PatentDe  


Dokumentenidentifikation DE19730739C2 02.06.1999
Titel Verfahren zur Herstellung von Laserspiegeln
Anmelder Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung eV, 80636 München, DE
Erfinder Löschau, Wolfgang, Dr.rer.nat., 01705 Freital, DE;
Lenk, Reinhard, Dr.rer.nat., 02779 Großschönau, DE;
Scharek, Siegfried, Dipl.-Ing., 01705 Freital, DE;
Teichgräber, Michael, Dipl.-Ing., 01640 Coswig, DE;
Richter, Claus, Dipl.-Ing., 01662 Meißen, DE;
Nowotny, Steffen, Dr.-Ing., 01445 Radebeul, DE
Vertreter PFENNING MEINIG & PARTNER, 01217 Dresden
DE-Anmeldedatum 17.07.1997
DE-Aktenzeichen 19730739
Offenlegungstag 11.02.1999
Veröffentlichungstag der Patenterteilung 02.06.1999
Veröffentlichungstag im Patentblatt 02.06.1999
IPC-Hauptklasse G02B 1/00
IPC-Nebenklasse G02B 5/08   B22F 3/105   B23K 26/06   

Beschreibung[de]

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Laserspiegeln. Solche Laserspiegel werden zur Formung, Umlenkung und Fokussierung der Laserstrahlung, insbesondere von Leistungslasern für die Materialbearbeitung und Oberflächenveredlung verwendet. Je nach Anwendung können die verschiedensten Formen, wie Planspiegel, sphärische Spiegel aber auch andere relativ komplizierte Toroid-, Kegel- oder Polygonformen eingesetzt werden. Solche Laserspiegel können einmal raumfest, jedoch justierbar, relativ langsam, als Scannerspiegel sehr schnell mit Frequenzen bis zu 300 Hz oder als Drehspiegel mit einer Drehzahl von ca. 50000 U/min eingesetzt werden.

Solche Leistungslaser sind z. B. CO2-Laser, die Licht mit einer Wellenlänge λ = 10,6 µm oder Nd-YAG-Laser, die Lichtstrahlen mit einer Wellenlänge λ = 1,06 µm aussenden.

Die fest installierten oder langsam bewegten Laserspiegel bestehen in herkömmlicher Form bei Leistungslasern im kW-Bereich aus einem metallischen Spiegelträger mit integriertem oder aufgesetzten Kühlkörper, durch den eine Wasser- oder Ölkühlung erfolgt. In der Regel werden Kupfer oder auch Aluminium, wegen ihrer guten Wärmeleitfähigkeit verwendet. Für Laser in niedrigen Leistungsbereichen ist die Verwendung von Laserspiegeln aus einem Glas oder Si-Einkristall und bei Scannerlaserspiegeln sind diese zur Reduzierung der Masse aus einem Glaskohlenstoff hergestellt. Solche Scannerspiegel können durch Luft, die an der Vorder- bzw. Rückseite vorbeigeführt wird, gekühlt werden.

Der Körper eines solchen Laserspiegels wird an seiner Spiegelträgerfläche poliert und im Anschluß daran mit einer hochreflektierenden Schicht (z. B. Gold, Cu, Al) versehen. In der Regel sind Schichtdicken ab 0,1 µm ausreichend. Wird Kupfer verwendet, kann der Spiegelträger gleichzeitig als reflektierende Schicht benutzt werden.

Auf die reflektierenden Schichten können zusätzliche Schutzschichten aus organischen Materialien aufgebracht werden. Außerdem wurden in jüngster Vergangenheit diamantähnliche Kohlenstoffschichten (DLC) aufgebracht, die gleichzeitig Schutz vor chemischer Einwirkung und Verschleiß bieten.

An die eigentliche Spiegelträgerschicht eines solchen Laserspiegels werden insbesondere an die Oberflächengüte hohe Anforderungen gestellt und es sind mittlere Oberflächenrauhigkeiten Ra ≤ 6 nm und Abweichungen von der Planheit, die zumindest kleiner als λ/10 der Wellenlänge des Laserstrahles bei einem Spiegeldurchmesser von 80 mm gefordert.

