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Dokumentenidentifikation DE19952331C1 30.08.2001
Titel Verfahren und Vorrichtung zum schnellen Schneiden eines Werkstücks aus sprödbrüchigem Werkstoff mittels Laserstrahlen
Anmelder Schott Spezialglas GmbH, 55122 Mainz, DE
Erfinder Hoetzel, Bernd, 55286 Wörrstadt, DE
DE-Anmeldedatum 29.10.1999
DE-Aktenzeichen 19952331
Veröffentlichungstag der Patenterteilung 30.08.2001
Veröffentlichungstag im Patentblatt 30.08.2001
IPC-Hauptklasse B23K 26/40
IPC-Nebenklasse C03B 33/06   
Zusammenfassung Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum schnellen Schneiden eines Werkstücks aus sprödbrüchigem Werkstoff mittels Laserstrahlen entlang einer vorgegebenen Schneidlinie beliebiger Kontur. Bei dem Verfahren sind folgende Schritte vorgesehen:
- Erzeugen von Laserstrahlen,
- gekoppeltes Führen der Laserstrahlen, fokussiert auf die Schneidlinie, ohne Aufschmelzen des Werkstoffs,
- Formen des jeweiligen Laserstrahls, derart, daß der jeweilige auf die Oberfläche des zu schneidenden Werkstücks als Brennfleck einwirkende Strahlquerschnitt vorbestimmter Form und Intensitätsverteilung entspricht,
- Erzeugen einer Relativbewegung zwischen den Laserstrahlen und dem Werkstück entlang der Schneidlinie, mit Induzierung einer thermomechanischen Spannung,
- Aufblasen eines fluiden Kühlmediums zur anschließenden Kühlung des erwärmten Schneidlinienabschnitts unter Erhöhung der thermomechanischen Spannung bis über die Bruchfestigkeit des Werkstoffs.

Beschreibung[de]

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zum schnellen Schneiden eines Werkstücks aus sprödbrüchigem Werkstoff, insbesondere aus Glas, Glaskeramik oder Keramik, mittels Laserstrahlen entlang einer Schneidlinie beliebiger Kontur. Eine bevorzugte Anwendung ist dabei das schnelle Schneiden von Flachglas.

Konventionelle Trennverfahren für Glas basieren darauf, mittels eines Diamanten oder eines Schneidrädchens zunächst eine Ritzspur im Glas zu generieren, um das Glas anschließend durch eine äußere mechanische Kraft entlang der so erzeugten Schwachstelle zu brechen. Nachteilig ist bei diesen Verfahren, daß durch die Ritzspur Partikel (Splitter) aus der Oberfläche gelöst werden, die sich auf dem Glas ablagern können und dort beispielsweise zu Kratzern führen können. Ebenfalls können sogenannte Ausmuschelungen an der Schnittkante entstehen, die zu einem unebenen Glasrand führen. Weiterhin führen die beim Ritzen entstehenden Mikrorisse in der Schnittkante zu einer verringerten mechanischen Beanspruchbarkeit, d. h. zu einer erhöhten Bruchgefahr.

Ein Ansatz, sowohl Splitter als auch Ausmuschelungen und Mikrorisse zu vermeiden, besteht im Trennen von Glas auf der Basis thermisch generierter Spannung. Hierbei wird eine Wärmequelle, die auf das Glas gerichtet ist, mit fester Geschwindigkeit relativ zu dem Glas bewegt und so eine derart hohe thermische Spannung erzeugt, daß das Glas Risse bildet. Der notwendigen Eigenschaft der Wärmequelle, die thermische Energie lokal, d. h. mit einer Genauigkeit besser als einen Millimeter, was den typischen Schnittgenauigkeiten entspricht, positionieren zu können, genügen Infrarotstrahler, spezielle Gasbrenner und insbesondere Laser. Laser haben sich wegen ihrer guten Fokussierbarkeit, guten Steuerbarkeit der Leistung sowie der Möglichkeit der Strahlformung und damit der Intensitätsverteilung auf Glas bewährt und durchgesetzt.

Dieses Laserstrahl-Schneidverfahren, das durch eine lokale Erwärmung durch den fokussierten Laserstrahl in Verbindung mit einer Kühlung von außen eine thermomechanische Spannung bis über die Bruchfestigkeit des Werkstoffes induziert, ist durch mehrere Schriften bekannt geworden.

