| Dokumentenidentifikation |
DE102004011809A1 29.09.2005 |
| Titel |
Magnetsensoranordnung |
| Anmelder |
Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE |
| Erfinder |
Herrmann, Ingo, 70771 Leinfelden-Echterdingen, DE;
Farber, Paul, 70193 Stuttgart, DE;
May, Ulrich, 70499 Stuttgart, DE;
Bauer, Christian, 71701 Schwieberdingen, DE;
Vogelgesang, Birgit, 74379 Ingersheim, DE |
| DE-Anmeldedatum |
11.03.2004 |
| DE-Aktenzeichen |
102004011809 |
| Offenlegungstag |
29.09.2005 |
| Veröffentlichungstag im Patentblatt |
29.09.2005 |
| IPC-Hauptklasse |
G01R 33/022
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| IPC-Nebenklasse |
G01D 5/20
G01P 3/487
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| Zusammenfassung |
Es wird eine Magnetsensoranordnung (1) vorgeschlagen, bei der magnetfeldempfindliche Sensorelemente (5,6 ), deren elektrische Eigenschaften in Abhängigkeit von einem Magnetfeld veränderbar sind, durch ein bewegtes passives Geberelement (8) beeinflusst werden. Die Magnetsensoranordnung (1) weist zwei Sensorelemente (5, 6) in einer Gradiometeranordnung auf, die jeweils einem von zwei in einem vorgegebenen Abstand angeordneten Permanentmagneten (2, 3) zugeordnet sind. Die Permanentmagnete (2, 3) sind hinsichtlich ihrer Abmaße, ihres Abstandes und ihrer Positionen zu den Sensorelementen (5, 6) so angeordnet, dass der Offset des Ausgangssignals der Sensorelemente (5, 6) in der Gradiometeranordnung minimiert ist.
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| Beschreibung[de] |
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Die Erfindung betrifft eine Magnetsensoranordnung, insbesondere zur
Sensierung der Bewegung von linear oder rotatorisch bewegten Elementen, nach den
gattungsgemäßen Merkmalen des Hauptanspruchs.
Es ist an sich bekannt, dass magnetfeldempfindliche Sensoren in vielen
Bereichen Anwendung finden, bei denen eine berührungsfreie Detektierung einer Bewegung
gewünscht ist. Dabei kann es sich sowohl um eine Rotationsbewegung als auch eine
Linearbewegung handeln. Zu unterscheiden sind hier zwei grundlegend verschiedene
Messprinzipien. Zum einen lässt sich durch Anbringen eines oder mehrerer magnetischer
Dipole als aktive Elemente auf dem zu detektierenden Element die Bewegung direkt
durch das sich zeitlich ändernde Magnetfeld am Sensorort bestimmen. Im Gegensatz
dazu wird bei passiven Geberelementen, die aus einem weichmagnetischen Material
bestehen, das magnetische Feld durch einen Arbeitsmagneten erzeugt, der fest mit
dem Sensor verbunden ist. Der Sensor misst die Änderung des Magnetfeldes des Arbeitsmagneten,
die durch die Bewegung der Geberelemente hervorgerufen wird.
Neben der an sich bekannten Hall-Technologie zur Magnetfeldmessung
werden vermehrt auch bei passiven Geberelementen im Kraftfahrzeugbereich alternativ
sog. XMR-Technologien, d.h. magnetoresistive Messprinzipien, eingesetzt. Dabei ist
zu beachten, dass XMR-Sensoren im Gegensatz zu Hall-Sensoren die sog. "in-plane"-Komponente
des Magnetfeldes im Sensorelement detektieren. Bisher übliche XMR-Sensoren verwenden
dazu einen Arbeitsmagneten, dessen Feld so abgeglichen werden muss, dass der Offset
am Ort des sensitiven Elementes Null ist oder es wird ein sog. Backbias-Feld erzeugt,
das den Arbeitspunkt des Sensors definiert.
Beispielsweise ist in der DE
101 28 135 A1 ein Konzept beschrieben, bei dem eine hartmagnetische Schicht
in der Nähe, d.h. insbesondere auf und/oder unter einem magnetoresistiven Schichtstapel,
deponiert wird. Diese hartmagnetische Schicht koppelt dann vorwiegend durch ihr
Streufeld an die magnetosensitiven Schichten und erzeugt dabei ein sogenanntes Bias-Magnetfeld,
das als Magnetfeld-Offset wirkt, so dass auch bei einer nur schwachen Variation
eines dem internen Magnetfeld überlagerten externen Magnetfelds eine gut messbare
und relativ große Veränderung des eigentlichen Messwertes, der als Widerstandsänderung
in der Schichtanordnung detektiert wird, erreichbar ist.
