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Dokumentenidentifikation DE10323629A1 14.10.2004
Titel Wanderfeld-Linearmotor
Anmelder Technische Universität Berlin, 10623 Berlin, DE
Erfinder Lehr, Heinz, 14197 Berlin, DE;
Schrader, Stephan, 10117 Berlin, DE;
Walter, Steffen, 10247 Berlin, DE
Vertreter Eisenführ, Speiser & Partner, 10178 Berlin
DE-Anmeldedatum 20.05.2003
DE-Aktenzeichen 10323629
Offenlegungstag 14.10.2004
Veröffentlichungstag im Patentblatt 14.10.2004
IPC-Hauptklasse H02K 41/02
Zusammenfassung Die Erfindung betrifft einen dreiphasigen linearen Synchronmotor, der einen Läufer (11) mit zentraler, axialer Bohrung aufweist, in die optische Elemente - z. B. eine optische Linse (7) - eingebaut werden können. Der Läufer (11) besteht aus einer Gleithülse (2), in der sich ein in axialer Richtung polarisierter Permanentmagnet (3) mit freiem Mitteldurchgang befindet. Die Führung des Läufers (11) erfolgt in einem ortsfesten Hüllrohr (1). Der Läufer (11) wird durch Wechselwirkung des Permanentmagneten (3) mit einem entlang der optischen Achse bewegten magnetischen Wanderfeld verschoben. Das Wanderfeld entsteht durch mindestens drei nebeneinanderliegende, um das Hüllrohr (1) gewickelte, ortsfeste Statorspulen (4) mit separater und variabler Bestromung. Die Position des Läufers (11) wird durch Selbsthaltekräfte des Permanentmagneten (3) im Magnetfeld der Spulen (4) festgelegt. Das magnetische Wanderfeld und somit auch der Läufer (11) sind axial beliebig fein verschiebbar. Die Verfahrstrecke des Läufers (11) kann je nach Anzahl der Spulen (4) beliebig lang gestaltet werden. Das System ist zur Miniaturisierung von optischen Systemen geeignet.

Beschreibung[de]

Die Erfindung betrifft einen elektromagnetischen Wanderfeld-Linearmotor, der eine Magnetspulenanordnung sowie einen relativ zur Magnetspulenanordnung linear beweglichen Permanentmagneten aufweist. Die Magnetspulenanordnung umfasst dabei wenigstens drei Magnetspulen, die so ausgebildet und angeordnet sind, dass ein magnetisches Wanderfeld zum positionsgenauen Bewegen des Permanentmagneten zu erzeugen ist.

Außerdem betrifft die Erfindung einen Antrieb für optische Elemente wie beispielsweise Linsen, Prismen, Spiegel, Blenden, CCD-Chips usw.

insbesondere die Miniaturisierung von optischen Systemen, die motorisch verschiebbare optische Elemente enthalten (Linse, Prisma, Spiegel, Blende, CCD-Chip, etc.), erfordert die Entwicklung besonderer Antriebstechniken. Hierbei sind eine Reihe optischer Anforderungen einzuhalten, beispielsweise eine gute Positionierbarkeit, eine beliebig lange Verfahrstrecke des zu bewegenden optischen Elements, eine individuelle Verschiebung von mehreren optischen Komponenten mit überschneidenden Verfahrwegen, Freihalten des Strahlengangs in allen Stellungen des optischen Elements, etc.

Aus dem US-Patent 5 490 015 ist ein piezoelektrischer Stellantrieb zur Bewegung einer Fokussierlinse bekannt. Dabei wird ein piezoelektrischer Stapelaktor impulsförmig erregt, wodurch sich die mit dem Aktor verbundene Fokussierlinsenhalterung kurzzeitig bewegt. Längere Stellwege lassen sich durch eine zeitliche Abfolge von Spannungsimpulsen erzielen. Allerdings führen der einseitige Krafteingriff des Aktors sowie dessen impulsartige Betätigung zu einer longitudinalen Ruckbewegung, deren Amplitude empfindlich von der örtlichen Haftreibung bestimmt wird, so dass Verstellgeschwindigkeit und Stellgenauigkeit begrenzt sind. Störend sind auch die zur Betätigung des Aktors notwendigen hohen Spannungsimpulse, die z. B. das Videobild beeinträchtigen. Insgesamt erschwert die Ausführung dieses Aktors die Verstellung mehrerer Linsengruppen, behindert die Miniaturisierung der gesamten Anordnung und ist wegen der Piezoaktorik bei Temperaturen über 100 °C (z. B. Sterilisation medizinischer Instrumente bei 133 °C, Überwachung von Schweißvorgängen usw.) nur schwer einsetzbar.