Das aus der WO 93/20015 bekannte Verfahren nutzt einen Laserstrahl mit elliptischer Form, mit einem nachlaufenden Kühlspot. Dieses Verfahren zeigt gute Ergebnisse beim gradlinigen Ritzen von nichtmetallischem Plattenmaterial. kann jedoch kein hochwertiges und hochpräzises Ritzen entlang einer gekrümmten Kontur sichern. Zudem weist das genannte Verfahren eine geringe Stabilität des Schneidablaufs bei einer hohen Strahlungsdichte und hohen Schnittgeschwindigkeiten auf.

Um die Erhitzungsbedingungen des Materials entlang der Schnittlinie zu optimieren, erfolgt das Erhitzen gemäß der WO 96/20062 mittels eines Wärmestrahlbündels, in dessen Querschnitt, der durch das Zentrum des Bündels verläuft, sich die Dichte der Strahlungsleistung abnehmend von der Peripherie zum Zentrum hin verteilt. Es wird ein elliptisches Strahlenbündel verwendet, das eine Temperaturverteilung in Form eines elliptischen Ringes bewirkt.

Die Nachteile dieser bekannten Verfahren werden durch das Verfahren nach der EP 0 872 303 A2 vermieden, das einen Brennfleck mit einer sich in Schneidrichtung öffnenden U- bzw. V-förmigen Kontur und einer charakteristischen Intensitätsverteilung vorsieht. Dieses Verfahren hat sich in der Praxis bei der Ausführung von geraden Schnitten gut bewährt. Es ist möglich, auch große Werkstückdicken sauber zu durchtrennen. Bei der Ausführung von Freiformschnitten, d. h. von Schnitten mit beliebiger, auch gekrümmter Kontur, muß eine der Kontur der Schneidlinie angepaßte, gekrümmte U- bzw. V- förmige Intensitätsverteilung erzeugt und der Kontur samt der nachfolgenden Kühlung nachgefahren werden. Dies erfordert insbesondere eine Kopplung der den Brennfleck erzeugenden Scannereinrichtung mit einer Bahnsteuerung, was einen nicht unerheblichen Steuerungs- und Justageaufwand mit sich bringt.

Durch die DE 44 11 037 C2 ist ein Laserstrahl-Schneidverfahren zum Schneiden von Hohlgläsern bekannt geworden, das mit einem scharf zu einem Spot gebündelten, ortsfesten Laserstrahl arbeitet, der rund um das sich drehende Hohlglas eine thermische Spannungszone erzeugt. Danach wird entlang der eingebrachten Spannungszone über den gesamten Umfang des Hohlglases mit einem aus einer Düse ausgeblasenen Sprühwassernebel gekühlt und so in Verbindung mit einem mechanisch oder thermisch erzeugten Startriß ein Abtrennen des Hohlglasrandes erzielt.

Durch die DE 43 05 107 A1 ist ein Laserstrahl-Schneidverfahren bekannt geworden, bei dem der Laserstrahl so geformt ist, daß sein Strahlquerschnitt auf der Oberfläche des Werkstückes eine längliche Form aufweist, bei dem das Verhältnis von Länge und Breite des auftreffenden Strahlquerschnittes mittels einer Blende im Laserstrahlengang einstellbar ist.

Weiterhin bekannt sind Verfahren zum Schneiden von Glas mittels mehrerer Laserstrahlen.

Bei dem in der DE-AS 12 44 346 beschriebenen Verfahren, kommt u. a. zur Erzeugung von Fassonkanten während des Laserschneidens mehr als ein Laserstrahl am gleichen Schnitt zur Anwendung und die einzelnen Laserstrahlen bilden verschiedene Winkel mit der Glasfläche.

