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Dokumentenidentifikation DE19730580A1 21.01.1999
Titel Vorrichtung zur Bestimmung des Durchsatzes eines strömenden Mediums
Anmelder Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE
Erfinder Kleinhans, Josef, 71665 Vaihingen, DE
DE-Anmeldedatum 17.07.1997
DE-Aktenzeichen 19730580
Offenlegungstag 21.01.1999
Veröffentlichungstag im Patentblatt 21.01.1999
IPC-Hauptklasse G01F 1/699
IPC-Nebenklasse G01F 1/696   F02M 35/10   H05B 1/02   
Zusammenfassung Es wird eine Vorrichtung zur Bestimmung des Durchsatzes eines strömenden Mediums angegeben, bei dem ein Sensor, der zwei Widerstandsbrücken umfaßt, dem strömenden Medium ausgesetzt wird. Die Widerstände der Widerstandsbrücken werden mit Hilfe eines Heizwiderstandes auf eine vorgebbare Übertemperatur geheizt. Eine Widerstandsbrücke erzeugt das eigentliche Meßsignal, die andere erzeugt ein Signal, das temperaturabhängig ist und zur Regelung der Heizung dient. Beide Signale werden in Rechteckspannungen gewandelt, mit den Tastverhältnissen TV(Tu) und TV(m). Durch Vergleich der Rechteckspannungen in einem Phasendetektor mit Vorzeichenerkennung sowie digitale Weiterverarbeitung mit Hilfe von Zählern läßt sich die Masse des strömenden Mediums bestimmen, wobei zusätzliche Korrekturen bzw. Abgleiche möglich sind.

Beschreibung[de]

Die Erfindung geht aus von einer Vorrichtung zur Bestimmung des Durchsatzes eines strömenden Mediums, beispielsweise der von einer Brennkraftmaschine angesaugten Luftmasse nach der Gattung des Hauptanspruchs.

Stand der Technik

Sensoren sowie zugehörige Auswerteschaltungen, mit deren Hilfe der Durchsatz eines strömenden Mediums ermittelt werden kann, sind beispielsweise aus der Druckschrift WO 97/18444 bekannt. Bei solchen Sensoren, die insbesondere dazu geeignet sind, die von einer Brennkraftmaschine angesaugte Luftmasse zu ermitteln, werden zwei temperaturabhängige Widerstände mit Hilfe eines Heizwiderstandes auf eine gegenüber dem Medium vorgebbare Übertemperatur geheizt. Diese Widerstände sind bezogen auf die Strömungsrichtung des zu erfassenden Mediums oberhalb und unterhalb des Heizwiderstandes angeordnet, so daß sie von diesem gleichmäßig erhitzt, jedoch durch das strömende Medium unterschiedlich stark abgekühlt werden. Die sich dabei ergebende Meßspannung wird zur Bestimmung der Masse des strömenden Mediums verwendet. Damit die Erwärmung des Heizwiderstandes zuverlässig kontrolliert werden kann, sind weitere temperaturabhängige Widerstände als Meßbrücke auf dem Sensorelement vorhanden. Durch Auswertung der Temperatur dieser Widerstände läßt sich eine optimale Heizregelung erzielen. Der bekannte Sensor weist zusätzliche Temperaturkompensationsschaltungsteile auf, die sicherstellen, daß die auszuwertende Meßspannung fehlerfrei erhalten wird. Die bekannten Sensoren werden üblicherweise mit Hilfe einer nachgeschalteten Auswerteeinrichtung, beispielsweise dem Steuergerät eines Fahrzeugs ausgewertet. Die Anpassung des Sensors an die nachfolgende Elektronik kann unter Umständen zu Problemen führen.

Vorteile der Erfindung

Die erfindungsgemäße Vorrichtung zur Bestimmung des Durchsatzes eines strömenden Mediums mit den Merkmalen des Hauptanspruchs hat gegenüber dem Stand der Technik den Vorteil, daß eine optimale Anpassung der Analogelektronik des Sensors an moderne integrierte Schaltkreis-Prozesse, die ihre Vorteile nur bei digitaler Signalauswertung ausnützen können, erfolgen kann. Damit wird für die gesamte Signalauswertung letztendlich eine höhere Genauigkeit erhalten.

