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Dokumentenidentifikation DE19936444A1 24.02.2000
Titel Vakuumpunpe
Anmelder Greenberg, Dan, Kiryat Bialik, IL
Erfinder Greenberg, Dan, Kiryat Bialik, IL
Vertreter Mitscherlich & Partner, Patent- und Rechtsanwälte, 80331 München
DE-Anmeldedatum 03.08.1999
DE-Aktenzeichen 19936444
Offenlegungstag 24.02.2000
Veröffentlichungstag im Patentblatt 24.02.2000
IPC-Hauptklasse F04F 5/00
Zusammenfassung Die Erfindung bezieht sich auf eine Hybridvakuumpumpe, insbesondere auf eine druckluftbetriebene Vakuumpumpe vom Ejectortyp. Solche Pumpen (10) bestehen aus einem Gehäuse, welches einen Einlaß für Druckluft (16), einen zweiten Einlaß, der an die zu evakuierende Umhüllung angeschlossen werden kann und einen Entladeauslaß aufweist. Die Eingangsdruckluft wird von einer Kammer (22) mit mehreren Ausgängen in mindestens zwei parallele Luft-Ströme geteilt, wobei jeder Druckluft-Strom durch mindestens zwei in Serie angeordnete Düsen (24, 26, 28, 30, 32, 34) geführt wird und Zwischenkammern (36, 38, 40, 42) zwischen aufeinanderfolgenden Düsen eines jeden parallelen Stroms für jeden Strom getrennt ausgeführt sind. Sie verfügt über druckgesteuerte Ventile, welche beim zunehmenden Fortschritt bei der Erzeugung des gewünschten Vakuums automatisch die Strömung des zu evakuierenden Gases zu einigen der Düsen verhindern und so den Luft-Strom in den verbleibenden Düsen erhöhen, um so ein hohes Vakuum zu erreichen. Die Pumpe (10) zeichnet sich durch die Verwendung einer Einkörper-Konstruktion aus, welche mehrere Düsen mit sich unterscheidenden Formen aufnimmt.

Beschreibung[de]

Die vorliegende Erfindung betrifft Vakuumpumpen.

Genauer gesagt stellt die Erfindung eine hybride Ejector-Vakuumpumpe, die mehrere so angeordnete Düsen enthält, daß hohe Evakuationsraten und ein hoher Wirkungsgrad erzielt werden können, zur Verfügung.

Vakuumpumpen sind in der Industrie, bei der Handhabung und dem Transport von Materialien, in der Forschung, der Medizin und sogar der Landwirtschaft weit verbreitet. Dabei bestimmt die Höhe des benötigten Vakuums den am besten geeigneten Pumpentyp.

Konventionelle Vakuumpumpen werden üblicherweise elektromotorisch oder verbrennungsmotorisch angetrieben. Die drei gebräuchlichsten Typen sind die Zentrifugalgebläsepumpe, die Flügelzellenpumpe und die Kolbenpumpe.

Ejectorpumpen werden zur einstufigen Erzeugung von 60 mm Quecksilbersäule und zur zweistufigen Erzeugung von 10 mm Quecksilbersäule absoluten Luftdruckes verwendet. Es können zwar weitere Stufen hinzugefügt werden, für die sehr hohen Vakua, die in Anwendungen wie der Vakuumbedampfung von optischen Teilen oder der Ablagerung von dünnen Filmen für die Mikrominiaturisierung benötigt werden, sind jedoch andere Pumpentypen, wie zum Beispiel der ölgedichtete Rotationstyp oder die Diffusionspumpe besser geeignet. Kornmerziell erhältliche Hybridkombinationen wie zum Beispiel eine Dampfstrahl/-Flüssigkeitsringpumpe können für manche Anwendungen die beste Wahl sein.

