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Dokumentenidentifikation DE69306244T2 26.06.1997
EP-Veröffentlichungsnummer 0627069
Titel VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR MESSUNG DER FORM EINER GEGENSTANDSOBERFLÄCHE
Anmelder British Steel plc, London, GB
Erfinder BULLOCK, John David, Mount Pleasant, Swansea SA1 6JX, GB;
WILLIAMS, Norman William, Neath, West Glamorgan SA11 3YB, GB
Vertreter G. Koch und Kollegen, 80339 München
DE-Aktenzeichen 69306244
Vertragsstaaten AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IE, IT, LI, LU, MC, NL, PT, SE
Sprache des Dokument En
EP-Anmeldetag 15.02.1993
EP-Aktenzeichen 939041935
WO-Anmeldetag 15.02.1993
PCT-Aktenzeichen GB9300309
WO-Veröffentlichungsnummer 9316353
WO-Veröffentlichungsdatum 19.08.1993
EP-Offenlegungsdatum 07.12.1994
EP date of grant 27.11.1996
Veröffentlichungstag im Patentblatt 26.06.1997
IPC-Hauptklasse G01B 11/30

Beschreibung[de]

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Bestimmung der Formgestalt von Gegenständen und auf eine Vorrichtung zur Anwendung des Verfahrens. Speziell bezieht sich die Erfindung auf Verfahren und eine Vorrichtung zur Bestimmung der manifestierten Flachheit von Blechen und Bändern aus metallischem Material, z.B. aus Stahl.

Stahlbänder und -bleche (diese werden im folgenden kollektiv als 'Stahlbänder' bezeichnet) werden in konventioneller Weise durch Heiß- oder Kaltwalzen eines Halbzeuges (z. B. eines Barren) in einem Mehrstufen-Walzwerk hergestellt. Die Flachheit der so erzeugten Stahlbänder ist natürlich von entscheidender Wichtigkeit für den Endverbraucher. Die Messung der Bandflachheit wird jedoch durch die hohe Arbeitsgeschwindigkeit herkömmlicher Walzwerke behindert. Es besteht daher ein Bedürfnis nach einem Verfahren und einer Vorrichtung zum schnellen Messen der Flachheit des das Walzwerk verlassenden Bandes.

Eine gewöhnlich benutzte Technik besteht darin, das Band mit einem durch Laser erzeugten Lichtstrahl zu beleuchten und die Lage des Strahls auf dem Band mit einer Fernsehfeldkamera zu beobachten. Die Rechnerleistung, die erforderlich ist, um ein Fernsehbild schnell zu analysieren, ist jedoch beträchtlich und demgemäß kostspielig. Auch bei einer weniger schnellen Berechnungsleistung ist das Intervall zwischen den Messungen wahrscheinlich sehr viel länger als es erwünscht ist, um eine wirkliche Anzeige der Flachheit zu liefern. Es sind verschiedene optische Profilmeßvorrichtungen bekannt. Beispielsweise zeigt die US-A-5056922 eine Vorrichtung, die coplanare Lichtstrahlen benutzt, die in der gleichen Ebene wie das Meßprofil des sich bewegenden Gegenstandes verlaufen.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung zur schnellen Messung der Gestalt eines Gegenstandes, insbesondere der manifestierten Flachheit eines Bandes aus Stahl oder anderem Material, zu schaffen.

Gemäß einem ersten Merkmal der vorliegenden Erfindung ist eine Vorrichtung zur Messung der Form einer Oberfläche eines Gegenstandes vorgesehen, die gekennzeichnet ist durch eine Laservorrichtung, die auf eine Oberfläche eines sich relativ zu der Laservorrichtung bewegenden Gegenstandes mehrere Lichtstrahlen richtet, die in Bewegungsrichtung des Gegenstandes im Abstand zueinander liegen, um auf der Gegenstandsoberfläche mehrere Lichtmuster zu erzeugen, die sich über den Gegenstand in einer Richtung allgemein normal zur Bewegungsrichtung des Gegenstandes erstrecken, wobei eine Abtastvorrichtung die durch Laser erzeugten Lichtstrahlen kontinuierlich über der Oberfläche des Gegenstandes in Richtung allgemein normal zur Bewegungsrichtung des Gegenstandes abtastet und eine Reihe von Zeilenabtastkameras so angeordnet ist, daß sie die Lichtmuster betrachtet und aufzeichnet und parallel die aufgezeichneten Daten verarbeitet, um eine Messung der Gestalt der Gegenstandsoberfläche zu liefern. Das Abtasten kann dadurch bewirkt werden, daß eine Spiegelanordnung gedreht oder in Schwingungen versetzt wird. Diese Anordnungen können aus Spiegelgalvanometern bestehen.