Erzielt werden diese Vorteile, indem bekannte Sensoren sowie die zugehörigen Auswerteschaltungen so abgeändert werden, daß sowohl die Meßspannung UM, als auch die sogenannten Umsetzspannung UH, die von der Kompensationswiderstandsanordnung abgreifbar ist und als Maß für die Temperatur dient, in eine Rechteckspannung mit den Tastverhältnissen TV(Tu) und TV(T ≙) gewandelt wird und diese Tastverhältnisse mit Hilfe einer PLL-Schaltung in einem Phasendetektor ausgewertet werden. Durch Synchronisation der Oszillatorfrequenz des TU-Tastverhältnisses mit dem T ≙-Tastverhältnis läßt sich eine besonders vorteilhafte Auswertung erzielen. Weitere Vorteile der Erfindung werden durch die in den Unteransprüchen angegebenen Maßnahmen erzielt. Dabei ist es vorteilhaft, daß die gesamte Anordnung mittels eines programmierten Abgleichs abgeglichen werden kann, so daß beispielsweise keine Lichtempfindlichkeiten auftreten. Weiterhin ist vorteilhaft, daß ein codiertes Signal für die Auswertung im Steuergerät gebildet werden kann, wobei dieses über einen Ausgang flexibel abgebbar ist. Falls erforderlich kann das TU-Signal als optionales Signal für weitere Auswertungen bereitgestellt werden. Besonders vorteilhaft ist, daß die gesamte Vorrichtung infolge der vorhandenen Digitalelektronik sehr störsicher ist.

Zeichnung

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt und wird in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Im einzelnen zeigt Fig. 1 den Sensor einschließlich der gesamten digitalen Signalauswertung. In Fig. 2 ist die Umsetzschaltung für das ≙-Signal und in Fig. 3 die Umsetzschaltung für das TU-Signal dargestellt. In Fig. 4 sind einige Signalverläufe der Digitalschaltung über der Zeit aufgetragen.

Beschreibung

In Fig. 1 ist die Gesamtanordnung des Heißfilmluftmassensensors 10 mit der digitalen Signalauswerteschaltung 11 dargestellt. Der Sensor 10 umfaßt dabei zwei Widerstandsbrücken 12, 13, die zumindest teilweise temperaturabhängige Widerstände aufweisen. Die Widerstandsbrücke 12 stellt die eigentliche Meßbrücke dar, die Widerstandsbrücke 13 ist Bestandteil des Heizregelkreises für den Heizwiderstand Rh, der Bestandteil des Sensors ist und die einzelnen Widerstände auf die gewünschte Meßtemperatur aufheizt. Die beiden Widerstandsbrücken 12 und 13 sind zueinander parallelgeschaltet und liegen jeweils über einen Inverter I zwischen Referenzspannung Uref und Masse. Die gesamte Sensoranordnung ist auf einem Träger, beispielsweise einem Substrat aufgebaut und wird in geeigneter Weise dem zu ermittelnden Medium, beispielsweise dem Luftstrom im Ansaugrohr einer Brennkraftmaschine ausgesetzt.

Die Meßbrücke 12 ist als Temperaturdifferenzbrücke ausgestaltet und umfaßt die Widerstände Rab1, Rab2, Rau1, Rau2 sowie Rp. Diese Widerstände sind temperaturabhängige Widerstände, die durch den Heizwiderstand Rh auf Übertemperatur geheizt werden. Die Widerstände Rab1 und Rab2 sind dabei bezogen auf die Strömungsrichtung des zu erfassenden Mediums abwärts vom Heizwiderstand angeordnet, die Widerstände Rau1 sowie Rau2 dagegen aufwärts.

Die Meßspannung UM, die sich an der Brückendiagonale einstellt, wird einer Umsetzungsschaltung 14 der digitalen Signalauswerteschaltung 11 zugeführt. Die Umsetzungsschaltung ist dabei sowohl mit der Verbindung der beiden Widerstände Rab1 und Rau1 sowie Rau2 und Rp und mit der Verbindung zwischen Rp und Rab2 verbunden und bildet das Tastverhältnis TV( ≙).

