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Dokumentenidentifikation DE19511869B4 26.02.2004
Titel Verfahren und Anordnung zur Responseanalyse von Halbleitermaterialien mit optischer Anregung
Anmelder Geiler, Hans-Dieter, Dr., 07745 Jena, DE
Erfinder Geiler, Hans-Dieter, 07745 Jena, DE;
Wagner, Matthias, 07745 Jena, DE
Vertreter Patentanwälte Oehmke und Kollegen, 07743 Jena
DE-Anmeldedatum 31.03.1995
DE-Aktenzeichen 19511869
Offenlegungstag 10.10.1996
Veröffentlichungstag der Patenterteilung 26.02.2004
Veröffentlichungstag im Patentblatt 26.02.2004
IPC-Hauptklasse G01R 31/265
IPC-Nebenklasse G01N 21/63   G01J 3/28   H01L 21/66   
IPC additional class // B23K 26/00  

Beschreibung[de]

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Anordnung zur Analyse elektrischer Eigenschaften von Halbleitermaterialien mit optischer Anregung, wobei in einem Objekt mittels eines Laserstrahls eine Energiedeponierung erzeugt wird, die als Relaxation von Ladungsträgern in Form einer aus dein Objekt austretenden Lumineszenz-Strahlung gemessen wird.

Die messtechnische Aufgabenstellung, eine Analyse der Rekombinationskanäle in Festkörpern, vornehmlich in Halbleitern, mit hoher Ortsauflösung vorzunehmen, wird derzeit in der Praxis sowohl mit kontaktierenden als auch kontaktfreien Methoden bearbeitet.

Die elektrischen oder photoelektrischen Methoden, die jeweils eine einfache Modulation mit Lock-in-Detektion (im Falle der Frequenzdomäne) oder mit Box-car-Integration (im Falle der Zeitdomäne) verwenden, haben den grundsätzlichen Nachteil der notwendigen Kontaktierung. Bei den kontaktfreien Methoden ist die Messung der Photolumineszenz eines der ältesten Charakterisierungsverfahren für die strahlende Rekombination (siehe z.B. W. D. Johnston in Appl. Phys. Lett. 33 (1978) 992). Eine modulierte Anregung sichert die notwendige Messempfindlichkeit, und eine hohe Ortsauflösung ist durch die Wahl der Modulationsfrequenz möglich, wie man beispielsweise aus einem Artikel von J. Marek in: Appl. Phys. Lett. 49 (1986) 1732 entnehmen kann. Die ortsaufgelöste Photolumineszenz wird in der Regel mit geringen Anregungsdichten der Ladungsträgerwelle durch modulierte Laserstrahlung erzeugt. Eine Intensitätsauswertung ist dabei mit großen Fehlern behaftet, so dass regelmäßig nur eine Spektroskopie betrieben wird. Außerdem bleibt wegen der einfachen Abtrennung des Gleichlichtanteils die Modulation auf niedrige Frequenzen beschränkt.

H. R. Zwicker et al. beschreiben in Solid-State Electronics 14 (1971), 1023-1033 eine Methode und eine theoretische Modellrechnung, mit der mittels Erfassung der zeitlichen Transiente einer durch Laser angeregten Lumineszenz in direkten Halbleitern auf die Ladungsträgerdynamik, explizit die Lebensdauer und Oberflächenrekombination, geschlossen werden kann. In diesem Verfahren wird mittels Lock-in-Verstärkers die Phasenverschiebung zwischen Anregungsimpulskette und Lumineszenz-Response gemessen. Das offensichtlich für die Frequenzdomäne gedachte Verfahren hat den bereits von den Autoren erkannten Nachteil der Notwendigkeit einer hohen Anregungsdichte, um die Fourierkomponente der Anregungsfrequenz selektieren zu können. Außerdem ist der optische Filterungsaufwand zur Abtrennung der Anregungswellenlänge groß und erfordert einen Monochromator. Dieses Messverfahren ermöglicht außerdem keine intensitätsabhängigen Messungen zur Anregungsanalyse (excitation level analysis), die es gestatten, tiefe Niveaus aufzufinden. Die bereits von den Autoren des obigen Fachartikels gehegte Vision, dass durch eine Variation der Anregungsfrequenz die Lebensdauer in breiterem Rahmen abtastbar wäre, konnte nicht realisiert werden, da im MHz-Bereich auch die zunächst theoretisch machbare Lock-in-Verstärkung ein riesiges elektronisches Problem (inklusive der dann auftretenden Systemlaufzeiten) darstellt.

In der DE 42 17 097 A1 wird eine weitere Messanordnung zur Bestimmung von Ladungsträgerdichten in Halbleitermaterial beschrieben Diese nutzt den Effekt der lokalen Brechungsindexänderung infolge Ladungsträgerabsorption aus, um mittels der zeitlichen Erfassung der Reflexion die Ladungsträgerdynamik zu vermessen, wobei eine interferometrische Nachweisanordnung verwendet wird. Diese Lösung hat den Nachteil der extremen Empfindlichkeit auf Strahljustage und Wellenfeldreinheit und erfordert eine Modenselektion im Laser wie auch die Entkopplung von rücklaufendem Wellenfeld mit mehr als -160 dB (einfache Isolatoren schaffen derzeit -60 dB). Außerdem haben herkömmliche AOM eine obere Grenzfrequenz von maximal 20 MHz, wobei man ab 10 MHz eine transversale Änderung der Phasenfront im AOM bemerkt, was die Messgenauigkeit im Interferometer negativ beeinflusst.

Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, eine neue Möglichkeit zur Responseanalyse von optisch angeregten Halbleitermaterialien zu finden, die eine hinreichend genaue Detektion der Ladungsträgerwelle auch bei höherer Anregungsleistung und kleiner Ladungsträgerlebensdauer zulässt.

Erfindungsgemäß wird die Aufgabe bei einem Verfahren zur Analyse elektrischer Eigenschaften von Halbleitermaterialien mit optischer Anregung, wobei in einem Objekt mittels eines Laserstrahls eine Energiedeponierung erzeugt wird, die als Relaxation von Ladungsträgern in Form einer aus dem Objekt austretenden Lumineszenz-Strahlung gemessen wird, dadurch gelöst, dass der anregende Laserstrahl intensitätsmoduliert ist, wobei das Frequenzspektrum zwei diskrete Modulationsfrequenzen aufweist, dass das aus dem Objekt austretende Lumineszenzlicht auf einer Mischfrequenz, entweder der Summen- oder der Differenzfrequenz der Modulationsfrequenzen, gemessen wird und dass das Lumineszenzlicht als Funktion des arithmetischen Mittels der Modulationsfrequenzen analysiert wird.

Vorzugsweise werden die zwei Modulationsfrequenzen im anregenden Laserstrahl durch die Zusammensetzung des Laserstrahls aus zwei Teilstrahlen erzeugt, wobei jeder Teilstrahl mit einer der Modulationsfrequenzen intensitätsmoduliert ist.

Um vom bloßen Lumineszenz-Mapping (der ortsaufgelösten Lumineszenzmessung) zu Messwerten zu gelangen, aus denen über eine Modellberechnung die elektrischen Parameter des Halbleiters direkt bestimmbar sind, werden zweckmäßig die Modulationsfrequenzen des anregenden Laserstrahls in weiten Grenzen variiert (Frequenzsweep), wobei die Differenz der Modulationsfrequenzen konstant gehalten wird.