Die durch die einzelnen Zeilenabtastkameras der Reihe aufgezeichneten Bilder können parallel zueinander verarbeitet werden, um eine Messung der Höhe über einer Bezugsebene für jenen Teil eines jeden Lichtmusters zu liefern, das durch jene Kamera betrachtet wird.

Gemäß einem weiteren Merkmal der Erfindung ist eine Vorrichtung zur Messung der Gestalt einer Oberfläche eines metallischen Gegenstandes vorgesehen, der sich über einer Trägeroberfläche bewegt, wobei die Meßvorrichtung durch eine Laservorrichtung gekennzeichnet ist, die auf die Oberfläche des sich bewegenden Gegenstandes mehrere Lichtstrahlen sendet, wobei Mittel vorgesehen sind, die aus diesen durch Laser erzeugten Lichtstrahlen mehrere Lichtmuster erzeugen, von denen jedes sich über die Breite des Gegenstandes erstreckt und in Bewegungsrichtung des Gegenstandes im Abstand zu den anderen Lichtmustern liegt, wobei eine Abtastvorrichtung vorgesehen ist, um die durch Laser erzeugten Lichtstrahlen kontinuierlich über der Gegenstandsoberfläche in einer Richtung allgemein normal zur Bewegungsrichtung des Gegenstandes abzutasten, und wobei eine Reihe von Zeilenabtastkameras sich über die Breite des Gegenstandes erstreckt und so angeordnet ist, daß die Lichtmuster betrachtet und aufgezeichnet werden und parallel die aufgezeichneten Daten verarbeitet werden, um eine Messung der Gestalt der Gegenstandsoberfläche zu liefern.

Gemäß einem weiteren Merkmal ist ein Verfahren zur Messung der Gestalt der Oberfläche eines sich über einer Trägeroberfläche bewegenden Gegenstandes vorgesehen, wobei das Verfahren durch die folgenden Schritte gekennzeichnet ist: Es werden auf eine Oberfläche eines Gegenstandes mehrere durch Laser erzeugte Lichtstrahlen gerichtet, um auf jener Oberfläche mehrere Lichtmuster zu erzeugen, die sich quer über die Oberfläche des Gegenstandes in einer Richtung allgemein normal zur Bewegungsrichtung des Gegenstandes erstrecken; es werden die durch Laser erzeugten Lichtstrahlen kontinuierlich über der Oberflche des Gegenstandes in einer Richtung allgemein senkrecht zur Bewegungsrichtung und quer zur Bewegungsrichtung des Gegenstandes abgetastet, und es werden die erzeugten Lichtmuster unter Benutzung einer Reihe von Zeilenabtastkameras aufgezeichnet, die allgemein senkrecht zur Bewegungsrichtung des Gegenstandes und quer zu dieser Richtung verlaufend angeordnet sind; und es werden die durch jede Zeilenabtastkamera aufgezeichneten Daten parallel mit den Daten anderer Kameras aufgezeichnet, um ein Maß für die Flachheit der Gegenstandsoberfläche zu liefern.

