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Dokumentenidentifikation DE19804236A1 29.07.1999
Titel Schleifspindel
Anmelder Könnemann, Ronny, 63814 Mainaschaff, DE
Vertreter Pöhner, W., Dipl.-Phys. Dr.rer.nat., Pat.-Anw., 97070 Würzburg
DE-Anmeldedatum 04.02.1998
DE-Aktenzeichen 19804236
Offenlegungstag 29.07.1999
Veröffentlichungstag im Patentblatt 29.07.1999
IPC-Hauptklasse B24B 41/04
IPC-Nebenklasse B24B 41/047   B24D 5/02   B24D 7/02   
IPC additional class // B24B 3/36  
Zusammenfassung Die Erfindung betrifft eine Schleifenspindel mit einem Spindelgehäuse und zwei koaxialen, von einem Antriebsmotor angetriebenen Wellen, an denen jeweils eine von zwei konzentrischen Schleifscheiben befestigt ist, und die durch eine Hub- bzw. Senkbewegung relativ zueinander in axialer Richtung verschiebbar sind, so daß wahlweise die eine oder die andere Schleifscheibe in Eingriff gebracht werden kann, wobei die innere Welle als Hauptwelle (1) mit dem Antriebsmotor verbunden ist, die Außenwelle (8) durch eine Mitnahmevorrichtung (10) an die Hauptwelle (1) gekoppelt ist, eine Buchse (4) koaxial auf das Spindelgehäuse (3) aufgesattelt ist, die Außenwelle (8) an der Buchse (4) mittels eines Drehlagers (9) drehbar gelagert ist, die Buchse (4) mit einem Stellglied (13) versehen ist, das die Hub- bzw. Senkbewegung ausführt.

Beschreibung[de]

Die Erfindung betrifft eine Schleifspindel mit einem Spindelgehäuse und zwei koaxialen, von einem Antriebsmotor angetriebenen Wellen, an denen jeweils eine von zwei konzentrischen Schleifscheiben befestigt ist, und die durch eine Hub- bzw. Senkbewegung relativ zueinander in axialer Richtung verschiebbar sind, so daß wahlweise die eine oder die andere Schleifscheibe in Eingriff gebracht werden kann.

Bei der Oberflächenbearbeitung ebener Werkstücke, die beispielsweise aus Holz, Metall, Stein, Keramik oder auch Halbleitermaterial bestehen können und bei denen hohe Anforderungen an die Oberflächenqualität gestellt werden, kann die Technik des Schleifens, insbesondere des Flachschleifens, vorteilhaft eingesetzt werden. Dazu wird ein rotierendes, vielschneidiges Schneidwerkzeug, zum Beispiel eine auf einer rotierenden Schleifspindel montierte Schleifscheibe, auf die ein Schleifbelag aus gebundenem Korn aufgebracht ist, beispielsweise eine Topfschleifscheibe mit ringförmiger Schleiffläche verwendet. Ein axialer Vorschub des rotierenden Schleifwerkzeuges, i.a. der gesamten Schleifspindel, bringt die Körner des Schleifbelages in Eingriff mit der Werkstücksoberfläche, wodurch es zu einem Materialabtrag kommt. Auch der Einsatz einer vollgesinterten Schleifscheibe ist möglich. Ein zusätzlicher linearer oder kreisförmiger Vorschub des Werkstückes stellt dabei die gleichmäßige Bearbeitung der gesamten Werkstücksoberfläche sicher.