Die dem Heizregelkreis zugeordnete Widerstandsbrücke 13 umfaßt die Widerstände R1, R2, Rhf und Rlf. Rhf ist dabei der Heizertemperaturfühler Rlf der Luft- bzw. Medientemperaturfühler. Die Werte dieser Widerstände sind temperaturabhängig, so daß sich an der Brückendiagonale der Widerstandsbrücke 13 eine Spannung UH einstellt. Diese Spannung wird der digitalen Signalauswerteschaltung 11 zugeführt, wobei sie sowohl dem Heizregler 15 als auch der Umsetzungsschaltung mit Frequenzsynchronisation 16 zugeführt wird. Die Umsetzschaltung erhöht weiterhin das im Block T2 durch 2 geteilte Tastverhältnis TV( ≙).

Der grundsätzliche Aufbau des HFM-Sensors 10 sowie seine Funktionsweise werden in der Druckschrift WO 97/18444 ausführlich beschrieben und sollen daher an dieser Stelle nicht mehr näher erläutert werden. Die digitale Signalauswerteschaltung 11 stellt den eigentlichen Kern der Erfindung dar. Sie wertet die vom HFM-Sensor gelieferten Spannungen UM und UH so aus, daß wie im folgenden noch beschrieben wird, ein Signal erhalten wird, das direkt der Masse m des strömenden Mediums entspricht.

Die digitale Signalauswerteschaltung 11 umfaßt neben den bereits erwähnten Umsetzungsschaltungen 14 und 16 sowie dem Heizregler 15 weitere Digitalbausteine, mit denen verschiedene Abgleiche durchgeführt werden können. Der Baustein für einen multiplikativen Grundabgleich mit Tm ist mit 17 bezeichnet, ein additiver Grundabgleich Ta wird durch den Block 18 möglich. Einen additiven Temperaturabgleich Tu läßt sich mit dem Digitalbaustein 19 erzielen. Die in den Abgleichbausteinen erzeugten Signale TV( ≙).N/Tm, N/Ta und TV(Tu).N/Tu werden entsprechenden Eingängen Nm, Na, Nt einer Addierstufe 20 zugeführt. In der Addierstufe 20 werden die in den Abgleichblöcken erzeugten Signale in geeigneter Weise addiert.

Die drei Digital-Abgleich-Bausteine 17, 18 und 19 sind jeweils gleich aufgebaut. Sie umfassen je einen Block 21, 22, 23 zur Voreinstellung von Tm, Ta, Tu, Blöcke 24, 25 und 26, denen die Voreinstellung und das jeweils auszuwertende Signal zugeführt werden sowie Zähler 27, 28, 29, die die jeweilige multiplikative oder additive Korrektur durchführen.

Die Ausgangssignale der Addierstufe 20 werden einem weiteren Zähler 30 mit Voreinstellung zugeführt. Diesem Zähler 30 wird auch ein Zählwert Ni, der aus dem Tastverhältnis TV( ≙) gewonnen wird, zugeführt. Weiterhin ist der Zähler 30 mit einer PLL-Schaltung 31 verbunden, die auch mit dem Digitalblock 18 sowie dem Heizregler 15 in Verbindung steht. Der Zähler 30 führt auf den Block 34, der wahlweise in der Schaltungsart parallel in/seriell out oder als Tastverhältnis-Umsetzer betrieben wird. Der Block 34 läßt sich über den Schalter 33 wahlweise mit einer Hilfsfrequenz FAUX oder mit der in der PLL-Schaltung erzeugten Frequenz fvco betreiben. Der Ausgang des Blocks 32 ist über eine Filterschaltung mit dem Widerstand R und dem Kondensator C mit dem Ausgang m-out verbunden. An diesem Ausgang m-out ist ein Signal entnehmbar, das direkt der Masse des strömenden Mediums entspricht.

Weitere Ein- bzw. Ausgänge der digitalen Signalauswerteschaltung sind wie folgt bezeichnet:

Übat: Anschluß für die Batteriespannung

Uref: Anschluß für eine Referenzspannung

GND: Masseanschluß

P/T: PR/T-Anschluß für Programm bzw. Taktsignal

DA: Dateneingabe

Tu-Out: Temperaturausgang.

Das Ausgangssignal am Temperaturausgang wird aus dem Tastverhältnis der Umsetzungsschaltung 16 mit Hilfe eines Signalwandlers 35 gewonnen und wird beispielsweise direkt als Temperaturwert bereitgestellt.

Zur Erläuterung der Funktionsweise der digitalen Signalauswerteschaltung sollen zunächst anhand der Fig. 2 und 3 die Umsetzungsschaltungen 14 und 16 erläutert werden, mit denen die Meßspannung UM( ≙) in ein Tastverhältnis TV( ≙) und die temperaturabhängige Spannung UH(Tu) in ein Tastverhältnis TV(Tu) gewandelt wird.

