1; bis Cn angelegt wird. Der Koinzidenzpunkt wird von der Steuerung 62 als die Position erfaßt, wo die Ausgabelogik von jeder der logischen Vergleichsschaltungen 5&sub1; bis 5n umgekehrt wird, wenn die gesetzten Verzögerungsbeträge in einer Richtung geändert werden. Und die gesetzten Verzögerungsbeträge für die Einstellschaltungen 4&sub1; bis 4n im Zeitpunkt der Erfassung der oben erwähnten Position werden als Zeitabstandeinstelldaten für die erfassungsseitigen Zeitabstandeinstellschaltungen 4&sub1; bis 4n im Zeitabstandeinstelldatenregister 66B von der Steuerung 62 gespeichert.

Als nächstes werden die Bezugssignalunterbrechungsrelaisschalter S2&sub1; bis S2n abgeschaltet, woraufhin das Taktsignal TM vom Taktgenerator 11 über die sendeseitigen Zeitabstandeinstellschaltungen 2&sub1; bis 2n an die Signalerzeugerschaltungen 3&sub1; bis 3n angelegt wird. Zum Zeitpunkt des daran angelegten Taktsignals erzeugen die Signalerzeugerschaltungen 3&sub1; bis 3n zum Beispiel Treibersignale von H-Pegel, die jeweils den Mustern AP&sub1; bis APn folgen, und die Treibersignale werden von den Treibern D&sub1; bis Dn an die Komparatoren C&sub1; bis Cn umgewandelt. Andererseits wird das Freigabesignal SB vom Taktgenerator 11 über die erfassungsseitigen Zeitabstandeinstellschaltungen 4&sub1; bis 4n, wie vorstehend erwähnt eingestellt, an die Komparatoren C&sub1; bis Cn angelegt, um die Logik der Eingangsspannung an jeden von ihnen zu unterscheiden. Die so erfaßte Ausgabelogik wird für jede der logischen Vergleichsschaltungen 5&sub1; bis 5n zum logischen Vergleich mit jedem vorherbestimmten Muster erwarteter Werte bereitgestellt. Die gesetzten Verzögerungsbeträge der sendeseitigen Zeitabstandeinstellschaltungen 2&sub1; bis 2n werden von der Steuerung 62 so eingestellt, daß der Anstieg des Treibersignals von jedem der Treiber D&sub1; bis Dn mit dem Freigabesignal SB zusammenfällt, welches für jeden der Komparatoren C&sub1; bis Cn zur Verfügung gestellt wird. Die gesetzte Verzögerungsgröße werden als Zeitabstandeinstelldaten für die sendeseitigen Zeitabstandeinstellschaltungen 2&sub1; bis 2n im Zeitabstandeinstelldatenregister 66A gespeichert.

Schließlich werden, wie unten beschrieben, Daten über die Verzögerungszeiten T&sub1; bis Tn in der IC-Anschlußplatte 81 entsprechend den Stiften P&sub1; bis Pn der integrierten Schaltung 1 in das Dateiregister 67 übertragen, und durch die Daten von dort werden die Verzögerungszeiten in den sendeseitigen Zeitabstandeinstellschaltungen 2&sub1; bis 2n und den erfassungsseitigen Zeitabstandeinstellschaltungen 4&sub1; bis 4n entsprechend den Verzögerungszeiten T&sub1; bis Tn eingestellt. Angenommen, daß die IC-Anschlußplatte 81 mit dem Hauptprüfkörper 10 zu einem bestimmten Zeitpunkt verbunden ist, bedeutet das, daß das Kennzeichenregister 84 sich im Rücksetzzustand befindet, wenn die Platte 81 angeschlossen ist, weil sie vom Hauptprüfkörper 10 bis dahin abgetrennt war, das heißt, die Stromzufuhr PW zur IC-Anschlußplatte 81 ist abgeschaltet worden. Ferner wird in dem Fall, wo das Kennzeichenregister 84 auf der IC-Anschlußplatte 81 der Strom-EIN-Rücksetztyp ist, wie beim Ausführungsbeispiel der Fig. 2, dieses durch den Anschluß der Stromversorgung PW an die IC-Anschlußplatte 81 rückgesetzt, wenn die Platte 81 mit dem Hauptprüfkörper 10 verbunden wird. Die Lese/Schreibsteuerschaltung 69 des Hauptprüfkörpers 10 wird von der Steuerung 62 so gesteuert, daß sie den Inhalt des Kennzeichenregisters 84 liest und stellt sicher, daß das Kennzeichenregister 84 "O" oder im Rücksetzzustand ist, woraufhin die Steuerschaltung 69 das Kennzeichenregister 84 setzt, das heißt es schreibt ein Kennzeichen "1" in das Kennzeichenregister 84 und liest dann aus dem Speicher 83 auf der IC-Anschlußplatte 81 die Daten über die Verzögerungszeiten T&sub1; bis Tn auf der IC-Anschlußplatte 81 entsprechend den Stiften P&sub1; bis Pn der integrierten Schaltung 1, woraufhin die Daten im Dateiregister 67 gespeichert werden. Das Schreiben des Kennzeichens in das Kennzeichenregister 84 und die Datenübertragung aus dem Speicher 83 in das Dateiregister 67 können übrigens auch in der Reihenfolge umgekehrt werden.

