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Dokumentenidentifikation DE202005013876U1 26.01.2006
Titel Automatische Inspektions-Vorrichtung für Stents
Anmelder IMSTec GmbH, 55131 Mainz, DE
Vertreter Rach, W., Dipl.-Chem. Dr.rer.nat., Pat.-Anw., 71083 Herrenberg
DE-Aktenzeichen 202005013876
Date of advertisement in the Patentblatt (Patent Gazette) 26.01.2006
Registration date 22.12.2005
Application date from patent application 01.09.2005
IPC-Hauptklasse G01B 11/30(2006.01)A, F, I, ,  ,  ,   

Beschreibung[de]
Gebiet der Erfindung

Die vorliegende Erfindung betrifft allgemein eine automatische Vorrichtung zur Beleuchtung und Inspektion von Objekten, wie zum Beispiel kardiovaskuläre Stents und andere präzisionsgeschnittene Röhrchen und Komponenten.

Hintergrund der Erfindung, Stand der Technik

Stents sind feine, zylinderförmige Drahtgeflechte, welche bei Ablagerungen in die Arterie eingeführt und an der verengten Stelle mit Hilfe eines Ballonkatheters expandiert werden. Nach der Entfernung des Katheters dient der Stent als Gefäßstütze, um die Arterie offen zu halten. Je nach Befund und Einsatzgebiet existieren verschiedene Stentdesigns, -größen und Materialien einschließlich Beschichtungen.

Kardiovaskuläre Stents müssen hohen Anforderungen genügen, um einwandfrei arbeiten zu können. Falls der Stent rauhe oder scharfe Kanten aufweist, kann er Blutzellen oder Blutgefäße beschädigen, in die er eingesetzt wird. Dies kann zu einer weiteren Ruptur der atherosklerotischen Plaque, Embolien und Blutgerinnseln und so zu potentiell lebensgefährdenden Situationen führen.

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Beleuchtungs- und Inspektionsvorrichtung für Stents und andere ähnliche Teile, die die Form eines kleinen, präzisionsbearbeiteten Röhrchens aufweisen.

Üblicherweise werden Laser verwendet, um Stents zu schneiden oder zu schweißen. Dieses Verfahren kann, obwohl es hochpräzise ist, gelegentlich zu defekten Teilen führen. Stents sind ziemlich klein und weisen Durchmesser von ungefähr 1 mm auf. Nach der Bearbeitung beträgt die Größe der individuell ausgeschnittenen Strukturen zwischen 50 und 200 &mgr;m. Dementsprechend können kleine Änderungen bei den Prozessparametern, wie zum Beispiel Laserleistung, Röhrchendurchmesser etc., Defekte verursachen. Solche Defekte können beispielsweise außerhalb der Toleranzgrenzen liegende oder missgebildete Strukturen hervorrufen.

Da Stents im Herzen oder in anderen kritischen Gebieten des Blutflusses verwendet werden, kann eine Fehlfunktion des Stents lebensbedrohlich sein. Daher umfasst die Herstellung der Stents typischerweise Inspektionsmaßnahmen. Normalerweise untersucht eine menschliche Bedienungsperson die Stents mit Hilfe eines Stereomikroskops auf sichtbare Defekte. Der zylinderförmige Stent wird dabei mit Hilfe einer entsprechenden mechanischen Vorrichtung gedreht und die Bedienungsperson inspiziert abschnittsweise sowohl die Innen- als auch die Außenseite des Stents. Typische Defekte sind z.B. Abweichungen der Stentstrukturen von den Sollmaßen sowie Oberflächendefekte jeder Art wie z.B. Kontamination, Kratzer, Spitzen usw., welche für eine sichere Funktion des Stents absolut kritisch sind. Eine mehrdimensionale Inspektion wird typischerweise durch eine menschliche Bedienungsperson mittels einer Profilprojektionsvorrichtung durchgeführt. Alternativ kann diese Untersuchung auch automatisch mit Hilfe eines Bildverarbeitungssystems durchgeführt werden.

Die Probleme, die mit manuellen bzw. automatischen Inspektionsansätzen verbunden sind, sind vielfältig. Zum einen machen menschliche Fehler die visuelle Inspektion von Produkten weniger effektiv. Zum anderen ist eine manuelle Inspektion relativ langsam und auf diese Weise ein relativ kostspieliger Aspekt des Herstellungsprozesses. Des weiteren liefert eine bei der manuellen Inspektion typischerweise verwendete Profilprojektionsvorrichtung im Allgemeinen keine numerischen dimensionalen Daten, die u.U. für eine Prozesskontrolle wichtig sein könnten. Zudem werden, wenn die äußere und innere Oberfläche des Stents untersucht werden, typischerweise beide Oberflächen gleichzeitig beleuchtet, was zu Reflexen führt, die eine automatische Inspektion verhindern.

In der JP-A-2001066521 wird ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Inspektion der Innenseite eines (beschichteten) Stents beschrieben, wobei der Stent auf einen sogenannten „fiber scope" aufgeschoben wird. Die Inspektion erfolgt visuell durch einen Beobachter, ist also nicht automatisiert. Über die Beleuchtung des Stents ist nichts ausgesagt.