Vakuumpumpen können dann am wirkungsvollsten eingesetzt werden, wenn sie so nah wie möglich am Anwendungsort positioniert sind, um lange Zuleitungsrohre, die jedes mal, wenn Vakuum verwendet wird, evakuiert werden müssen, zu vermeiden. Zum Beispiel sollte sich eine Pumpe, wenn Vakuum von einem Roboter für die Handhabung von Materialien verwendet wird, vorzugsweise an dem Roboterarm befinden. Die Bewegungen des Roboterarms werden aber verlangsamt oder ganz eingeschränkt, wenn an einem solchen Arm eine schwere Last angebracht ist. Folglich ist es bei einer solchen Anwendung für Vakuumpumpen von Vorteil, wenn sie kompakt und von geringem Gewicht sind. Viele konventionelle Pumpen, die einen Metallkörper haben und einen daran angebrachten Elektromotor aufweisen, sind für eine solche Verwendung ziemlich ungeeignet.

Ejectorpumpen, die früher als Strahlpumpen bekannt waren, arbeiten nach dem Bernoulli-Prinzip, indem sie über eine Düse einen Hochgeschwindigkeitsgasstrom durch eine Saugkammer, die mit der zu evakuierenden Apparatur verbunden ist, leiten. Das zu evakuierende Gas wird von dem Hochdruckgas mitgerissen und in einen Venturi- Diffuser transportiert, der die kinetische Energie des Hochdruckgases in Druckenergie umsetzt.

Es können alle möglichen komprimierten Gase als Energiequelle verwendet werden, aber in der Praxis handelt es sich bei dem verwendeten Gas entweder um Dampf oder Luft.

Ejectorpumpen haben im Vergleich mit anderen Typen attraktive Vorzüge, da sie keine bewegten Teile und geringe Anschaffungs- und Unterhaltskosten aufweisen. Ein Nachteil ist, daß die Energiekosten höher sind; und obwohl Luft kostenlos ist, kann komprimierte Luft im Vergleich zu elektrischem Strom teuer sein. Auch die Lärmemission kann ein Problem sein, obwohl diese durch einen geeignet dimensionierten Schalldämpfer, der an dem Entladeauslaß angebracht ist, auf einen akzeptablen Pegel abgesenkt werden kann.

Vakuumtypen jeden Typs, also auch vom Ejectortyp, können zum Erreichen höherer Vakua in Serie oder zur schnelleren Erreichung des benötigten Vakuums parallel geschaltet werden. Beide Schaltungstypen können auch in Form einer Seriell/-Parallel- Pumpanordnung kombiniert werden.

Mehrstufige Ejectoren bieten in Bezug auf Wirkungsgrad und geringere Lärmemissionen Vorteile. Mehrstufige Ejectoren erzeugen im Gegensatz zu einstufigen Pumpen, die mehr komprimierte Luft verbrauchen als bei der Evakuierung des erreichten Vakuums mitgerissen wird, einen höheren Vakuumfluß als sie an komprimierter Luft verbrauchen. Die Geräuschpegel der vielstufigen Anordnung sind im Bereich von 55 bis 75 dBA und benötigen normalerweise keinen Schalldämpfer im Vergleich zu den typischen 90 dBA, die bei einem einstufigen Ejector zu erwarten sind und generell die Installation eines Schalldämpfers nötig machen.

In dem US-Patent Nr. 4,696,624 offenbart der Erfinder ein Verfahren zur Erzeugung einer Ejectoreinrichtung, in der mehrere Ejectoreinheiten in einem gemeinsamen Gehäuse positioniert sind und jede eine Saugkammer aufweist. Die Vorrichtung ist von einem seriellen/parallelen Typ und verfügt über Klappenventile, die einen Luftstrom von einer Kammer in die nächste erlauben.

Eine ähnliche Vorrichtung wird von Lasto in einer späteren US-Patentschrift Nr. 4,880,358 beschrieben und beansprucht.

