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Dokumentenidentifikation DE10030007C2 18.04.2002
Titel Verfahren und Vorrichtung zum Prüfen der Festigkeit von Verbindungen
Anmelder Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE
Erfinder Happold, Walter, 74199 Untergruppenbach, DE;
Bohn, Gunther, 71636 Ludwigsburg, DE;
Frangen, Joachim, 74081 Heilbronn, DE
DE-Anmeldedatum 17.06.2000
DE-Aktenzeichen 10030007
Offenlegungstag 10.01.2002
Veröffentlichungstag der Patenterteilung 18.04.2002
Veröffentlichungstag im Patentblatt 18.04.2002
IPC-Hauptklasse G01N 21/88
IPC-Nebenklasse G01N 29/04   G06K 9/78   

Beschreibung[de]

Die vorliegende Erfindung betrifft Verfahren zum Prüfen der Festigkeit von Verbindungen; insbesondere betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Prüfen der Festigkeit von Verbindungen, bei dem Bilder eines Prüflings aufgenommen werden. Die Erfindung betrifft weiterhin Vorrichtungen zum Prüfen der Festigkeit von Verbindungen; insbesondere betrifft die Erfindung eine Vorrichtung zum Prüfen der Festigkeit von Verbindungen mit Mitteln zur Aufnahme von Bildern.

Stand der Technik

Gattungsgemäße Verfahren und Vorrichtungen kommen bei der Fertigung elektrischer bzw. elektronischer Komponenten zum Einsatz. Speziell bei der automatischen Kontrolle der Qualität von Bonddraht-Verbindungen ist eine berührungslose optische Erfassung der Verbindungen mit Flächenkameras üblich, wobei die Bilddaten mit einem Bildverarbeitungssystem automatisch ausgewertet werden.

An diesem Verfahren erweist es sich jedoch als nachteilig, dass die Qualitätskontrolle keine ausreichende Sicherheit bietet - ein loser Draht, welcher auf einer Kontaktstelle liegt, kann bei der Bilderfassung und der Bildauswertung dasselbe Ergebnis liefern, wie ein Draht mit einer festen Verbindung. Insofern können korrekte Verbindungen vorgetäuscht werden, was letztlich zu fehlerhaften Produktionen führen kann.

Ein anderes Verfahren zur Prüfung der Festigkeit einer Bondverbindung besteht in einer berührenden mechanischen Prüfung. Dabei erfolgt ein definiertes Ziehen an einem Verbindungsdraht mittels eines Hakens (Pull-Test). Durch die Überwachung des Kraft-Weg- Verlaufes kann die Qualität der Verbindung beurteilt werden.

Bei diesem Pull-Test ist es zwar praktisch ausgeschlossen, dass lose Verbindungen irrtümlich als fest Verbindungen identifiziert werden, jedoch bringt dieses Verfahren andere Nachteile mit sich. Diese Nachteile bestehen zum Beispiel in einer hohen Prüfdauer pro Drahtverbindung und in der Gefahr der Bonddrahtzerstörung. Ferner ist eine präzise Mechanik erforderlich, was die Fertigungskosten in die Höhe treibt.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die genannten Nachteile des Standes der Technik auszuräumen und insbesondere eine zuverlässige und zerstörungsfreie Prüfung von Verbindungen zu ermöglichen.

Vorteile der Erfindung

Das erfindungsgemäße Verfahren wird gemäß Anspruch 1 durchgeführt, indem ein erstes Bild eines Prüflings aufgenommen wird, ein zweites Bild eines Prüflings aufgenommen wird, der Prüfling während der Aufnahme eines der Bilder einem Gasstrom ausgesetzt wird und das erste Bild mit dem zweiten Bild verglichen wird. Durch den Gasstrom werden die losen Bonddrahtverbindungen in Bewegung versetzt, so dass sich das zweite Bild von dem ersten Bild, welches ohne Gasstrom aufgenommen wurde, unterscheidet. Der Nachteil des Standes der Technik, dass lose Bonddrahtverbindungen irrtümlich als feste Verbindungen identifiziert werden, ist somit beseitigt. Ferner kommt es nicht zu einer mechanischen Belastung der Bonddrähte, welche diese beschädigen könnte, wie es beim Stand der Technik im Pull-Test der Fall war.