Im folgenden wird ein Ausführungsbeispiel der Erfindung unter Bezugnahme auf die beiliegende Zeichnung beschrieben. In der Zeichnung zeigen:

Fig. 1 ist eine schematische Seitenansicht einer erfindungsgemäßen Vorrichtung;

Fig. 2 ist eine schematische Grundrißansicht der Vorrichtung gemäß der Erfindung;

Fig. 3 ist eine teilweise im Schnitt gezeichnete perspektivische Darstellung einer Zeilenabtastkamera, die einen Teil der Vorrichtung gemäß Fig. 1 und 2 bildet;

Fig. 4 ist eine Seitenansicht der erfindungsgemäßen Vorrichtung, angeordnet über einem Walztisch eines Walzwerkes, teilweise im Schnitt gezeichnet;

Fig. 5 ist eine Grundrißansicht zu Fig. 4;

Fig. 6 ist ein Schnitt längs der Linie VI-VI gemäß Fig. 4 in kleinerem Maßstab; und

Fig.7 zeigt schematisch die Art und Weise, wie die Zeilenabtastkameras der dargestellten Vorrichtung mit dem Verarbeitungscomputer verbunden sind.

Nunmehr wird auf die Zeichnungen Bezug genommen. Fig. 1 und 2 zeigen schematisch das Verfahren der Arbeitsweise der erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Messung der Flachheit eines Stahlbandes 1, das sich in Richtung des Ffeiles A über einer Trägeroberfläche 2 bewegt. Die Formgestalt des Stahlbandes ist in Fig. 1 zur Verdeutlichung übertrieben dargestellt. Drei durch Laser erzeugte Lichtstrahlen 3 werden auf die Oberfläche des Bandes 1 projiziert. Jeder Lichtstrahl bewirkt eine Abtastung über die Breite des Bandes, um ein lineares Lichtmuster zu erzeugen. Die Lichtmuster werden durch eine Reihe von Zeilenabtastkameras 5 betrachtet, die sich über die Breite des Bandes erstrecken. Der Projektionswinkel eines jeden Lasterstrahls ist derart geneigt, daß die Achse des Strahls einen Winkel von typischerweise 20º gegenüber einer Linie ausspannt, die normal zur Bandoberfläche verläuft. Die Kameras 5 sind unter ungefähr dem gleichen Winkel angestellt, so daß die optische Achse einer jeden Kamera im typischen Fall in einem Winkel von 20º gegenüber einer Linie verläuft, die normal zur Bandoberfläche gezogen ist. Wenn sich das Band 1 über dem Träger 2 bewegt, dann hebt sich und senkt sich seine Oberfläche relativ zur Trägeroberfläche 2, und zwar unter anderen Wegen der Ungleichförmigkeit der Bandoberfläche. Bei einer genau flachen Bandoberfläche würde das Lichtmuster 4 durch die jeweilige Kamera an der Stelle 7 der Fig. 1 betrachtet werden; bei einer Streifenkonfiguration, wie sie in der Zeichnung dargestellt ist, wird das Lichtmuster durch die Kamera jedoch an der Stelle 8 betrachtet. So kann die augenblickliche Höhe des Bandes an jeder gegebenen Stelle durch geeignete Verarbeitung der Bilddaten gemessen werden, die von den Kameras 5 geliefert werden, und zwar unter Bezugnahme auf eine willkürliche Bezugsebene und unter Benutzung einer vorherigen Eichung. Es werden demgemäß die augenblicklich vorhandenen Höhen der Bandoberfläche aufgezeichnet, um eine Messung des linearen Abstandes (d.h. der Fadenlänge) zwischen benachbarten Lichtmustern zu liefern.

Dadurch, daß eine Reihe von Messungen in regelmäßigen Intervallen über die Breite des Bandes durch die Reihe der Kameras 5 vorgenommen wird, kann die Gesamtflachheit des Bandes bestimmt werden.