Zur Ansteuerung eines Zoomobjektivs sind aus der DE 43 12 489 A1 beispielsweise motorische Antriebssysteme bekannt, die zur Kraftübertragung vom Motor auf die Halterung des Zoomobjektivs Ritzel, Zahnräder und Helixführungen einsetzen. Allerdings wird der Einsatz solcher Elemente offensichtlich eine Miniaturisierung optischer Instrumente erschweren.

Aus der DE 199 27 129 C1 sind streifenförmige piezoelektrische Biegeaktoren bekannt, die zur Verstellung einer Fokussierlinse dienen. Dabei bewegen sich die streifenförmigen bimorphen Piezoaktoren bei Anlegen einer Spannung orthogonal zur Verstellrichtung der Fokussierlinse. Gelenkglieder zwischen der Fokussierlinse sowie den Piezostreifen besorgen schließlich die Bewegung der Fokussierlinse entlang der optischen Achse des Linsensystems. Dem Vorteil der kontinuierlichen haftreibungsfreien Bewegung stehen allerdings die Nachteile eines erheblichen, den Durchmesser vergrößernden Platzbedarfs des Antriebssystems sowie dessen beschränkter Stellbereich gegenüber.

Aus der DE 199 27 129 C1 ist gleichermaßen die Bewegung eines Zoomobjektivs durch einen Schrittmotor bekannt. Allerdings befindet sich der Motor nicht in der Längsachse des Linsensystems, so dass der gesamte Durchmesser erheblich vergrößert wird.

Aus der Offenlegungsschrift DE 196 18 355 A1 ist ein elektrodynamischer Antrieb bekannt, der aus einer permanentmagnetischen Hülse besteht, die in einem Hüllrohr gleitet und bei Bestromung zweier gegenläufig gewickelter Solenoide durch Lorentzkräfte bewegt wird (Tauchspulenprinzip). Allerdings weist dieser Aktor, der bei Endoskopen eingesetzt werden soll, einige Nachteile auf: Bei Bestromung der Solenoide fährt der Permanentmagnet an eine Endposition, die durch die Länge des Magneten und die gegenläufig gewickelten Solenoide festgelegt ist. Da der Aktor über keine natürliche Haltestellung sowie keine Selbsthaltung verfügt, lässt sich die Positionierung von Linsen oder Linsengruppen sowie die Fixierung ihrer Position, z. B. beim Auftreten von Beschleunigungskräften, durch einen Regelkreis erzielen, wobei eine Wegmessung, wie sie in der DE 196 05 413 A1 beschrieben ist, erforderlich wird. Alternativ hierzu wäre zur Positionierung die Bewegung gegen eine Federkraft denkbar, die dann jedoch zusätzlichen Platz beansprucht. In beiden Fällen steigt aber der Aufwand erheblich. Der mögliche Verfahrweg des Magneten wird durch die Länge der gesamten magnetischen Anordnung festgelegt. Will man bei einem Motor auf Tauchspulenbasis große Verfahrwege realisieren, so ist dies nur durch eine entsprechende magnetische Länge des Läufers sowie mindestens doppelt so lange Solenoidspulen erreichbar. Dies kann aufgrund der Zunahme der axialen Länge der schmalen Bohrung des Läufers zu einer Beeinträchtigung des optischen Strahlengangs führen. Weiterhin wird durch lange Solenoide der Einsatz mehrerer unabhängiger, axial in Reihe angeordneter und angetriebener optischer Elemente problematisch. Die Pole des Läufers können sich nicht über die zugeordneten Spulen hinausbewegen. Dadurch ist das Verfahren von einem Läufer in das Spulensystem eines anderen Läufers sowie überlappende Verfahrstrecken verschiedener Läufer gänzlich unmöglich. Hieraus ergeben sich wesentliche Einschränkungen bei der Gestaltung des optischen Systems.

Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen möglichst kleinen, einfachen und positionsgenauen Antrieb der eingangs genannten Art zu schaffen. Im Falle eines Antriebs für optische Elemente soll die Positionierung optischer Elemente beliebig flexibel erfolgen können und die gesamte Einheit so weit miniaturisierbar sein, dass Durchmesser im Bereich weniger Millimeter erreichbar sind.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch einen elektromagnetischen Wanderfeld-Linearmotor der eingangs genannten Art erreicht, bei dem die Magnetspulen um einen längsgestreckten Hohlraum gewundene, geschlossene Leiterdrahtwicklungen aufweisen und der Permanentmagnet axial polarisiert und im Inneren des Hohlraums längs beweglich geführt ist.

Indem die Wicklungen der Magnetspulen vollständig um den Hohlraum gewunden sind, ist ein besonders einfacher und kleiner Aufbau des Linearmotors möglich. Das ortsveränderliche magnetische Wanderfeld bewegt den Permanentmagneten, der beispielsweise mit ebenfalls in dem Hohlraum positionierten optischen Elementen verbunden sein kann. Auf diese Weise ergibt sich ein besonders kleiner positionsgenauer Linearantrieb für optische Elemente.

In einer bevorzugten Ausführungsvariante sind an beiden Längsenden des Permanentmagneten weichmagnetische Läuferpolschuhe angeordnet. Außerdem ist in einer weiteren bevorzugten Ausführungsvariante ein weichmagnetisches Außenrohr vorgesehen, welches den Hohlraum umschließt und in dem die Leiterdrahtwicklungen untergebracht sind. Diese beiden Maßnahmen tragen jeweils separat zu einer effizienten Nutzung des durch die Magnetspulenanordnung erzeugten elektromagnetischen Wanderfeldes bei.

Schließlich ist vorzugsweise eine in dem Hüllrohr axial beweglich geführte Gleithülse vorgesehen, die mit dem Permanentmagneten verbunden ist und die beispielsweise die optischen Elemente in Form von Linsen aufnehmen kann.

Eine besonders bevorzugte Ausführungsvariante umfasst einen dreiphasigen linearen Synchronmotor der in Anspruch 1 genannten Art, der eine axiale Verschiebung von optischen Elementen entlang seiner Achse bewirkt. Sein Aufbau erlaubt eine Miniaturisierung des optischen Systems und bewahrt dabei eine große Flexibilität bei der Auslegung der Optik.

Konkret ist ein elektromagnetischer Wanderfeldmotor zur Bewegung optischer Elemente in einem Hüllrohr vorgesehen, bei dem der Motor eine axial bewegliche Gleithülse aufweist, die in dem Hüllrohr gleitet und mindestens einen axial polarisierten Permanentmagneten sowie optische Elemente aufnimmt. Außerdem ist eine Anordnung von mindestens drei Spülen vorgesehen, die um das Hüllrohr geschlungen sind und durch unabhängige, variable Bestromung ein magnetisches Wanderfeld erzeugen können, das durch einen magnetischen Rückfluss über ein weichmagnetisches Außenrohr und weichmagnetische Läuferpolschuhe konzentriert geführt und verstärkt wird. Das dreiphasige Wanderfeld dient zur axialen Bewegung des Permanentmagneten und der mit diesem verbundenen Gleithülse. Das Wanderfeld erzeugt durch Wechselwirkung mit dem Permanentmagneten Selbsthaltekräfte, die zur Festigung des Läuferorts sowie zur Positionsstabilisierung der optischen Elemente durch rücktreibende Kräfte führen.

Diese Anordnung stellt einen elektromagnetischen Wanderfeldmotor dar, der vom Prinzip her als dreiphasiger linearer Synchronmotor aufgefasst werden kann. Dieser dient zur kontinuierlichen Verschiebung einzelner Linsen, Linsengruppen oder anderer optischer Elemente (beispielsweise Prismen, Spiegel, Blenden, CCD-Chips, etc.) und eignet sich insbesondere für miniaturisierte optische Instrumente wie z.B. Endoskope. Typische Aufgaben des Motors sind das Vergrößern oder Verkleinern eines Bilds in einer Bildebene durch Bewegen eines Zoomobjektivs, Bewegen eines Bildaufnehmers oder das Einstellen der Bildschärfe durch Verschieben einer Fokussierlinse.