Das erstgenannte Laserstrahl-Schneidverfahren hat sich aus den verschiedensten Gründen als das überlegenere Verfahren erwiesen und in der Praxis durchgesetzt. Von ihm geht auch die Erfindung aus. Die durch das erstgenannte Verfahren erzielbare Schneidfähigkeit und die Einsatzfähigkeit des Verfahrens werden insbesondere durch die effektive Induzierung einer thermomechanischen Spannung entlang der Schneidlinie in das zu schneidende Werkstück, die Intensitätsverteilung im Laserstrahl und die Art der Kühlung bedingt. Die beim Schneiden erforderliche schnelle und gleichzeitig effektive Induzierung einer thermomechanischen Spannung entlang der Schneidlinie wird bei den bekannten Verfahren nur unzureichend gewährleistet. Aufgrund der ineffektiven Induzierung einer thermomechanischen Spannung sind der Forderung nach immer höheren Schnittgeschwindigkeiten Grenzen gesetzt.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Schneiden eines Werkstücks aus sprödbrüchigem Werkstoff, insbesondere aus Glas, Glaskeramik oder Keramik, mittels Laserstrahlen entlang einer vorgegebenen Schneidlinie beliebiger Kontur bereitzustellen, so daß ohne ein Auftreten von Mikrorissen, Ausmuschelungen oder Splittern, eine hohe Schnittgenauigkeit und Konturtreue sowie ein schnelles Schneiden ermöglicht wird.

Diese Aufgabe wird mit einem Verfahren gemäß Patentanspruch 1 gelöst.

Gemäß den Maßnahmen nach Anspruch 1 erfolgt das schnelle Schneiden eines Werkstücks aus sprödbrüchigem Werkstoff mittels Laserstrahlen entlang einer vorgegebenen Schneidlinie beliebiger Kontur dadurch, daß Laserstrahlen erzeugt und die jeweiligen Laserstrahlen hintereinanderliegend und fokussiert auf die Schneidlinie gekoppelt geführt werden, ohne Aufschmelzen des Werkstoffs. Die jeweiligen Laserstrahlen werden dabei derart geformt, daß der jeweilige auf die Oberfläche des zu schneidenden Werkstücks als Brennfleck einwirkende Strahlquerschnitt vorbestimmter Form und Intensitätsverteilung entspricht. Es wird eine Relativbewegung zwischen den Laserstrahlen und dem Werkstück entlang der Schneidlinie, mit Induzierung einer thermomechanischen Spannung, erzeugt und durch Aufblasen eines fluiden Kühlmediums zur anschließenden Kühlung des erwärmten Schneidlinienabschnitts wird die thermomechanische Spannung bis über die Bruchfestigkeit des Werkstoffs erhöht.

Es werden saubere Trennkanten erzielt, die weder Mikrorisse noch Ausmuschelungen oder Splitter enthalten.

Das erfindungsgemäße Verfahren erlaubt die schnelle und effektive Induzierung einer thermomechanischen Spannung entlang einer Schneidlinie beliebiger Kontur. Überraschenderweise hat sich dabei gezeigt, daß hohe Laserleistungen in das zu schneidende Werkstück eingebracht werden können ohne daß das Werkstück aufschmilzt. Gleichzeitig konnte die Schneidgeschwindigkeit gegenüber bisherigen Verfahren um bis zu 100% gesteigert werden.

So können ohne weiteres Schneidgeschwindigkeiten von bis zu 200 m/min erreicht werden.

Insbesondere um hohe Laserleistungen in das Werkstück einzubringen, ohne es gleichzeitig aufzuschmelzen, ist es vorteilhaft, daß die gekoppelt und insbesondere parallel geführten Laserstrahlen hintereinanderliegend auf die Schneidlinie geführt werden. Dabei ist es möglich, daß die Laserstrahlen kurz hintereinander geführt werden oder aber, daß die Laserstrahlen ganz oder teilweise überlagert auf die Schneidlinie geführt werden.

Die jeweiligen Laserstrahlen werden dabei bevorzugt derart geformt, daß die auf die Oberfläche des zu schneidenden Werkstücks als Brennflecken einwirkenden Strahlquerschnitte jeweils gleicher Form und gleicher Intensivitätsverteilung entsprechen.

Die Laserstrahlen werden weiterhin bevorzugt parallel zueinander senkrecht oder zumindest in gleichem Winkel zur Werkstückoberfläche auf die Schneidlinie geführt.

Beim Schneiden von Glas ist dabei besonders darauf zu achten, daß die Transformationstemperatur TG des jeweiligen Glases nicht überschritten wird.

Wird am Anfang der Schneidlinie ein Mikroriß aufgebracht, so folgt der Riß sehr präzise der Schneidlinie.

Vorzugsweise sind die jeweiligen Laserstrahlen Strahlen eines oder mehrerer CO- oder CO2-Laser, wobei die Wellenlänge des Lasers besonders bevorzugt abstimmbar ist und so dem jeweiligen Absorptionsmaximum des zu schneidenden Werkstoffs angepaßt werden kann. Je besser die Laserwellenlänge dem Absorptionsmaximum des zu schneidenden Werkstoffs angepaßt werden kann, desto effektiver ist die Induzierung einer thermomechanischen Spannung und desto höher kann ebenfalls die Schneidgeschwindigkeit gewählt werden.