Ein Vorteil, der sich aus der Benutzung mehrerer Lasterstrahlen ergibt, besteht darin, daß gleichzeitig Messungen an drei in Längsrichtung im Abstand zueinander angeordneten Stellen vorgenommen werden können, um die Möglichkeit zu schaffen, Höhendifferenzen durch parallele Verarbeitung zu bestimmen; die Messungen werden natürlich durch allgemeine vertikale Bewegungen des Bandes zusätzlich zu Änderungen der Bandflachheit beeinflußt. Weil jede vertikale Gesamtbewegung des Bandes, die beispielsweise durch ein Flattern verursacht werden kann, zu gleichen Horizontalbewegungen der Lichtmuster führt, die durch die Laserstrahlen erzeugt werden, können solche Allgemeinbewegungen leicht während der Verarbeitung ausgeschaltet werden. Es ergibt sich daraus, daß die Bilder, die durch die On-line-Kamera-Linie 5 erzeugt werden, so verarbeitet werden können, daß genau die relativen Lagen der Linien des Lichtes 4 definiert werden, die durch die einzelnen Laserstrahlen 3 erzeugt werden, und aus diesen Daten kann die Flachheit des Bandes bestimmt werden.

Die Laserstrahlen 3 werden zweckmäßigerweise von einem einzigen Laser erzeugt, und sie tasten über die Breite des Bandes ab, indem ein Spiegelsystem, z.B. ein Spiegelgalvanometer, gedreht oder in Schwingungen versetzt wird. Stattdessen kann ein Zeilengenerator, oder es können mehrere getrennte Laser vorgesehen werden, von denen jeder gepulst wird, um ein EIN/AUS-Lichtmuster zu erhalten.

Nunmehr wird auf Fig. 3 Bezug genommen. Jede Zeilenabtastkamera 5 weist ein Objektiv 11 auf, das Licht empfängt, welches von jenem Teil der Bandoberfläche reflektiert wurde, der innerhalb der begrenzten 'Linie' der Abtastung 6 enthalten ist, und dieses reflektierte Licht wird auf eine Empfangsoberfläche 12 fokussiert, die ein Feld 14 aus lichtempfindlichem Material aufweist. Die Bilder der Lichtmuster, die auf der Empfangsoberfläche 12 empfangen werden, sind bei 4a, 4b und 4c dargestellt.

Die linearen lichtempfindlichen Felder 14 sind im typischen Falle herkömmliche ladungsgekoppelte Vorrichtungen, und die Lage eines jeden Lichtmusters 4a, 4b, 4c wird unter Bezugnahme auf die Pixel des Feldes 14 bestimmt, die durch die entsprechenden Lichtmuster aktiviert werden. Jedes lineare Feld 14 ist von den Feldern der anderen Kameras getrennt, und die Ausgänge der verschiedenen linearen Felder werden parallel zueinander unter Benutzung elektronischer Hardware verarbeitet. Dies bedeutet, daß die Verarbeitungszeit beträchtlich vermindert wird.

Eine spezielle Anordnung der Vorrichtung gemäß der Erfindung ist in den Fig. 4 bis 6 dargestellt. Ein Laserstrahl eines Lasers 20 wird in drei getrennte Strahlen 21 aufgeteilt, von denen jeder eine Abtastung über die Breite des Bandes vornimmt, und zwar mittels jeweils eines von drei Spiegelgalvanometer-Abtastern 22, die innerhalb eines staubdichten Gehäuses 23 angeordnet sind. Das Band 1 wird längs eines Rollentisches 24 in Richtung des Pfeiles A bewegt, und das Licht, welches von der Bandoberfläche reflektiert wird, wird von den Linienabtastkameras 25 empfangen, die optische Sensoren aufweisen, welche innerhalb eines Gehäuses 26 untergebracht sind. Der Laser 20 ist im typischen Fall ein 4-Watt-Argon-Ionenlaser, und es sind im typischen Fall einundzwanzig Linienabtastkameras 25 vorgesehen (von denen einige in Fig. 6 dargestellt sind), die gleichförmig über die Breite des Rolltisches 24 angeordnet sind. Jede Linienabtastkamera 25 ist im typischen Fall mit einem Objektiv der Lichtstärke F2.8 und einer Brennweite von 200 mm ausgestattet, um Höhenänderungen bis zu 250 mm messen zu können. Jede Linienabtastkamera besitzt im typischen Fall 2048 Pixel, um submillimetrische Auflösungen in der Höhe vornehmen zu können.