Zur Erzielung einer hohen Oberflächenqualität des Werkstückes ist im allgemeinen Fall ein mehrstufiger, oftmals zweistufiger Bearbeitungsprozeß angebracht, bei dem zunächst eine grobkörnige Schleifscheibe mit hoher Zerspanungsleistung (Grob- bzw. Schruppschleifscheibe) den größten Teil des Materialabtrages ausführt und die so gewonnene noch relativ grobe Oberfläche in einem anschließenden weiteren Arbeitsgang mit einer feinkörnigen Schleifscheibe (Fein- bzw. Schlichtschleifscheibe) nachbearbeitet wird, die zwar nur einen geringen Materialabtrag bewerkstelligt, aber dafür eine gute Oberfläche erzeugt. Sollen beide Arbeitsgänge mit der selben Schleifspindel durchgeführt werden, so ist es sinnvoll eine Schleifspindel zu verwenden, die mit zwei Schleifscheiben unterschiedlicher Körnung ausgestattet ist, die wahlweise zum Eingriff mit der Werkstücksoberfläche gebracht werden können. Auf diese Weise lassen sich die sonst mit einem Wechseln des Schleifwerkzeuges einhergehenden Nachteile, wie der erforderliche Umrüstzeitaufwand und die aufgrund von nicht auszuschließenden Montageungenauigkeiten notwendige neue Profilierung der Schleifscheibe, die Zeit kostet und zu einem hohen Verbrauch an Schleifmaterial führt, vermeiden. Vom Stand der Technik her ist beispielsweise eine gattungsgemäße Schleifspindel bekannt (DE-PS 8 46 663), bei der zwei konzentrische Topfschleifscheiben auf zwei koaxial in einer einzigen Spindel angeordneten Wellen gelagert sind, wobei die äußere Welle von einem Motor gedreht, die innere Welle über eine Mitnahmevorrichtung mitbewegt wird. Dabei ist die innere Topfschleifscheibe in der Schleifspindel axial verschiebbar angeordnet, so daß wahlweise die innere oder aber die äußere Topfschleifscheibe in Eingriff gebracht werden kann, ohne daß zusätzlicher Aufwand zum Umrüsten oder profilieren notwendig wird. Bei einer weiteren Schleifspindel gemäß der Eingangs erwähnten Gattung (DE-PS 42 08 615) werden zwei Topfschleifscheiben verwendet, deren schleifbeläge aus unterbrochenen Kreisringsegmenten gleichen Durchmessers bestehen, die so ineinander eingreifen, daß sie sich im wesentlichen zu einem Kreisring ergänzen und wahlweise zum Eingriff mit der Werkstückoberfläche gebracht werden können. Bei dieser Anordnung arbeiten beide Schleifscheiben auf identischem Wirkradius, was insbesondere bei der Technik des Rotationsschleifens von Vorteil ist, bei der die Vorschubbewegung des Werkstückes aus einer Rotation um eine zur Schleifspindel im wesentlichen parallele und durch den Schleifscheibenbelag verlaufende Achse besteht. Daher haben unterschiedliche Wirkradien beider Schleifscheiben die nachteilige Folge, daß für eine Grob- und Feinbearbeitung identischer Teile der Werkstückoberfläche eine Neupositionierung des Werkstückes zwischen den beiden Arbeitsgängen notwendig wäre.

Bei Präzisionsarbeiten, wie beispielsweise dem Schleifen und Polieren von Siliziumwafern, deren Bruchfestigkeit durch ihre Oberflächenqualität bestimmt wird, ist eine hinreichende Steifigkeit der verwendeten Spindel in radialer Richtung von entscheidender Bedeutung, da bei mangelnder Steifigkeit axiale Belastungen der Spindel radiale Schwingungen auslösen, die die resultierende Oberflächenqualität des Wafers beeinträchtigen und womöglich Rillen bilden, die als Sollbruchstelle für den Einkristall wirken können. Zur Erhöhung der radialen Steifigkeit wird beim Stand der Technik der Durchmesser der Spindel vergrößert, was aber nur in begrenztem Umfang möglich ist. Insbesondere bei Spindeln mit integrierten Elektromotoren, bei denen der Stator im Spindelgehäuse montiert und der mitbewegte Rotor außenseitig auf die Außenwelle aufgebracht ist, wird der Durchmesser von Innen- und Außenwelle durch den im Inneren des Elektromotors zur Verfügung stehenden Raum limitiert. Gerade bei kleinen Schleifspindeln läßt sich daher die für Präzisionsarbeiten erforderliche radiale Steifigkeit nicht erreichen.