Die zuvor beschriebenen Sensoren werden in an sich bekannter Weise
zur Drehzahlerfassung, beispielsweise in der Kraftfahrzeugtechnik, oft in einer
sogenannten Gradiometeranordnung ausgeführt. Das heißt je zwei Zweige einer Wheatstoneschen
Messbrücke sind in vorgegebenem Abstand angeordnet, so dass ein homogenes Magnetfeld
kein Brückensignal bewirkt. Eine Variation des Magnetfelds im Bereich des vorgegebenen
Abstands hingegen erzeugt ein Brückensignal. Damit misst der Sensor nur das Signal
eines magnetischen Polrads, dessen Polpaarabstand in etwa dem vorgegebenen Gradiometerabstand
entspricht.
Durch den Einsatz des Gradiometerprinzips in einer magnetoresistiven
XMR-Messbrücke lässt sich im Gegensatz zu den absolut messenden XMR-Elementen eine
Reduzierung der Empfindlichkeit der Sensoren gegenüber homogenen Störfeldern erreichen.
Ein Abgleich der bisher eingesetzten Magnete, so dass an beiden Orten der Sensorelemente
der Gradiometeranordnung der Offset eliminiert werden kann, lässt sich hier jedoch
nicht mehr durchführen; ein elektronischer Abgleich ist zwar prinzipiell möglich,
aber hier ist ein relativ kleines Signal auf großem Offset vorhanden.
Vorteile der Erfindung
Bei einer Weiterbildung einer Magnetsensoranordnung der eingangs angegebenen
Art, weist die Magnetsensoranordnung erfindungsgemäß zwei Sensorelemente in einer
Gradiometeranordnung auf, die jeweils einem von zwei in einem vorgegebenen Abstand
angeordneten Permanentmagneten zugeordnet sind. Die Permanentmagnete sind in vorteilhafter
Weise hinsichtlich ihrer Abmaße, ihres Abstandes und ihrer Positionen zu den Sensorelementen
so angeordnet, dass der Offset des Ausgangssignals der Sensorelemente in der Gradiometeranordung
minimiert ist.
Mit der Erfindung wird somit erreicht, dass die Auslegung eines Magnetkreises,
der ein Arbeitsfeld für einen auf dem Gradiometerprinzip, d.h. mit einer Erfassung
des Feldgradienten arbeitenden Sensors erzeugt, optimiert ist und somit einen offsetfreien
Betrieb des Sensors bei Variation des magnetischen Feldes durch sich bewegende Geberelemente,
insbesondere Zahnräder, ermöglicht. Dazu wurde der Magnetkreis aus zwei Einzelmagneten
zusammengesetzt, deren Felder sich so überlagern, dass die sog. "in-plane"-Komponenten
des resultierenden magnetischen Feldes an den Gradiometerpositionen soweit reduziert
werden, dass sie durch den Einfluss der passiven Geberelemente um die Nulllage variieren.
Somit können sehr kleine Signale offsetfrei detektiert werden.
Dies ist besonders bei sehr empfindlichen magnetoresistiven XMR-Sensoren
von Vorteil, die möglichst ohne eine Offset-Korrektur einen großen Arbeitsbereich,
d.h. sehr große bis sehr kleine Feldstärken, abdecken sollen.
Bei einer vorteilhaften Ausführungsform sind zwischen den Sensorelementen
und den Permanentmagneten Homogenisierungsplatten angeordnet. Damit wird das Feld
in der Ebene der Sensorelemente homogenisiert und die notwendige Positioniergenauigkeit
der Sensorelemente gegenüber dem Magnetpaar zum offsetfreien Betrieb reduziert.
Vorteilhaft ist es außerdem, wenn gemäß einer weiteren Ausführungsform
die Magnetisierung der Permanentmagneten abweichend von ihrer den Sensorelementen
zugewandten Längsrichtung jeweils um einen vorgegebenen Winkel &agr; gedreht ist.
Durch diese, durch die Schräglage des Feldes bedingte Vormagnetisierung
wird erreicht, dass sich die Sensorelemente in einem Magnetfeld befinden, bei dem
die Sensitivität durch ein sog. Bias-Feld maximal ist. Auch hierbei ist eine Anordnung
von den zuvor erwähnten Homogenisierungsplatten in vorteilhafter Weise möglich.