Vorteilhaft werden die zwei Teilstrahlen senkrecht zueinander polarisiert Weiterhin ist es für die Messung von Ladungsträgerlebensdauern von Vorteil, dass die zwei Teilstrahlen auf räumlich getrennte, eng benachbarte Auftreffpunkte des Objektes fokussiert werden. Dabei ist es zweckmäßig, die Teilstrahlen in einem Abstand von höchstens der zweifachen zu erwartenden Diffusionslänge der angeregten Ladungsträger auf das Objekt zu fokussieren.

Eine weitere vorteilhafte Möglichkeit der Erzeugung der zwei diskreten Modulationsfrequenzen im anregenden Laserstrahl ergibt sich durch geeignete Amplitudenmodulation, indem der Laserstrahl mit einer Trägerfrequenz f1 = (&OHgr;1 + &OHgr;2)/2 und einer Grundtaktfequez f2 = &OHgr;1 – &OHgr;2 moduliert wird und eine Komponente der Grundtaktfrequenz, die zu einer aus der Trägerfrequenz und den Seitenbändern (f1 ± f2) resultierenden Mischfrequenz phasengleich ist, erfasst und mittels Rückkopplung dieser Komponente als Störgröße auf den Modulationsprozess vernichtet wird. Auch bei dieser Variante der Doppelmodulation des anregenden Laserstrahls werden zweckmäßig die beiden Modulationsfrequenzen bei konstant gehaltener Differenz in weiten Grenzen variiert (Frequenzsweep), um elektrische Parameter des Objekts bestimmen zu können.

Zur Erfassung der Lumineszenzstrahlung sind generell drei Varianten (unabhängig von der Art der Anregung) sinnvoll. Eine regelmäßig vorteilhafte Variante, insbesondere für Halbleiterobjekte großer Dicke, stellt die Erfassung der Lumineszenz auf der Anregungsseite des Objekts dar. Zweckmäßig, vor allem wegen der automatisch guten Abschirmung des anregenden Laserstrahs, wird die Lumineszenz auf der bezüglich der Anregung determinierten Objektrückseite aufgenommen. Durchaus vorteilhaft lässt sich die Messung der Photolumineszenz auch auf einer beliebig lateral bezüglich der Anregungsseite des Objekts befindlichen Seitenfläche, z.B. an der Umfangsfläche eines Halbleiterwafers, messen.

Zur Lösung der Aufgabe in einer besonders vorteilhaften Variante, bei der mittels optischer Anregung eines Halbleiters strahlende und strahlungslose Kanäle der Ladungsträgerrekombination einzeln auswertbar gemacht werden sollen, wird zusätzlich zur Messung des Lumineszenzlichts eine photothermische Response aus dem Laserstrahl nach seiner Wechselwirkung mit dem Objekt autigenommen und eine Analyse und Korrelation durchgeführt, so dass die nichtstrachlende Response des Objekts aus der photothermischen und der Lumineszenzresponse separiert wenden kann. Die Detektion der photothermischen Response geschieht dabei in bekannter Weise, wie z.B. in DE 40 35 266 A1 und DE 42 23 337 A1 beschrieben.

Vorteilhaft wird bei der kombinierten, gleichzeitigen Erfassung von Photolumineszenz und photothermischer Response ist die räumliche Trennung der Aufnahme der Messsignale, indem die beiden Messwerterfassungen auf unterschiedlichen Seiten des Objekts stattfinden. Zweckmäßig ist wegen der häufig geringen Lasertranspanenz des Obbjekts eine Erfassung der photothermischen Response auf der Anregungsseite und die Aufnahme der Lumineszenz an einer anderen Seite des Objekts (z.B. Rückseite oder Seitenfläche).

Die Aufgabe der Erfindung wird bei einer Anordnung zur Analyse elektrischer Eigenschaften von Halbleitermaterialien mit optischer Anregung, wobei ein Laserstrahl zur Erzeugung einer Energiedeponierung in Form angeregter Ladungsträger auf ein Objekt fokussiert ist und ein Lumineszenzdetektor zur Messung einer infolge von Relaxation von Ladungsträgern aus dem Objekt austretanden Lumineszenz-Strahlung vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, dass der Lascrstrahl intensitätsmoduliert ist und in seinem Modulationsspektrum zwei diskrete Modulationsfrequenzen enthält, dass der Lumineszenzdetektor mit einer frequenzselektiven Einrichtung verknüpft ist, wobei aus der Lumineszenzstrahlung nur Anteile auf einer Mischfrequenz, der Summen- oder der Differenzfrequenz der Madulationsfrequenzen, detektierbar sind, die aus einer im Objekt stattfindenden Frequenzumsetzung resultieren und dass dem Lumineszenzdetektor eine Signalverarbeitungseinrichtung nachgeordnet ist, die die frequenzselektiv erfassten Detektorsignale als Funktion des arithmetischen Mittels der Modulationsfrequenzen analysiert.

Vorteilhaft wird zur Erzeugung des doppelt modulierten Laserstrahls eine Laserquelle eingesetzt, wobei eine Modulatorbaugruppe zur Madulation der Laserquelle mit beiden Modulationsfrequenzen vorhanden ist. Eine weitere zweckmäßige Variante zur Erzeugung des doppelt modulierten Laserstrahls beinhaltet, dass der Laserstrahl aus zwei Teilstrahlen zusammengesetzt wird, wobei jeder Teilstrahl mit einer der Modulationsfrequenzen moduliert ist und die Modulation von einer Modulatorbaugruppe gesteuert wird.

Die zwei Teilstrahlen lassen sich zum einen vorteilhaft aus einer Laserquelle mit einem optischen Teiler erzeugen, wobei in jedem Teilstrahl ein optischer Modulator zur Modulation mit jeweils einer der Modulationsfrequenzen angeordnet ist und den Modulatoren optische Mittel zur Vereinigung der Teilstrahlen nachgeordnet sind. Zweckmäßig sind in den Teilstrahlen optische Mittel zur Polarisation vorhanden, so dass die Teilstrahlen zueinander orthogonale Polarisation aufweisen.

Zum anderen ist es für die Erzeugung der Teilstrahlen günstig, dass zwei separate Laserquellen vorhanden sind, wobei jede Laserquelle mit einer der Modulationsfrequenzen angesteuert wird. Dabei erweist es sich als vorteilhaft, zwei Laserdioden einzusetzen, wobei deren polarisiertes Licht senkrecht zueinander polarisierte Teilstrahlen bildet. Die so erzeugten Teilstrahlen werden im einfachsten Fall parallel zueinander in eine gemeinsame Optik geführt und auf einen Punkt der Objektoberfläche fokussiert. Zweckmäßig werden die Teilstrahlen koinzident zusammen geführt.

In einer speziellen Anordnung erweist es sich von Vorteil, dass die Teilstrahlen nicht parallel in die gemeinsame Optik geführt sind, so dass eng benachbarte, räumlich getrennte Anregungszentren der Teilstahlen auf dem Objekt entstehen. Damit sind Aussagen über Diffusionslänge und Beweglichkeit der angeregten Ladungsträger erzielbar. Bei der Bereitstellung des doppelt modulierten Laserstrahls ist es für die Berechnung der elektrischen Materialparameter des Objekts vorteilhaft, wenn der Modulatorbaugruppe eine Ansteuereinrichtung zugeordnet ist, die eine Verschiebung der Modulationsfrequenzen in weiten Grenzen (Frequenzsweep) realisiert, wobei die Differenz der Modulationsfrequenzen stets konstant bleibt. Aus der Frequenzabhängigkeit der Intensitätsmessung der Lumineszenz kann der Charakter der strahlenden Relaxationsprozesse im Halbleiter bestimmt werden.

