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Dokumentenidentifikation DE19960790A1 11.10.2001
Titel Elektrode zum elektrochemischen Feinbohren von Werkstücken sowie Verfahren zu ihrer Herstellung
Anmelder MTU Aero Engines GmbH, 80995 München, DE
Erfinder Platz, Albin, 86510 Ried, DE;
Rager, Konrad, 85235 Pfaffenhofen, DE
DE-Anmeldedatum 16.12.1999
DE-Aktenzeichen 19960790
Offenlegungstag 11.10.2001
Veröffentlichungstag im Patentblatt 11.10.2001
IPC-Hauptklasse B23H 3/04
Zusammenfassung Die Erfindung betrifft eine Elektrode zum elektrochemischen Feinbohren von Werkstücken, umfassend ein (Elektronen-)Rohr (6) zum Durchleiten eines Elektrolyten (4) zu einem zu bearbeitenden Werkstück (5) und eine mit dem Elektrolyten (4) in Verbindung stehenden, elektrischen Leiter, wobei das Rohr (6) zum Bohren von Bohrungen mit möglichst kleinem Durchmesser aus einem Metall mit im wesentlichen amorpher Struktur besteht, elektrisch leitend ist und an seiner Außenfläche wenigstens abschnittsweise mit einer nichtleitenden Isolierschicht (10) versehen ist (Fig.2).

Beschreibung[de]

Die Erfindung betrifft eine Elektrode zum elektrochemischen Feinbohren von Werkstücken, umfassend ein (Elektroden-)Rohr zum Durchleiten eines Elektrolyts zu einem zu bearbeitenden, elektrisch leitenden Werkstück und einen mit dem Elektrolyten in Verbindung stehenden, elektrischen Leiter sowie ein Verfahren zur Herstellung einer Elektrode zum elektrochemischen Feinbohren von Werkstücken.

Eine bekannte Elektrode zum elektrochemischen Bohren umfasst ein in einer Aufnahmeeinrichtung befestigtes Glasrohr aus SiO2-Glas, durch welches ein Elektrolyt strömt. Der Elektrolyt wird durch eine der Aufnahmeeinrichtung gegenüberliegenden Öffnung in dem Glasrohr in Kontakt mit dem durch Bohren zu bearbeitenden Bereich eines Werkstücks gebracht. In dem Glasrohr ist ein elektrischer Leiter angeordnet, an der über eine Gleichstromquelle eine negative elektrische Ladung angelegt, ist. An dem Werkstück ist die entgegengesetzte, positive Ladung angelegt damit an dem zu bearbeitenden Bereich des Werkstücks aufgrund einer chemischen Reaktion ein Materialabtrag erfolgt. Der elektrische Leiter besteht im allgemeinen aus einem Metall, wie einem Platindraht.

Nachteilig dabei ist, dass beim Einsatz von Glasrohren mit dem elektrochemischen Bohren lediglich Löcher bzw. Bohrungen mit einem minimalen Durchmesser von 0,2 mm erzielt werden können. Zudem ist die Elektrode aus einem Glasrohr und darin angeordnetem Draht relativ kompliziert und empfindlich aufgebaut.

Das der Erfindung zugrundeliegende Problem besteht darin, eine Elektrode der eingangs beschriebenen Gattung zu schaffen, mit der Löcher bzw. Bohrungen mit möglichst kleinem Durchmesser bei einem möglichst einfachen Elektrodenaufbau herzustellen sind. Zudem soll ein Verfahren zur Herstellung einer solchen Elektrode bereitgestellt werden.

Die Lösung des Problems ist erfindungsgemäß dadurch gekennzeichnet, dass das (Elektroden-)Rohr aus einem Metall mit im wesentlichen amorpher Struktur besteht, elektrisch leitend ist und somit gleichzeitig als elektrischer Leiter zum Anlegen einer Ladung dient, und an seiner Aussenfläche wenigstens abschnittsweise mit einer nichtleitenden Isolierschicht versehen ist.