Vor diesem Hintergrund hat sich die vorliegende Erfindung die Aufgabe gestellt, eine Schleifspindel zu schaffen, die zwei unterschiedliche Schleifscheiben wahlweise mit dem Werkstück in Eingriff bringen kann und die auch bei kompaktem Aufbau eine ausreichende radiale Steifigkeit besitzt, um alle bei Präzisionsarbeiten, wie beispielsweise dem Schleifen von Siliziumwafern bestehenden Anforderungen zu erfüllen.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die innere Welle als Hauptwelle mit dem Antriebsmotor verbunden ist, die Außenwelle durch eine Mitnahmevorrichtung an die Hauptwelle gekoppelt ist, eine Buchse koaxial auf das Spindelgehäuse aufgesattelt ist, die Außenwelle an der Buchse mittels eines Drehlagers drehbar gelagert ist, die Buchse mit einem Stellglied versehen ist, das die Hub- bzw. Senkbewegung ausführt.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Idee zugrunde, die innere Welle als Hauptwelle mit dem Antriebsmotor zu verbinden und die Außenwelle, die durch eine geeignete Mitnahmevorrichtung, beispielsweise einen Mitnahmestift, an die Hauptwelle gekoppelt ist, so daß sie sich mit der Hauptwelle mitdreht, an der Außenseite des Spindelgehäuses zu befestigen. Dazu wird eine Buchse koaxial auf das Spindelgehäuse aufgesattelt, an der die Außenwelle mittels eines Drehlagers drehbar befestigt wird. Für den wahlweisen Eingriff der an Innen- und Außenwelle montierten Schleifscheiben mit dem Werkstück wird die Buchse mit einem Stellglied versehen, das die erforderliche axiale Hub- bzw. Senkbewegung ausführt. Dabei läßt sich die Schleifscheibe der Außenwelle vermittels einer Senkbewegung unter das Niveau der Schleifscheibe der innen gelegenen Hauptwelle und damit in Eingriff mit der Werkstückoberfläche bringen, während die in entgegengesetzter Richtung verlaufende Hubbewegung der Außenwelle die Schleifscheibe der Hauptwelle wieder unter ihrem Gegenstück hervortreten läßt, so daß sie in Eingriff mit der Werkstückoberfläche gebracht werden kann. Der Vorzug dieses Aufbaus einer Schleifspindel liegt insbesondere in der starken Vergrößerung des Durchmessers der Außenwelle und der dadurch bedingten wesentlich höheren radialen Steifigkeit. Gleichzeitig wird im Inneren der Schleifspindel Platz für eine Durchmesservergrößerung der inneren Welle gewonnen, wodurch diese ebenfalls an radialer Steifigkeit gewinnt. Insgesamt ergibt sich also eine Schleifspindel, die die sukzessive Bearbeitung der Werkstückoberfläche mit zwei verschiedenen Schleifscheiben, beispielsweise eine Grob- und einer Feinschleifscheibe, ermöglicht und die gleichzeitig auch bei kompaktem Aufbau aufgrund der großen Durchmesser der die Schleifscheiben tragenden Wellen gegen radiale Schwingungen stabil ist und sich somit insbesondere für Präzisionsarbeiten vorteilhaft einsetzen läßt.

Der Antrieb der erfindungsgemäßen Schleifspindel kann beispielsweise über eine koaxial an der Hauptwelle befestigte Riemenscheibe erfolgen, die der Antriebsmotor über einen geeigneten Riemen antreibt.