Für eine weitere Ausbildung der erfindungsgemäßen Anordnung ist es zweckmäßig, dass zusätzlich zum Lumineszenzdetektor ein Laserdetektor zur Erfassung des Laserstrahls nach seiner Wechselwirkung mit dem Objekt vorhanden ist. Diese gemäß den aus DE 40 35 266 A1 und DE 42 23 337 A1 bekannten Grundsätzen der Detektion der Thermowellenresponse ergänzte Anordnung gestattet es, den lumineszierenden Signalanteil der angeregten Ladungsträger von dem (vom Laserdetektor gelieferten) Gesamtsignal zu trennen. Diese Separierung basiert darauf, die photothermische Response und die lumineszierende Response miteinander korreliert über einen weiten Modulationsfrequenzbereich der optischen Objektanregung zu messen. Im Ergebnis sind Aussagen zum Anteil strahlender und strahlungsloser Kanäle im Halbleiter möglich.

Zur Verhinderung einer Verfälschung des Lumineszenzsignals im Lumineszenzdetektor durch die anregende Laserstrahlung sind zwei Maßnahmen zweckmäßig, die für die Lumineszenzmessung in Reflexion bzw. für die Messung in Transmission besonders geeignet sind. Das Laserlicht wird einerseits mittels eines dichroitischen Spiegels und andererseits mit einem Absorptionsfilter abgetrennt. Beide sind auch kombiniert anwendbar oder können entfallen, wenn das Objekt die Laserstrahlung ausreichend abschirmt.

Die Grundidee der Erfindung basiert auf den Kenntnissen der Lumineszenz als strahlender Relaxationsmechanismus von Ladungsträgern in Halbleitern.

Sie gelten sinngemäß auch für alle anderen in einem Material möglichen strahlenden Relaxationsprozesse.

Für die Messung der Lumineszenz sind verschiedene Verfahren periodisch und nichtperiodisch modulierter, optischer Materialanregung bekannt, wie z.B. aus der EP 0545523 A2. Eine Anregung mit mehreren, im einfachsten Fall zwei Frequenzen &OHgr;1 und &OHgr;2 bietet dagegen den messtechnischen Vorteil, unter Ausnutzung des inhärent nichtlinearen Charakters von Anregungs- und Relaxationsprozess eine Frequenzumsetzung aus dein Anregungsfrequenzbereich in eine messtechnisch günstige Messfrequenz zu erreichen. Im einfachsten Fall einer quadratischen Abhängigkeit der Lumineszenzintensität von der Anregungsintensität finden sich in der das Messobjekt verlassenden Lumineszenzstrahlung neben den Originalfrequenzen der Anregung &OHgr;1 und &OHgr;2 deren Summen- und Differenzfrequenzen &OHgr;1 ± &OHgr;2. Damit wird es in einfacher Weise möglich, duuch Detektion der Anteile bei der konstanten Differenzfrequenz &OHgr;1 - &OHgr;2 eine Analyse der Relaxation in einem breiten Frequenzbereich der Anregung auszuführen und dabei auch in den Bereich hoher und höchster Frequenzen vorzudringen, der messtechnisch mit den bekannten Methoden nur schwer und unter Genauigkeitsverlust zugänglich ist. Aus der Frequenzabhängigkeit der Intensität des gemessenen Lumineszenzlichtes kann der Charakter der strahlenden Relaxationsprozesse, d.h. vor allem deren zeitliches Verhalten, bestimmnt werden.

Eine erste Erweiterung des Grundgedankens der Erfindung gestattet die Gewinnung von Aussagen über Diffusionslänge uud Beweglichkeit der angeregten Ladungsträger im Objekt: Zur Anregung wird eine Kombination aus zwei Teilstrahlen verwendet, von denen jeder mit je einer der beiden Frequenzen &OHgr;1 und &OHgr;2 intensitätsmoduliert ist und die durch optische Mittel derart geführt werden, dass sie an räumlich getrennten Stellen auf das Objekt auftreffen. Die an den Anregungszentren erzeugte Ladungsträgerkonzentration wird entsprechend dem auftreffenden Teilstrahl entweder mit der Frequenz &OHgr;1 oder mit der Frequenz &OHgr;2 moduliert. Lumineszenzlicht, das mit der Differenzfrequenz &OHgr;1-&OHgr;2 moduliert ist, entsteht in diesem Fall nur in dem Raumbereich, in dem sich die mit &OHgr;1 bzw. &OHgr;2 modulierten Konzentrationen der Ladungsträger überlagern. Eine hinreichend starke Überlagerung ist gegeben, wenn der gegenseitige Abstand der Anregungsorte höchstens zwei Diffusionslängen der angeregten Ladungsträger beträgt. Die Variation des Abstandes der beiden Auftreffpunkte der anregenden Laserstrahlen gestattet es deshalb, in einfacher Weise die Dimension dieses Raumbereiches zu bestimmen, indem die Abhängigkeit der Intensität des Lumineszenzlichtes bei der Differenzfrequenz &OHgr;1-&OHgr;2 vom Abstand der Teilstrahlen und deren mittlerer Modulationsfrequenz (&OHgr;1 + &OHgr;2)/2 analysiert wird.

Eine zweite Erweiterung des Erfindungsgedankens betrifft die Kombination der Analyse der strahlenden Relaxation (Photolumineszenz) mit der Analyse des photothermischen Responsesignals.

Es ist als allgemeines Problem photothermischer Messungen insbesondere an Halbleitern bekannt, dass angeregte Ladungsträger einen merklichen Beitrag zur Gesamtresponse des Objektes liefern. Durch die separate Messung der durch die Ladungsträger-Rekombination generierten Strahlung wird es möglich, den Signalanteil der strahlenden Relaxation angeregter Ladungsträger vom Gesamtsignal zu trennen. Die Separierung basiert darauf, die photothermische Response und das Lumineszenzsignal des Objektes miteiuander korreliert über einen weiten Bereich von Modulationsfrequenzen der optischen Anregung zu messen. In diesem Messprozess wird die photothermische Response-Analyse ebenfalls auf der Basis der Frequenzumsetzung betrieben (Photothermisches Heterodyn), wie in Meas. Sci. Technol. 2 (1991) 1088-1093 beschrieben.

In dem das Objekt verlassenden Teil des Anregungsstrahles sind frequenzkonvertierte Anteile enthalten, die vom Zusammenwirken strahlungsloser und strahlender Relaxationsprozesse geprägt sind, während die Frequenzkonversion im Lumineszenzlicht des Objektes allein aus den strahlenden Prozessen herrührt. Damit ist es möglich, den Response-Anteil der strahlenden Prozesse durch eine korrelierte Messung beider Response-Typen abzutrennen und Aussagen über den nichtstrahlenden Anteil zu gewinnen.

Mit der Anwendung des erfindungsgemäßen Verfahrens in seiner Grundvariante wird erreicht, von strahlenden Relaxationsprozessen bei Hochfrequenzanregung und kleiner Ladungsträgerlebensdauer (< 1 &mgr;s) mit einfachen Mitteln örtlich und bezüglich des Signal-Rausch-Verhaltens hochaufgelöste Lumineszenzmessungen aus dem Bereich des Band-Band-Übergangs zu erhalten. Diese Messungen sind auch bei hohen Temperaturen der Messobjekte (z.B. Halbleitersubstrate) zuverlässig möglich.

Weitere Verfahrensvarianten und entsprechende spezielle erfindungsgemäße Anordnungen gestatten eine Frequenzanalyse der Ladungsträgerwelle, die Gewinnung von Aussagen über Diffusionslänge und Beweglichkeit von angeregten Ladungsträgern sowie eine Separierung von Signalanteilen strahlender und strahlungsloser Response des Objekts, um Aussagen über lumineszierende und strahlungslose Kanäle in Halbleitern und verschiedene elektrische Materialparameter treffen zu könen.