Es liegt auf der Hand, daß Scannerspiegel eine sehr kleine Masse aufweisen sollen, um die Massenträgheit bei den sehr hohen Scannfrequenzen klein halten zu können. Dem steht aber das Erfordernis einer ausreichend hohen Festigkeit gegenüber.

Aber auch bei relativ langsam bewegten Laserspiegeln werden diese Eigenschaften gefordert, wobei bei diesen Spiegeln, wie dies auch bei den fest installierten Laserspiegeln der Fall ist, ein relativ kleiner thermischer Ausdehnungskoeffizient gewünscht wird.

Die erforderliche Steifig- und Festigkeit wird im wesentlichen dadurch bestimmt, daß es beim Einschalten des Kühlmittels zu Druckspitzen bis zu 6 bar kommen kann, die zur Verbiegung führen können. Die Durchbiegung ist umgekehrt zum E-Modul und der dritten Potenz der Dicke des Spiegelträgers proportional. Da, wie bereits beschrieben, eine relativ kleine Masse für einen solchen Laserspiegel gefordert ist, kann die Dicke nicht unbegrenzt gesteigert werden, um die Durchbiegung klein zu halten.

Obwohl die reflektierenden Schichten mit hoher Qualität aufgebracht werden können und daher nur ein geringer Anteil der Laserstrahlung absorbiert wird, kommt es insbesondere bei Leistungslasern zu Temperaturerhöhungen im Bereich einiger 10 K, die entsprechend des Wärmeausdehnungskoeffizienten des Trägermaterials zu lokalen Verformungen führen, die die Strahlqualität in unerwünschter Weise beeinflussen.

Laserspiegel aus Kupfer weisen zwar eine gute Wärmeleitfähigkeit auf, haben aber gegenüber Aluminium mit einer kleineren Wärmeleitfähigkeit eine höhere Masse. Demgegenüber steht aber der kleinere E-Modul von 70,6 GPa für Aluminium gegenüber dem E-Modul für Kupfer von 129 GPa. Diese beiden Metalle haben auch einen relativ großen thermischen Ausdehnungskoeffizienten, so daß der Aufwand für die Kühlung relativ hoch ist, wobei die bisher üblicherweise verwendeten metallischen Laserspiegel einen Kompromiß in bezug auf Masse, Steifigkeit und Kühleffekt darstellen.

Ven GOELA J. S. u. a.: ist in "Properties of chemical- vapor-deposited silicon carbide for optics applications in severe environments", Applied Optics; 1991, Vol. 30, No. 22, P. 3166-3175 darauf hingewiesen worden, daß Siliziumcarbid aufgrund seiner mechanischen und thermischen Eigenschaften für die verschiedensten Spiegel ein geeigneter Werkstoff ist, jedoch durch Sintern hergestellte Körper keine ausreichenden optischen Oberflächeneigenschaften erreichen. Diesem Nachteil soll durch das Auftragen von SiC mit einem CVD-Verfahren bzw. der Herstellung eines solchen Spiegels allein aus CVD-SiC entgegen getreten werden. Dieses Verfahren ist relativ zeitaufwendig, da üblicherweise relativ kleine Abscheideraten erreicht werden können. Außerdem ist der anlagentechnische Aufwand relativ hoch und es können keine beliebigen und insbesondere sehr komplizierte Formen gleichmäßig beschichtet oder gar ein komplizierter Körper, der auch Hohlräume für die Kühlung aufweisen muß, allein im CVD-Verfahren hergestellt werden.

Das Aufbringen von reflektierenden Schichten auf eine CFC- oder CMC-Trägerstruktur ist in DE 42 07 009 A1 und der Zusatzanmeldung hierzu, der DE 43 29 551 A1 beschrieben. Die aus verschiedenen Fasern gebildeten Trägerstrukturen sollen an ihrer Oberfläche mit Silizium, aber auch mit anderen reflektierenden Elementen oder Verbindungen beschichtet werden, so daß eine reflektierende oder spiegelnde Schicht erhalten werden kann. Die Festigkeit eines so hergestellten Spiegels beruht daher nahezu ausschließlich auf der verwendeten Trägerstruktur, die jedoch je nach den verwendeten Faserkomponenten Nachtale bezüglich der Temperaturbeständigkeit, oder einem Wärmeausdehnungskoeffizienten, der einen Einsatz über einen größeren Temperaturbereich beeinträchtigt, mit sich bringen. Außerdem ist in DE 42 07 009 A1 auch die Verwendung von Glaskeramiken als Spiegelmaterial angesprochen, wobei die Verwendung wegen der aufwendigen Formgebungsverfahren auf einfachste Formen begrenzt ist.