Vorteilhaft bei einer Elektrode aus einem solchen Rohr ist, dass sich Metalle mit im wesentlicher amorpher Struktur, sog. metallische Gläser, zu Rohren mit verhältnismäßig kleinen Aussendurchmesser im Bereich von 0,2 mm bis 0,04 mm verarbeiten lassen. Aus Metall mit im wesentlichen amorpher Struktur hergestellte Rohre sind korrosions- und verschleißbeständig und weisen eine nahezu glatte und fehlerfreie Oberfläche auf, an der die Strömung der Elektrolyten optimal ist. Zudem kann auf das Einbringen eines metallischen Leiters, wie eines Platindrahts, verzichtet werden, da die negative Ladung einer Gleichstromquelle an das Rohr selbst angelegt wird. Die positive Ladung der Gleichstromquelle wird an das zu bearbeitende Werkstück angelegt.

Der Aussendurchmesser des Rohrs kann maximal geringfügig kleiner als 0,2 mm sein und liegt bevorzugt im Bereich von 0,2 mm bis 0,04 mm, so dass im wesentlichen Löcher bzw. Bohrungen mit einem Durchmesser von 0,2 mm und kleiner hergestellt werden können.

Das Rohr kann eine beliebige Querschnittsgeometrie aufweisen und verschiedenen Anwendungsfällen angepasst werden, so dass auch Löcher mit nicht kreisförmigem Querschnitt in dem Werkstück ausgebildet werden können.

Das Rohr kann ferner aus einem metallischen Massivglas, wie einer ZrTiNiCuBe- Legierung, bestehen, wobei auch geeignete andere Legierungen, und somit andere Metalle, mit im wesentlichen amorpher Struktur eingesetzt werden können.

Die nichtleitende Isolierschicht kann eine Schicht auf einer AlON- oder TiAlON- oder organischen-, wie Lacke, oder anorganischen Oxidkeramik-Basis sein, wobei deren Schichtdicke sehr klein ist. Die Dicke der Isolierschicht kann kleiner als 10 µm sein und liegt im allgemeinen zwischen 4 µm und 10 µm. Bei einer Isolierschicht auf TiAlON-Basis kann die Schicht auf das Rohr aus einem Metall mit im wesentlichen amorphen Struktur gesputtert oder gedampft sein.

Das Rohr kann an seiner gesamten Aussenfläche mit einer nichtleitenden Isolierschicht versehen sein, um elektrochemische Korrosion oder zusätzlichen unerwünschten Abtrag beim Feinbohren an der Wandung der im Werkstück ausgebildeten Bohrung zu verhindern.

Die mit der nichtleitenden Isolierschicht versehenen Abschnitte des Rohres können mit einer elektrisch leitenden Metall- oder Graphitschicht versehen sein, an die als sog. Schutzstromelektrode eine entgegengesetzte Ladung wie an das Rohr aus einem Metall mit im wesentlichen amorphen Struktur angelegt sein kann.

Die das Verfahren zur Herstellung einer Elektrode zum elektrochemischen Feinbohren betreffende Lösung des Problems ist erfindungsgemäß dadurch gekennzeichnet, dass als Werkstoff für das Elektrodenrohr ein elektrisch leitendes Metall mit im wesentlichen amorpher Struktur bereitgestellt wird, das Elektrodenrohr durch Glasziehen aus einem Halbzeug-Rohr mit größerem Aussendurchmesser auf einen kleineren Aussendurchmesser gezogen wird und auf seiner Aussenfläche wenigstens abschnittsweise eine nichtleitende Isolierschicht aufgebracht wird.

Weitere Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen Elektrode bzw. des erfindungsgemäßen Verfahrens sind in den Unteransprüchen beschrieben.