Die Geometrie der optimalen Düse ist vor allem eine Funktion der Fläche der Treibgasdüse und der Venturi-Einschnürung, des Druckes des Treibgases und der Saug- und Entladedrücke. Auch weitere Faktoren von zweitrangiger Bedeutung haben einen Einfluß auf das Ergebnis. Es ist sicher, daß sich die erwünschte optimale Geometrie einer Düse ändert, wenn die Pumpe Fortschritte bei der Evakuierung einer Kammer macht. Am Anfang soll die Ejectorpumpe schnell gegen geringen Widerstand große Mengen an Gas entfernen, während gegen Ende des Vorgangs die Pumpe kleine Mengen an Gas gegen viel höheren Widerstand entfernen muß. Für welche Situation die Ejectordüse auch optimiert ist, entweder beim Beginn oder gegen Ende des Pumpvorgangs wird Energie in Form von komprimiertem Treibgas verschwendet, da sich die Düsenform und die Dimensionierung nicht den sich ändernden Betriebsbedingungen anpassen kann.

Dieses Problem wird von Tell erkannt, der in der US-Patentschrift Nr. 5,205,717 eine Vorgehensweise vorschlägt, um mit mindestens zwei druckluftbetriebenen Ejectoren einen gewünschten Unterdruck in der kürzestmöglichen Zeit und mit dem geringsten Energieverbrauch zu erreichen. Die Ejectoren sind so verbunden, daß immer genau einer arbeitet, abhängig davon, welcher von ihnen mit Druckluft versorgt wird. Die Druckluftversorgung wird in Abhängigkeit zu dem Unterdruck in einer allen Ejectoren gemeinsamen Kollektorkammer gesteuert.

Eine derartige Ejectoranordnung enthält mindestens zwei Düsen, die jeweils bei unterschiedlichen Werten der Versorgungsdruckluft einen optimalen Wirkungsgrad aufweisen. Ein Sensor bestimmt den Unterdruck in der gemeinsamen Kammer und führt die Druckluft in Abhängigkeit von dem gemessenen Unterdruck immer genau einem Ejector zu. Im Betrieb wird zunächst der für die Evakuierung großer Volumen am besten geeignete Ejector mit Druckluft versorgt und zuletzt dann die Düse, deren Wirkungsgrad bei der Evakuierung geringer Drücke am höchsten ist.

Von der Firma PIAB wird ein kommerziell erhältliches Sortiment von Vakuumpumpen des Ejectortyps vermarktet. Abhängig vom gewählten Modell wird ein geringstes erreichbares Vakuum von zwischen 5 und 100 mbar angegeben.

Ein Nachteil der Ejectorpumpen nach dem Stand der Technik ist, daß der Wirkungsgrad durch den Transport von Luft in Zwischenkammern, die sich zwischen den Stufen, d. h. zwischen zwei parallelen Luftströmen, von denen einer für das Pumpen von großen Volumen mit niedrigem Widerstand und der zweite Strahl für das Pumpen kleiner Volumen mit hohem Widerstand ausgelegt sind, befinden, verschlechtert wird. Ein solcher unerwünschter Lufttransport wird durch die Verwendung einer gemeinsamen Zwischenkammer für die beiden Luftströme ermöglicht.

Es ist deshalb Aufgaben der vorliegenden Erfindung, die Nachteile der Pumpen des Standes der Technik zu vermeiden und eine Pumpe zur Verfügung zu stellen, die sowohl am Start wie auch zum Ende der Vakuumerzeugung mit einem höheren Wirkungsgrad arbeitet.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch die im Patentanspruch 1 gegebene Lehre gelöst. Eine druckluftbetriebene Vakuumpumpe vom Ejectortyp weist ein Gehäuse auf, welches einen Einlaß für Druckluft, einen zweiten an die zu evakuierende Umhüllung anschließbaren Einlaß sowie einen Entladeauslaß enthält, wobei die ankommende Druckluft von einer Kammer mit mehreren Ausgängen in mindestens zwei parallele Ströme geteilt wird, wovon jeder Druckluft-Strom durch mindestens zwei in Serie angeordnete Düsen tritt und getrennt für jeden Strom zwischen aufeinanderfolgenden Düsen eines jeden parallelen Stroms Zwischenkammern angeordnet sind. Um den Luftstrom durch die verbliebenen Düsen zu erhöhen und so ein hohes Vakuum zu erreichen, werden druckgesteuerte Ventile so eingerichtet, daß sie mit zunehmenden Fortschritt bei der Erzeugung des gewünschten Vakuums eine Strömung des zu evakuierenden Gases zu einigen der genannten Düsen verhindern. Außerdem wird die Pumpe durch die Verwendung einer Einkörper-Konstruktion, welche mehrere Düsen mit unterschiedlichen Formen trägt, charakterisiert.

In einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung wird eine Vakuumpumpe in Sandwich-Bauweise zur Verfügung gestellt, die mindestens einen steifen Körper, der die Düsen trägt, eine flexible Dichtung und einen steifen Körper, der eine Gaseinlaßöffnung enthält, aufweist, wobei die Dichtung zwischen den beiden steifen Körpern eingequetscht wird.

In einer vorzugsweisen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird eine Vakuumpumpe zur Verfügung gestellt, bei der genannte druckgesteuerten Ventile mit der flexiblen Dichtung einstückig ausgebildet sind.

Es zeigt sich, daß aufgrund ihres modularen Aufbaus einer Vorrichtung nach der vorliegenden Erfindung viele verschiedene Kombinationsmöglichkeiten zur Verfügung stellen kann. Jeder Strom kann durch mehrere parallele Düsen gelenkt werden, um die Absenkgeschwindigkeit zu erhöhen. Es können mehrere parallele Ströme, von denen jeder für einen anderen Zustand des Vakuumabsenkprozesses optimiert ist, zur Verfügung gestellt werden. Im folgenden werden nur einige Beispiele der vielen möglichen Kombinationen beschrieben. Drucksensoren wie sie von Tell beschrieben werden, werden nicht benötigt, da die flexiblen Klappenventile automatisch die Eingangsluft von dem zu evakuierenden Bereich in die Zwischenkammer leiten, die mit einem Unterdruck, der dem momentan erreichten Zustand des Absenkvorgangs entspricht, arbeitet.

Im folgenden wird die Erfindung nun unter Bezugnahme auf die beigefügte Zeichnung, welche Beispiele für die bevorzugten Ausführungsformen der Erfindung gibt, näher erläutert. Bauliche Details werden nur soweit notwendig für ein grundsätzliches Verständnis gezeigt. Die beschriebenen Beispiele offenbaren zusammen mit der Zeichnung einem Fachmann, wie weitere Ausführungsformen der Erfindung realisiert werden können. Es zeigen:

Fig. 1 in Aufsicht ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der Pumpe gemäß der Erfindung,

Fig. 2 im Querschnitt die Sandwich-Konstruktion der Pumpe,

Fig. 3 in Aufsicht eine Dichtung mit integrierten Ventilen,

Fig. 4 in Aufsicht eine Zwischenplatte mit vier Gas-Öffnungen,

Fig. 5 in Aufsicht eine Pumpen-Dichtung,

Fig. 6 in Aufsicht einen Pumpen-Gehäusekörper,

Fig. 7 in Aufsicht eine Pumpenanordnung mit mehreren parallelen Düsen,

Fig. 8 im Querschnitt eine Platte mit Tellerventilen,

Fig. 9 in Aufsicht die Ausführungsform gemäß Fig. 8 und

Fig. 10 eine Aufsicht entsprechend Fig. 9, jedoch mit einem Einwegventil.

Fig. 1 zeigt eine druckluftbetriebene Vakuumpumpe 10 vom Ejectortyp.

Das Pumpengehäuse besteht, wie in Fig. 2 gezeigt, im wesentlichen aus den Komponenten 12 und 14. Beide sind vorzugsweise aus Kunststoffmaterial gefertigt, um eine Pumpe geringen Gewichtes herzustellen.