Die Erfindung soll nachstehend anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert werden. Die Zeichnungen zeigen:

1 den erfindungsgemäßen Grundaufbau in einer Variante, bei der das Lumineszenzlicht auf der der Anregung abgewandten Objektrückseite detektiert wird,

2 den erfindungsgemäßen Grundaufbau in einer Variante, bei der das Lumineszenzlicht auf der Anregungsseite des Objektes detektiert wird,

3 eine erfindungsgemäße Anordnung zur kombinierten Lumineszenz- und photothermischen Spektroskopie mit Frequenzumsetzung, bei der der anregende Laserstrahl aus zwei senkrecht zueinander polarisierten Teilstrahlen zusammengesetzt ist,

4 eine weitere erfindungsgemäße Anordnung zur kombinierten Lumineszenz- und photothermischen Spektroskopie mit Frequenzumsetzung, bei der das Lumineszenzlicht auf der Anregungsseite des Objektes detektiert wird,

S eine erfindungsgemäße Anordnung zur kombinierten Lumineszenz- und photothermischen Spektroskopie, bei der die Anregung mit einem Laserstrahl mit getakteter Modulation erfolgt,

6 den zeitlichen Verlauf der Intensitätsmodulation für die in 5 beschriebene Ausführungsvariante,

7 eine erfindungsgemäße Anordnung mit zwei Teilstrahlen, die in räumlich voneinander getrennten Anregungszentren das Objekt anregen,

8 eine weitere erfindungsgemäße Anordnung mit zwei räumlich voneinander getrennt anregenden Teilstrahlen,

9 eine erfindungsgemäße Anordnung mit lateraler Detektion des Lumineszenzlichtes,

Das Verfahren umfasst in seiner Grundvariante:

  • – einen Energieeintrag in das Objekt mittels intensitätsmodulierter Laserstrahlung mit zwei diskreten Modulationsfrequenzen &OHgr;1 und &OHgr;2
  • – die Detektion des aus dem Objekt 4 austretenden Lumineszenzlichtes auf der Summen- (&OHgr;1+&OHgr;2) oder der Differenzfrequenz (&OHgr;1-&OHgr;2) sowie
  • – die Analyse des erfassten Lumineszenzlichts als Funktion des arithmetischen Mittels der Modulationsfrequenzen

Realisiert wird das Verfahren mit einer Anordnung gemäß 1.

Ein Laserstrahl wird von einer Laserquelle 1 erzeugt, die mittels einer Modulatorbaugruppe 2 in ihrer Intensität mit den beiden Modulationsfrequenzen &OHgr;1 und &OHgr;2 moduliert wird Die Modulationsfrequenzen &OHgr;1 und &OHgr;2 sind zweckmäßig beliebig im Frequenzbereich von 100 kHz bis 2 MHz eingebbar und sind in der Regel relativ eng benachbart gewählt (z.B. (&OHgr;1-&OHgr;2) ≈ 10 kHz). Diesen Sachverhalt verdeutlichen die Eingabepfeile mit &OHgr;1 und &OHgr;1 an der Modulatorbaugruppe 2. Der Laserstrahl wird mittels einer Optik 3 fokussiert und auf das Objekt 4 geführt. Das aus der Rückseite des Objektes 4 austretende Lumineszenzlicht wird van einem Lumineszendetektor 5 erfasst. Da das Lumineszenzlicht nicht kollimiert austritt, soll dieser Detektor einen möglichst großen Raumwinkel erfassen, um Signalverluste zu minimieren. Er wird deshalb möglichst dicht der Rückseite des Objektes 4 genäbert. Vom Lumineszenzdetektor 5 gelangt das Messsignal zu einem Lock-In-Verstärker 6, der auf die Differenzfrequenz (&OHgr;1-&OHgr;2) abgestimmt ist und sein Referenzsignal aus der Modulatorbaugruppe 2 bezieht. Die weitere Signalverbeitung erfolgt mit einem Signalprozessor 7, der das Ausgangssignal des Lock-in-Verstärkers 6 erfasst und dieses Signal in Abhängigkeit von &OHgr;1 und &OHgr;2 aufzeichnet und bewertet.

In der Anordnung gemäß 2 wird der Laserstrahl von der Laserdiode 1 erzeugt, die mittels der Modulatorbaugruppe 2 in ihrer Intensität mit den beiden Modulationsfrequenzen &OHgr;1 und &OHgr;2 moduliert wird.

Der Laserstrahl wird durch einen dichroitischen Spiegel 8 und die Optik 3 auf das Objekt 4 geführt. Der dichroitische Spiegel 8 ist für die Wellenläage des Laserlichtes transparent und besitzt für das Lumineszenzlicht einen vergleichsweise hohen Reflexionsfaktor. Das an der Vorderseite des Objektes 4 austretende Lumineszenzlicht wird von der Optik 3 kollimiert, am dichroitischen Spiegel 8 reflektiert und von einer Optik 10 auf den Lumineszenzdetektor 5 geführt. Falls der dichroitische Spiegel 8 für die Abtrennung des Laserlichtes nicht genügend wirksam ist, wird ein Absorptionsfilter 9 in den Strahlengang eingefügt. Vom Lumineszenzdetektor 5 gelangt das Messsignal wiederum zum Lock-In-Verstärker 6. Die weitere Signalverarbeitung entspricht der Beschreibung in 1.

Eine Erweiterung des Verfahrens wird durch die Ausführung eines Frequenzsweep erreicht, der sich problemlos realisieren lässt, ohne dass Änderungen bei der Detektion notwendig sind. Die Modulationsfrequeazen &OHgr;1 und &OHgr;2 werden über einen weiten Frequenzbereich variiert, wobei lediglich dafür gesorgt werden muss, dass die Frequenzdifferenz (&OHgr;1 – &OHgr;2) konstant bleibt. Damit erweitern sich die Möglichkeiten der Messwertauswertung erheblich, wie weiter unten anhand der theoretischen Überlegungen dargelegt wird.

Eine weitere Ausgestaltung der Erfindung besteht in der Kombination der Lumineszenzlichterfassung und der Aufnahme der photothermischen Response aus dem Laserstrahl nach dessen Wechselwirkung mit dem Objekt 4. Seide Responseprozesse werden zeitgleich aufgenommen, so dass sie jeweils demselben Ort des Objektes 4 zugeordnet sind. Der Auswertemodus wird im folgenden erläutert.

Die Detektion der Lumineszenz-Response bei der Differenz- bzw. Grundtaktfrequenz erlaubt die Frequenzanalyse der Ladungsträgerwelle durch Variation der Anregungsfrequenz in einem möglichst großen, auf alle Fälle aber in einem den Kehrwert der Ladungsträgerlebensdauern &tgr; überstreichenden Intervall. Das Signal S, welches eine empfangene Lumineszenz-Lichtleistung darstellt, ist dann , durch räumliche Aufintegration aller vom Detektor erfassten Lumineszenzanteil zu gewinnen (erfasst wird Idealerweise die Strahlung in einen Halbraum HR hinein):

Die jeweilige Elektronenwelle n(r; t) bzw. Lochwelle p(r; t) ist dabei in Amplitude n bzw. p (Konzentration der Überschussladungsträger im Band) und Phase &psgr;n bzw. &psgr;p vom Ort r abhängig. Die Signalleistung ergibt sich gemäß (1) aus dem Lumineszenzlichtschwächungsfaktor L, der mittleren Energie des Lumineszenzlichtes E&sgr; und der Rekombinationsrate &bgr; = &sgr;Lv im Lumineszenzkanal. Letztere ist durch den Einfangquerschnitt für strahlende Rekombination &sgr;L und die thermische Geschwindigkeit v der Ladungsträger im Band gegeben und besitzt die Dimension [m3s-1].