Hierzu gleitet pro Stellelement eine dünnwandige Gleithülse, in der sich ein in axialer Richtung polarisierter Permanentmagnet mit freiem Mitteldurchgang befindet, als Läufer in einem ortsfesten Hüllrohr. Die Gleithülse dient zur Aufnahme und Zentrierung des Permanentmagneten sowie der optischen Elemente. Sie wird durch Wechselwirkung des Permanentmagneten mit einem entlang der optischen Achse gerichteten magnetischen Wanderfeld bewegt, das durch mindestens drei nebeneinanderliegende und um das Hüllrohr gewickelte ortsfeste Spulen mit separater und variabler Bestromung entsteht. Die Position des Läufers wird durch Selbsthaltekräfte des Permanentmagneten im Magnetfeld der Spulen festgelegt, so dass keinerlei Wegmeßsystem erforderlich ist. Die Selbsthaltung ist insbesondere bei fest eingestellter Position der optischen Elemente vorteilhaft, da sie eine Fehljustage der Linsen oder Objektive durch eine ruckweise Bewegung des Instruments oder infolge der Schwerkraft verhindert. Weiterhin gelingt eine sehr präzise Einstellung der Position, da der Einfluss der Haftreibung durch kurzzeitige Erhöhung der Stromstärke beliebig reduzierbar ist. Aufgrund der Spulenanordnung und dem resultierenden Magnetfeld ist die longitudinale Abmessung des Permanentmagneten gering, so dass der optische Strahlengang kaum beeinträchtigt wird.

In einer bevorzugten Ausführungsvariante erlauben es weitere nebeneinander angebrachte Dreiergruppen von Spulen, den Verfahrweg des Permanentmagneten, im Gegensatz zum Tauchspulenprinzip, beliebig weit zu gestalten. Hierfür ist keinerlei zusätzliche Längenänderung des Permanentmagneten erforderlich, wodurch alle Freiheitsgrade zur Gestaltung optischer Systeme erhalten bleiben und insbesondere die unabhängige Verschiebung verschiedener Linsen oder Linsengruppen eines optischen Systems durch mehrere Aktoren ermöglicht wird.

Optische Instrumente wie Endoskope, Videokameras für die Mikromontage und zur Überwachung müssen einen möglichst geringen Durchmesser aufweisen. Ziel muss es daher sein, eine Miniaturisierung des gesamten optischen Systems einschließlich der Aktorik für die Linsenverstellung zu erreichen. Dies wird durch den erfindungsgemäßen feldgeführten permanentmagnetischen Wanderfeldmotor erreicht. Er lässt sich platzsparend und bis zu wenigen Millimeter im Durchmesser ausführen, wobei die Positioniergenauigkeit im Mikrometerbereich liegt.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Zeichnungen und darin dargestellten Ausführungsbeispielen beschrieben. In den Zeichnungen zeigen:

1: Schnittzeichnung des dreiphasigen linearen Synchronmotors.

2: Linearantrieb entsprechend 1 jedoch mit drei Spulensystemen mit je drei Spulen (4a, b, c) zur Verlängerung des Fahrwegs.

3: Linearantrieb entsprechend 1 jedoch mit dreipoligem Läufer (11).

4: Linearantrieb entsprechend 1 jedoch ohne Gleithülse (2).

5: Linearantrieb entsprechend 1 jedoch mit weichmagnetischen Statorpolschuhen (8) zwischen den Spulen (4) zur Führung des magnetischen Flusses.

6: Zwei getrennt voneinander ansteuerbare Läufer (11 und 12) mit überlappenden Verfahrwegen in einem Spulensystem.

7: Axialer Verlauf der resultierenden Axialkraft (F) als Funktion des Wegs (x) für zwei unterschiedliche Phasenansteuerungen.

8: Bestromung (I) der drei Spulen (a, b, c) in Abhängigkeit des Ortes (x).