Vorzugsweise erfolgt der Vergleich des ersten Bildes mit dem zweiten Bild automatisch. Es liegt somit ein automatisches Prüfverfahren vor, welches beispielsweise in einen automatischen Fertigungsprozess eingebunden werden kann.

Besonders vorteilhaft ist es, dass das erste Bild und das zweite Bild digitalisiert werden, dass das digitalisierte erste Bild und das digitalisierte zweite Bild in einen Rechner eingelesen werden, und dass der Vergleich des ersten Bildes mit dem zweiten Bild mittels eines Algorithmus in dem Rechner erfolgt. Somit stehen für das erfindungsgemäße Verfahren die Mittel der modernen Bildverarbeitung zur Verfügung.

Vorzugsweise umfasst der Algorithmus in dem Rechner eine Subtraktion des digitalisierten ersten Bildes von dem digitalisierten zweiten Bild und/oder des digitalisierten zweiten Bildes von dem digitalisierten ersten Bild. Da es um die Unterschiede der mit und ohne Gasstrom aufgenommenen Bilder geht, ist eine bildpunktweise Subtraktion der Grauwerte ein geeignetes Verfahren. Falls durch den Gasstrom keine Veränderung hervorgerufen wurde, ist das Differenzbild einheitlich schwarz. Falls sich hingegen die Lage von Drähten aufgrund des Gasstroms geändert hat, erscheinen die betreffenden Stellen in dem Differenzbild heller. Durch Auswertung des Differenzbildes mit Verfahren der modernen Bildverarbeitung wird festgestellt, ob lose Drähte vorhanden sind oder nicht.

Es ist bevorzugt, dass die Aufnahme des ersten Bildes mit einer Kamera erfolgt, und dass die Aufnahme des zweiten Bildes mit derselben Kamera erfolgt. Es sind unterschiedliche Kamerasysteme einsetzbar, beispielsweise Flächenkameras, Zeilenkameras, CCD-Kameras. Nützlich ist jedoch, dass beide Bildaufnahmen mit derselben Kamera erfolgen; denn Unterschiede bei der Bildaufnahme verschiedener Kameras könnten die Messgenauigkeit verringern. Wenn beispielsweise eine empfindlichere Kamera bei der Aufnahme des ersten Bildes verwendet würde, so wäre das Differenzbild nach Subtraktion des zweiten Bildes von dem ersten Bild durchgängig hell, das heißt, es hätte einen Grauwert, welcher sich von Schwarz unterscheidet, so dass helle Stellen aufgrund der Drahtbewegung bei vorliegendem Gasstrom nur schlecht erkannt werden könnten.

Aus demselben Grund ist es nützlich, dass der Prüfling bei dar Aufnahme des ersten Bildes beleuchtet wird, und dass bei der Aufnahme des zweiten Bildes dieselbe Beleuchtung verwendet wird. Eine Änderung der Beleuchtungsverhältnisse könnte ebenfalls die Auswertung der Bilddaten erschweren, so dass gleiche Beleuchtungsverhältnisse zu bevorzugen sind.

Ebenfalls kann es vorteilhaft sein, dass zusätzlich zu den Vergleichswerten des ersten Bildes mit dem zweiten Bild das erste Bild und/oder das zweite Bild zur Beurteilung der Festigkeit der Verbindungen verwendet werden. Dies kann beispielsweise aus dem folgenden Grund nützlich sein. Falls ein Bonddraht falsch angelötet wäre, so hätte dies zur Folge, dass der Vergleichstest das Ergebnis hätte, dass kein Fehler vorliegt; denn der Gasstrom wäre nicht in der Lage, den zwar falsch angelöteten aber festen Draht zu bewegen. Daher ist es nützlich, derartige Fehler durch Heranziehen der primären Bilder zu erkennen, beispielsweise durch Vergleich jener Bilder mit in einer Speichereinrichtung gespeicherten Solldaten.