In bevorzugter Ausbildung der Erfindung wird zum Antrieb der Schleifspindel aber ein in das Spindelgehäuse integrierter Elektromotor verwendet, der die Hauptwelle durchgreift. Dabei kann beispielsweise der sich drehende Rotor des Elektroinotors auf die Innenwelle außenseitig aufgebracht und der feststehende Stator in das Spindelgehäuse eingebaut werden. Auf diese Weise erhält man eine sehr kompakte Schleifspindel, die für ihren Drehantrieb ohne äußere Antriebsteile auskommt. Auch hydraulisch oder mit Druckluft betriebene Motoren kommen für den Antrieb der Schleifspindel in Frage.

Als Stellglied für die axiale Hub- und Senkbewegung der Außenwelle wird vorzugsweise ein pneumatisch betriebener Zylinder in Verbindung mit einer Rückstellfeder eingesetzt. Es kommen aber beispielsweise auch hydrostatische, elektromagnetische, elektromotorische oder mechanische Stellglieder in Frage.

Zur Bearbeitung eines Werkstückes muß die Schleifspindel so weit abgesenkt oder das Werkstück angehoben werden, bis die Schleifscheibe mit der Werkstückoberfläche in Eingriff steht. Dabei tritt das Problem auf, daß der Abstand zwischen Schleifscheibe und Werkstückoberfläche in vielen Fällen nicht mit hinreichender Genauigkeit bekannt ist. Daher wird die Schleifscheibe in einer Fortbildung der Erfindung mit einem Sensor ausgestattet, der die Berührung der Schleifscheibe mit dem Werkstück beispielsweise über dabei entstehende Vibrationen oder Verschiebungen der Welle registriert und ein Signal abgibt, das die Bewegung der Schleifspindel stoppt und den vorgegebenen Schleifzyklus startet.

Bestehen besonders hohe Anforderungen an die Oberflächenqualität des Werkstückes, wie dies beispielsweise bei Siliziumwafern für den Einsatz in Chipkarten der Fall sein kann, so ist eine zweistufige Oberflächenbearbeitung mit einer gröberen und einer feineren Schleifscheibe oftmals unzureichend, so daß zumindest noch ein weiterer Bearbeitungsschritt mit einer extrafeinen Schleifscheibe oder einem Poliertuch erforderlich ist. Um auch in einem solchen Fall mit einer einzigen Schleifspindel ohne zeitraubenden und kostspieligen Werkzeugwechsel auskommen zu können, wird in einer Fortbildung der Erfindung vorgeschlagen, die Schleifspindel mit einer weiteren koaxial innerhalb der Hauptwelle angeordneten Innenwelle auszustatten, die mit einer weiteren Schleifscheibe oder einem Poliertuch als Werkzeug ausgestattet werden kann und sich ebenfalls zum Eingriff mit der Werkstückoberfläche bringen läßt. Diese Innenwelle weist aufgrund ihres vergleichsweise niedrigen Durchmessers eine geringere radiale Steifigkeit auf und eignet sich somit besonders für Poliervorgänge, bei denen keine hohe Steifigkeit erforderlich ist. Diese besondere Ausführungsform der erfindungsgemäßen Schleifspindel läßt sich somit vorteilhaft dazu einsetzen, eine Werkstückoberfläche in einer einzelnen Maschine zunächst vorzuschleifen, dann fertig zu schleifen und schließlich noch zu polieren.

Bei Bedarf können bei der erfindungsgemäßen Schleifspindel natürlich auch mehrere Buchsen koaxial auf das Spindelgehäuse aufgsattelt werden, an denen jeweils eine mit einer Schleifscheibe versehene, zur Hauptwelle koaxiale Welle drehbar gelagert und mit der Hauptwelle über eine Mitnahmevorrichtung drehfest verbunden ist, wobei auch die zusätzlichen Schleifscheiben mittels an den Buchsen angeordneter Stellglieder für Hub- und Senkbewegungen wahlweise einzeln in Eingriff mit der Werkstückoberfläche gebracht werden können. Auf diese Weise läßt sich die Anzahl der mit der erfindungsgemäßen Schleifspindel ausführbaren mechanischen Bearbeitungs- und Abtragsvorgänge nahezu beliebig erhöhen und variieren.