Einige wenige Umformungen der Winkelfunktionen in Gleichung (1) erlauben folgende Darstellung der Signalanteile S, die nur durch die Differenzfrequenz &OHgr;12 = &OHgr;1 – &OHgr;2 bestimmt sind:

Der Ausdruck für den Betrag einer Ladungsträgerwelle (n, p) und der Phase (&psgr;n, &psgr;p) wurde durch die komplexen Größen č = cei&psgr; ersetzt. (Die komplexe Konjugation ist durch * gekennzeichnet.) Man erkennt, dass die Phaseninformation über die Responsewelle nicht separierbar ist und für Überschussladungsträger (&psgr;n ≈ &psgr;p) ganz verschwindet. Wohl aber bleibt die Extraktion der elektrischen Materialparameter ambipolare Diffusivität D, Oberflächenrekombinationsgeschwindigkeit s und Überschussladungsträger-Lebensdauer &tgr; aus ň p möglich. Für den idealisierten Fall der Ladungsträgerwellen (Kugelwellen) ist das Integral einfach berechenbar. Setzt man eine in einem durch den Laserspotradius w determinierten Absorptionsgebiet deponierte, modulierte Laserleistung P an, so bestimmt sich das Signal gemäß:
Dieses skaliert, wie ersichtlich, mit dem Laserspotradius w als Längenmaßstab für die Absolutmessung. Man beachte, dass in Gleichung (3) die dort definierte Größe p, wie allgemein üblich, die komplexe Wellenzahl der Ladungsträgerwelle bedeutet und deshalb nicht mit der Konzentration der Überschusslöcher p (r , t) zu verwechseln ist. Als Konversionseffizienz KL der Lumineszenzausbeute bei der Differenzfrequenz wird nun folgende Ergebnisgröße mit der Dimension [W-1 m-1] eingeführt:
Die dimensionslose Lumineszenz-Formfunktion FcL (&OHgr;) ist durch die mittlere Modulationsfrequenz &OHgr; = (&OHgr;1 + &OHgr;2)/2 über den Frequenzsweep bestimmt. Die Überschussladungsträgerlebensdauer &tgr; setzt sich gemäß
aus lumineszierenden (&tgr;L) und strahlungslosen (&tgr;s) Kanälen zusammen. Die Lumineszenz-Formfunktion FcL lässt sich für verschiedene Abhängigkeiten darstellen, indem man die Formfunktion über dem Produkt aus mittlerer Modulationsfrequenz &OHgr; und mittlerer Lebensdauer &tgr; der Überschussladungsträger aufträgt. Als Kurvenparameter wird zum einen die auf den Laserspotradius w normierte Ladungsträger-Diffusionslänge 1c = √(2D &tgr;) bei einer Oberflächenrekombinationsgeschwindigkeit s = 0 verwendet. In einer anderen Darstellung kann die Lumineszenz-Formfunktion FcL mit dem Kurvenparameter der auf den Laserspotradius w und die Diffusivität D normierten Oberflächenrekombinationsgeschwindigkeit s bei fester Diffsusionslänge lc aufgetragen werden.

Gerätetechnisch ergeben sich für die kombinierte Auswertung der lumineszierenden und der photothermischen Response mehrere Varianten.

In der Anordnung gemäß 3 wird der anregende Laserstrahl aus zwei senkrecht zueinander polarisierten Teilstrahlen zusammengesetzt, die von einer Laserdiode 21 und einer weiteren Laserdiode 22 erzeugt werden. Die Laserdiode 21 wird von der Modulatorbaugruppe 2 in ihrer Intensität mit der Frequenz &OHgr;1, die Laserdiode 22 mit &OHgr;2 moduliert. Beide Teilstrahlen werden über eine Polarisationsweiche 19 zusammengefügt, passieren eine Teilerplatte 12 und werden mittels der Optik 3 auf das Objekt 4 fokussiert. Zusätzlich zu dem aus dem Objekt 4 austretenden Lumineszenzlicht soll in dieser Anordnung der Laserstrahl nach seiner Wechselwirkung mit dem Objekt 4 detektiert werden. Das aus dem Objekt 4 wieder austretende Laserlicht wird durch die Optik 3 kollimiert und trifft nach Reflexion an der Teilerplatte 12 auf einen dafür geeigneten Laserdetektor 13. Vor diesem Laserdetektor 13 ist ein Polarisationsfilter 26 angeordnet, das so orientiert ist, dass nur einer der beiden vom Objekt 4 zurücklaufenden Anregungsteilstrahlen vom Laserdetektor 13 erfasst wird. Der polarisationsoptisch gefilterte Anteil des Laserlichts enthält die vollständige Information der photothermischen Response durch Frequenzumsetzung. Diese Tatsache eröffnet bei anderer Wahl des Polarisationsfilters 26 (z.B. in Form einer Polarisationsweiche) die Möglichkeit, den zweiten Laserlichtanteil für andere Zwecke (z.B. Referenzdetektor, Autofokusdetektor etc.) zu nutzen, ohne dass die Responsesignale auf dem Laserdetektor 13 verfälscht werden.

Das aus der Rückseite des Objektes 4 austretende Lumineszenzlicht wird – insbesondere wenn Platzmangel eine unmittelbare Positionierung des Lumineszenzdetektors 5 an der Objektoberfläche verhindert – vorteilhaft mittels eines Lichtleiters 11 gesammelt und dem Lumineszenzdetektor 5 zugeführt. In dieser Ausführungsform wurde beispielhaft der Einsatz eines Lichtleiters 11 dargestellt, weil sich der Lumineszenzdetektor 5 (abhängig von seiner Bauform) nicht immer genügend dicht der Rückseite des Objektes 4 nähern lässt. Als Lichtleiter 11 kann z.B. ein allseits polierter Glasstab oder ein Glasfaserbündel mit ausreichendem Eingangsquerschnitt eingesetzt werden. An Stelle des Lichtleiters 11 kann auch eine Kollimatoroptik mit genügend hoher Eintrittsapertur zur Erfassung des stark divergierenden Lumineszenzlichtes Anwendung finden. Falls das Objekt 4 für die Wellenlänge des anregenden Laserstrahles eine merkliche bzw. störende Transparenz aufweist, wird zusätzlich das Absorptionsfilter 9 in den Strahlengang eingefügt, das für das Lumineszenzlicht durchlässig ist und die Laserstrahlung absorbiert. Vom Lumineszenzdetektor 5 und vom Laserdetektor 13 gelangen die Messsignale zum bereits beschriebenen Lock-In-Verstärker 6 bzw. zu einem weiteren Lock-In-Verstärker 14, der das vom Laserdetektor 13 gelieferte Signal in Amplitude und Phase analysiert. Beide Lock-In-Verstärker 6 und 14 sind auf die Differenzfrequenz (&OHgr;1-&OHgr;2) abgestimmt und beziehen ihr Referenzsignal. aus der Modulatorbaugruppe 2. Ihre Ausgangssignale werden dem Signalprozessor 7 zugeführt, der über die bereits genannte Aufzeichnung und Bewertung der Messsignale über die Anregungsfrequenz auch eine Korrelation der von den Lock-In-Verstärkern 6 und 14 ausgegebenen Messsignale herstellt. Durch Anwendung von Algorithmen einer geeigneten oben erläuterten theoretischen Modellierung liefert der Prozessor getrennte Informationen für strahlende und nichtstrahlende Relaxationsmechanismen im Objekt. Ein Signalprozessor für eine solche umfangreiche Signalanalyse kann z.B. ein Mikrorechnersystem sein.