Im folgenden wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf eine Zeichnung näher erläutert. Es zeigt:

Fig. 1 eine elektrochemische Bohranordnung mit einer Elektrode aus dem Stand der Technik;

Fig. 2 eine elektrochemische Feinbohreinrichtung gemäß einer Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Elektrode und

Fig. 3 eine elektrochemische Feinbohranordnung gemäß einer alternativen Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Elektrode.

Fig. 1 zeigt schematisch eine elektrochemische Bohranordnung aus dem Stand der Technik mit einer Elektrode 1 aus einem Glasrohr 2 und einem darin angeordneten, als elektrischer Leiter dienenden Platindraht 3. Durch das Glasrohr 2 strömt ein Elektrolyt 4, der stirnseitig in einem durch elektrochemisches Bohren zu bearbeitenden Bereich eines Werkstücks 5 austritt. An den Platindraht 3 und das Werkstück 5 werden über eine Gleichstromquelle 12 entgegengesetzte Ladungen angelegt, so dass die für das elektrochemische Bohren erforderliche chemische Reaktion unter Austausch von Elektronen stattfindet. Es wird an den Platindraht 3 eine negative und an das Werkstück 5 eine positive Ladung angelegt. Während des Bohrens wird die Elektrode 1 in Richtung des Pfeiles V bewegt.

Bei Einsatz eines Glasrohres sind die mit dem elektrochemischen Bohrverfahren herzustellenden Bohrungen 13 im Werkstück 5 auf einen minimalen Durchmesser von 0,2 mm beschränkt. Zudem ist der Aufbau der das Glasrohr 2 und den darin angeordneten Platindraht 3 umfassenden Elektrode 1 kompliziert und empfindlich.

Fig. 2 zeigt schematisch eine elektrochemische Feinbohranordnung gemäß einer Ausgestaltung der erfindungsgemäßen, im ganzen mit 6 bezeichneten Elektrode, die im wesentlichen aus einem (Elektroden-)Rohr 7 aus einem Metall mit im wesentlichen amorpher Struktur, wie z. B. einer ZrTiNiCuBe-Legierung, besteht. Das Rohr 7 besitzt einen Aussendurchmesser D, der kleiner als 0,2 mm ist und je nach Größe der gewünschten Bohrung 13 im Werkstück 5 im Bereich zwischen 0,2 mm und 0,04 mm liegt. Von einer Gleichstromquelle 12 wird an das elektrische Rohr 7 und das Werkstück 5 jeweils eine entgegengesetzte elektrische Ladung angelegt, wobei an das Rohr 7 eine negative und an das Werkstück 5 eine positive Ladung angelegt wird.

Durch das Rohr 7 strömt ein Elektrolyt 4 von einer Aufnahmeeinrichtung 8 zu einer Öffnung 9 des Rohrs 7 und kommt dort mit dem durch elektrochemisches Bohren abzutragenden Bereich des Werkstücks 5 in Kontakt, um das Material des Werkstücks 5 unter Ablauf einer üblichen chemischen Reaktion mit Elektronenaustausch abzutragen. Das Rohr 7 ist in der Aufnahmeeinrichtung 8, durch die der Elektrolyt 4 dem Rohr 7 zugeführt wird, in üblicher Weise befestigt.

Bei der vorliegenden Ausgestaltung ist an der gesamten Aussenfläche des Rohrs 7 eine nichtleitende Isolierschicht 10 aufgebracht, um eine elektrochemische Korrosion oder einen zusätzlichen, unerwünschten Abtrag beim Feinbohren an der Wandung der Bohrung 13 zu verhindern. Durch die Isolierschicht 10 ist gewährleistet, dass dort kein Stromdurchgang erfolgt und somit weder Korrosion noch ein unerwünschter Abtrag von Material auftritt. Die chemische Reaktion erfolgt ausschließlich im Bereich der Öffnung 9 des Rohrs 7 und führt zu einem Materialabtrag und einer Vertiefung der Bohrung 13. Die Isolierschicht 10 ist eine gesputterte oder gedampfte Schicht eines Mischoxids, z. B. auf einer TiAlON-Basis, und besitzt eine Schichtdicke, die im allgemeinen kleiner als 10 µm ist und somit den gewünschten kleinen Aussendurchmesser des Rohrs 7 lediglich in geringfügiger Weise erhöht.