In Fig. 2 ist die Umsetzschaltung 14 sowie ihr Anschluß an die Meßbrücke 11 dargestellt. Die Umsetzschaltung ist über zwei Schaltmittel S1, S2 an den Widerstand Rp der Meßbrücke anschließbar, wobei an den beiden Anschlüssen die Spannungen U1 und U2 liegen. Ein weiterer Anschluß führt von der Umsetzschaltung 14 zum Verbindungspunkt der Widerstände Rab1 und Rau2. An diesem Verbindungspunkt liegt die Spannung U0. Im einzelnen umfaßt die Umsetzschaltung 14 einen Integrator OP1 und einen Komparator KP1 sowie die zugehörige Rückkoppelschaltung mit den Widerständen R4, R5 und R6 sowie dem Kondensator C4. Zwischen dem Ausgang des Komparators KP1 und dem Referenzspannungsanschluß UREF liegt ein Pullup-Widerstand Rpullup1, der auch mit dem Schaltmittel S1 verbunden ist. Ein Flipflop FF1 ist an den Ausgang des Komparators KP1 angeschlossen und betätigt die Schaltmittel S2.

Die Umsetzschaltung 14, mit der die Meßspannung UM in ein Tastverhältnis TV( ≙) gewandelt werden soll, ist ein schwingendes System. Für die Schalthysterese des Komparators KP1 gilt unter der Voraussetzung, daß der Pullup-Widerstand viel kleiner ist als die Widerstände R5 und R6:

Δ = R5/R6.Uref.

Wenn das Signal am Ausgang des Komparators KP1 high ist, gilt für den Integratorstrom:

IC4 = (U2-U1)/R4.

Die Zeit, für die der Ausgang des Komparators KP1 high ist, TH errechnet sich dann nach der Gleichung:

IC4.TH = C4.ΔU

TH = (C4.ΔU)/IC4 = R4.C4.ΔU/(U2-U0).

Für die Low-Zeit TL ergibt sich in analoger Weise:

IC4 = (U0-U1)/R4 bzw. IC4.TL = C4.ΔU

TL = C4.ΔU/IC4 = R4.C4.ΔU/(U0-U1).

Für die Schwingungsdauer gilt dann:





Für die Schwingungsfrequenz gilt:





Für das Tastverhältnis gilt:





Da die Spannungen U0 und U1 sich gegenläufig mit ≙ ändern, ändert sich hierbei auch das Tastverhältnis, ist somit von ≙ abhängig und es gilt:

TV = f( ≙).

Die in Fig. 3 dargestellte Umsetzschaltung mit Frequenzsynchronisation entspricht in weiten Teilen der in Fig. 2 dargestellten Schaltung. Die einzelnen Bestandteile dieser Schaltung sind ein Integrator OP2, ein Komparator KP2 sowie die Widerstände R10, R11 und R12 und der Kondensator C10. Weiterhin entspricht der Pullup-Widerstand Rpullup2 dem Pullup-Widerstand nach Fig. 2. Die Schaltmittel sind mit S3 und S4 bezeichnet, das Flipflop, das die Schaltmittel S3 und S4 betätigt, trägt das Bezugszeichen FF2. Die Schaltmittel S3 und S4 können eine Verbindung herstellen zur Serienschaltung der Widerstände R7, R8 und R9, die zwischen der Referenzspannung UREF und Masse liegen. Eine weitere Verbindung der Umsetzschaltung 16 mit Frequenzsynchronisation führt zum Verbindungspunkt zwischen den Widerständen R2 und Rlf. über diese Verbindungsleitung wird die temperaturabhängige Spannung UT dem nichtinvertierenden Eingang des Operationsverstärkers OP2 und dem invertierenden Eingang des Komparators KP2 zugeführt.