In besonders einfacher Ausführungsform der Erfindung werden die verwendeten zwei oder auch mehr Schleifscheiben aus konzentrisch angeordneten Topfschleifscheiben gebildet, so daß die verwendeten Schleifbeläge konzentrische Kreisringe bilden. Dabei kann der Schleifbelag der inneren Schleifscheibe auch in Form einer Kreisscheibe gebildet sein, die je nach Ausführungsform der Schleifspindel vom anderen Schleifbelag als konzentrischer Kreisring oder den anderen Schleifbelägen als konzentrische Kreisringe mit eventuell unterschiedlichen Wirkradien umgeben ist. Bei ungleichen Wirkradien können auch unterschiedliche Nutringdurchmesser und Nuttiefen geschliffen werden.

Soll die erfindungsgemäße Schleifspindel für die Technik des Rotationsschleifens eingesetzt werden, so sind identische Wirkradien der verwendeten Schleifscheiben von großem Vorteil. Dazu empfiehlt die Erfindung, die verwendeten Schleifscheiben als Topfschleifscheiben mit identischem Wirkradius auszubilden, deren Schleifbeläge die Gestalt unterbrochener Kreisringe besitzen, deren Segmente miteinander in Eingriff stehen und sich zu einem Kreisring ergänzen. Mit dieser besonderen Ausbildung der Schleifscheiben läßt sich die erfindungsgemäße Schleifspindel auch zum Rotationsschleifen vorteilhaft einsetzen. Selbstverständlich sind auch beliebige Kombinationen aus Schleifscheiben mit gleichen und unterschiedlichen Wirkradien denkbar.

Während des Schleifvorganges ist normalerweise eine Kühlung des Werkstückes erforderlich. Hierzu empfiehlt die Erfindung, die Außenwelle bzw. die zusätzliche Innenwelle der Schleifspindel mit einer durchgängigen axialen Bohrung zu versehen, durch die ein geeignetes Kühlmittel dem Bearbeitungsprozeß zugeführt werden kann.

Besteht die Notwendigkeit, zur Erzielung der geforderten Qualität einer Werkstückoberfläche mehr Schleifscheiben zu verwenden als an einer einzigen Schleifscheibe zweckmäßigerweise unterzubringen sind, so empfiehlt die Erfindung, eine Schleifanlage mit zumindest zwei erfindungsgemäßen Schleifspindeln auszustatten. Damit lassen sich auch solche vielstufigen Bearbeitungsvorgänge ohne die mit einem Werkzeugwechsel verbundenen Nachteile wie hohem Rüstzeitaufwand und der Erfordernis der Neuprofilierung der Schleifscheibe vorteilhaft ausführen, wobei die hohe radiale Steifigkeit der verwendeten Schleifspindeln das Erzielen hochpräziser Werkstückoberflächen ermöglicht.

Weitere Einzelheiten, Merkmale und Vorteile der Erfindung sind dem nachfolgenden Beschreibungsteil zu entnehmen, in dem anhand einer Zeichnung ein Ausführungsbeispiel der Erfindung näher erläutert ist.

Sie zeigt einen Vertikalschnitt durch eine erfindungsgemäße Schleifspindel in schematischer Darstellung.