Fig. 3 zeigt schematisch eine alternative Ausgestaltung der erfindungsgemäßen, im ganzen mit 6 bezeichneten Elektrode, bei der ein (Elektroden-)Rohr 7 aus einem elektrisch leitenden Metall mit im wesentlichen amorpher Struktur besteht. Das Rohr 7 ist in einer Aufnahmeeinrichtung 8 gehalten, von der ihr ein Elektrolyt 4 zugeführt wird. Der Elektrolyt 4 strömt durch das Rohr 7 und tritt an eine Öffnung 9 des Rohrs 7 an dem zu bearbeitenden Bereich eines Werkstücks 5 aus. Über eine Gleichstromquelle 12 ist an das elektrisch leitende Rohr 7 eine negative und das Werkstück 5, in das eine Bohrung 13 durch elektrochemisches Feinbohren eingebracht werden soll, eine positive Ladung angelegt. An einer Aussenfläche des Rohrs 7 ist eine nichtleitende Isolierschicht 10 auf Basis einer Oxidkeramik, wie z. B. Al2O3, aufgebracht, damit dort kein Stromdurchgang erfolgt. Hier soll z. B. eine elektrochemische Korrosion oder ein zusätzlicher, unerwünschter Materialabtrag im Bereich der Wandung der Bohrung 13 im Werkstück 5 verhindert werden.

Das Rohr 7 besitzt einen Aussendurchmesser D von 0,09 mm, so dass unter Berücksichtigung der Dicke der Isolierschicht 10 von etwa 7 µm eine Bohrung 13 von geringfügig über 0,09 mm hergestellt wird. Der Materialabtrag erfolgt daher ausschließlich im Bereich der Öffnung 9 des Rohres 7 unter Ablauf einer üblichen chemischen Reaktion mit Elektronenaustausch, da der Elektrolyt einerseits mit dem elektrisch leitenden Rohr 7 und andererseits mit dem ebenfalls elektrisch leitenden Werkstück 5 in Verbindung steht. Während des Bohrvorgangs wird die Elektrode 6 in Richtung des Pfeiles V bewegt, um die gewünschte Tiefe der Bohrung 13 zu erzielen. Aufgrund der Isolierschicht 10 tritt an der Wandung der Bohrung 13 kein unerwünschter Marterialabtrag auf.

In der vorliegenden Ausgestaltung ist auf die Isolierschicht 10 eine elektrisch leitende Metallschicht 11 als sog. Schutzstromelektrode aufgebracht, an die über eine Gleichstromquelle 14 eine positive, d. h. entgegengesetzte Ladung wie an das Rohr 7 angelegt ist, um so das Anätzen bzw. die ungewollte Aufweitung der Wandung der Bohrung 13 im Werkstück 5 zusätzlich zu verhindern. Alternativ kann als Schutzstromelektrode auch eine andere elektrisch leitende Schicht 11, wie z. B. eine Graphitschicht aufgebracht werden. Die entgegengesetzte, negative Ladung wird von der Gleichstromquelle 14 an dem Werkstück 5 angelegt.