Besonders vorteilhaft lässt sich die Erfindung bei einer Magnetsensoranordnung
zur Erfassung des Drehwinkels eines Rades als Geberelement einsetzen, wobei das
Rad, z.B. als Stahlrad, an seinem Umfang mit Zähnen zur Beeinflussung des Magnetfeldes
im Bereich der Magnetsensoranordnung versehen ist. Insbesondere bei einer Anwendung
in einem Kraftfahrzeug ergeben sich Einsatzgebiete als Drehzahlfühler am Rad oder
an der Kurbelwelle, als Phasengeber an der Nockenwelle, als Drehzahlsensor im Getriebe
oder als sonstige Linearweg-, Winkel- oder Näherungssensoren, bei denen die Magnetfeldänderungen
durch bewegte metallische Elemente induziert werden.
Zeichnung
Ausführungsbeispiele der Erfindung werden anhand der Zeichnung erläutert.
Es zeigen:
1 eine Prinzipansicht einer Magnetsensoranordnung
mit zwei Permanentmagneten, die jeweils einem magnetoresistiven Sensorelement in
einer Gradiometeranordnung gegenüberliegen,
2 eine gegenüber der 1
erweiterte Anordnung mit Homogenisierungsplatten,
3 ein Ausführungsbeispiel einer Magnetsensoranordnung
mit zwei Permanentmagneten, die in Abwandlung zur 1
ein abgewinkelt liegendes Magnetfeld aufweisen,
4 ein Ausführungsbeispiel nach der
3 mit Homogenisierungsplatten entsprechend der
2,
5 eine Ansicht einer Magnetsensoranordnung
für ein mit Stahlzähnen versehenes Geberrad und
6 ein Diagramm des Verlaufs des Magnetfeldes
in Abhängigkeit von der Position eines Zahnes bzw. einer Zahnlücke des Geberrades
nach der 5.
Beschreibung der Ausführungsbeispiele
In 1 ist eine Prinzipansicht einer Magnetsensoranordnung
1 gezeigt, die zwei Permanentmagnete 2 und 3 aufweist,
deren jeweiliges magnetisches Feld B mit hier angedeuteten Feldlinien in Richtung
auf einen Sensor 4 ausgerichtet ist. Der Sensor 4 ist hier als
XMR-Sensor ausgeführt und weist zwei magnetoresistive Sensorelemente 5
und 6 auf. Die Sensorelemente 5 und 6 sind in einer Gradiometeranordnung
mit dem Gradiometerabstand GM dargestellt und erfassen die Änderungen des jeweiligen
Feldgradienten, die z.B. durch ein metallisches Geberelement, z.B. ein in
5 gezeigtes Zahnrad, das an der Magnetsensoranordnung
1 vorbeigeführt wird, verursacht wird.
Die Einstellung des optimalen Arbeitspunktes des Sensors
4 erfolgt über den Abstand a der Magnete 2 und 3 zueinander
und kann an den Gradiometerabstand GM der Sensorelemente 5 und
6 angepasst werden. Weiterhin hängen die Feldlinienverläufe von den Abmaßen
h, b und t der Permanentmagnete 2 und 3 ab. Für einen festen Gradiometerabstand
GM, z.B. 2,5 mm, kann hier beispielsweise Größe, Material und Anordnung der Permanentmagnete
2 und 3 so bestimmt werden, dass der Sensor 4 offsetfrei
arbeitet und somit möglichst kleine Signale detektieren kann um wiederum einen möglichst
großen Abstand zu einem Geberelement zu erreichen.
Ohne ein außen vorbeigeführtes Geberelement, z.B. ein Zahnrad, verlaufen
die magnetischen Feldlinien der Magnetsensoranordnung 1 so, dass am Ort
der Sensorelemente 5 und 6 eine kleine sog. "in-plane"-Komponente
nach außen existiert. Durch den Einsatz z.B. eines sich bewegenden Zahnrads kommt
es zu einer Variation des Magnetfeldes, wobei die "in-plane"-Komponenten um die
Nulllage moduliert werden und damit ein offsetfreies Signal der Gradiometeranordnung
erzeugen.
Aus 2 ist ein Ausführungsbeispiel zu
entnehmen, bei dem in Abwandlung zu dem Ausführungsbeispiel nach
der 1 eine zusätzliche Homogenisierungsplatte
7 zwischen den Oberflächen der Permanentmagnete 2 und
3 und dem Sensor 4 angebracht ist. Bei diesem Ausführungsbeispiel
wird mit der Homogenisierungsplatte 7 das Feld in der Ebene des Sensors
4 homogenisiert und damit die notwendige Positioniergenauigkeit des Sensors
4 gegenüber dem Magnetpaar 2, 3 zum offsetfreien Betrieb
reduziert.