Die Hauptwelle (1) der erfindungsgemäßen Schleifspindel ist in diesem Beispiel vermittels zweier Paare von Rillenkugellagern (2) im Spindelgehäuse (3) drehbar gelagert. Hier können auch andere Arten von Wälzlagerungen oder auch hydrodynamische sowie hydrostatische Lagerungen, Luftlager oder Magnetlager Verwendung finden. Der Drehantrieb der erfindungsgemäßen Schleifspindel erfolgt über eine hier nicht dargestellte koaxial an der Hauptwelle befestigte Riemenscheibe, die vom Antriebsmotor über einen entsprechenden Riemen angetrieben wird. Auf das Spindelgehäuse (3) ist eine Buchse (4) koaxial aufgesattelt, deren Oberteil (5) fest am Spindelgehäuse befestigt ist, während das zugehörige Unterteil (6) in begrenztem Umfange axial beweglich ist. Die Relativbewegung von Unterteil (6) und Spindelgehäuse (3) wird im Beispiel über die Gleitlagerbuchse (7) geführt, wobei diese Führung natürlich auch auf anderem Wege etwa über eine Kugelbüchse realisiert werden kann. Die Außenwelle (8) der erfindungsgemäßen Schleifspindel ist in einem aus zwei Kugellagern gebildeten Drehlager (9) im Unterteil (6) der Buchse (4) drehbar gelagert und über eine Mitnahmevorrichtung (10) mit der Hauptwelle (1) verbunden. An der Unterseite von Hauptwelle (1) und Außenwelle (8) ist jeweils eine Schleifscheibe (11, 12) mit mehreren Schrauben angeflanscht, wobei der Schleifbelag der inneren Schleifscheibe (11) die Form einer Kreisfläche aufweist, die der Schleifbelag der äußeren Schleifscheibe (12) als konzentrischer Kreisring umgibt. In der Abbildung befindet sich die Außenwelle (8) mit samt ihrer Schleifscheibe (12) in einer axial zurückgezogenen Position, so daß die innere Schleifscheibe (11) mit der Werkstückoberfläche in Eingriff gebracht werden und diese bearbeiten kann. Um die äußere Schleifscheibe (12) in Eingriff zu bringen, wird der pneumatische Zylinder (13) beaufschlagt, der das Unterteil der Buchse (8) samt Außenwelle und Schleifscheibe in einer Senkbewegung axial abwärts bewegt, bis der Schleifbelag der Schleifscheibe (12) über die Schleifscheibe (11) übersteht. Wird die Kraftwirkung des Pneumatikzylinders (13) ausgeschaltet, schiebt die Rückstellfeder (14) Buchsenunterteil (6), Außenwelle (10) und Schleifscheibe (12) wieder in ihre Ausgangsposition zurück. Die endgültige axiale Schleifposition wird jedoch durch die axiale Lage der gesamten Schleifspindel festgelegt. Zu diesem Zweck ist das Spindelgehäuse (3) mit einer hier nicht dargestellten Schlittenkonstruktion verbunden, die es erlaubt, die gesamte in der Abbildung dargestellte Konstruktion in weiten Grenzen axial zu verfahren. Diese Bewegung wird auch für den eigentlichen Vorschub des Schleifprozesses ausgenutzt. Eine axiale durch die Hauptwelle (1) verlaufende, durchgängige Bohrung (15) ermöglicht es, der Werkstücksoberfläche und der Schleifscheibe (11, 12) während des Schleifvorganges ein geeignetes flüssiges Kühlmittel zuzuführen.

Im Ergebnis erhält man eine Schleifspindel, mit zwei wahlweise in Eingriff bringbaren Schleifscheiben, die eine hohe radiale Steifheit aufweist und daher auch für Präzisionsarbeiten gut geeignet ist.