Ebenfalls kann vorteilhaft sein, wenn die Bewegung an den Verbindungsstellen mit einer Sensoreinrichtung nachgewiesen wird. Auf diese Weise ist man nicht ausschließlich von der Bildverarbeitung abhängig; vielmehr kann das Ergebnis der Bildverarbeitung durch einen weiteren Test, nämlich den Nachweis der Bewegung durch eine Sensoreinrichtung, verifiziert werden.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung besteht diese nach Anspruch 9 in einem Verfahren zum Prüfen der Festigkeit von Verbindungen, bei dem ein Prüfling einem Gasstrom ausgesetzt wird, und bei dem eine Bewegung an den Verbindungsstellen mit einer Sensoreinrichtung nachgewiesen wird. Man ist also losgelöst von der gesamten Bildverarbeitungstechnik in der Lage, lose Drahtverbindungen mit einer Sensoreinrichtung unter Verwendung eines Gasstromes nachzuweisen. Auch hier kommt es zu den erfindungsgemäßen Vorteilen, dass nicht irrtümlich eine zwar richtig lokalisierte, aber lose Drahtverbindung als fest identifiziert wird, und dass ferner aufgrund der berührungslosen Technik keine mechanische Belastung der Drähte auftritt.

Es ist bevorzugt, dass als Sensoreinrichtung ein Laservibrometer verwendet wird.

Vorzugsweise wird der Gasstrom von einer Düse erzeugt. Somit kann der Gasstrom definiert und gerichtet eingestellt werden, so dass er für die jeweiligen Prüflinge optimal eingestellt werden kann.

Es kann nützlich sein, wenn der Gasstrom durch eine spezielle Düsengeometrie beeinflusst wird. Auch hierdurch lässt sich eine Optimierung im Hinblick auf die zu untersuchenden Prüflinge durchführen.

Auch kann es vorteilhaft sein, dass der Gasstrom durch mehrere Düsen erzeugt wird. Somit lassen sich praktisch beliebige Strömungsprofile erzeugen, um eine zuverlässige Bewegung beliebiger Drahtverbindungen, zum Beispiel auch solcher an unzugänglichen Stellen, zu erzeugen.

Vorzugsweise wird der Gasstrom gesteuert oder geregelt, so dass lose Verbindungen mit unterschiedlichen mechanischen Eigenschaften zur Bewegung angeregt werden. Es ist denkbar, dass bei einem bestimmten Gasstrom gewisse Drähte zur Bewegung angeregt werden, während andere lose Drähte, beispielsweise aufgrund anderer Resonanzverhältnisse, in ihrer Position verharren. Dies ist durch geeignete Steuerung oder Regelung des Gasstroms vermeidbar.

Ebenfalls kann es vorteilhaft sein, dass verschiedene Gassorten verwendet werden. Verschiedene Gassorten mit unterschiedlichen Molekulargewichten könnten unterschiedliche mechanische Wirkungen entfalten, so dass das Verfahren je nach Aufgabenstellung flexibel ist.

Ferner kann es vorteilhaft sein, dass lose Verbindungsstellen lokalisiert werden. Das Bildverarbeitungssystem ist also nicht nur in der Lage, das Vorliegen eines Fehlers allgemein festzustellen. Vielmehr kann auch genau angegeben werden, an welcher Stelle sich der Fehler befindet, beispielsweise durch Ausgabe einer genauen Bezeichnung der entsprechenden Verbindungsstelle.

Ferner ist gemäß Anspruch 17 eine Vorrichtung vorgesehen mit Mitteln zur Aufnahme eines ersten Bildes eines Prüflings, Mitteln zur Aufnahme eines zweiten Bildes eines Prüflings, Mitteln zum Erzeugen eines Gasstroms, dem der Prüfling während der Aufnahme eines der Bilder ausgesetzt werden kann, und Mitteln zum Vergleichen von Bildern. Mit dieser Vorrichtung lassen sich die erfindungsgemäßen Vorteile des Verfahrens umsetzen. Aufgrund der Vergleichsmittel ist es möglich, die berührungslose Qualitätskontrolle ohne die Gefahr von Fehlern bei der Kontrolle durchzuführen.