Laserspiegel aus anderen, als den oben erwähnten Materialien sind bisher nicht bekannt.

Es ist daher Aufgabe der Erfindung, eine Möglichkeit zu schaffen, mit der Laserspiegel mit relativ geringer Masse, hoher Wärmeleitfähigkeit, kleinem thermischen Ausdehnungskoeffizienten, hoher Steifigkeit und ausreichender Festigkeit zur Verfügung gestellt werden können.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungsformen und Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich mit den Merkmalen in den untergeordneten Ansprüchen.

Nach der Erfindung wird dabei so verfahren, daß ein homogenes, nichtoxidisches Silizium enthaltendes Keramikpulver in die für den Laserspiegel letztendlich gewünschte Form in den entsprechenden Abmessungen gebracht wird. Dabei kann einmal ein herkömmliches Formgebungsverfahren angewendet werden, es besteht aber auch die Möglichkeit, den Laserspiegelgrünkörper durch selektives Lasersintern schichtweise generativ aufzubauen.

Der Formkörper, der auf herkömmliche Art und Weise erhalten worden ist, wird dann einer Wärmebehandlung bei Temperaturen oberhalb 800°C in oxidierender Atmosphäre unterzogen und erreicht so eine ausreichende Grünfestigkeit.

Beim selektiven Lasersintern kann auf eine zusätzliche Wärmebehandlung verzichtet werden, da der Wärmeeintrag durch den Laserstrahl, der bevorzugt kreuzweise zweimal über die schichtspezifischen Oberflächenbereiche der verschiedenen Einzelschichten geführt wird, erreicht werden kann.

Bei der Wärmebehandlung bzw. beim selektiven Lasersintern bilden sich temporäre Bindephasen zwischen den einzelnen Pulverkörnern aus Silizium und/oder dem System Si-O-N in situ aus, so daß eine ausreichende Grünfestigkeit erreicht werden kann.

Der, wie bereits beschrieben, erhaltene Grünkörper wird im Anschluß mit einem Metall infiltriert, wobei bevorzugt Metalle zu verwenden sind, die eine ausreichend hohe Benetzbarkeit des Grünkörpers ermöglichen.

Bei relativ geringer Benetzbarkeit des für die Infiltration verwendeten Metalles kann dieser Vorgang durch eine Druckbeaufschlagung unterstützt werden.

Neben Aluminium hat sich insbesondere sehr vorteilhaft Silizium zur Verwendung bei der Infiltration herausgestellt.

Die Infiltration sollte günstigerweise im Vakuum und bei der Verwendung von Silizium bei Temperaturen zwischen 1410 und 1800°C, bevorzugt bei 1600°C durchgeführt werden.

Als Ausgangsmaterial können herkömmliche, handelsüblich erhältliche SiC- oder Si3N4-Pulver ohne weiteres auch unter Verzicht der üblicherweise beim Sintern erforderlichen Sinterhilfsmittel eingesetzt werden.

Das verwendete Pulver sollte gut rieselfähig und eine mittlere Körnung im Bereich zwischen 10 und 250 µm aufweisen.

Wird der Grünkörper mittels selektivem Lasersintern hergestellt, sollte ein Pulver mit einer mittleren Körnung unterhalb der jeweiligen Schichtdicke einer Schicht verwendet werden. Günstig ist dabei, ein Pulver mit einer mittleren Körnung zwischen 10 und 40 µm zu verwenden.

Bei der Infiltration werden die temporären Bindephasen in Bestandteile des Werkstoffes des fertigen Laserspiegels umgewandelt, ohne daß dessen Eigenschaften negativ beeinflußt werden.