In 1 ist anhand einer Schnittzeichnung der grundsätzliche Aufbau des dreiphasigen linearen Synchronmotors gemäß Anspruch 1 dargestellt. Gezeigt wird ein ortsfester Stator (10), der aus einem Hüllrohr (1), drei um das Hüllrohr gewickelte Spulen (4a, b, c) und einem Außenrohr (6) zusammengesetzt ist. Das Hüllrohr (1) des Stators (10) dient zur Führung des axial verschiebbaren Läufers (11), der von einer Gleithülse (2) gebildet ist sowie von einem innerhalb der Gleithülse befestigten axial magnetisierten Permanentmagneten (3) mit freiem Mitteldurchgang. In diesem ist in dem Ausführungsbeispiel ein optisches Element eingebettet, beispielsweise eine Linse (7).

Ein das Bewegen und Positionieren des Läufers (11) bewirkendes Magnetfeld ergibt sich aus der Überlagerung des Magnetfeldes des Permanentmagneten (3) und der stromdurchflossenen Spulen (4a, b, c), die variabel und unabhängig voneinander, jedoch stets in einem vorgegebenen Verhältnis zueinander (8), bestromt werden können. Zur Führung des magnetischen Flusses dienen die am Permanentmagneten angebrachten Läuferpolschuhe (5) und das Außenrohr (6), die beide aus weichmagnetischen Materialien bestehen.

Der Magnet (3) wird zur Miniaturisierung vorzugsweise aus permanentmagnetischen Materialien mit höchsten Energiedichten wie beispielsweise Neodym-Eisen-Bor oder Samarium-Kobalt hergestellt. Das Hüllrohr (1) und die Gleithülse (2) dienen einzig der Führung des Läufers (11) im Stator (10) und sollen das Magnetfeld nicht beeinflussen. Sie bestehen daher aus nicht-ferromagnetischem Material wie beispielsweise Chrom-Nickel-Stahl oder Kupfer-Beryllium. Zur Minimierung von Reibung und Verschleiß sind die Laufflächen des Hüllrohrs (1) und der Gleithülse (2) poliert und können zusätzlich mit einem Hartstoff (wie Si3N4, SiC oder diamantähnlichem Kohlenstoff, kurz DLC) beschichtet sein. Der dargestellte Aufbau kann zu folgenden Varianten modifiziert werden, die auch untereinander kombinierbar sind:

  • (I) 2: gezeigt ist der Linearantrieb entsprechend 1 jedoch mit drei Spulensystemen mit je drei Spulen (4a, b, c), wobei jede vierte Spule die gleiche Bestromung erfährt. Die Strecke, in der der Läufer (11) aktiv verschoben wird, ist im Vergleich zu 1 verdreifacht. Auf diese Weise kann die aktive Verfahrstrecke gemäß Anspruch 2 beliebig verlängert werden, wobei eine gleichzeitige axiale Verlängerung des Läufers (11) nicht erforderlich ist. Der Läufer (11) kann kontinuierlich und mit konstanter axialer Antriebskraft durch alle Spulensystem hindurch verschoben werden.
  • (II) 3 zeigt einen Wanderfeldmotor der zuvor beschriebenen Art, bei dem zwei Permanentmagnete des Läufers gegensinnig angeordnet sind. Dies hat den Vorteil, dass zusätzliche Spulen (bei mehr als drei Spulen) von einem magnetischen Fluss durchflossen werden, die eine zusätzliche Lorenzkraft erzeugen. Damit nimmt die maximale Antriebskraft und die Steifigkeit bei gleicher elektrischer Leistung zu. Im Prinzip kann der Läufer beliebig viele Pole (> = 2) haben.
  • (III) 4: gezeigt ist der Linearantrieb entsprechend 1 jedoch ohne Gleithülse (2). Durch diesen Verzicht lässt sich radialer Bauraum gewinnen. In diesem Fall dienen die Mantelflächen der Polschuhe, des Permanentmagneten oder beider Komponenten als Laufflächen, die zur Minimierung von Reibung und Verschleiß mit Hartstoff beschichtet werden können.
  • (IV) 5: gezeigt ist der Linearantrieb entsprechend 1 jedoch mit ringförmigen, weichmagnetischen Statorpolschuhen (8) zwischen den Spulen (4) zur Führung des magnetischen Flusses. Daraus ergeben sich gemäß Anspruch 10 im Vergleich zu der Luftspulenanordnung (1) höhere Stellkräfte. Die Axialkraft ist aber ortsabhängig und kann je nach Auslegung zu einer mehr oder weniger ausgeprägten Rastkraft führen.
  • (V) 6: beispielhafte Darstellung, wie gemäß Anspruch 3 zwei Läufer (11 und 12) mit überlappenden Verfahrstrecken getrennt voneinander verschoben werden können. Der dargestellte Stator (10) entspricht 2, die beiden Läufer (11 und 12) entsprechen 1. Im oberen Teil (A) von
  • 5 wird der Läufer (11) von den zwei Spulensystemen (4) bewegt, während ein davon unabhängig bestromtes Spulensystem (9) auf den Läufer (12) einwirkt. Wird nun die mittlere Dreiergruppe von Spulen an das System (9) angeschlossen (untere Teilabbildung B), so kann der Läufer (12) in den Bereich verfahren werden, in dem vorher Läufer (11) mit dem Spulensystem (4) bewegt wurde. Vor dem Umschalten der Bestromung des mittleren Dreierspulenpakets sollte der Läufer (11) aus dem mittleren Spulensystems herausgefahren werden, da er ansonsten – gemeinsam mit dem Läufer (12) – von dem System (9) angesprochen wird.