Im Unterschied zur Schaltungsanordnung nach Fig. 2 ist die Reihenschaltung R7, R8, R9 zusätzlich zur eigentlichen zweiten Brücke vorhanden, während die Reihenschaltung Rab2, Rp, Rau1 nach Fig. 2 Bestandteil der Meßbrücke ist. Der Pullup-Widerstand nach Fig. 3 führt auf einen Phasendetektor mit Vorzeichenerkennung 36, der über einen Block 37 mit dem Ausgang des Komparators KP2 und dem Pullup- Widerstand Rpullup2 verbunden ist. Ein weiterer Anschluß des Phasendetektors führt über den Block 38 zum Ausgang des Komparators KP1 der Schaltung nach Fig. 2. über diesen Anschluß wird das Tastverhältnis TV( ≙) zugeführt, während über den anderen Anschluß des Phasendetektors das Tastverhältnis TV(Tu) zuführbar ist. Zu den Blöcken 37 und 38 wird die Frequenz des zugeführten Signals jeweils halbiert.

Die Erzeugung des Tastverhältnisses TV(Tu) geschieht bei der Schaltungsanordnung nach Fig. 3 auf die gleiche Weise wie bei der Schaltung nach Fig. 2. Der Unterschied zur Schaltung nach Fig. 2 besteht darin, daß die Frequenz des schwingenden Systems bzw. Oszillators synchronisiert ist mit dem schwingenden System bzw. dem Oszillator der Schaltung nach Fig. 2. Werden die Schwingungsdauer, die Schwingfrequenz und das Tastverhältnis analog zur Schaltung nach Fig. 2a gebildet, ist erkennbar, daß die Oszillatorfrequenz umgekehrt proportional zur Schalthysterese ist, es gilt also:

f ~ 1/ΔU.

Da ΔU = R11/R12.Ux ist, ist zu erkennen, daß die Frequenz f proportional 1/Ux ist. Mit der Spannung Ux, die am Ausgang des Phasendetektors 36 bzw. am Pullup-Widerstand Rpullup2 auftritt, kann die Frequenz des Oszillators gesteuert werden. Diese Frequenzsteuerung erfolgt, indem sowohl die Frequenz des Tastverhältnisses TV( ≙) als auch die Frequenz von TV(Tu) halbiert wird. In Fig. 3 ist dies durch die Blöcke 37 und 38 dargestellt, die das zugeführte Signal mit dem Faktor 2 teilen.

Die nach der Frequenzteilung entstehenden Signale mit dem Tastverhältnis von 50% werden dem Phasendetektor mit Vorzeichenerkennung zugeführt und in diesem miteinander verglichen. Mit dem Ausgangssignal des Phasendetektors mit Vorzeichenerkennung wird die Frequenz des Tastverhältnisses TV(Tu) so eingeregelt, daß diese gleich der Frequenz des Tastverhältnisses von TV( ≙) ist.

Da beide Frequenzen gleich sind können in der Gesamtschaltung beide Tastverhältnisse TV(Tu) und TV( ≙) mit derselben Clockfrequenz ausgezählt werden. Diese Clockfrequenz wird von der PLL-Schaltung bereitgestellt.

Zusammen mit den bereits beschriebenen Digitalbausteinen für den additiven Grundabgleich mit Ta, einen multiplikativen Grundabgleich mit Tm und einen additiven Temperaturabgleich Tu läßt sich aus den Signalen TV(n) und TV(Tu) bzw. den zugehörigen Zählwerten NI im Zähler mit Voreinstellung 30 ein korrigiertes Signal erzeugen, das über den Tastverhältnisumsetzer 34 sowie das anschließende RC-Filter als Meßwert m für die Masse des strömenden Mediums ausgegeben wird.

In Fig. 4 sind einige der in Fig. 1 eingetragenen Signale über der Zeit dargestellt. Fig. 4a zeigt das Tastverhältnis TV( ≙), Fig. 4b das Tastverhältnis TV(Tu), wobei die Frequenz f TV( ≙) gleich der Frequenz f TV(Tu) ist. Die Länge der High- und Lowphasen der beiden Signale sind jedoch unterschiedlich.

In Fig. 4c ist der Zählerstand Ni = TV( ≙).N dargestellt. Gezählt wird immer vom Flankenwechsel von Low zu High der beiden Signale nach Fig. 4a oder b. Die Zählung endet, wenn das Signal nach Fig. 4a von High nach Low geht. Vor Zählbeginn erfolgt ein Reset. Der maximale Zählwert ist Ni, die Zählrate beträgt N.

In Fig. 4d ist der Zählwert Nm = Ni/Tm aufgetragen. Die Zählrate N/Tm, der Endwert ist jeweils Nm.

Fig. 4e zeigt den Zählwert Na = N/Ta. Die Zählrate beträgt dabei N/Ta.