Vorteilhaft ist es, wenn der Grünkörper vor der Infiltration mit Kohlenstoff versetzt wird. Dies kann beispielsweise durch Tränken mit einem thermoreaktiven Kunststoff erreicht werden. Dadurch kann während der Infiltration im Werkstoff sekundäres SiC gebildet werden.

Neben der Möglichkeit, den Grünkörper mittels selektivem Lasersintern auf einer Grundplatte aus Stahl generativ aufzubauen, hat es sich als vorteilhaft herausgestellt, den Grünkörper auf einem Siliziumsubstrat aufzubauen, das gemeinsam mit dem Grünkörper in einen Ofen, der evakuierbar ist, gegeben werden kann. Bei ausreichend hohen Temperaturen wird das Substratmaterial zur Infiltration genutzt und es kann auf das Ablösen des fertigen Grünkörpers von der metallischen Grundplatte verzichtet werden.

Das selektive Lasersintern wird bevorzugt mit einem CO2-Laser durchgeführt, da dessen Licht eine Wellenlänge hat, die vom Ausgangspulver hochgradig absorbiert wird, so daß die Energieausbeute relativ hoch ist. Die Laserprozeßparameter können so eingestellt werden, daß die Pulverkörner zumindest teilweise zertrümmert werden, so daß eine Verzahnung erreicht wird, die die Grünfestigkeit zusätzlich zu der Festigkeit, die mit der temporären Bindephase erreicht werden kann, erhöht wird.

Die Laserleistung kann im Bereich von ca. 45 W liegen, der Laserstrahl kann auf einen Durchmesser zwischen 0,3 und 0,6 mm fokussiert werden und die Geschwindigkeit, mit der der Laserstrahl abgelenkt wird, im Bereich von ca. 200 bis ca. 300 mm/s liegen.

Mit dem selektiven Lasersintern können nahezu beliebige Formen eines solchen erfindungsgemäß hergestellten Laserspiegels, auch mit Hinterschneidungen, Inseln und inneren Hohlräumen, die beispielsweise als Kühlkanäle ausgebildet sein können, hergestellt werden.

Ein erfindungsgemäß hergestellter Laserspiegel hat eine kleine Masse und trotzdem eine ausreichend hohe Steifig- und Festigkeit. Die mit der reflektierenden Schicht zu versehende Spiegelträgerfläche kann mechanisch nachbearbeitet werden, so daß eine ausreichende Oberflächengüte mit einer mittleren Rauhigkeit Ra ≤ 10 nm und Abweichungen von der Planheit < λ/10 innerhalb einer Spiegelausdehnung von 100 mm ohne weiteres erreicht werden können. Auf die durch Schleifen, Läppen und Polieren geglättete Oberfläche kann die hochreflektierende Schicht oder ein solches Schichtsystem auf herkömmliche Weise rißfrei mit stabiler Haftung aufgebracht werden.

Die erfindungsgemäß hergestellten Laserspiegel können insbesondere wegen ihrer günstigeren thermischen Eigenschaften, gegenüber den herkömmlicher Weise verwendeten Ausgangsmaterialien, bevorzugt für fest installierte oder langsam bewegte Laserspiegel eingesetzt werden.

Durch die relativ kleine Masse sind die Laserspiegel aber auch als schnell bewegte Scannerspiegel ohne weiteres vorteilhaft einsetzbar.

Das erfindungsgemäße Verfahren schafft weiter die Möglichkeit, Möglichkeiten für die Befestigung, die Kühlung und zusätzliche Stützung in den Grundkörper des Laserspiegels zu integrieren, wobei dies bereits bei der Fertigung des Grünkörpers erfolgen kann, so daß im Nachgang auf weitere Fügeprozesse verzichtet werden kann. Neben den Anschlußmöglichkeiten für Kühlmittel können aber auch Druck- und Temperatursensoren angeschlossen bzw. im Grünkörper des erfindungsgemäß hergestellten Laserspiegels integriert sein.

Bei luftgekühlten Laserspiegeln kann der eigentliche Spiegelträger mit geringer Dicke ab 1 mm hergestellt und die Rückseite mit Rippen oder einem Rippennetzwerk zur Erhöhung der Steifig- und Festigkeit sowie zur Erhöhung der Oberfläche für Wärmekonvektion und Wärmestrahlung ausgebildet werden.