Das fluide Kühlmedium wird bevorzugt von oben nach unten auf das Werkstück aufgeblasen.

Bevorzugte fluide Kühlmedien sind Kühlgase, vorzugsweise kalte Luft, oder ein Luft-Wasser-Gemisch.

In einer bevorzugten Ausführung der Erfindung wird die Temperatur des fluiden Kühlmediums einstellt und geregelt. Besonders bevorzugt wird dabei das fluide Kühlmedium zusätzlich gekühlt. Dies kann beispielsweise mittels wenigstens eines Peltier-Elements erfolgen. Dadurch wird eine reproduzierbare Prozeßführung unter regel- und kontrollierbaren Bedingungen ermöglicht.

In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung wird der Gasstrahl durch eine oder mehrere konzentrische und/oder elliptische Düsen geformt.

Es können alle Gasstrahlformen und Düsenanordnungen verwendet werden, die eine effektive Kühlung ermöglichen.

Prinzipiell können alle vorbestimmten Laserstrahl-Formen und damit verbundenen Intensitätsverteilungen auf das zu schneidende Werkstück verwendet werden.

Besonders bevorzugt wird eine in der EP 0 872 303 A2 beschriebene U- bzw. V-förmige Kontur des Laserstrahl und die damit verbundene Intensitätsverteilung.

Darüber hinaus eignet sich der CO- oder CO2 Laser, wie auch jeder andere Laser, der vom Material genügend stark absorbiert wird, zum abschließenden Verschmelzen und Verrunden der scharfkantig gebrochenen Kante.

Das erfindungsgemäße Verfahren eignet sich besonders zum Schneiden von sprödbrüchigen Werkstoffen aus Glas, Glaskeramik oder Keramik, wobei auch relativ dicke Werkstoffe, beispielsweise Flachglas mit einer Dicke von 30 mm vorteilhaft geschnitten werden kann.

Hinsichtlich der Vorrichtung zum schnellen Schneiden eines Werkstücks aus sprödbrüchigem Werkstoff mittels Laserstrahlen entlang einer vorgegebenen Schneidlinie beliebiger Kontur, sind vorgesehen:

  • - eine oder mehrere Laserquellen zur Erzeugung von Laserstrahlen,
  • - optische Mitteln zum gekoppelten Führen der Laserstrahlen hintereinanderliegend und fokussiert auf die Schneidlinie, ohne Aufschmelzen des Werkstoffs,
  • - Mittel zum Formen der jeweiligen Laserstrahlen derart, daß der auf die Oberfläche des zu schneidenden Werkstücks als Brennfleck einwirkende Strahlquerschnitt vorbestimmter Form und Intensitätsverteilung entspricht,
  • - wenigstens eine Antriebsanordnung zum Erzeugen einer Relativbewegung zwischen den Laserstrahlen und dem Werkstück entlang der Schneidlinie mit Induzierung einer thermomechanischen Spannung, und
  • - Mittel zum Aufblasen eines fluiden Kühlmediums zur anschließenden Kühlung des erwärmten Schneidlinienabschnitts unter Erhöhung der thermomechanischen Spannung bis über die Bruchfestigkeit des Werkstoffes.

Dabei ist es möglich, daß die optischen Mittel zum gekoppelten Führen der Laserstrahlen ein gekoppeltes Führen der Laserstrahlen derart erlauben, daß die Laserstrahlen fokussiert und voneinander getrennt oder aber ganz oder teilweise überlagert auf die Schneidlinie geführt sind.

Weiterhin sind bevorzugt Mittel zum Aufbringen eines Mikrorisses am Anfang der Schneidlinie vorgesehen.

Vorzugsweise ist der Laser ein CO2-Laser, dessen Wellenlänge dem spektralen Absorptionsmaximum des zu schneidenden Werkstoffes entspricht. Dieser CO2-Laser emittiert Licht im fernen infraroten Bereich bei einer Wellenlänge von 10,6 µm. Diese Wärmestrahlung zeigt erhebliche Besonderheiten bei der Wirkung auf Materie. So wird sie von den meisten im sichtbaren Licht transparenten Materialien stark absorbiert.