Nach dem Laden der Daten über die Verzögerungszeiten T&sub1; bis Tn in das Dateiregister 67 subtrahiert der Datensubtrahierer 68A sofort den Inhalt des Dateiregisters 67 vom Inhalt des Zeitabstandeinstelldatenregisters 66A und setzt die Verzögerungsgröße jeder der sendeseitigen Zeitabstandeinstellschaltungen 2&sub1; bis 2n auf den Wert des subtrahierten Ergebnisses. Zur gleichen Zeit addiert der Datenaddierer 68B den Inhalt des Dateiregisters 67 zum Inhalt des Zeitabstandeinstelldatenregisters 66b und setzt die Verzögerungsgröße jeder der erfassungsseitigen Zeitabstandeinstellschaltungen 4&sub1; bis 4n auf den Wert des addierten Ergebnisses.

Nachdem die Verzögerungszeiten in den sendeseitigen Zeitabstandeinstellschaltungen 2&sub1; bis 2n und den erfassungsseitigen Zeitabstandeinstellschaltungen 4&sub1; bis 4n so eingestellt sind, wird die integrierte Schaltung 1 auf dem IC-Stecksockel 82 auf der IC-Anschlußplatte 81 angebracht und dann geprüft.

Im Fall des Prüfens von integrierten Schaltungen, die eine nach der anderen auf der gleichen, mit dem Hauptprüfkörper 10 verbundenen IC-Anschlußplatte 81 angebracht werden, bleibt das Kennzeichenregister 84 in gesetztem Zustand, wenn nicht die IC-Anschlußplatte 81 vom Hauptprüfkörper 10 getrennt wird, weil das Kennzeichenregister 84 bereits gesetzt ist, worauf vorstehend hingewiesen wurde. Dementsprechend liest vor Beginn des Prüfens jeder integrierten Schaltung die Lese/Schreibsteuerschaltung 69 nur den Inhalt des Kennzeichenregisters 84, um sicherzustellen, daß es gesetzt wurde, und aufgrund der bereits im Dateiregister 67 gespeicherten Daten werden die Verzögerungszeiten in den sendeseitigen Zeitabstandeinstellschaltungen 2&sub1; bis 2n und den erfassungsseitigen Zeitabstandeinstellschaltungen 4&sub1; bis 4n entsprechend den Verzögerungszeiten T&sub1; bis Tn eingestellt, wie zuvor beschrieben. So wird diese Korrektur, das heißt die Einstellung der Aussendezeit des Prüfsignals und der Erfassungszeit des IC-Ausgangsantwortsignals entsprechend den Verzögerungszeiten T&sub1; bis Tn in sehr kurzer Zeit vorgenommen.