Bevorzugt weisen die Mittel zur Aufnahme von Bildern mindestens eine Kamera auf. Eine Kamera kann beispielsweise als Flächenkamera, Zeilenkamera oder CCD-Kamera ausgelegt sein.

Es ist bevorzugt, dass die Mittel zum Vergleich von Bildern einen Rechner aufweisen. Somit lässt sich die Vorrichtung automatisiert einsetzen, was den Vorzug hat, dass die Prüfvorrichtung ein Teil einer Fertigungsstrecke sein kann.

Besonders vorteilhaft ist es, dass Mittel zum Digitalisieren von Bildern vorgesehen sind. Folglich können digitale Bilder verarbeitet werden, so dass digitale Bildverarbeitungsvorrichtungen einsetzbar sind.

Ferner ist es nützlich, wenn Beleuchtungsmittel vorgesehen sind. Auf diese Weise lassen sich kontrastreiche Bilder erzeugen. Ferner lässt sich die Beleuchtung definiert und unveränderlich einstellen, was den Vergleich der aufgenommenen Bilder erleichtert.

Es kann ferner nützlich sein, wenn eine Sensoreinrichtung zum Nachweis einer Bewegung an einer Verbindungsstelle vorgesehen ist. Man ist auf diese Weise nicht auf die alleinige Auswertung der Bildverarbeitungseinrichtung angewiesen. Unterstützend lässt sich das Messergebnis einer Sensoreinrichtung nutzen.

Die Erfindung entfaltet sich gemäß Anspruch 23 ferner in einer Vorrichtung zum Prüfen der Festigkeit von Verbindungen mit Mitteln zum Erzeugen eines Gasstroms und einer Sensoreinrichtung zum Nachweis einer Bewegung an einer Verbindungsstelle. Die Bewegung an einer Verbindungsstelle lässt sich demnach auch losgelöst von den Ergebnissen einer Bildbearbeitungseinrichtung durch eine Sensoreinrichtung ermitteln.

Vorzugsweise ist die Sensoreinrichtung ein Laservibrometer.

Es ist vorteilhaft, wenn die Mittel zum Erzeugen eines Gasstroms mindestens eine Düse aufweisen. Auf diese Weise lässt sich der Gasstrom formen und somit für die konkrete Aufgabenstellung optimieren.

Es kann auch nützlich sein, wenn die Mittel zum Erzeugen eines Gasstroms mehrere Düsen aufweisen. Damit ist eine größere Flexibilität bei der Einstellung des Gasstroms gegeben.

Ebenfalls kann es nützlich sein, wenn eine Steuerung oder eine Regelung vorgesehen ist, über welche der Gasstrom steuerbar oder regelbar ist. Auf diese Weise lässt sich den unterschiedlichen mechanischen Verhältnissen an verschiedenen Verbindungsstellen Rechnung tragen; der Gasstrom kann für alle unterschiedlichen Verbindungsstellen während des Prüfverfahrens optimal eingestellt werden.

Der Erfindung liegt die überraschende Erkenntnis zu Grunde, dass eine berührungslose Qualitätsprüfung möglich ist, ohne dass die Gefahr besteht, eine lose Verbindungsstelle zu übersehen. Dies erfolgt durch Einsatz eines Gasstroms und beispielsweise durch den Vergleich von Bildern, die mit und ohne Gasstrom aufgenommen wurden. Die Bewegung der Drähte an den Verbindungsstellen kann auch durch andere Sensoreinrichtungen nachgewiesen werden, wobei ebenfalls die Vorteile der berührungslosen Qualitätsprüfung zum Zuge kommt.

Zeichnung

Die Erfindung wird nun mit Bezug auf die begleitenden Zeichnung an Hand einer Ausführungsform beispielhaft beschrieben.

Fig. 1 ist eine schematische Darstellung einer erfindungsgemäßen Verrichtung.