Anspruch[de]
  1. 1. Schleifspindel mit einem Spindelgehäuse und zwei koaxialen, von einem Antriebsmotor angetriebenen Wellen, an denen jeweils eine von zwei konzentrischen Schleifscheiben befestigt ist, und die durch eine Hub- bzw. Senkbewegung relativ zueinander in axialer Richtung verschiebbar sind, so daß wahlweise die eine oder die andere Schleifscheibe in Eingriff gebracht werden kann, dadurch gekennzeichnet, daß
    1. - die innere Welle als Hauptwelle (1) mit dem Antriebsmotor verbunden ist,
    2. - die Außenwelle (8) durch eine Mitnahmevorrichtung (10) an die Hauptwelle (1) gekoppelt ist,
    3. - eine Buchse (4) koaxial auf das Spindelgehäuse (3) aufgesattelt ist,
    4. - die Außenwelle (8) an der Buchse (4) mittels eines Drehlagers (9) drehbar gelagert ist,
    5. - die Buchse (4) mit einem Stellglied (13) versehen ist,
    6. - das die Hub- bzw. Senkbewegung ausführt.
  2. 2. Schleifspindel nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine koaxial an der Hauptwelle (1) befestigte Riemenscheibe, über die der Antriebsmotor die Hauptwelle (1) antreibt.
  3. 3. Schleifspindel nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Antriebsmotor ein Elektromotor oder ein Hydraulikmotor oder ein Druckluftmotor ist, den die Hauptwelle (1) durchgreift.
  4. 4. Schleifspindel nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Mitnahmevorrichtung (10) ein Mitnahmestift ist, der Hauptwelle (1) und Außenwelle (a) drehfest miteinander verbindet.
  5. 5. Schleifspindel nach einem der Ansprüche 1 bis 4, gekennzeichnet durch ein pneumatisches oder hydrostatisches oder elektromagnetisches oder elektromotorisches oder mechanisches Stellglied (13).
  6. 6. Schleifspindel nach einem der Ansprüche 1 bis 5, gekennzeichnet durch einen Sensor, der die Berührung der Schleifscheibe mit dem Werkstück erfaßt.
  7. 7. Schleifspindel nach Anspruch 6, gekennzeichnet durch einen Sensor, der Vibrationen oder Längenänderungen oder Verschiebungen erfaßt.
  8. 8. Schleifspindel nach einem der Ansprüche 1 bis 7, gekennzeichnet durch zumindest eine zusätzliche, koaxial innerhalb der Hauptwelle (1) angeordnete Innenwelle, mit der eine weitere Schleifscheibe, insbesondere ein Poliertuch, zum Eingriff gebracht werden kann.
  9. 9. Schleifspindel nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest eine weitere Buchse koaxial auf das Spindelgehäuse (3) aufgesattelt ist, an der Buchse eine zur Hauptwelle (1) koaxiale Welle drehbar gelagert und durch eine Mitnahmevorrichtung an die Hauptwelle (1) gekoppelt ist, an der Welle eine Schleifscheibe befestigt ist und die Buchse mit einem Stellglied für eine Hub- bzw. Senkbewegung versehen ist, mit der die Schleifscheibe in Eingriff gebracht werden kann.
  10. 10. Schleifspindel nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Schleifbeläge der Schleifscheiben konzentrische Kreisringe bilden.
  11. 11. Schleifspindel nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß der Schleifbelag der inneren Schleifscheibe die Form einer Kreisscheibe besitzt, die der andere bzw. die anderen Schleifbeläge als konzentrischer Kreisring oder konzentrische Kreisringe umgeben.
  12. 12. Schleifspindel nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Schleifbeläge der an Haupt- (1) und Außenwelle (8) befestigten Schleifscheiben (11, 12) die Gestalt unterbrochener Kreisringe besitzen, deren Segmente miteinander in Eingriff stehen und sich zu einem Kreisring ergänzen.
  13. 13. Schleifspindel nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Schleifbeläge sämtlicher Schleifscheiben die Gestalt unterbrochener Kreisringe besitzen, deren Segmente miteinander in Eingriff stehen und sich zu einem Kreisring ergänzen.
  14. 14. Schleifspindel nach einem der Ansprüche 1 bis 13, gekennzeichnet durch eine durchgängige axiale Bohrung (15) in der Hauptwelle (1) oder der Innenwelle.
  15. 15. Schleifanlage gekennzeichnet durch eine oder mehrere Schleifspindeln nach einem der Ansprüche 1 bis 14.






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