Der Umstand der starken Absorption in Glas wird verwendet, um Glas zu schneiden. Bei einem Absorptionskoeffizienten von 103 cm-1 wird 95% der Leistung in einer 30 µm dicken Schicht absorbiert.

Sollen Werkstoffe, deren Absorptionsmaxima bei einer Wellenlänge von etwa 5 µm liegen, geschnitten werden, so bietet sich die Verwendung eines CO- Lasers als Laserquelle an.

Prinzipiell können alle vorbestimmten Mittel zum Erzeugen, Formen und Führen eines Laserstrahls verwendet werden, die zur Induzierung einer thermomechanischen Spannung, unterhalb der Schmelztemperatur des zu schneidenden Werkstücks geeignet sind.

Nach einer weiteren Ausführungsform ist der Gasstrahl zum Freiblasen des Oberflächenteils des Werkstücks, auf den der Laserstrahl auftritt, ein Luftstrahl.

Beispielhafte Ausführungsformen der Erfindung werden nachfolgend anhand der Zeichnungen näher erläutert.

Es zeigen:

Fig. 1 jeweils drei gekoppelt geführte Laserstrahlen fokussiert auf eine vorgegebene Schneidlinie sowie anschließend geführte Kühlung (Kühlfleck),

Fig. 2 entsprechend Fig. 1 jedoch weist der jeweils als Brennfleck einwirkende Strahlquerschnitt eine abweichende Form und Intensitätsverteilung auf.

Entsprechend Fig. 1 und Fig. 2 werden zum schnellen Schneiden eines Werkstücks aus sprödbrüchigem Werkstoff mittels Laserstrahlen entlang einer vorgegebenen Schneidlinie beliebiger Kontur (durch abwechselnde Striche und Punkte dargestellt) jeweils drei Laserstrahlen erzeugt, die gekoppelt geführt auf die Schneidlinie fokussiert werden, ohne Aufschmelzen des Werkstoffs. Die Laserstrahlen werden dabei bevorzugt senkrecht zur Werkstoffoberfläche geführt. Die Laserstrahlen werden derart geformt, daß der jeweilige auf die Oberfläche des zu schneidenden Werkstücks als Brennfleck einwirkende Strahlenquerschnitt vorbestimmter Form und Intensitätsverteilung entspricht. Gemäß Fig. 1 besitzt der jeweilige Strahlenquerschnitt eine V-förmige Kontur und die damit verbundene Intensitätsverteilung. Der gemäß Fig. 2 jeweils als Brennfleck einwirkende Strahlenquerschnitt weist hingegen eine linienförmige Kontur auf.

Durch Erzeugung einer Relativbewegung zwischen den drei gekoppelten Laserstrahlen und dem Werkstück entlang der Schneidlinie (in Pfeilrichtung), wird eine thermomechanische Spannung in das Werkstück induziert. Dabei ist es wesentlich, daß die parallelen gekoppelten Laserstrahlen so exakt wie möglich der vorgegebenen Schneidlinie folgen. Den Laserstrahlen folgend wird durch Aufblasen eines fluiden Kühlmediums zur anschließenden Kühlung (Kühlfleck) des erwärmten Schneidlinienabschnitts die thermomechanische Spannung bis über die Bruchfestigkeit des Werkstoffs erhöht.

Die drei parallelen Laserstrahlen werden dabei gleichzeitig bevorzugt hintereinanderliegend auf die Schneidlinie geführt.