Bei der Prüfung jeder integrierten Schaltung werden die I/O-Relaisschalter S1&sub1; bis S1n des Hauptprüfkörpers 10 eingeschaltet und die Bezugssignalunterbrechungsrelaisschalter S2&sub1; bis S2n abgeschaltet. Die Signalerzeugerschaltungen 3&sub1; bis 3n hat die vom Taktsignal TM spezifizierte Zeitsteuerung, die ihnen über die sendeseitigen Zeitabstandeinstellschaltungen 2&sub1; bis 2n vom Taktgenerator 11 geliefert werden und erzeugen Prüfsignale der logischen Pegel entsprechend den jeweiligen Mustern AP&sub1; bis APn. Die Prüfsignale werden von den Treibern D&sub1; bis Dn in Signalspannungen vorherbestimmter Pegel umgewandelt, die von I/O-Anschlüssen X&sub1; bis Xn des Hauptprüfkörpers 10 an die Stifte P&sub1; bis Pn der integrierten Schaltung 1 über die Übertragungsleitungen L&sub1; bis Ln der IC-Anschlußplatte 81 geliefert werden. Als Ergebnis dessen werden die an den Stiften P&sub1; bis Pn der integrierten Schaltung 1 abgeleiteten IC-Ausgangsantwortsignale über die Übertragungsleitungen L&sub1; bis Ln der IC-Anschlußplatte 81 und die I/O- Anschlüsse X&sub1; bis Xn des Hauptprüfkörpers 10 an die Komparatoren C&sub1; bis Cn angelegt, worin sie mit der Bezugsspannung zu dem Zeitpunkt des Freigabesignals SB verglichen werden, welches vom Taktgenerator 11 über die erfassungsseitigen Zeitabstandeinstellschaltungen 4&sub1; bis 4n bereitgestellt wird, wodurch die Logik jedes Antwortsignals entschieden wird. Die Ausgabesignale der Komparatoren C&sub1; bis Cn werden an die logischen Vergleichsschaltungen 5&sub1; bis 5n angelegt, worin sie einem logischen Vergleich mit den diesen zur Verfügung gestellten Erwartungswertmustern EP&sub1; bis EPn unterzogen werden, und auf den Ausgaben der logischen Vergleichsschaltungen 5&sub1; bis 5n beruhend wird bestimmt, ob die der Prüfung unterzogene integrierte Schaltung 1 gut oder schlecht ist.

Fig. 5 ist ein vereinfachtes Ablaufdiagramm, welches den Betrieb des oben beschriebenen Ausführungsbeispiels der Fig. 2 zeigt. Vor dem Beginn des Prüfens einer integrierten Schaltung wird die IC-Anschlußplatte 81, auf der der IC-Stecksockel 82 des der zu prüfenden integrierten Schaltung entsprechenden Typs angebracht ist, mit dem Hauptprüfkörper 10 verbunden.

Schritt S1: Zunächst wird die Zeitabstandeinstellung im Hauptprüfkörper 10 gemacht und die Zeitabstandeinstelldaten in jedem der Zeitabstandeinstelldatenregister 66A und 66B gespeichert.

Schritt S2: Der Inhalt des Kennzeichenregisters 68 wird gelesen.

Schritt S3: Es wird geprüft, ob der Inhalt des Kennzeichenregisters 84 eine "1" ist oder nicht. Ist das Kennzeichen keine "1", bedeutet dies, daß die Verzögerungszeitdaten im Speicher 83 der IC-Anschlußplatte 81 noch nicht in das Dateiregister 67 übertragen wurde, und das Verfahren geht zum Schritt 54 weiter. Ist das Kennzeichen eine "1", bedeutet dies, daß der Inhalt des Speichers 83 der mit dem Hauptprüfkörper 10 verbundenen IC-Anschlußplatte 81 bereits in das Dateiregister 67 übertragen wurde, und das Verfahren geht zum Schritt 56 weiter.

Schritt S4: In dem Fall, wo im Schritt S3 entschieden wird, daß das Kennzeichen nicht eine "1" ist, werden die Verzögerungszeiten T&sub1; bis Tn auf der IC-Anschlußplatte 81 entsprechend den Stiften P&sub1; bis Pn der der Prüfung unterliegenden integrierten Schaltung aus dem Speicher 83 entnommen und in das Dateiregister 67 transferiert.

Schritt S5: Das Kennzeichenregister 84 wird auf eine "1" gesetzt.

Schritt S6: Die im Dateiregister 67 gehaltenen Verzögerungszeiten T&sub1; bis Tn werden vom Inhalt des Zeitabstandeinstelldatenregisters 66A subtrahiert und die subtrahierten Werte in den sendeseitigen Zeitabstandeinstellschaltungen 2&sub1; bis 2n gesetzt, und die durch Addieren der Verzögerungszeiten T&sub1; bis Tn zum Inhalt des Zeitabstandeinstelldatenregisters 66B erhaltenen Daten werden in den erfassungsseitigen Zeitabstandeinstellschaltungen 4&sub1; bis 4n gesetzt.