In der Anordnung gemäß 4 wird der Laserstrahl von der Laserdiode 1 erzeugt, die mittels der Modulatorbaugruppe 2 in ihrer Intensität mit den beiden Modulationsfrequenzen &OHgr;1 und &OHgr;2 moduliert wird. Der Laserstrahl passiert eine Teilerplatte 12 und den dichroitischen Spiegel 8 und wird mittels der Optik 3 auf das Objekt 4 geführt. Das aus dein Objekt 4 wieder austretende Laserlicht wird durch die Optik 3 erfasst und kollimiert, durchläuft den dichroitischen Spiegel 8 und trifft nach Reflexion an der Teilerplatte 12 auf einen dafür geeigneten Laserdetektor 13. Das an der Vorderseite des Objektes 4 austretende Lumineszenzlicht wird von der Optik 3 kollimiert, am dichroitischen Spiegel 8 reflektiert und von der Optik 10 auf den Lumineszenzdetektor 5 geführt. Falls der dichroitische Spiegel 8 für die Abtrennung des Laserlichtes nicht genügend wirksam ist, wird ein Absorptionsfilter 9 in den Strahlengang eingefügt. Vom Lumineszenzdetektor 5 gelangt das Messsignal zum Lock-In-Verstärker 6, vom Laserdetektor 13 zum Lock-In-Verstärker 14. Die weitere Signalverarbeitung entspricht der Beschreibung zu 3.

In der Anordnung gemäß 5 wird der anregende Laserstrahl von der Laserdiode 1 erzeugt, die in ihrer Intensität durch eine Modulatorbaugruppe 15 moduliert wird. Der von dieser Modulatorbaugruppe 15 erzeugte Intensitätsverlauf des Laserstrahles über der Zeit ist in 6 dargestellt. Über einen Strahlteiler 16 wird aus dem Laserstrahl ein Anteil ausgekoppelt und auf einen optischen Referenzdetektor 17 geleitet. Dieser Referenzdetektor 17 bildet zusammen mit einem Lock-In-Verstärker 18 und der Modulatorbaugruppe 15 eine Regelschleife. Diese Regelschleife bewirkt, dass der mit dem Referenzdetektor 17 im anregenden Laserstrahl detektierte Anteil bei der Frequenz f2 auf Null geregelt wird Diese Art der Modulation ist in der DE 42 23 337 A1 beschrieben. Der anregende Laserstrahl wird nach Passieren der Polarisationsweiche 19 und einer &lgr;/4-Platte 20 mit der Optik 3 auf das Objekt 4 geführt. Der das Objekt 4 wieder verlassende Tei1 des Laserstrahles wird von der Optik 3 erfasst, durchläuft die &lgr;/4-Platte 20 erneut und wird an der Polarisationsweiche 19 auf den Laserdetektor 13 ausgekoppelt. Das Lumineszenzlicht wird von der Rückseite des Objektes 4 mittels des Lichtleiters 11 gesammelt und zum Lumineszenzdetektor 5 geleitet. Zur Abtrennung von störenden, durch das Objekt 4 transmittierten Anteilen des anregenden Laserlichtes kann wieder das Absorptionsfilter 9 in den Strahlengang eingefügt werden. Vom Lumineszenzdetektor 5 und vom Laserdetektor 13 gelangen die Signale zu den Lock-In-Verstärkern 6 und 14, die auf die Grundtaktfrequenz f2 abgestimmt sind und ihr Referenzsignal aus der Modulatorbaugruppe 15 beziehen. Die weitere Signalverarbeitung erfolgt mit dem Signalprozessor 7 entsprechend der Beschreibung zu 3.

In allen bisher gezeigten Varianten wurden das Lumineszenzlicht und der Laserstrahl nach Wechselwirkung mit dem Objekt 4 auf der Differenzfrequenz (&OHgr;1-&OHgr;2) entsprechend Anspruch 1 analysiert. Diese Ausführungsform ist besonders vorteilhaft, weil sich mittels einer gleichsinnigen Durchstimmung der beiden Modulationsfrequenzen &OHgr;1 und &OHgr;2 bei konstant gehaltenem Frequenzabstand in einfacher Weise eine Analyse über einen weiten Frequenzbereich durchführen lässt. Es kann aber mitunter nachteilig sein, dass aus dem detektierten Lumineszenzlicht keine Phaseninformation der Response gewonnen werden kann. Zur Gewinnung der Phaseninformation ist die Analyse bei der Summenfrequenz (&OHgr;1+&OHgr;2) zweckmäßig. Diese Betriebsart ist besonders in bezug auf die nachfolgend in 7 und 8 dargestellten Anordnungen vorteilhaft.

In der Anordnung gemäß 7 werden zwei Laserstrahlen durch zwei Laserdioden 21 und 22 erzeugt, deren Intensitäten mittels der Modulatorbaugruppe 2 mit je einer der Modulationsfrequenzen &OHgr;1 und &OHgr;2 moduliert werden. Beide Laserstrahlen treten in die Optik 3 ein und werden als räumlich getrennte, anregende Teilstrahlen auf das Objekt 4 fokussiert. Der Abstand der Auftreffpunkte kann durch Veränderung des Neigungswinkels der Teilstrahlen mittels zweier Schiebelinsen 23 und 24 variiert werden. Das aus der Rückseite des Objektes 4 austretende Lumineszenzlicht wird vom Lumineszenzdetektor 5 erfasst. Vom Lumineszenzdetektor 5 gelangt das Messsignal zum Lock-In-Verstärker 6, der auf die Differenzfrequenz (&OHgr;1-&OHgr;2) abgestimmt ist und sein Referenzsignal aus der Modulatorbaugruppe 2 bezieht. Die weitere Signalverarbeitung erfolgt mit dem Signalprozessor 7, der das Ausgangssignal des Lock-In-Verstärkers 6 erfasst und dieses Signal in Abhängigkeit von &OHgr;1 und &OHgr;2 und zusätzlich vom räumlichen Abstand der Auftreffpunkte der Teilstrahlen aufzeichnet und bewertet.

Eine der frequenzselektiven Messwertaufnahme durch Differenzbildung der Modulationsfrequenzen &OHgr;1 und &OHgr;2 äquivalente Art der Messwerterfassung auf der Summenfrequenz &OHgr;1+&OHgr;2 lägst sich in dieser Ausführungsvariante (wie auch in der Anordnung gemäß nachfolgender 8) vorteilhaft durchführen, indem das Lumineszenzlicht bei festen Modulationsfrequenzen &OHgr;1 und &OHgr;2 in Abhängigkeit vom gegenseitigen Abstand der Auftreffpunkte der anregenden Teilstrahlen analysiert wird.