Beschreibung eines Ausführungsbeispiels

Fig. 1 ist eine schematische Darstellung einer erfindungsgemäßen Vorrichtung. An einem Prüfling 10 sind zu prüfende Bonddrähte 12 angeordnet. Der Prüfling 10 wird von einer Anströmdüse 14 mit einem Gasstrom 16, beispielsweise einem Luftstrom, beaufschlagt. Ferner ist eine Beleuchtung 18 vorgesehen, welche Licht 20 auf den Prüfling aussendet. Der Prüfling 10 liegt im Gesichtsfeld einer Kamera 22, so dass die Kamera 22 in der Lage ist, ein Bild des Prüflings 10 mit den Anschlussstellen der Bonddrähte 12 aufzunehmen. Die Kamera steht mit einem Bildverarbeitungssystem 24 in Verbindung, welches mit einer Steuerung 26 kommunizieren kann. Ferner kann die Vorrichtung so ausgelegt sein, dass die Steuerung 26 die Anströmdüse 14 beeinflusst. Auf diese Weise kann der Gasstrom 16 der Anströmdüse 14 gesteuert oder geregelt werden, vorzugsweise in Abhängigkeit der Daten des Bildverarbeitungssystems 24.

Die Prüfung des Prüflings 10 erfolgt nun vorzugsweise so, dass der Prüfling 10 zunächst in das Gesichtsfeld der Kamera 22 gebracht wird, wo er von der Beleuchtung 18 beleuchtet wird. Die Kamera 22 nimmt ein erstes Bild auf, und dieses wird in digitalisierter Form von dem Bildverarbeitungssystem 24 verarbeitet. Nachfolgend wird der Gasstrom 16 der Anströmdüse 14 eingestellt, beispielsweise veranlasst durch die Steuerung 26. Nun wird ein weiteres Bild des Prüflings 10 von der Kamera 22 aufgenommen, und auch dieses wird in dem Bildverarbeitungssystem 24 weiter verarbeitet. Durch Differenzbildung und weitere Auswerteverfahren in dem Bildverarbeitungssystem lässt sich nun ermitteln, an welchen Stellen des Prüflings 10 lose Bonddrähte 12 vorliegen.

Es lassen sich auch mehr als zwei Bilder von dem Prüfling unter unterschiedlichen äußeren Bedingungen, beispielsweise unterschiedliche Strömungsbedingungen, aufnehmen und in dem Bildverarbeitungssystem 24 verarbeiten, was zu einer zusätzlichen Prüfsicherheit führt. Ferner können die in dem Bildverarbeitungssystem 24 zu verarbeitenden Bilder des Prüflings 10 grundsätzlich in unterschiedlichen Reihenfolgen aufgenommen werden.

Die in der vorstehenden Beschreibung, in der Zeichnung sowie in den Ansprüchen offenbarten Merkmale der Erfindung können sowohl einzeln als auch in beliebiger Kombination für die Verwirklichung der Erfindung wesentlich sein.


Anspruch[de]
  1. 1. Verfahren zum Prüfen der Festigkeit von Verbindungen, bei dem

    ein erstes Bild eines Prüflings (10) aufgenommen wird,

    ein zweites Bild eines Prüflings (10) aufgenommen wird,

    der Prüfling (10) während der Aufnahme eines der Bilder einem Gasstrom (16) ausgesetzt wird und

    das erste Bild mit dem zweiten Bild verglichen wird.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Vergleich des ersten Bildes mit dem zweiten Bild automatisch erfolgt
  3. 3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,

    dass das erste Bild und das zweite Bild digitalisiert werden,

    dass das digitalisierte erste Bild und das digitalisierte zweite Bild in einen Rechner eingelesen werden und