So kann bei der Siliziuminfiltration der Anteil des in den Werkstoff infiltrierten Siliziums beeinflußt werden. Dadurch besteht die Möglichkeit, die für den jeweiligen Anwendungsfall eines solchen Laserspiegels erforderlichen Eigenschaften gegeneinander zu optimieren. Dies betrifft in erster Linie die Masse, die Wärmeleitfähigkeit und den Temperaturausdehnungskoeffizienten.

Ein fertiger Laserspiegel aus einem SiSiC kann eine Massendichte erreichen, die oberhalb von 99% der theoretischen Massendichte liegt. In diesem Fall wird ein hochfester Werkstoff erhalten, bei dem sämtliche Poren vollständig geschlossen und mit Silizium gefüllt sind.

Die Dichte eines solchen Werkstoffes kann zwischen 2,5 und 3,0 g/cm3 liegen. Der Grundkörper des Laserspiegels erreicht einen E-Modul von oberhalb 200 GPa, die Wärmeleitfähigkeit liegt ≥ 70 W/mk und der thermische Ausdehnungskoeffizient ist < 4,5 . 10-6K-1. Diese Angaben zeigen, daß sich der erfindungsgemäß hergestellte Laserspiegel in seinen Eigenschaften besonders vorteilhaft von den bekannten Laserspiegeln abhebt.

Nachfolgend soll die Erfindung an einem Ausführungsbeispiel näher beschrieben werden.

Dabei zeigt die einzige Figur einen Spiegelträger 1 für einen erfindungsgemäß herzustellenden Laserspiegel, an dem vier Durchbrechungen 2, die zur Befestigung verwendet werden können, vorhanden sind.

Außerdem sind zwei Kühlwasseranschlüsse 3 an gegenüberliegenden Seiten des Spiegelträgers 1 vorhanden.

Der gesamte Spiegelträger 1 hat eine Länge von 55 mm, eine Breite von 35 mm und eine Höhe von ca. 11 mm.

Der Spiegelträger hat eine 4,5 mm dicke Bodenplatte 4 und eine Deckplatte 5 in einer Dicke von 4,1 mm, die als Spiegelträger dient.

Im Inneren des Spiegelträgers 1 sind drei parallel ausgerichtete Kühlkanäle 6 ausgebildet, wobei der mittlere der Kühlkanäle 6 in der Mitte des Spiegelträgers 1 zur effektiven Wärmeableitung bei Gauß-förmiger Intensitätsverteilung, angeordnet ist.

Zwischen den Kühlkanälen 6 sind Zwischenwände mit kreisbogenförmigem Profil als Stützen zur Erhöhung der Steifigkeit der Deckplatte 5 ausgebildet.

Für die Herstellung des Spiegelträgers 1 wurde handelsübliches, reines SiC-Pulver, mit einer mittleren Körnung von 23 µm verwendet, das beim selektiven Lasersintern in jeweiligen Schichtdicken von 50 µm aufgebracht worden ist. Die Schichtdicke wurde dabei mit einem Rakel, mit dem überschüssiges Pulver abgetragen worden ist, eingestellt.

Nach dem Lasersintern wies der entsprechend erhaltene Grünkörper keine groben Gefügefehler (Risse, Delaminationen, Verformungen) auf. Es konnte auch keine Schwindung, wie sie üblicherweise beim Sintern solcher Keramikausgangsstoffe auftritt, festgestellt werden. Es konnte eine Abweichung der Abmaße des fertigen Spiegelträgers 1 von der Vorgabe des computergesteuerten selektiven Lasersinterns von lediglich 0,1 mm festgestellt werden, wobei diese Abweichungen mit Sicherheit weiter kompensiert werden können.

Es wurde ein CO2-Laser mit einer Laserleistung von 45 W verwendet, wobei der Laserstrahl auf einen Laserstrahldurchmesser von 0,3 bis 0,6 mm auf der Oberfläche der jeweiligen Schicht fokussiert worden ist. Die Strahlablenkung erfolgte mit einem X-Y-Scanner bei einer Ablenkgeschwindigkeit von 200 mm/s. Das Sintern wurde in Luft in oxidierender Atmosphäre durchgeführt, wobei auch ein Argon-Luftgemisch denkbar ist.