Der aus Laser 20, aus Abtastvorrichtungen 22, aus Linienabtastkameras 25 und aus der zugeordneten Elektronik 27 bestehende Aufbau wird im typischen Falle 3 m über dem Rolltisch 24 am Austritt des Heißwalzwerkes angeordnet. Die Ausgänge der Linienabtastkameras 25 werden zum Zwecke paralleler Verarbeitung einem Steuercomputer 28 (Fig. 7) zugeführt, der in einem gewissen Abstand von dem Raum mit dem Instrumentarium angeordnet ist. Alle Einrichtungen, die über dem Rolltisch 24 angeordnet sind, sind in einem wassergekühlten oder mit einer Kühlmaschine versehenen Gehäuse 29 untergebracht, das an seiner Unterseite mit Fenstern 31 versehen ist, damit die Strahlen der Laser 21 auf die Bandoberfläche gerichtet und von der Bandoberfläche nach den Kameras 25 reflektiert werden können.

Weil die Bandoberfläche eine ausreichende Reflexionsfähigkeit besitzt, verursacht im Betrieb jede Winkeländerung im Band von der Spiegelfläche weg (infolge von Gestaltswellen oder einem Flattern) eine Änderung der Intensität der einzelnen 'Streifen' (d.h. der Muster), die durch den Laserstrahl 21 auf der Bandoberfläche erzeugt werden. Über den betrachteten Meßbereich kann sich die Intensität mehrere hundertmal ändern. Weil dies außerhalb des dynamischen Bereichs der Kameras 25 liegt, ist es notwendig, einen genügend leistungsfähigen Laser zu benutzen, um zu gewährleisten, daß das Signal nicht zu klein für die Messung wird, wenn der Bandwinkel gegenüber der Horizontalen groß ist. Eine Folge hiervon ist, daß dann, wenn der Bandwinkel in der Nähe der Spiegelfläche liegt, das Signal mehrfach übersättigt ist, und daß es notwendig wird, lineare Reihen mit 'Antiaufhellung' (anti- - blooming) zu benutzen, um eine Verzerrung des Signals zu vermeiden und um immer genaue Messungen zu gewährleisten.

Die Laser-'Streifen' liegen im typischen Fall 125 mm auseinander (250 mm zwischen den äußeren), und zwar in Bewegungsrichtung des Bandes, und diese Trennung bestimmt die Abtastfrequenz entlang der Rollrichtung und demgemäß die minimale Wellenlängenform, die gemessen werden kann. Diese Trennung liefert fünf Meßpunkte pro Wellenlänge bei 500 mm (Auslegungsminimum). Um eine volle Bedeckung des Bandes zu gewährleisten, sollte eine Kameraablesung alle 250 mm der Bandbewegung durchgeführt werden. Dies ist aquivalent einer Ablesung etwa alle 14 mm/sec bei der maximalen Bandgeschwindigkeit des Walzwerkes von 18 m/sec.

Da sich die Bandgeschwindigkeit mit der Produktbeschaffenheit und der Walzpraxis ändert, überwacht der Computer Änderungen der Bandgeschwindigkeit und bewirkt eine entsprechende Veränderung der Integrationszeiten der Kameras. Damit die Laserpunkte nur einmal das Sichtfeld der Kameras 25 pro Integrationsperiode überkreuzen, sind die Abtastvorrichtungen 22 mit den Kameras 25 synchronisiert. Die Abtastvorrichtungen 22 werden durch eine Sägezahnwellenform betrieben, deren Amplitude eingestellt werden kann, um eine Anpassung an die Breite des auszuwalzenden Bandes zu ermöglichen. Während der Rücklaufperiode kann jede Kamera 25 elektronisch abgeschaltet werden, so daß die Punkte nicht erkannt werden. Da die Laserpunkte das Sichtfeld jeder Kamera 25 sehr schnell kreuzen (etwa in 50 Mikrosekunden), wird jede Bewegungsunschärfe infolge der Bewegung der Bandoberfläche im wesentlichen eliminiert.