Bei einigen Anwendungsbeispielen mit den zuvor beschriebenen magnetoresistiven
XMR-Sensorelementen 5 und 6 benötigen die Sensorelemente eine
konstante Vormagnetisierung. Durch diese Vormagnetisierung wird erreicht, dass sich
die Sensorelemente 5 und 6 in einem Magnetfeld befinden, bei dem
die Sensitivität maximal ist. Realisiert wird dieses sog. Bias-Feld jeweils mit
einem aus 3 und 4
zu entnehmenden Ausführungsbeispiel.
Wie in den 3 und 4
gezeigt, wird dies durch eine Drehung der Magnetisierung B in den Permanentmagneten
2 und 3 um den Winkel &agr; realisiert. Dabei lassen sich auch
hier, wie zuvor beschrieben, wiederum zwei Aufbauvarianten ohne (3)
und mit einer Justageverbesserung durch eine Homogenisierungsplatte 7 (4)
realisieren.
In 5 ist ein Ausschnitt eines Modells
dargestellt, bei dem die erfindungsgemäße Magnetsensoranordnung 1, beispielsweise
nach der 1, im Zusammenhang mit einem Geberrad
8, das mit Zähnen 9 versehen ist, angewendet wird. Als Beispiel
ist in einem Diagramm nach 6 ein Messergebnis dargestellt.
Aufgetragen ist hier die sog. "in-plane"-Komponente des magnetischen Feldes Bx über
der Gradiometerposition relativ zur Mitte des Sensors 4, jeweils für einen
Zahn 9 (Verlauf 10) und für eine Zahnlücke (Verlauf
11).
Es ist hier bei einem vorgegeben konstruktiven Versuchsaufbau mit
einem Gradiometerabstand GM von 2,5 mm zu erkennen, dass der Verlauf des Magnetfeldes
Bx an der Sensorelementposition 1,25 mm für die zwei simulierten Positionen des
Geberrades 8 (Zahn 9, Verlauf 10) und Lücke (Verlauf
11) symmetrisch um die Nulllage erfolgt, das heißt, dass das Signal des
jeweiligen Sensorelementes 5, 6 offsetfrei ist.
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| Anspruch[de] |
- Magnetsensoranordnung mit
– magnetfeldempfindlichen Sensorelementen (5, 6) deren elektrische
Eigenschaften in Abhängigkeit von einem Magnetfeld veränderbar sind, das durch ein
bewegtes passives Geberelement (8) beeinflussbar ist, dadurch gekennzeichnet,
dass
– die Magnetsensoranordnung (1) zwei Sensorelemente (5,
6) in einer Gradiometeranordnung aufweist, die jeweils einem von zwei in
einem vorgegebenen Abstand (a) angeordneten Permanentmagneten (2,
3) zugeordnet sind,
– wobei die Permanentmagnete (2, 3) hinsichtlich ihrer Abmaße,
ihres Abstandes und ihrer Positionen zu den Sensorelementen (5,
6) so angeordnet sind, dass der Offset des Ausgangssignals der Sensorelemente
(5, 6) in der Gradiometeranordung minimiert ist.
- Magnetsensoranordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass
– zwischen den Sensorelementen (5, 6) und den Permanentmagneten
(2, 3) mindestens eine Homogenisierungsplatte (7) angeordnet
ist.
- Magnetsensoranordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass
– die Magnetisierung der Permanentmagneten (2, 3) abweichend
von ihrer den Sensorelementen (5, 6) zugewandten Längsrichtung
jeweils um einen vorgegebenen Winkel (&agr;) gedreht ist.
- Magnetsensoranordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,
dass
– die Magnetsensoranordnung (1) zur Erfassung des Drehwinkels eines
Rades (8) als Geberelement eingesetzt ist, wobei das Rad (8) an
seinem Umfang mit Zähnen (9) zur Beeinflussung des Magnetfeldes im Bereich
der Magnetsensoranordnung (1) versehen ist.
- Magnetsensoranordnung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass
– das Rad (8) ein Stahlrad ist.
- Magnetsensoranordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,
dass
– die Sensorelemente (5, 6) magnetoresistive XMR-Sensoren
sind.
Es folgen 3 Blatt Zeichnungen
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Patent Zeichnungen (PDF)
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