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Dokumentenidentifikation EP1581967 10.11.2005
EP-Veröffentlichungsnummer 0001581967
Titel ERZEUGEN HERMETISCH DICHT GESCHLOSSENER, DIELEKTRISCH ISOLIERENDER TRENNGRAEBEN (TRENCHES)
Anmelder X-FAB Semiconductor Foundries AG, 99097 Erfurt, DE
Erfinder FREYWALD, Karlheinz, 99086 Erfurt, DE
Vertragsstaaten AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LI, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI
Sprache des Dokument DE
EP-Anmeldetag 05.12.2003
EP-Aktenzeichen 037821337
WO-Anmeldetag 05.12.2003
PCT-Aktenzeichen PCT/DE03/04014
WO-Veröffentlichungsnummer 0004051739
WO-Veröffentlichungsdatum 17.06.2004
EP-Offenlegungsdatum 05.10.2005
Veröffentlichungstag im Patentblatt 10.11.2005
IPC-Hauptklasse H01L 21/764








IPC
A Täglicher Lebensbedarf
B Arbeitsverfahren; Transportieren
C Chemie; Hüttenwesen
D Textilien; Papier
E Bauwesen; Erdbohren; Bergbau
F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
G Physik
H Elektrotechnik

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