In Fig. 4f ist der Zählerstand Nt = TV(Tu).N/Tu aufgetragen. Die Zählrate beträgt N/Tu, der Endwert beträgt Nt.

In Fig. 4g ist schließlich der Zählwert, der am Ausgang des Zählers mit Voreinstellung 30 erhalten wird, aufgezeigt. Der Zählerstand ist Nout = Ni+P, wobei P = Nm+Na+Nt ist. Der Endstand dieses Zählers beträgt Ni+P.

Der Zählerstand Nout des Zählers mit Voreinstellung 30 läßt sich im übrigen nach folgender Gleichung darstellen:





Für den Ausgangszähler gilt somit:





Aus dem Zählerinhalt wird im Block 32 (parallel in/seriell out oder Tastverhältnis-Umsetzer) der Wert für die Masse des strömenden Mediums ermittelt.


Anspruch[de]
  1. 1. Vorrichtung zur Bestimmung des Durchsatzes eines strömenden Mediums, mit einem, dem strömenden Medium aussetzbaren Sensor, der zwei temperaturabhängige Widerstandsbrücken umfaßt, die mittels eines Heizwiderstandes auf eine vorgebbare Übertemperatur heizbar sind, wobei eine Widerstandsbrücke Bestandteil des Heizregelkreises ist und an einer Diagonale eine temperaturabhängige Spannung erzeugt und die zweite Widerstandsbrücke an einer Diagonale eine von der Masse des strömenden Mediums abhängige Spannung erzeugt, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Widerstandsbrücken parallel zueinander geschaltet sind, daß die dem Heizregler von der ersten Widerstandsbrücke zugeführte Spannung UH und die Meßspannung U ≙ in Rechteckspannungen mit den Tastverhältnissen TV(Tu) und TV( ≙) mit gleicher Frequenz gewandelt werden und die beiden Tastverhältnisse mittels eines Digitalzählers ausgezählt werden, zur Bestimmung der Masse m des strömenden Mediums.
  2. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Widerstandsbrücke wenigstens zwei temperaturabhängige Widerstände umfaßt, die bezogen auf die Strömungsrichtung des zu erfassenden Mediums oberhalb und unterhalb des Heizwiderstandes so angeordnet sind, daß sie von diesem gleichmäßig erhitzt werden, während sie vom strömenden Medium unterschiedlich stark abgekühlt werden und die sich infolge des Temperaturunterschiedes einstellende Meßspannung U ≙ ist.
  3. 3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Bildung der Tastverhältnisse TV( ≙) und TV(Tu) mittels je einer Umsetzschaltung (14, 16) erfolgt und die Umsetzschaltung (16) eine Frequenzsynchronisation durchführt.
  4. 4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß zur Frequenzsynchronisation das Tastverhältnis TV ( ≙) halbiert wird und das so erzeugte Signal der Umsetzschaltung (16) zugeführt wird.
  5. 5. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Rechtecksignale mit den Tastverhältnissen TV(Tu) und TV( ≙) mittels weiterer Digitalbausteine weiterverarbeitet werden, wobei diese weiteren Digitalbausteine Abgleichfunktionen durchführen.
  6. 6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Digitalbausteine wenigstens einen additiven Grundabgleich mit Ta und/oder einen multiplikativen Grundabgleich mit Tm und/oder einen additiven Temperaturabgleich mit Tu bewirken.
  7. 7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausgangssignale der Digitalbausteine in einer Addierstufe (20) einander überlagert werden.
  8. 8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausgangssignale der Addierstufe (20) einem Zähler (30) mit Voreinstellung zugeführt werden, daß dem Zähler (30) mit Voreinstellung auch das Rechtecksignal mit dem Tastverhältnis TV( ≙) zugeführt wird, daß der Zähler jeweils Zählwerte bildet, die einander überlagert werden zur Bildung eines Ausgangssignales Nout, das als Maß für die strömende Masse dient.
  9. 9. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß eine PLL-Schaltung vorhanden ist, die Klopfsignale mit der Frequenz fvco erzeugt, die als Zählsignale dienen.
  10. 10. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß am Ausgang der digitalen Signalauswerteschaltung ein Tastverhältnis-Umsetzer vorhanden ist, der ein Ausgangssignal abgibt, das ein Maß für die ermittelte Masse des strömenden Mediums darstellt.






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