Die Pumpe verfügt über zwei Einlässe, einen ersten Einlaß 16 für Druckluft, der in der Figur oben abgebildet ist und einen zweiten Einlaß 18, der an die zu evakuierende Hülle des zu evakuierenden Raumes anschließbar ist und in Fig. 2 abgebildet ist. Ein einziger mit Schraubgewinde versehener Entladeauslaß 20, der ebenfalls in Fig. 2 abgebildet ist, dient zur Entladung/Abführung aller einströmenden Gase. Wenn nötig, kann ein Schalldämpfer befestigt werden.

Einströmende Druckluft wird von eine Kammer 22 mit mehreren Ausgängen in zwei parallele Strömen geteilt. Jeder Druckluft-Strom tritt nacheinander durch drei seriell angeordnete Düsen 24 bis 34, wobei jeder Luft-Strahl sukzessiv durch größere Düsen tritt. Für jeden Strom getrennt sind Zwischenkammern 36, 38, 40 und 42 zwischen aufeinanderfolgenden Düsen eines jeden parallelen Stroms vorgesehen, wobei jede Kammer zu evakuierendes Gas anzieht. Trennwände 44, 46 zwischen benachbarten Unterdruck-Kammern verhindern eine Gas-Strömung zwischen Zwischenkammern.

In Fig. 2 abgebildete druckgesteuerte Klappenventile 48, 50 verhindern mit zunehmenden Fortschritt bei der Erzeugung des gewünschten Vakuums eine Strömung des zu evakuierenden Gases zu einigen der Düsen. Der deshalb stärkere Luftstrom bei den verbleibenden Düsen dient zur Erzielung eines hohen Vakuums.

Die Pumpe zeichnet sich durch die Verwendung einer Einkörper-Konstruktion 12 aus, welche zum Tragen mehrerer Düsen 24 bis 34 mit unterschiedlichen Formen geeignet ist. Das gleiche Pumpengehäuse kann für das Halten von Düsen mit anderer Geometrie verwendet werden.

Im Bezug auf die übrigen Figuren wurden ähnliche Bezugszeichen für die Bezeichnung Von ähnlichen Teilen verwendet.

Fig. 2 zeigt eine Vakuumpumpe in Sandwichbauweise. Ein steifer Gehäusekörper 12 trägt alle Düsen 24 bis 34 sowie den Einlaß 16 für Druckluft. Eine erste flexible Dichtung 52, ein starrer Körper 54, der Gasdurchgänge 56 enthält, und eine zweite flexible Dichtung 58 wird zwischen den beiden steifen Gehäusekörpern 12 und 14, die das Volumen der Pumpe ausmachen, eingeklemmt.

In der Figur wird gezeigt, daß die Düsen 24 bis 34 von dem steifen Körper 12 getragen sind, wohingegen die Verteilkammer 60 in dem zweiten steifen Körper 14 ausgeprägt ist. Diese Aufteilung der Funktionen trägt zu der Flexibilität im Entwurf des Aufbaus bei, so daß verschiedene Düsenanordnungen ohne eine Notwendigkeit, den Verteiler zu ändern, benutzt werden können.

Der zweite starre Körper 14 enthält den Einlaß 18 von der zu evakuierenden Kammer und in diesem Ausführungsbeispiel auch den Luft-Auslaß 20.

Fig. 3 zeigt eine flexible Dichtung der Vakuumpumpe, wie sie im Bezug auf die Fig. 2 bereits beschrieben wurde. Drei druckgesteuerte Ventile 48, 50 sind als mit der flexiblen Dichtung einstückig ausgebildet gezeigt. Die Öffnung 62 erlaubt einen Austritt des Gases. Die Öffnung 64 läßt einen ungehinderten Eintritt von Gas aus der zu evakuierenden Kammer zu. Die vier Löcher in den Ecken 66 erlauben den Durchtritt von Verbindungselementen 68, die wie in Fig. 2 abgebildet, durch die ganze Pumpe gehen.