In der Anordnung gemäß 8 werden zwei Laserstrahlen durch zwei Laserdioden 21 und 22 erzeugt, deren Intensitäten mit je einer der Frequenzen (&OHgr;1 und &OHgr;2) moduliert werden. Die Signale für die Intensitätsmodulation werden von der Modulatorbaugruppe 2 bereitgestellt. Beide Laserstrahlen durchlaufen die Polartsationsweiche 19 und die &lgr;/4-Platte 20, treten in die Optik 3 ein und werden als räumlich getrennte, anregende Teilstrahlen auf das Objekt 4 fokussiert. Der Abstand der Auftreffpunkte kann durch Veränderung des Neigungswinkels der Teilstrahlen mittels der beiden Schiebelinsen 23 und 24 variiert werden. Der das Objekt wieder verlassende Anteil der Anregungsstrahlen wird von der Optik 3 erfasst, durchläuft die &lgr;/4-Platte erneut, wird an der Polarisationsweiche 19 ausgekoppelt und mittels einer Linse 25 auf den Laserdetektor 13 geführt. Das aus der Rückseite des Objektes austretende Lumineszenzlicht wird vom Lichtleiter 11 erfasst und auf den Lumineszenzdetektor 5 geführt. Für den Fall einer strörenden Transmission von Anteilen es anregenden Laserlichtes durch das Objekt 4 hindurch kann wiederum das Absorptionsfilter 9 in den Strahlengang eingefügt werden. Vom Lumineszenzdetektor 5 gelangt das Messsignal zum Lock-In-Verstärker 6, der auf die Differenzfrequenz (&OHgr;1-&OHgr;2) abgestimmt ist und sein Referenzsignal aus der Modulatorbaugruppe 2 bezieht. Die weitere Signalverarbeitung erfolgt mit dem Signalprozessor 7, der das Ausgangssignal des Lock-In-Verstärkers 6 erfasst und in Abhängigkeit von &OHgr;1 und &OHgr;2 sowie vom räumlichen Abstand der Auftreffpunkte der Teilstrahlen aufzeichnet, bewertet und darüber hinaus entsprechend dem in 3 dargestellten Ausführungsbeispiel die korrelierte Analyse der von den Detektoren 5 und 13 gelieferten Signale auführt.

9 zeigt eine Abwandlung der in 1 gezeigten Grundanardnung. Diese modifizierte Anordnung ist anwendbar zur Untersuchung von Objekten, bei denen ein vergleichsweise hoher Anteil des Lumineszenzlichtes seitlich aus dem Objekt 4 austritt und dort leicht mittels eines Lumineszenzdetektors 5 aufnehmbar ist. Dies ist z.B. oft bei der Untersuchung von polierten Halbleiterscheiben der Fall, in denen sich ein vergleichsweise hoher Anteil des Luminineszenzlichtes durch Lichtleitung im Material ausbreiten kann. In der Anordnung gemäß 9 wird der Laserstrahl von der Laserdiode 1 erzeugt, die mittels der Modulatorbaugruppe 2 in ihrer Intensität mit den beiden Frequenzen &OHgr;1 und &OHgr;2 moduliert wird. Der Laserstrahl wird mittels der Optik 3 fokussiert und auf das Objekt 4 geführt. Das seitlich aus dem Objekt 4 austretende Lumineszenzlicht wird mittels der Linse 10 gesammelt und dem Lumineszenzdetektor 5 zugeführt. Vom Lumineszenzdetektor 5 gelangt das Messsignal zu einem Lock-In-Verstärker 6, der auf die Differenzfrequenz (&OHgr;1-&OHgr;2) abgestimmt ist und sein Referenzsignal aus der Modulatorbaugruppe 2 bezieht. Die weitere Signalverarbeitung erfolgt mit einem Signalprozessor 7, der das Ausgangssignal des Lock-In-Verstärkers 6 erfasst und dieses Signal in Abhängigkeit von &OHgr;1 und &OHgr;2 aufzeichnet und bewertet.

Die in dieser 9 gezeigte Detektion des seitlich aus dem Objekt 4 austretenden Lumineszenzlichtes ist selbstverständlich auch in allen anderen, in Anlehnung an 2 bis 8 beschriebenen Abwandlungen der erfindungsgemäßen Grundanordnung anwendbar.


Anspruch[de]
  1. Verfahren zur Analyse elektrischer Eigenschaften von Halbleitermaterialien mit optischer Anregung, wobei in einem Objekt mittels eines Laserstrahls eine Energiedeponierung erzeugt wird, die als Relaxation von Ladungsträgern in Form einer aus dem Objekt austretenden Lumineszenz-Strahlung gemessen wird, dadurch gekennzeichnet, dass

    – der anregende Laserstrahl intensitätsmoduliert ist, wobei das Frequenzspektrum zwei diskrete Modulationsfrequenzen (&OHgr;1; &OHgr;2) aufweist,

    – das aus dem Objekt (4) austretende Luminineszenzlicht auf der Differenzfrequenz (&OHgr;1-&OHgr;2) der Modulationsfrequenzen (&OHgr;1; &OHgr;2) gemessen wird und

    – das Lumineszenzlicht als Funktion des arithmetischen Mittels der Modulationsfrequenzen (&OHgr;1; &OHgr;2) analysiert wird.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die zwei Modulationsfrequenzen (&OHgr;1; &OHgr;2) im einfallenden Laserstrahl durch die Zusammensetzung des Laserstrahls aus zwei Teilstrahlen erzeugt werden, die jeweils mit einer Modulationsfrequenz (&OHgr;1; &OHgr;2) intensitätsmoduliert sind.
  3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Modulationsfrequenzen (&OHgr;1; &OHgr;2) des anregenden Laserstrahls in weiten Grenzen variiert werden, wobei die Differenz der Modulationsfrequenzen (&OHgr;1; &OHgr;2) konstant gehalten wird.
  4. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die zwei Teilstrahlen senkrecht zueinander polarisiert werden.
  5. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die zwei Teilstrahlen auf räumlich getrennte, eng benachbarte Auftreffpunkte des Objekts (4) fokussiert werden.
  6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Teilstrahlen in einem Abstand von höchstens der zweifachen zu erwartenden Diffusionslänge der angeregten Ladungsträger auf das Objekt (4) fokussiert werden.
  7. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die zwei Modulationsfrequenzen (&OHgr;1; &OHgr;2) im einfallenden Laserstrahl erzeugt werden, indem der Laserstrahl mit einer Trägerfrequenz (f1) und einer Grundtaktfrequenz (f2) amplitudemnoduliert wird, wobei die Trägerfrequenz (f1) und die Grundtaktfrequenz (f2) gemäß den Vorschriften

    f1 = (&OHgr;1 + &OHgr;2)/2

    f2 = &OHgr;1 - &OHgr;2

    eingestellt werden, und eine Komponente der Grundtaktfrequenz (f2), die zu einer aus der Trägerfrequenz (f1) und den Seitenbändern (f1 ± f2) resultierenden Mischfrequenz phasengleich ist, erfasst und mittels Rückkopplung dieser Komponente als Störgröße auf den Modulationsprozess vernichtet wird.
  8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Modulationsfrequenzen (&OHgr;1; &OHgr;2) bei konstant gehaltener Differenz in weiten Grenzen variiert werden.
  9. Verfahren zur Analyse elektrischer Eigenschaften von Halbleitermaterialien mit optischer Anregung, wobei in einem Objekt mittels eines Laserstrahls eine Energiedeponierung erzeugt wird, die als Relaxation von Ladungsträgern in Form einer aus dem Objekt austretenden Lumineszenz-Strahlung gemessen wird, dadurch gekennzeichnet, dass

    – der anregende Laserstrahl intensitätsmoduliert ist, wobei das Frequenzspektrum zwei diskrete Modulationsfrequenzen (&OHgr;1; &OHgr;2) aufweist,

    – das aus dem Objekt (4) austretende Lumineszenzlicht auf der Summenfrequenz (&OHgr;1+&OHgr;2) der Modulationsfrequenzen (&OHgr;1; &OHgr;2) gemessen wird und

