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Dokumentenidentifikation DE29709755U1 16.10.1997
Titel Vorrichtung zum chemisch-mechanischen Polieren einer Oberfläche eines Objektes, insbesondere eines Halbleiterwafers
Anmelder Peter Wolters Werkzeugmaschinen GmbH, 24768 Rendsburg, DE
Vertreter Patentanwälte Hauck, Graalfs, Wehnert, Döring, Siemons, 20354 Hamburg
DE-Aktenzeichen 29709755
Date of advertisement in the Patentblatt (Patent Gazette) 16.10.1997
Registration date 04.09.1997
Application date from patent application 07.05.1997
File number of patent application claimed 197 19 503.2
IPC-Hauptklasse B24B 29/02
IPC-Nebenklasse B24B 37/04   B24B 7/16   H01L 21/304   B24B 49/00   








IPC
A Täglicher Lebensbedarf
B Arbeitsverfahren; Transportieren
C Chemie; Hüttenwesen
D Textilien; Papier
E Bauwesen; Erdbohren; Bergbau
F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
G Physik
H Elektrotechnik

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