Anspruch[de]
  1. 1. Verfahren zum schnellen Schneiden eines Werkstücks aus sprödbrüchigem Werkstoff mittels Laserstrahlen entlang einer vorgegebenen Schneidlinie beliebiger Kontur, mit den Schritten:
    1. - Erzeugen von Laserstrahlen,
    2. - gekoppeltes Führen der Laserstrahlen hintereinanderliegend und fokussiert auf die Schneidlinie, ohne Aufschmelzen des Werkstoffs,
    3. - Formen des jeweiligen Laserstrahls derart, daß der jeweilige auf die Oberfläche des zu schneidenden Werkstücks als Brennfleck einwirkende Strahlquerschnitt vorbestimmter Form und Intensitätsverteilung entspricht,
    4. - Erzeugen einer Relativbewegung zwischen den Laserstrahlen und dem Werkstück entlang der Schneidlinie, mit Induzierung einer thermomechanischen Spannung,
    5. - Aufblasen eines fluiden Kühlmediums zur anschließenden Kühlung des erwärmten Schneidlinienabschnitts unter Erhöhung der thermomechanischen Spannung bis über die Bruchfestigkeit des Werkstoffs.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die gekoppelt geführten Laserstrahlen ganz oder teilweise überlagert auf die Schneidlinie geführt werden.
  3. 3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß am Anfang der Schneidlinie ein Mikroriß aufgebracht wird.
  4. 4. Verfahren nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß als jeweiliger Laserstrahl der Strahl eines CO- oder CO2-Lasers verwendet wird.
  5. 5. Verfahren nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß als jeweiliger Laserstrahl der Strahl eines abstimmbaren Lasers verwendet wird.
  6. 6. Verfahren nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß das fluide Kühlmedium von oben nach unten auf das Werkstück aufgeblasen wird.
  7. 7. Verfahren nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß durch Aufblasen eines Kühlgases, vorzugsweise von kalter Luft, gekühlt wird.
  8. 8. Verfahren nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß durch Aufblasen eines Luft-Wasser-Gemisches gekühlt wird.
  9. 9. Verfahren nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Temperatur des fluiden Kühlmediums eingestellt und geregelt wird.
  10. 10. Verfahren nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß das fluide Kühlmedium gekühlt wird.
  11. 11. Verfahren nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß das fluide Kühlmedium wenigstens mittels eines Peltier-Elements gekühlt wird.
  12. 12. Vorrichtung zum schnellen Schneiden eines Werkstücks aus sprödbrüchigem Werkstoff mittels Laserstrahlen entlang einer vorgegebenen Schneidlinie beliebiger Kontur, mit:
    1. - einer oder mehreren Laserquellen zur Erzeugung von Laserstrahlen,
    2. - optischen Mitteln zum gekoppelten Führen der Laserstrahlen hintereinanderliegend und fokussiert auf die Schneidlinie, ohne Aufschmelzen des Werkstoffs,
    3. - Mitteln zum Formen des jeweiligen Laserstrahls derart, daß der jeweilige auf die Oberfläche des zu schneidenden Werkstücks als Brennfleck einwirkende Strahlquerschnitt vorbestimmter Form und Intensitätsverteilung entspricht,
    4. - einer Antriebsanordnung zum Erzeugen einer Relativbewegung zwischen den Laserstrahlen und dem Werkstück entlang der Schneidlinie mit Induzierung einer thermomechanischen Spannung,
    5. - Mitteln zum Aufblasen eines fluiden Kühlmediums zur anschließenden Kühlung des erwärmten Schneidlinienabschnitts unter Erhöhung der thermomechanischen Spannung bis über die Bruchfestigkeit des Werkstoffes.
  13. 13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die optischen Mittel zum gekoppelten Führen der Laserstrahlen ein gekoppeltes Führen der Laserstrahlen fokussiert und ganz oder teilweise überlagert auf die Schneidlinie erlauben.
  14. 14. Vorrichtung nach Anspruch 12 oder 13, gekennzeichnet durch Mittel zum Aufbringen eines Mikrorisses am Anfang der Schneidlinie.
  15. 15. Vorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 12 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß eine oder mehrere Laserquellen CO- oder CO2-Laser sind.
  16. 16. Vorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 12 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß eine oder mehrere Laserquellen abstimmbar sind.
  17. 17. Vorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 12 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel zum Aufblasen eines fluiden Kühlmediums ein Aufblasen von oben nach unten erlauben.
  18. 18. Vorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 12 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel zum Aufblasen eines fluiden Kühlmediums ein Aufblasen eines Kühlgases, vorzugsweise ein Aufblasen von kalter Luft, erlauben.
  19. 19. Vorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 12 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel zum Aufblasen eines fluiden Kühlmediums ein Aufblasen eines Luft-Wasser-Gemisches erlauben.
  20. 20. Vorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 12 bis 19, dadurch gekennzeichnet, das die Temperatur des fluiden Kühlmediums einstell- und regelbar ist.
  21. 21. Vorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 12 bis 20, gekennzeichnet durch Mittel zum Kühlen des fluiden Kühlmediums.
  22. 22. Vorrichtung nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, das die Mittel zum Kühlen des fluiden Kühlmediums wenigstens ein Peltier- Element enthalten.






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