    – das Lumineszenzlicht als Funktion des arithmetischen Mittels der Modulationsfrequenzen (&OHgr;1; &OHgr;2) analysiert wird.
  10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass bei festen Modulationsfrequeuzen &OHgr;1 und &OHgr;2 und bei Verwendung zweier auf räumlich getrennte, eng benachbarte Auftreffpunkte des Objekts (4) fokussierter Teilstrahlen das Lumineszenzlicht in Abhängigkeit vom gegenseitigen Abstand der Auftreffpunkte der anregenden Teilstrahlen analysiert wird.
  11. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Lumineszenz-Response auf der Seite des Objekts (4) gemessen wird; die vom Laserstrahl angeregt wird.
  12. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Lumineszenz-Response an der auf die Anregung bezogenen Rückseite des Objekts (4) gemessen wird.
  13. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Lumineszenz-Response an einer zur Anregungsseite des Objekts (4) beliebigen lateralen Seitenfläche gemessen wird.
  14. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekeinzeichnet, dass zusätzlich zur Messung des Lumineszenzlichts eine photothermische Response aus dem Laserstrahl nach seiner Wechselwirkung mit dem Objekt (4) aufgenommen wird und eine Analyse und Korrelation der zwei Responseprozesse erfolgt, so dass die nichtstrahlende Response des Objekts (4) separiert werden kann.
  15. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass die zwei Messprozesse auf unterschiedlichen Seiten des Objekts (4) stattfinden.
  16. Anordnung zur Analyse elektrischer Eigenschaften von Halbleitermaterialien mit optischer Anregung, wobei ein Laserstrahl zur Erzeugung einer Energiedeponierung in Form angeregter Ladungsträger auf ein Objekt fokussiert ist und ein Lumineszenzdetektor zur Messung einer infolge von Relaxation von Ladungsträgern aus dem Objekt austretenden Lumineszenz-Strahlung vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, dass

    – der Laserstrahl intensitätsmoduliert ist und in seinem Modulationsspektrum zwei diskrete Modulationsfrequenzen (&OHgr;1; &OHgr;2) enthält,

    – der Lumineszenzdetektor (5) mit einer frequenzselektiven Einrichtung (6) verknüpft ist, wobei aus der Lumineszenzstrahlung nur Anteile auf der Differenzfrequenz (&OHgr;1-&OHgr;2) der Modulationsfrequenzen (&OHgr;1; &OHgr;2) detektierbar sind, die aus einer im Objekt stattfindenden Frequenzumsetzung resultieren und

    – dem Lumineszenzdetektor (5) eine Signalverarbeitungseinrichtung nachgeordnet ist, die die frequenzselektiv erfassten Detektorsignale als Funktion des arithmetischen Mittels der Modulationsfrequenzen (&OHgr;1; &OHgr;2) analysiert.
  17. Anordnung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass eine Laserquelle (1) zur Erzeugung des doppelt modulierten Laserstrahls vorhanden ist, wobei eine Modulatorbaugruppe (2) zur Modulation der Laserquelle (1) mit beiden Modulationsfrequenzen (&OHgr;1; &OHgr;2) vorhanden ist.
  18. Anordnung nach Anspruch 1 G, dadurch gekennzeichnet, dass der Laserstrahl aus zwei Teilstrahlen zusammengesetzt ist, wobei jeder Teilstrahl mit einer der Modulationsfrequenzen (&OHgr;1; &OHgr;2) moduliert ist und die Modulation von einer Modulatorbaugruppe (2) gesteuert wird.
  19. Anordnung nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass eine Laserquelle (1) vorhanden ist, der ein optischer Teiler zur Erzeugung zweier Teilstrahlen folgt, wobei in jedem Teilstrahl ein optischer Modulator zur Modulation mit einer der Modulationsfrequenzen (&OHgr;1; &OHgr;2) angeordnet ist und den Modulatoren optische Mittel zur Vereinigung der Teilstrahlen nachgeordnet sind.
  20. Anordnung nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, dass in den Teilstrahlen optische Mittel zur Polarisation der Teilstrahlen vorhanden sind, so dass die Teilstrahlen senkrecht zueinander polarisiert sind.
  21. Anordnung nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass zwei separate Laserquellen (21; 22) vorhanden sind, die mit einer Modulatorbaugruppe (2) in Verbindung stehen, wobei jede Laserquelle (21; 22) mit einer der Modulationsfrequenzen (&OHgr;1; &OHgr;2) angesteuert wird.
  22. Anordnung nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, dass als Laserquellen (21; 22) zwei Laserdioden so justiert sind, dass deren polarisiertes Licht senkrecht zueinander polarisierte Teilstrahlen bildet.
  23. Anordnung nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, dass die Teilstrahlen parallel zueinander in eine gemeinsame Optik geführt und auf einen Punkt der Objektoberfläche fokussiert sind.
  24. Anordnung nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, dass die Teilstrahlen koinzident zusammengefügt sind.
  25. Anordnung nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, dass die Teilstrahlen nicht parallel in eine gemeinsame Optik geführt sind, so dass eng benachbarte, räumlich getrennte Auftreffpunkte der Teilstrahlen auf dem Objekt (4) vorhanden sind.
  26. Anordnung nach Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet, dass die Auftreffpunkte einen Abstand von höchstens der zweifachen zu erwartenden Diffusionslänge der angeregten Ladungsträger aufweisen.
  27. Anordnung nach Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet, dass die frequenzselektive Einrichtung (6) so einstellbar ist, dass wahlweise zur Detektion auf der Differenzfrequenz (&OHgr;1-&OHgr;2) aus der Lumineszenzstrahlung nur Anteile auf der Summenfrequenz (&OHgr;1+&OHgr;2) der Modulationsfrequenzen (&OHgr;1; &OHgr;2) detektierbar sind, die aus einer im Objekt (4) stattfindenden Frequenzumsetzung resultieren.
  28. Anordnung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass eine Ansteuereinrichtung zur Verschiebung der Modulationsfrequenzen (&OHgr;1; &OHgr;2) in weiten Grenzen vorgesehen ist, wobei die Ansteuereinrichtung mit der Modulatorbaugruppe (2) in Verbindung steht und die Differenz der Modulationsfrequenzen (&OHgr;1; &OHgr;2) stets konstant ist.
  29. Anordnung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass ein Laserdetektor (13) zur Erfassung des Laserstrahls nach seiner Wechselwirkung mit dein Objekt (4) zusätzlich zum Lumineszenzdetektor (5) vorhanden ist.
  30. Anordnung nach Anspruch 30, dadurch gekennzeichnet, dass die Ausgänge des Lumineszenzdetektors (5) und des Laserdetektors (13) auf jeweils einen Lock-in-Verstärker (6; 14) geführt sind, wobei beide Lock-in-Verstärker (6; 14) als frequenzselektive Einrichtungen auf die Differenzfrequenz (&OHgr;1-&OHgr;2) der Modulationsfrequenzen (&OHgr;1; &OHgr;2) abgestimmt und zur Zuführung von Referenzsignalen mit der Modulatorbaugruppe (2) verbunden sind, und die Signalverarbeitungseinrichtung ein Signalprozessor (7) zur Aufzeichnung, Bewertung und Korrelation der Ausgangssignale beider Lock-in-Verstärker (6; 14) ist und getrennte Informationen über strahlende und nichtstrahlende Relaxationsprozesse im Objekt (4) liefert.
  31. Anordnung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass ein dichroitischer Spiegel (8) zur Abtrennung des Laserlichts von der Lumineszenzstrahlung vorgesehen ist.
  32. Anordnung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass ein Absorptionsfilter (9) zur Abtrennung des störenden Laserlichts von der Lumineszenzstrahlung vor dem Lumineszenzdetektor (5) angeordnet ist.
Es folgen 9 Blatt Zeichnungen






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