Die in Fig. 4 abgebildete Zwischenplatte 54 grenzt, wenn sie montiert ist, an die in Fig. 3 gezeigte Dichtung an. Die Platte enthält vier Gasdurchgänge 56, von denen einige von den Ventilen 48, 50 verschlossen sind, bis der Druck in den in Fig. 1 gezeigten Zwischenkammern 36 bis 42 gegen Ende des Evakuierungsprozesses unter vorherbestimmte Werte fällt.

In Fig. 5 wird eine Dichtung 52 gezeigt, die sich, wenn sie wie in Fig. 2 montiert ist, zwischen dem Gehäuse 14, welches den Einlaß 18 der zu evakuierenden Kammer enthält, und der in Fig. 4 gezeigten Platte 54 befindet. Werden große Stückzahlen von Pumpen derselben Konfiguration gefertigt, wird die in Fig. 4 abgebildete Zwischenplatte mit dem steifen Vakuumeinlaß-Körper kombiniert, und die Dichtung 52 der vorliegenden Figur entfällt.

Fig. 6 zeigt einen zweiten steifen Gehäusekörper 70, welcher den Einlaß 18 von der zu evakuierenden Kammer enthält. Im Gegensatz zu der Ausführungsform von Fig. 2 verfügt der Körper 70 nicht über einen Luftauslaß, weshalb diese Ausführungsform in Verbindung mit einem ersten steifen Gehäusekörper, der sowohl die Düsen trägt als auch einen Luftauslaß hat, verwendet wird.

Fig. 7 zeigt das Beispiel einer Pumpanordnung 72, die mehrere parallele Düsen 74, 76, 78 verwendet, um die Geschwindigkeit der Vakuumabsenkung zu erhöhen. Die Zwischenkammern 80, 82 die die drei Düsen bedienen, werden jeweils über ein einziges Ventil 48 des in Fig. 3 abgebildeten Typs versorgt. Eine weitere Reihe von Düsen 84, 86, 88 ist für die letzte Stufe der Vakuumerzeugung, wenn geringe Gasmengen gegen einen hohen Widerstand herausgezogen werden müssen, eingerichtet. Somit zeigt sieh, daß die Fähigkeit ohne eine Zunahme der Anzahl an Ventilen erhöht werden kann. Sollte noch eine weitere Erhöhung der Anzahl an parallelen Düsen gewünscht werden, kann der starre Gehäusekörper 90 entweder verdickt werden oder es kann ein zusätzlicher Körper hinzugefügt werden, um weitere Düsenreihen ohne Erhöhung der Anzahl an Ventilen unterzubringen.

Die Fig. 8 und 9 zeigen druckgesteuerte flexible Einlaßventile 92, welche von einem anderen als dem weiter oben beschriebenen Typ sind, und welche an Stelle der in Fig. 3 abgebildeten Ventile 48 und 50 verwendet werden können. Die flexiblen Eingangsventile 92 sind vom Typ des Tellerventils und auf die steife Basisplatte 94 aufgebracht. Wenn sich das Ventil 92 öffnet, strömt Gas durch die Öffnungen 96. Die Ventile 92 können jeweils unterschiedlich dimensioniert oder aus unterschiedlichen Materialien hergestellt werden, so daß ein erstes Ventil bei einem höheren Druck als ein zweites, auf der gleichen Platte befestigtes Ventil öffnet. Die Öffnung 64 erlaubt einen ungestörten Gaseintritt aus der zu evakuierenden Kammer.

Die Fig. 10 zeigt ein Detail einer Vakuumpumpe 98, welche der aus Fig. 9 ähnelt, aber zusätzlich noch über ein Einwegeventil 100 verfügt, welches mit dem zweiten Einlaß 18 in Fluidverbindung steht. Das Einwegeventil 100 verhindert, daß Gas in die evakuierte Kammer zurückströmt, wenn der Pumpvorgang gestoppt ist.