Die JP-A-2001070455 offenbart ein Verfahren zur Inspektion der Weite eines Musters auf der Stentoberfläche. Hierbei wird das aufgenommene Bild des Stents mit eingegebenen Referenzdaten verglichen. Auch in dieser Druckschrift ist eine Beleuchtung des Stents nicht angesprochen.

JP-A-2001074433 beschreibt ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Inspektion der äußeren Oberfläche eines Stents, ähnlich der JP-A-2001070455. Eine Beleuchtung des Stents während der Inspektion ist nicht vorgesehen.

Die US 6,606,403 B2 schließlich offenbart ein automatisches System zur Beleuchtung, Inspektion und Vermessung von Stents und anderer präzisionsgeschnittener Röhrchen und Komponenten, das aus einer elektronischen Zeilenkamera mit einer Linse, einer Lichtquelle zur Bereitstellung der notwendigen Beleuchtung, einer Spindel, auf die das Röhrchen während der Inspektion aufgespannt wird, einem drehbaren Gestell zur Drehung der Spindel und einem computerbasierten elektronischen Bilderkennungssystem besteht, das ein zeilenweises Bild des Stents liefert, wenn er sich unter der Kamera dreht. Dieses System ist jedoch lediglich in der Lage, die äußere Oberfläche des Stents zu inspizieren.

Zusammenfassung der Erfindung

Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Vorrichtung bereit zu stellen, die eine schnelle automatische Inspektion der Stent-Innen- und -außenflächen in Bezug auf Kontur- und Oberflächenfehler erlaubt.

Es ist eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Beleuchtung der zu untersuchenden Objektoberflächen bereit zu stellen, die es gestattet, die automatische Inspektion exakt durchführen zu können.

Diese und weitere Aufgaben werden durch die Vorrichtung gemäß Anspruch 1 gelöst. Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen sind in den Unteransprüchen dargelegt.

Kurze Beschreibung der Zeichnungen

Die Erfindung wird im folgenden anhand der Zeichnungen näher erläutert. Darin zeigt

1 schematisch den Aufbau der erfindungsgemäßen Vorrichtung;

2 schematisch das Prinzip der erfindungsgemäßen Vorrichtung;

3 schematisch die Halterung der zu untersuchenden Probe;

4 schematisch die Verwendung einer Mehrzahl von erfindungsgemäßen Vorrichtungen; und

5A und 5B schematisch die Verwendung einer Matrix-Kamera in der erfindungsgemäßen Vorrichtung.

Detaillierte Beschreibung eines Ausführungsbeispiels

Im Folgenden wird die Erfindung im Zusammenhang mit den beigefügten Zeichnungen am Beispiel der Inspektion eines Stents näher erläutert. Es ist dem Fachmann klar, dass die erfindungsgemäße Vorrichtung nicht auf die Beleuchtung und Inspektion von Stents beschränkt, sondern für eine Vielzahl von röhrenförmigen Objekten nutzbar ist. Es ist für den Fachmann weiterhin erkennbar, dass mittels der erfindungsgemäßen Vorrichtung sowohl unbeschichtete als auch beschichtete Proben inspiziert werden können.

Wie bereits weiter oben angemerkt, werden kardiovaskuläre Stents permanent in ein Blutgefäß eingeführt, um als Gerüst zu dienen, das eine verstopfte Arterie offen halten kann. Im Gebrauch werden Stents mittels eines Katheters in die Arterie eingebracht und typischerweise durch Aufblasen eines sehr kleinen Ballons am Ende des Katheters, auf den der Stent montiert ist, entfaltet.

Bei der Herstellung solcher Stents müssen diese sorgfältig auf etwaige Defekte kontrolliert werden. Während dieser Inspektion müssen sowohl die innere als auch die äußere Oberfläche des Stents untersucht werden. Es ist jedoch ein grundlegendes Problem, eine Beleuchtungsmethode zu finden, die es gestattet, selektiv entweder die äußere oder die innere Oberfläche innerhalb eines begrenzten Bereichs zu beleuchten. Sobald beide Seiten gleichzeitig beleuchtet werden, kommt es zu Streureflexionen, die eine exakte automatische Inspektion verhindern.

Wenn heutzutage röhrenförmige Proben, wie z.B. kardiovaskuläre Stents, untersucht werden, werden diese auf zwei drehbaren Führungsrollen platziert. Auf diese Weise kann der Stent in jede Position gebracht und von allen Seiten untersucht werden. Die Inspektion wird mittels einer Beleuchtung von außen durchgeführt, d.h., die äußere und die innere Oberfläche werden gleichzeitig beleuchtet. Demzufolge werden äußere und innere Oberfläche des Stents nacheinander scharfgestellt und der Stent inspiziert. Aufgrund der gleichzeitigen Beleuchtung beider Oberflächen treten Abbildungen mit sehr intensiven Streureflexionen auf. Dies erschwert jedoch eine reproduzierbare manuelle Inspektion und verhindert gleichzeitig eine automatische Inspektion unter Verwendung von Bildverarbeitungsalgorithmen.