Der Grünkörper wurde im Anschluß daran mit Silizium vorzugsweise im Vakuumofen bei 1600°C infiltriert.

Nach der Infiltration war der Spiegelträger 1 vollständig porenfrei und ohne Verzug infiltriert und es konnte wiederum keine Schwindung festgestellt werden.

Bei der Infiltration wurde eine Dichte von 2,65 g/cm3 erreicht.

Der Spiegelträger 1 hat eine Biegebruchfestigkeit von 195 MPa, einen E-Modul von 225 GPa, einen thermischen Ausdehnungskoeffizienten von 4,0 . 10-6K-1 und eine Wärmeleitfähigkeit von 70 W/mK.

Die Oberfläche der Deckplatte 5 wurde im Nachgang, wie dies bei herkömmlicher SiSiC-Keramik üblich ist, geschliffen, geläppt und poliert, so daß die Oberfläche die geforderten optischen Eigenschaften erreichen konnte. Auf die so geglättete Oberfläche der Spiegelträgerschicht kann die hochreflektierende Schicht mit bekannten Verfahren aufgebracht werden. Diese Schicht kann mit bekannten Schutzschichten überdeckt werden.


Anspruch[de]
  1. 1. Verfahren zur Herstellung von Laserspiegeln, die Laserstrahlen formen, umlenken und/oder fokussieren, bei dem ein aus einem homogenen nichtoxidischen Silizium enthaltenden Keramikpulver hergestellter Formkörper in der Form und mit den Abmessungen des Laserspiegels in oxidierender Atmosphäre einer Wärmebehandlung, unter Ausbildung temporärer Bindephasen, bei Temperaturen oberhalb 800°C unterzogen oder der Formkörper durch selektives Lasersintern hergestellt, der erhaltene Grünkörper mit einem Metall oder Silizium infiltriert wird, wobei die temporären Bindephasen wieder gelöst werden und eine reflektierende Beschichtung aufgebracht wird.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Grünkörper in der Form und den Abmessungen des Laserspiegels durch selektives Lasersintern hergestellt wird.
  3. 3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Infiltration bei Temperaturen zwischen 1410 und 1800°C im Vakuum durchgeführt wird.
  4. 4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Grünkörper vor der Infiltration mit Kohlenstoff versetzt wird.
  5. 5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß ein SiC- oder Si3N4- Pulver verwendet wird.
  6. 6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß ein Pulver mit einer mittleren Körnung unterhalb der jeweiligen Schichtdicke einer Schicht beim selektiven Lasersintern verwendet wird.
  7. 7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß ein Pulver mit einer mittleren Körnung zwischen 10 und 250 µm verwendet wird.
  8. 8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Grünkörper auf einem Siliziumsubstrat aufgebaut wird.
  9. 9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Laserprozeßparameter und/oder der Laserstrahl so eingestellt werden, daß die Pulverkörner zumindest teilweise zertrümmert werden.
  10. 10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß bei der Wärmebehandlung oder dem selektiven Lasersintern in oxidierender Atmosphäre zwischen den Pulverkörnern temporäre Bindephasen aus Silizium und/oder dem System Si-O-N in situ erzeugt werden.
  11. 11. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß temporäre Bindephasen in Bestandteile des Werkstoffes des fertigen Laserspiegels umgewandelt werden.
  12. 12. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Spiegelträgerplatte des Laserspiegels mechanisch geglättet und anschließend eine reflektierende Beschichtung aufgebracht wird.






IPC
A Täglicher Lebensbedarf
B Arbeitsverfahren; Transportieren
C Chemie; Hüttenwesen
D Textilien; Papier
E Bauwesen; Erdbohren; Bergbau
F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
G Physik
H Elektrotechnik

Anmelder
Datum

Patentrecherche

Patent Zeichnungen (PDF)

Copyright © 2008 Patent-De Alle Rechte vorbehalten. eMail: info@patent-de.com