Der Schutzbereich der beschriebenen Erfindung soll alle Ausführungsformen umschließen, die sich aus dem Sinn der folgenden Ansprüche ergeben. Die vorausgegangenen Beispiele zeigen sinnvolle Ausführungsformen dieser Erfindung, aber sollen nicht als Einschränkung ihres Anwendungsbereiches verstanden werden, da sich der Fachmann leicht bewußt werden kann, daß zusätzliche Varianten und Modifikationen der Erfindung ohne Abweichung vom Sinn der folgenden Ansprüche formuliert werden können.


Anspruch[de]
  1. 1. Druckluftbetriebene Vakuumpumpe (10) vom Ejectortyp aufweisend ein Gehäuse mit einem Einlaß (16) für Druckluft, einem zweiten Einlaß (18), der an die zu evakuierende Umhüllung anschließbar ist, und einem Entladeauslaß (20), dadurch gekennzeichnet, daß die ankommende Druckluft von einer Kammer (22) mit mehreren Ausgängen in mindestens zwei parallele Ströme geteilt ist, jeder Druckluft-Strom durch mindestens zwei in Serie geschaltete Düsen (24-34) tritt, Zwischenkammern (36, 38, 40, 42) zwischen aufeinanderfolgenden Düsen eines jeden parallelen Stroms für jeden Strom getrennt vorgesehen sind, druckgesteuerte Ventile (48, 50) mit zunehmenden Fortschritt bei der Erzeugung des gewünschten Vakuums automatisch eine Strömung des zu evakuierenden Gases zu einigen der genannten Düsen verhindern und so den Luftstrom in den verbleibenden Düsen für die Erreichung eines hohen Vakuums erhöhen, und die Pumpe (10) eine Einkörper-Konstruktion verwendet, welche mehrere Düsen (24-34) mit unterschiedlichen Formen trägt.
  2. 2. Vakuumpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Pumpe (10) vom Multi-Ejectortyp ist.
  3. 3. Vakuumpumpe nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Pumpe (10) in Sandwich-Bauweise aufgebaut ist und mindestens einen steifen Körper (12), der die Düsen (24-34) trägt, eine flexible Dichtung (52) und einen steifen Körper (54), der eine Gasöffnung (56) enthält, aufweist und die Dichtung (58) zwischen den beiden steifen Körpern (12, 14) eingequetscht wird.
  4. 4. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die druckgesteuerten Ventile (48, 50) mit der Dichtung (58) einstückig ausgebildet sind.
  5. 5. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß Einlaß-Öffnung (18) und Auslaß-Öffnung (20) auf der gleichen Seite sind.
  6. 6. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß Einwegventil (100), das mit dem zweiten Einlaß (18) in Fluidverbindung steht.
  7. 7. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die steifen Körper (12, 14, 54) aus Kunststoffmaterial gefertigt sind, um eine Pumpe (19) geringen Gewichtes herzustellen.
  8. 8. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß in jeder Reihe von Kammern (36, 38, 40, 42) einer oder mehrere Ströme vorsehbar sind.
  9. 9. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß alle Düsen (24-34) vom gleichen oder vom sich unterscheidenden Typ zu den Düsen einer anderen Reihe von Kammern (36, 38, 40, 42) sind.
  10. 10. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die starren Körper (12, 14, 54) aus Kunststoffmaterial gefertigt sind und eine oder mehrere Düsen (24-34) in diese integriert sind zur Erzeugung einer Pumpe geringen Gewichtes.
  11. 11. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Auslaß-Öffnung (20) in das Düsen-Gehäuse integriert ist.
  12. 12. Eine Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die druckgesteuerten Ventile (92) von der Dichtung (58) getrennt sind.
  13. 13. Eine Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß der Körper der Vakuumpumpe und die Vakuumkammer aus einem Stück sind.






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