Da das das Walzwerk verlassende Band rotgühend ist, wenn es unter dem Gehäuse 29 hindurchläuft, wird die von der Bandoberfläche ausgehende Strahlung dadurch abgesperrt, daß jede Kamera 25 mit einem dichroidischen Bandpaßfilter 32 versehen ist, das auf die Laserwellenlänge (etwa 500 nm) abgestimmt ist. Wenn ein solches Filter nicht vorgesehen wird, dann werden die Kameras durch Hintergrundstrahlung gesttigt, da ihre Spitzenempfindlichkeit bei etwa 800 nm liegt.

Wie schematisch in Fig. 7 angedeutet, sind die Kameras 25 jeweils zu dritt über sieben Interface-Anschlüsse 33 mit dem Computer 28 verbunden. Diese Interface-Anschlüsse 33 verarbeiten die Analogsignale 34 der Kameras in der Schaltung, um binäre Videosignale zu erzeugen, die in die Randdetektorschaltung eingeführt werden. Da diese Verarbeitung parallel in der Hardware vorgenommen wird, ist die Verarbeitung sehr schnell. Die Ränder, die übergänge über einen programmierbaren Schwellwert darstellen, der am Eingang eingestellt wird, werden in einem FIFO-Puffer (first in/first out hardware buffer) gespeichert und entsprechen den Lagen der Laser'Streifen' im Sichtfeld der Kameras.

Am Ende einer jeden Kamera-Integrationsperiode wird eine Unterbrechung erzeugt, und diese Randablesungen werden von den sieben Interface-FIFO-Puffern durch den Computer 28 über eine Datenbasis abgelesen. Diese Randablesungen werden dann in der Software gefiltert, um ungültige Daten auszumerzen, und sie werden benutzt, um die Länge der Oberflächenfäden (d. h. linearer Abstand zwischen dem durch Laser erzeugten Muster 1) auf dem Band für jede wirksame Kamera zu berechnen. Da die Bandbreite sich wahrscheinlich ändert und wahrscheinlich nicht die gesamte Breite des Rolltisches 24 ausfüllt, sehen einige der Kameras 25 nicht alle drei 'Streifen'. Die Software ignoriert die Ablesungen von diesen Kameras. Die berechnete Fadenlänge (d.h. Abstand zwischen den entsprechenden Lichtmustern 4) wird dann über eine vorgegebene Bandlänge integriert und benutzt, um Parameter zu berechnen, aus denen die Flachheit des Bandes bestimmt werden kann. Vorteile der Linienabtastkameras gegenüber Feldkameras umfassen u.a. die Tatsache, daß die Linienabtastkameras eine relativ höhere Auflösung besitzen als die Feldkameras, und wenn man für genaue Messungen Feldkameras benutzt, ist es notwendig, eine Interpixel-Interpolationstechnik durchzuführen, was eine weitere Verarbeitungszeit erfordert. Außerdem müssen Feldkameras eine beträchtlich größere Datenzahl pro Integrationsperiode lesen als Linienabtastkameras, und daher ist ihre Verarbeitunsgeschwindigkeit beträchtlich vermindert. Feldkameras werden normalerweise nur benötigt, um mit einer Fernsehbildfrequenz zu arbeiten, die niedriger ist als es in der Praxis bei einem Stahlwalzwerk erforderlich ist, welches eine Arbeitsweise bis zu 80 Hz erfordert. Feldkameras erzeugen eine Menge redundanter Information, und schließlich ist die Antiaufhellungsfähigkeit von Feldkameras nicht so gut wie bei Linienabtastkameras.

Die Erfindung wurde vorstehend in Verbindung mit der Bestimmung der Flachheit eines Metallbandes beschrieben, jedoch kann die Vorrichtung gemäß der Erfindung auch benutzt werden, um die Oberflächengestalt beispielsweise von Rohren, gewalzten Abschnitten von Profilabschnitten u.dgl. zu bestimmen.

Die Erfindung wird durch die beiliegenden Ansprüche 1 bis 6 definiert.