7 zeigt den Verlauf der resultierenden Axialkraft (F) eines gattungsgemäßen Wanderfeldmotors in der Ausführung mit Luftspulen (gemäß 1 bis 4) als Funktion des Wegs (x) (durchgezogene Linie). Der Nulldurchgang der Axialkraft (P1) legt die jeweilige Sollposition des Permanentmagneten (3) und damit der Gleithülse (2) fest. Die Steigung an dieser Stelle führt zu rücktreibenden Kräften. Eine Erhöhung der Stromamplituden ergibt eine größere Steigung und größere Rückstellkräfte. Der Nulldurchgang der gestrichenen Linie (P2) zeigt eine neue Sollposition bei Fortschreiten des Wanderfelds durch geänderte relative Stromamplituden der Spulen (4). Dabei kann die Sollposition beliebig genau vorgegeben werden.

In 8 ist die Bestromung (I) der drei Spulen (a, b, c) in Abhängigkeit des Phasenwinkels bzw. des Ortes (x) dargestellt. Die Ströme in einem dreiphasigen Drehfeld sind um jeweils 120° phasenversetzt. Durch die Bestromung ergibt sich – unter Einhaltung dieser Phasenbeziehung – ein resultierendes Magnetfeld, dessen örtliche Verteilung innerhalb des Stators (10) von dem absoluten Phasenwinkel (entspricht der x-Achse) der drei Ströme abhängig ist. Da der absolute Phasenwinkel der Ströme beliebig genau wählbar ist, kann auch die Lage des Magnetfeldes und somit die Position des Läufers (x) beliebig fein vorgegeben werden.