Schritt S7: Es werden Prüfmuster generiert und die integrierte Schaltung geprüft.

Die obigen Schritte S1 bis S7 werden für jede Auswechselung des Stecksockels 82 unter Prüfung einer Serie von integrierten Schaltungen der gleichen Arten durchgeführt. Die Schritte S4 und S5 können auch in der Reihenfolge umgekehrt werden.

Bei dem in Fig. 2 gezeigten Aufbau brauchen die sendeseitigen Zeitabstandeinstellschaltungen 2&sub1; bis 2n nicht immer auf den Wegen des Taktsignals TM zu den Signalerzeugerschaltungen 3&sub1; bis 3n vorgesehen zu sein, sondern können auch auf den Wegen der Prüfsignale von den Signalerzeugerschaltungen 3&sub1; bis 3n zu den Treibern D&sub1; bis Dn sein. Es ist auch möglich, eine Anordnung zu benutzen, in der das Freigabesignal SB vom Taktgenerator 11 an die logischen Vergleichsschaltungen 5&sub1; bis 5n, nicht an die Komparatoren C&sub1; bis Cn angelegt wird und die erfassungsseitigen Zeitabstandeinstellschaltungen 4&sub1; bis 4n auf den Pfaden des Freigabesignals SB zu den logischen Vergleichsschaltungen 5&sub1; bis 5n oder den Pfaden der Ausgangsantwortsignale von den Komparatoren C&sub1; bis Cn zu den logischen Vergleichsschaltungen 5&sub1; bis 5n vorgesehen sind. Im Fall der Anordnung der Zeitabstandeinstellschaltungen 4&sub1; bis 4n zwischen den Komparatoren C&sub1; bis Cn und den logischen Vergleichsschaltungen 5&sub1; bis 5n werden allerdings die Inhalte des Dateiregisters 67 von den Inhalten der Zeitabstandeinstelldatenregister 66B in den Schaltungen 68B abgezogen.

Es ist auch möglich, eine solche Anordnung anzunehmen, wie sie in Fig. 6 gezeigt ist, in der eine weitere IC-Anschlußplatte 85, auf die normalerweise als eine Steckplatte hingewiesen wird, über die Übertragungsleitungen L&sub1; bis Ln mit der IC-Anschlußplatte 81 verbunden und der IC- Stecksockel 82 auf der IC-Anschlußplatte 85 angebracht ist.

Die vorliegende Erfindung ist auch anwendbar die Prüfung einer integrierten Schaltung 21, die noch nicht aus einer Halbleiterscheibe 20 ausgeschnitten und noch nicht mit Stiften versehen worden ist, wie in den Fig. 7 und 8 gezeigt.

In diesem Fall wird mit der IC-Anschlußplatte 81 eine weitere IC-Anschlußplatte 91, genannt Sondenkarte, verbunden. Die IC-Anschlußplatte 91 hat in der Mitte ein Loch 92 und elastische Kontaktleitungen R&sub1; bis Rn, die an einem Ende an einer Seite derselben befestigt sind und deren freie Endbereiche aus dem Loch 92 zur anderen Seite der Platte 91 ragen, sowie einen ringförmigen Verbinder 93, der zum Beispiel auf der oben genannten einen Seite der Platte 91 angebracht ist, wobei die Leitungen R&sub1; bis Rn mit dem Verbinder 93 verbunden sind. In diesem Fall ist ein ringförmiger Verbinder 87 mit der IC-Anschlußplatte 81 über n+m Kabel 86 verbunden, welche die Übertragungsleitungen L&sub1; bis Ln sowie Übertragungsleitungen Ln + 1 bis Ln + m zum Anschluß an einen Speicher 95 und ein Register 96 einschließen, die nachfolgend beschrieben werden. Die Verbinder 87 und 93 stehen miteinander in Eingriff, wodurch die IC-Anschlußplatte 91 mit der IC-Anschlußplatte 81 verbunden ist. Die Kontaktleitungen R&sub1; bis Rn sind mit Anschlüssen der auf der Halbleiterscheibe 20 gebildeten integrierten Schaltung 2&sub1; elastisch kontaktiert, wodurch die Anschlüsse der integrierten Schaltung 2&sub1; über die Kontaktleitungen R&sub1; bis Rn und die Übertragungsleitungen L&sub1; bis L&sub2;, die von den Kabeln 86 der IC-Anschlußplatte 81 gebildet sind, mit dem Hauptprüfkörper 10 verbunden sind.