Anspruch[de]

1. Vorrichtung zur Messung der Form einer Gegenstandsoberfläche,

dadurch gekennzeichnet, daß eine Laservorrichtung (20) vorgesehen ist, um auf eine Oberfläche eines sich gegenüber der Laservorrichtung bewegenden Gegenstandes mehrere Lichtstrahlen (3) zu richten, die in Bewegungsrichtung des Gegenstandes im Abstand zueinander liegen, um auf der Gegenstandsoberfläche mehrere Lichtmuster zu erzeugen, die sich in einer Richtung allgemein normal zur Bewegungsrichtung des Gegenstandes über den Gegenstand erstrecken, daß eine Abtastvorrichtung (22) vorgesehen ist, um eine Abtastung der vom Laser erzeugten Lichtstrahlen kontinuierlich über die Gegenstandsoberfläche in einer Richtung allgemein normal zur Bewegungsrichtung des Gegenstandes vorzunehmen, und daß eine Reihe von Linienabtastkameras (5) vorgesehen ist, um die Lichtmuster zu betrachten und aufzuzeichnen, und um parallel zueinander die aufgezeichneten Daten zu verarbeiten und dadurch eine Messung der Form der Gegenstandsoberfläche zu erhalten.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, bei welcher die Abtastvorrichtung aus einem rotierenden oder oszillierenden Spiegelaufbau (22, 23) besteht.

3. Vorrichtung nach Anspruch 2, bei welcher der Spiegelaufbau aus mehreren Spiegelgalvanometern (22) besteht.

4. Vorrichtung zur Messung der Form einer Oberfläche eines metallischen Gegenstandes, der sich über einer Trägeroberfläche bewegt,

dadurch gekennzeichnet, daß eine Laservorrichtung (20) vorgesehen ist, um auf die Oberfläche des sich bewegenden Gegenstandes mehrere Lichtstrahlen (3) zu richten, daß Mittel vorgesehen sind, die aus diesen durch Laser erzeugten Lichtstrahlen mehrere Lichtmuster erzeugen, von denen jedes sich quer über die Breite des Gegenstandes erstreckt und von den anderen Lichtmustern in Richtung der Gegenstandsbewegung im Abstand liegt, daß eine Abtastvorrichtung (22) vorgesehen ist, um eine Abtastung der durch Laser erzeugten Lichtstrahlen kontinuierlich über die Gegenstandsoberfläche in einer Richtung normal zur Bewegungsrichtung des Gegenstandes zu bewirken, und daß eine Reihe von Linienabtastkameras (5) vorgesehen ist, die sich über die Breite des Gegenstandes erstrecken und so angeordnet sind, daß sie die Lichtmuster betrachten und aufzeichnen, und daß die aufgezeichneten Daten parallel verarbeitet werden, um eine Messung der Form der Gegenstandsoberfläche zu liefern.

5. Vorrichtung nach Anspruch 4, bei welcher die Trägeroberfläche aus einem Rolltisch (24) besteht, der ein Metallband übernimmt, welches von einem Walzwerk geliefert wird.

6. Verfahren zur Messung der Form einer Oberfläche eines Gegenstandes, der sich über eine Trägeroberfläche bewegt,

gekennzeichnet durch die folgenden Schritte: es werden auf eine Oberfläche eines Gegenstandes mehrere, durch Laser erzeugte Lichtstrahlen gerichtet, um auf jener Oberfläche mehrere Lichtmuster zu erzeugen, die sich quer über die Gegenstandsoberfläche in einer Richtung allgemein normal zur Bewegungsrichtung des Gegenstandes erstrecken; die durch Laser erzeugten Lichtstrahlen tasten kontinuierlich die Gegegenstandsoberfläche in einer Richtung allgemein normal zur Bewegungsrichtung des Gegenstandes ab; es werden die erzeugten Lichtmuster unter Benutzung von Linienabtastkameras aufgezeichnet, die allgemein normal zur Bewegungsrichtung des Gegenstandes und quer hierzu angeordnet sind, und es werden die von jeder Linienabtastkamera aufgezeichneten Daten parallel mit den Daten der anderen Kameras verarbeitet, um eine Messung der Flachheit der Gegenstandsoberfläche zu erhalten.







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