Anspruch[de]
  1. Elektromagnetischer Wanderfeld-Linearmotor mit einer Magnetspulenanordnung (4) und einem relativ zur Magnetspulenanordnung (4) linear beweglichen Permanentmagneten (3), wobei die Magnetspulenanordnung (4) wenigstens drei Magnetspulen (4a, 4b, 4c) umfasst, die ausgebildet und angeordnet sind, ein magnetisches Wanderfeld zum positionsgenauen Bewegen des Permanentmagneten (3) zu erzeugen, dadurch gekennzeichnet, dass die Magnetspulen (4a, 4b, 4c) um einen längsgestreckten Hohlraum gewundene, geschlossene Leiterdrahtwicklungen aufweisen und der Permanentmagnet (3) axial polarisiert und im Inneren des Hohlraum längsbeweglich geführt ist.
  2. Elektromagnetischer Wanderfeldmotor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass am Permanentmagneten (3) weichmagnetische Läuferpolschuhe (5) zur Führung des magnetischen Flusses angebracht sind. 3 Wanderfeld-Linearmotor nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die weichmagnetischen Läuferpolschuhe (5) an beiden Längsenden des Permanentmagneten (3) angeordnet sind.
  3. Wanderfeld-Linearmotor nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch ein nicht ferromagnetisches Hüllrohr (1), welches den Hohlraum umschließt und um welches die Leiterdrahtwicklungen gewickelt sind.
  4. Wanderfeld-Linearmotor nach Anspruch 4, gekennzeichnet durch eine in dem Hüllrohr (1) axial beweglich geführte Gleithülse (2), die mit dem Permanentmagneten (3) verbunden ist.
  5. Wanderfeld-Linearmotor nach einem der Ansprüche 1 bis 5, gekennzeichnet durch ein weichmagnetisches Außenrohr (6), welches die Magnetspulenanordnung (4) umschließt.
  6. Elektromagnetischer Wanderfeldmotor nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass der axial magnetisierte Permanentmagnet (3) eine beliebige geometrische Gestaltung mit einer axialen Bohrung für einen optischen Strahlengang aufweist.
  7. Elektromagnetischer Wanderfeldmotor nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass der axial magnetisierte Permanentmagnet (3) ringförmig ausgebildet ist.
  8. Elektromagnetischer Wanderfeldmotor nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die aufeinander gleitenden Flächen von Gleithülse (2) oder Hüllrohr (3) oder beiden mit Hartstoffschichten wie Si3N4, SiC oder DLC (diamantähnlichem Kohlenstoff) bedeckt sind, um die Reibung und den Verschleiß zu reduzieren.
  9. Elektromagnetischer Wanderfeldmotor nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass weichmagnetische Statorpolschuhe (8) zwischen den einzelnen Spulen (4) angebracht sind, um die resultierende Axialkraft zu erhöhen.
  10. Elektromagnetischer Wanderfeldmotor nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere Läufer (11) gleicher Bauart durch getrennte Bestromung verschiedener, axial versetzter Dreierspulengruppen, individuell in einem gemeinsamen Hüllrohr (1) verfahrbar angeordnet sind.
  11. Elektromagnetischer Wanderfeldmotor nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Verfahrwege der unterschiedlichen Läufer (11) durch Umschalten der Spulenbestromung überlappend sind.
  12. Elektromagnetischer Wanderfeldmotor zur Bewegung optischer Elemente in einem Hüllrohr (1), dadurch gekennzeichnet, dass der Motor eine axial bewegliche Gleithülse (2) aufweist, die in einem Hüllrohr (1) gleitend geführt ist und zusammen mit mindestens einem axial polarisierten Permanentmagnet (3) einen Läufer (11) bildet, wobei der Motor weiterhin eine Anordnung von mindestens drei Spulen (4) aufweist, die um das Hüllrohr (1) geschlungen sind und durch unabhängige, variable Bestromung ein magnetisches Wanderfeld erzeugen können, das durch einen magnetischen Rückfluss über das weichmagnetische Außenrohr (6) und die weichmagnetischen Läuferpolschuhe (5) konzentriert geführt und verstärkt wird, wobei das dreiphasige Wanderfeld zur axialen Bewegung des Permanentmagneten (3) und damit der Gleithülse (2) dient und durch Wechselwirkung mit dem Permanentmagneten (3) Selbsthaltekräfte erzeugt, die zur Festlegung des Läuferorts sowie zur Positionsstabilisierung der optischen Elemente (7) durch rücktreibende Kräfte führen.
  13. Elektromagnetischer Wanderfeldmotor nach Anspruch 13, gekennzeichnet durch eine Aneinanderreihung weiterer Dreiergruppen von Spulen (4a, b, c) auf dem Hüllrohr (1) derart, dass der Verfahrweg des Läufers (11) verlängert ist, ohne dass dazu die axiale Länge des Läufers (11) geändert werden muss.
  14. Elektromagnetischer Wanderfeldmotor nach Anspruch 13 dadurch gekennzeichnet, dass der Läufer aus mehreren Segmenten von axial magnetisierten Permanentmagneten besteht, deren Polarität jeweils gegensinnig angeordnet ist.
  15. Elektromagnetischer Wanderfeldmotor nach Ansprüchen 13, 14 oder 15, gekennzeichnet durch wenigstens ein optisches Element, das an dem Läufer (11) befestigt ist.
  16. Elektromagnetischer Wanderfeldmotor nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass das optische Element innerhalb der Gleithülse (2) angeordnet ist.
  17. Elektromagnetischer Wanderfeldmotor nach einem der Ansprüche 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass der Wanderfeldmotor ausgebildet ist, zwecks Sterilisation ohne Beeinträchtigung der Funktionsfähigkeit mehrere Stunden einer Temperatur von mindestens 133 °C ausgesetzt zu werden.
Es folgen 5 Blatt Zeichnungen






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