Bei dem Ausführungsbeispiel der Fig.7 ist der Speicher 95 und das Kennzeichenregister 96 auf der IC-Anschlußplatte 91 angebracht. Der Speicher 95 ist ein nichtflüchtiger Speicher, in welchem Verzögerungszeiten in den Kontaktleitungen R&sub1; bis Rn, das heißt Daten über die Verzögerungszeiten in den Leitungen auf der IC-Anschlußplatte 91 entsprechend den Anschlüssen der integrierten Schaltung 21 im voraus gespeichert sind. Die IC-Anschlußplatte 91 erhält über die IC-Anschlußplatte 81 Strom PW vom Hauptprüfkörper 10, wenn die IC-Anschlußplatte 81 mit dem Hauptprüfkörper 10 und die IC-Anschlußplatte 91 mit der IC- Anschlußplatte 81 verbunden ist. Wenn die Stromversorgung mit der IC-Anschlußplatte 91 verbunden oder von dieser getrennt wird, wird das Kennzeichenregister 96 rückgesetzt und sein Inhalt auf Null gelöscht.

Obwohl nicht gezeigt, schließt der Hauptprüfkörper 10 ein Dateiregister zum Speichern von Daten vom Speicher 95 auf der IC-Anschlußplatte 91 zusätzlich zu dem Dateiregister 67 zum Speichern von Daten vom Speicher 83 auf der IC-Anschlußplatte 81 ein. Die Lese/Schreibsteuerschaltung 69 des Hauptprüfkörpers 10 liest den Inhalt der Kennzeichenregister 84 und 96 auf dem IC-Anschlußplatten 81 und 91, und wenn die Kennzeichenregister 84 und 9 rückgesetzt worden sind, setzt sie diese und speichert Daten von den Speichern 83 und 95 auf den IC-Anschlußplatten 81 und 91 in den entsprechenden Dateiregistern des Hauptprüfkörpers 10. Der Hauptprüfkörper 10 stellt die Aussendezeit des Prüfsignals und die Erfassungszeit der IC- Ausgangsspannung auf der Grundlage des addierten Wertes der Daten aus den beiden Dateiregistern ein.

Wie vorstehend beschrieben, hat bei der Prüfvorrichtung für integrierte Schaltungen gemäß der vorliegenden Erfindung die IC-Anschlußplatte 81 den nichtflüchtigen Speicher 83, und für jede IC-Prüfung liest der Hauptprüfkörper 10 Daten über die Verzögerungszeiten T&sub1; bis Tn in der IC- Anschlußplatte 91 entsprechend den Stiften P&sub1; bis Pn der der Prüfung unterzogenen integrierten Schaltung aus dem Speicher 83 der IC-Anschlußplatte 81 oder Daten über die Verzögerungszeiten in den IC-Anschlußplatten 81 und 91 entsprechend den Stiften der integrierten Schaltung 21 aus den Speichern 83 und 95 auf den IC-Anschlußplatten 81 und 91 und stellt dann die Aussendezeit des Prüfsignals und die Erfassungszeit der IC-Ausgangsspannung in Übereinstimmung mit den so gelesenen Daten ein. Dementsprechend brauchen die Längen der Übertragungsleitungen auf der IC-Anschlußplatte entsprechend den Anschlüssen der der Prüfung unterzogenen integrierten Schaltung nicht die gleiche Länge zu bekommen. Dies erlaubt eine Leichtigkeit bei der Herstellung der integrierten Anschlußplatte, selbst wenn die Anzahl der Anschlüsse der integrierten Schaltung groß ist. Ferner ist, selbst wenn unterschiedliche IC- Anschlußplatten wahlweise mit der gleichen Prüfeinheit benutzt werden, die Handhabung der IC-Anschlußplatten leicht, und der Hauptprüfkörper braucht nicht mit besonderen Mitteln für Identifizierungsnummern der IC-Anschlußplatten versehen zu sein, weil solche Identifizierungsnummern nicht nötig sind. Obendrein braucht der Speicher auf der IC-Anschlußplatte nur Daten über die Verzögerungszeiten in der IC-Anschlußplatte entsprechend den Anschlüssen der der Prüfung unterzogenen integrierten Schaltung zu speichern, und infolgedessen kann der Speicher einer von kleiner Kapazität sein. Außerdem besteht, selbst wenn die gleiche IC-Anschlußplatte mit einem anderen Hauptprüfkörper benutzt wird, keine Notwendigkeit, die gleichen Daten in einer Vielzahl von Speichern zu hinterlegen.

