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Dokumentenidentifikation EP0973186 24.02.2000
EP-Veröffentlichungsnummer 0973186
Titel Lithographiegerät
Anmelder ASM Lithography B.V., Veldhoven, NL
Erfinder Bleeker, Arno Jan, 5615 LK Eindhoven, NL
Vertreter derzeit kein Vertreter bestellt
Vertragsstaaten AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LI, LU, MC, NL, PT, SE
Sprache des Dokument EN
EP-Anmeldetag 13.07.1999
EP-Aktenzeichen 993055326
EP-Offenlegungsdatum 19.01.2000
Veröffentlichungstag im Patentblatt 24.02.2000
IPC-Hauptklasse H01J 37/12
IPC-Nebenklasse H01J 37/317   








IPC
A Täglicher Lebensbedarf
B Arbeitsverfahren; Transportieren
C Chemie; Hüttenwesen
D Textilien; Papier
E Bauwesen; Erdbohren; Bergbau
F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
G Physik
H Elektrotechnik

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