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Dokumentenidentifikation EP1526563 02.06.2005
EP-Veröffentlichungsnummer 0001526563
Titel Aperturblende für Teilchenstrahlapparat
Anmelder ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH, 85551 Kirchheim, DE
Erfinder Frosien, Dr., Juergen, 85521 Riemerling, DE;
Lanio, Dr., Stefan, 85435 Erding, DE;
Banzhof, Dr., Helmut, 72793 Pfullingen, DE
Vertragsstaaten AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LI, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI
Sprache des Dokument EN
EP-Anmeldetag 20.10.2003
EP-Aktenzeichen 030238265
EP-Offenlegungsdatum 27.04.2005
Veröffentlichungstag im Patentblatt 02.06.2005
IPC-Hauptklasse H01J 37/09








IPC
A Täglicher Lebensbedarf
B Arbeitsverfahren; Transportieren
C Chemie; Hüttenwesen
D Textilien; Papier
E Bauwesen; Erdbohren; Bergbau
F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
G Physik
H Elektrotechnik

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