Es ist auch möglich, eine Anordnung zu verwenden, bei der die IC-Anschlußplatte der Prüfvor richtung für integrierte Schaltungen ferner ein Kennzeichenregister einschließt. Und wenn die IC-Anschlußplatte für jede Prüfung mit dem Hauptprüfkörper verbunden wird, wird das Kennzeichenregister auf der IC-Anschlußplatte von der Lese/Schreibsteuerschaltung des Hauptprüfkörpers gesetzt und Daten vom Speicher auf der IC-Anschlußplatte zum Dateiregister des Hauptprüfkörpers übertragen. Bei einer solchen Anordnung bleibt, wenn die IC-Anschlußplatte nicht vom Hauptprüfkörper getrennt wird, das Kennzeichenregister auf der IC-Anschlußplatte in seinem gesetzten Zustand, während eine Reihe von integrierten Schaltungen geprüft wird. Und die Lese/Schreibsteuerschaltung des Hauptprüfkörpers liest nur den Inhalt des Kennzeichenregisters, um sicherzustellen, daß es sich in gesetztem Zustand befindet. Und die Steuerschaltung liest keine Daten aus dem Speicher auf der IC-Anschlußplatte. Und die Aussendezeit des Prüfsignals sowie die Erfassungszeit der IC-Ausgangsspannung wird in Übereinstimmung mit den bereits im Dateiregister des Hauptprüfkörpers gespeicherten Daten eingestellt. Somit erfolgt die Einstellung in sehr kurzer Zeit.


Anspruch[de]

1. Prüfvorrichtung für integrierte Schaltungen mit:

- einem Hauptprüfkörper (10), der Einrichtungen (12, 3&sub1; bis 3n) zum Ableiten einer Vielzahl von Prüfsignalen logischer Pegel von einem Taktsignal (TM) und einem Muster (AP&sub1;- APn) zum Anlegen an die Anschlüsse einer der Prüfung unterzogenen integrierten Schaltung (1) aufweist, Einrichtungen (D&sub1;-Dn) zum Umwandeln der Prüfsignale in Signalspannungen vorherbestimmter Pegel und Vermitteln derselben an eine Vielzahl von I/O-Anschlüssen (X&sub1;-Xn), Einrichtungen (C&sub1;-Cn, 5&sub1;-5n) zum Vergleichen jedes einer Vielzahl von von den Anschlüssen der in Prüfung befindlichen integrierten Schaltung den I/O-Anschlüssen vermittelten Ausgangssignalen mit einer Bezugsspannung zur Festlegung des logischen Pegels jedes der Ausgangssignale und zum Anstellen eines logischen Vergleichs zwischen den festgelegten logischen Pegeln und einem Muster erwarteter Werte, und

- einer IC-Anschlußplatte (81), die eine Vielzahl von Übertragungsleitungen (L&sub1;-Ln) zur Verbindung der I/O-Anschlüsse des Hauptprüfkörpers (10) mit den Anschlüssen (P&sub1;-Pn) der in Prüfung befindlichen integrierten Schaltung aufweisen,

- worin die IC-Anschlußplatte (81) eine elektrisch beschreibbare, nichtflüchtige Speichereinrichtung (83) zum Speichern der Verzögerungszeit der zugehörigen Übertragungsleitung für entsprechende Anschlüsse der in Prüfung befindlichen integrierten Schaltung einschließt, der Hauptprüfkörper (10) ferner Einrichtungen (66A, 66B, 67, 68A, 68B, 2&sub1;-2n, 4&sub1;-4n) zum Einstellen des Zeitpunktes zum Aussenden der Prüfsignale und des Zeitpunktes zum Erfassen der Ausgangssignale anhand von aus der Speichereinrichtung (83) gelesenen Daten aufweist.

2. Prüfvorrichtung nach Anspruch 1, worin die IC-Anschlußplatte (81) ein Kennzeichenregister (84) enthält und der Hauptprüfkörper (10) eine Steuereinrichtung (62, 69) enthält, die den Inhalt des Kennzeichenregisters bei Beginn des Prüfens der integrierten Schaltung liest und, wenn sich das Kennzeichenregister in seinem Rücksetzzustand befindet, eine Steuerung zum Setzen des Kennzeichenregisters bewirkt und dann die Daten über die Verzögerungszeiten aus der Speichereinrichtung (83) liest.