Die in Fig. 2 und 3 dargestellte Elektrode 6 zum elektrochemischen Feinbohren in Werkstücken wird in der Weise hergestellt, dass als Werkstoff für das Elektrodenrohr 7 ein elektrisch leitendes Metall mit im wesentlichen amorpher Struktur, d. h., ein sog. metallisches Glas wie z. B. eine ZrTiNiCuBe-Legierung, bereitgestellt wird und das Elektrodenrohr 6 durch Glasziehen aus einem Halbzeug-Rohr mit größerem Aussendurchmesser auf einen Aussendurchmesser D im Bereich von 0,2 mm bis 0,04 mm in einer Schutzgasatmosphäre gezogen wird. Daran anschließend wird auf die Aussenfläche des so hergestellten Elektrodenrohrs 6 eine Isolierschicht 10 aufgebracht, so dass beim Feinbohren einer Bohrung 13 in ein Werkstück 5 ausschließlich im Bereich der Öffnung 9 des Elektrodenrohrs 6 ein Stromdurchgang infolge des dort austretenden Elektrolyten 4 auftritt. Die Isolierschicht 10 besteht im wesentlichen aus AlON, TiAlON oder einer Oxidkeramik. Bei der in Fig. 3 dargestellten Elektrode 6 wird anschließend auf die Isolierschicht 10 noch eine elektrisch leitende Metall- oder Graphitschicht 11 z. B. durch Sputtern oder Aufdampfen aufgebracht, die als Schutzstromelektrode dient.


Anspruch[de]
  1. 1. Elektrode zum elektrochemischen Feinbohren von Werkstücken, umfassend ein (Elektroden-)Rohr (6) zum Durchleiten eines Elektrolyten (4) zu einem zu bearbeitenden Werkstück (5) und einen mit dem Elektrolyten (4) in Verbindung stehenden, elektrischen Leiter, dadurch gekennzeichnet, dass das Rohr (6) aus einem Metall mit im wesentlichen amorpher Struktur besteht, elektrisch leitend ist und an seiner Aussenfläche wenigstens abschnittsweise mit einer nichtleitenden Isolierschicht (10) versehen ist.
  2. 2. Elektrode nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Aussendurchmesser (D) des Rohrs (6) zwischen 0,2 mm und 0,04 mm beträgt.
  3. 3. Elektrode nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Rohr (6) eine beliebige Querschnittsgeometrie aufweist.
  4. 4. Elektrode nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Rohr (6) aus einer ZrTiNiCuBe-Legierung besteht.
  5. 5. Elektrode nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Isolierschicht (10) im wesentlichen aus AlON oder TiAlON oder einer organischen Basis, wie Lacke, oder einer anorganischen Oxidkeramik besteht.
  6. 6. Elektrode nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Dicke der Isolierschicht (10) im Bereich von 4 µm bis 10 µm liegt.
  7. 7. Elektrode nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Aussenfläche der Elektrode (b) im wesentlichen vollständig mit der Isolierschicht (10) versehen ist.
  8. 8. Elektrode nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass auf die Isolierschicht (10) wenigstens abschnittsweise eine elektrisch leitende Metall- oder Graphitschicht (11) aufgebracht ist.
  9. 9. Verfahren zum Herstellen einer Elektrode zum elektrochemischen Feinbohren, wobei die Elektrode ein Elektrodenrohr (6) zum Durchleiten eines Elektrolyten (4) zu einem zu bearbeitenden Werkstück (5) und einen mit dem Elektrolyten (4) in Verbindung stehenden, elektrischen Leiter umfasst, dadurch gekennzeichnet, dass als Werkstoff für das Elektrodenrohr (6) ein elektrisch leitendes Metall mit im wesentlichen amorpher Struktur bereitgestellt wird, das Elektrodenrohr (6) durch Glasziehen aus einem Rohr mit größerem Aussendurchmesser auf einen kleineren Aussendurchmesser (D) gezogen wird und auf seiner Aussenfläche wenigstens abschnittsweise eine nichtleitende Isolierschicht (10) aufgebracht wird.
  10. 10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass das Glasziehen in einer Schutzgasatmosphäre durchgeführt wird.
  11. 11. Verfahren nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass das Rohr mit grösserem Aussendurchmesser auf einen Aussendurchmesser (D) des Elektrodenrohrs (6) im Bereich von 0,2 mm bis 0,04 mm gezogen wird.
  12. 12. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 9 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass auf die Isolierschicht (10) wenigstens abschnittsweise eine elektrisch leitende Metall- oder Graphitschicht (11) aufgebracht wird.






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