    dass der Vergleich des ersten Bildes mit dem zweiten Bild mittels eines Algorithmus in dem Rechner erfolgt.
  4. 4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Algorithmus in dem Rechner eine Subtraktion des digitalisierten ersten Bildes von dem digitalisierten zweiten Bild und/oder des digitalisierten zweiten Bildes von dem digitalisierten ersten Bild umfasst.
  5. 5. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Aufnahme des ersten Bildes mit einer Kamera (22) erfolgt, und dass die Aufnahme des zweiten Bildes mit derselben Kamera (22) erfolgt.
  6. 6. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Prüfling (10) bei der Aufnahme des ersten Bildes beleuchtet wird, und dass bei der Aufnahme des zweiten Bildes dieselbe Beleuchtung (18) verwendet wird.
  7. 7. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zusätzlich zu den Vergleichswerten des ersten Bildes mit dem zweiten Bild das erste Bild und/oder das zweite Bild zur Beurteilung der Verbindungen verwendet werden.
  8. 8. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine Bewegung an den Verbindungsstellen mit einer Sensoreinrichtung nachgewiesen wird.
  9. 9. Verfahren zum Prüfen der Festigkeit von Verbindungen, bei dem

    ein Prüfling (10) einem Gasstrom (16) ausgesetzt wird, und

    eine Bewegung an der Verbindungsstelle mit einer Sensoreinrichtung nachgewiesen wird.
  10. 10. Verfahren nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, dass als Sensoreinrichtung ein Laservibrometer verwendet wird.
  11. 11. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Gasstrom (16) von einer Düse (14) erzeugt wird.
  12. 12. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Gasstrom (16) durch eine spezielle Düsengeometrie beeinflusst wird.
  13. 13. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Gasstrom (16) durch mehrere Düsen erzeugt wird.
  14. 14. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Gasstrom (16) gesteuert oder geregelt wird, so dass lose Verbindungen mit unterschiedlichen mechanischen Eigenschaften zur Bewegung angeregt werden.
  15. 15. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass verschiedene Gassorten verwendet werden.
  16. 16. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass lose Verbindungsstellen lokalisiert werden.
  17. 17. Vorrichtung zum Prüfen der Festigkeit von Verbindungen mit

    Mitteln (22) zur Aufnahme eines ersten Bildes eines Prüflings (10),

    Mitteln (22) zur Aufnahme eines zweiten Bildes eines Prüflings (10),

    Mitteln (14) zum Erzeugen eines Gasstroms (16), dem der Prüfling (10) während der Aufnahme eines der Bilder ausgesetzt werden kann, und

    Mitteln (24) zum Vergleichen der ersten und zweiten Bilder.
  18. 18. Vorrichtung nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, dass die Mittel zur Aufnahme von Bildern mindestens eine Kamera (22) aufweisen.
  19. 19. Vorrichtung nach Anspruch 17 oder 18, dadurch gekennzeichnet, dass die Mittel (24) zum Vergleich von Bildern einen Rechner aufweisen.
  20. 20. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 17 bis 19, dadurch gekennzeichnet, dass Mittei zum Digitalisieren von Bildern vorgesehen sind.
  21. 21. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 17 bis 20, dadurch gekennzeichnet, dass Beleuchtungsmittel (18) vorgesehen sind.
  22. 22. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 17 bis 21, dadurch gekennzeichnet, dass eine Sensoreinrichtung zum Nachweis einer Bewegung an einer Verbindungsstelle vorgesehen ist.
  23. 23. Vorrichtung zum Prüfen der Festigkeit von Verbindungen mit

    Mitteln (14) zum Erzeugen eines Gasstromes und

    einer Sensoreinrichtung zum Nachweis einer Bewegung an einer Verbindungsstelle.
  24. 24. Vorrichtung nach Anspruch 22 oder 23, dadurch gekennzeichnet, dass die Sensoreinrichtung ein Laservibrometer ist.
  25. 25. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 17 bis 24, dadurch gekennzeichnet, dass die Mittel zum Erzeugen eines Gasstroms mindestens eine Düse (14) aufweisen.
  26. 26. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 17 bis 25, dadurch gekennzeichnet, dass die Mittel zum Erzeugen eines Gasstroms mehrere Düsen aufweisen.
  27. 27. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 17 bis 26, dadurch gekennzeichnet, dass eine Steuerung (26) oder eine Regelung vorgesehen ist, über welche der Gasstrom (16) steuerbar oder regelbar ist.






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