3. Vorrichtung nach Anspruch 2, worin der Hauptprüfkörper (10) ein Dateiregister (67) enthält und die Steuereinrichtung (62, 69) in dem Dateiregister die aus der Speichereinrichtung (83) gelesenen Daten speichert und, wenn sich das Dateiregister (84) bei Beginn des Prüfens der integrierten Schaltung in seinem gesetzten Zustand befindet, eine Steuerung zum Einstellen des Zeitpunktes für das Aussenden der Prüfsignale und des Zeitpunktes für das Erfassen der Ausgangssignale anhand der in dem Dateiregister gespeicherten Daten bewirkt.

4. Vorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, worin das Kennzeichenregister (84) rückgesetzt wird, wenn die Stromversorgung zu demselben angehalten wird, wenn die IC-Anschlußplatte vom Hauptprüfkörper getrennt wird.

5. Vorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, worin das Kennzeichenregister (84) ein Register mit einer Strom-EIN-Rücksetzfunktion ist, mittels der es rückgesetzt wird, wenn die Stromversorgung mit ihm verbunden wird, wenn die IC-Anschlußplatte (81) an den Hauptprüfkörper (10) angeschlossen wird.

6. Vorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, worin eine zweite IC-Anschlußplatte (91) der genannten IC-Anschlußplatte (81) gegenüber vorgesehen ist, die zweite IC-Anschlußplatte eine Vielzahl von Kontaktleitungen hat, die an einem Ende mit den Übertragungsleitungen verbunden sind und an den anderen Enden mit den Anschlüssen der der Prüfung unterzogenen integrierten Schaltung Kontakt herstellen, wobei die zweite IC-Anschlußplatte ferner eine zweite nichtflüchtige Speichereinrichtung (95) zum Speichern von Daten über Verzögerungszeiten in den Kontaktleitungen hat.

7. Vorrichtung nach Anspruch 6, worin die zweite IC-Anschlußplatte ein zweites Kennzeichenregister (96) enthält und die Steuereinrichtung (62, 69) das zweite Kennzeichenregister bei Beginn des Prüfens der integrierten Schaltung liest und, wenn es sich in seinem Rücksetzzustand befindet, eine Steuerung zum Setzen des zweiten Kennzeichenregisters bewirkt, wobei es Daten aus der zweiten Speichereinrichtung (95) liest und dann die besagten Zeitpunkte anhand der Ergebnisse der Addition der aus der zweiten Speichereinrichtung (95) gelesenen Daten und der aus der zuerst genannten Speichereinrichtung (83) gelesenen Daten einstellt.

8. Vorrichtung nach Anspruch 3, bei der der Hauptprüfkörper (10) erste Zeitabstandeinstellschaltungen (2&sub1;-2n) zum Einstellen des Zeitpunktes zum Anlegen der Vielzahl von Prüfsignalen an die der Prüfung unterzogene integrierte Schaltung, zweite Zeitabstandeinstellschaltungen (4&sub1;-4n) zum Einstellen des Zeitpunktes zum Erfassen der Vielzahl von Ausgangssignalen sowie eine Verzögerungsbetragseinstelleinrichtung (66A, 66B, 68A, 68B) enthält, um Verzögerungsbeträge in den ersten bzw. zweiten Zeitabstandeinstellschaltungen zu setzen.

9. Vorrichtung nach Anspruch 8, bei der die Verzögerungsbetragseinstelleinrichtung eine erste Einstelldatenspeichereinrichtung (66A) zum Speichern von Zeitabstandeinstelldaten für die Prüfsignale im Hauptprüfkörper (10), eine zweite Einstelldatenspeichereinrichtung (66B) zum Speichern von Zeitabstandeinstelldaten für die Ausgangssignale im Hauptprüfkörper und eine Recheneinrichtung (68A, 68B) enthält, um anhand des Inhaltes der ersten und zweiten Einstelldatenspeichereinrichtungen und der Verzögerungszeitdaten in dem Dateiregister (67) die Verzögerungsbeträge zu berechnen, die in den ersten und zweiten Zeitabstandeinstellschaltungen zu setzen sind.







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