Bei der vorliegenden Erfindung erfolgt die Beleuchtung der Objektoberflächen mittels einer Kombination von Dunkelfeldbeleuchtung und Durchlichtbeleuchtung. Bei der Dunkelfeldbeleuchtung, die bspw. durch die Beleuchtung mit einem Ringlicht bewerkstelligt werden kann, gelangt das direkte Licht ohne Objekt nicht in das Objektiv. Erst durch das Vorhandensein eines strukturierten Objekts mit Kanten wird das Licht gestreut und somit auf dunklem Hintergrund sichtbar. Zur stärkeren Kontrastierung der Abbildung der Stentkontur dient eine der Kamera 10 gegenüberliegende Durchlichteinheit 16, welche den Stent 4 als dunkles Objekt vor einem hellen Hintergrund abbildet und somit optimale Segmentierungsmöglichkeiten bietet. Voraussetzung für eine optimale Segmentierung in der Bildverarbeitung ist ein möglichst hoher Kontrast zwischen interessierendem Bereich und der Umgebung. Der Einsatz des Durchlichts 16 führt zu einem optimalen Kontrast, da hier nur die abschattende Wirkung der zu untersuchenden Stentstrukturen ausschlaggebend ist. Die Durchlichtbeleuchtung kann bspw. mit einer Leuchtplatte realisiert werden, es sind aber auch andere Möglichkeiten denkbar wie z.B. ein Lichtwellenleiter mit vorgesetzter Optik, ein Ringlicht, etc.

1 zeigt schematisch den Aufbau der erfindungsgemäßen Vorrichtung 2.

Um Fehler in der optischen Abbildung der Stentoberfläche zu vermeiden, wird der Stent 4 mit Hilfe einer aus zwei parallelen Walzen 6 bestehenden Drehvorrichtung vor einer Kamera 10 mit entsprechender Optik „abgewickelt". Bei der Kamera kann es sich z.B. um eine Zeilenkamera, eine CCD-Kamera, eine Matrix-Kamera oder dgl. handeln. Die Optik ist dabei so ausgelegt, dass sie die Variationen der Stentoberflächen (Formabweichung) toleriert bzw. diese durch ein Autofokussystem nachgeführt wird. Des weiteren ist insbesondere bei der Inspektion der Stentinnenfläche die Stentaußenfläche soweit wie nötig aus dem Fokusbereich gelegen. Normalerweise ist bei der Inspektion stets der Scheitelpunkt 12 des Stents 4 im Fokus der Abbildung, sowohl bei Abbildung der Innen- als auch der Außenseite.

In einem weiteren Anwendungsfall werden die Seitenflächen (Schnittkanten, Schnittflächen, Schweißkanten- und flächen) des Stents 4 zusätzlich inspiziert. Hierzu kann die zuvor beschriebene optische Anordnung relativ zu den inspizierenden Flächen positioniert werden.

In einer erweiterten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung werden parallel eine Reihe dieser optischen Anordnung zur Inspektion verwendet (vgl. 4).

In einer weiteren vorteilhaften Ausführung der erfindungsgemäßen Vorrichtung wird zur Detektion der zu untersuchenden Oberflächen eine Matrix-Kamera 19 verwendet (vgl. 5A). Hierbei wird für jeden der gesuchten Bereiche (Oberfläche, Kanten etc.) partiell eine Zeile der Matrix-Kamera 19 ausgelesen (20 bis 23 in 5B). In der Abwicklung ergibt sich somit für jeden Teilbereich des Stents ein komplettes Bild.

Die Beleuchtung der Objektoberflächen erfolgt bspw. mit Hilfe eines Ringlichtes 14, dessen Abstand und Abstrahlcharakteristik für ein sog. Dunkelfeld sorgt. Somit treten die Kanten der bei der Laserbearbeitung erzeugten Stentstege als helle Linien in dem aufgenommenen Bild hervor. Auch mögliche Defekte wie z.B. Kratzer, Erhebungen etc. auf den ansonsten glatten Stegoberflächen erzeugen in der optischen Abbildung helle Reflexionen vor dunklem Hintergrund. Sowohl die Stentkonturen als auch die Oberflächendefekte werden anschließend mittels Bildverarbeitungsalgorithmen automatisch erkannt und ausgewertet. Die Dunkelfeldbeleuchtung ist auch aufgrund der hochreflektierenden bzw. spiegelnden Stentoberfläche (resultierend aus dem bei der Herstellung angewandten Elektropolierprozess) sinnvoll. Selbstverständlich sind auch andere Möglichkeiten der Dunkelfeldbeleuchtung möglich wie zum Beispiel durch einen oder mehrere Lichtwellenleiter mit vorgesetzter Optik, welche unter einem flachen Winkel zu der Probenoberfläche ausgerichtet sind.

In einer weiteren vorteilhaften Ausführung der hier vorliegenden Erfindungsmeldung dient eine zusätzliche Auflichtbeleuchtung (z.B. Ringlicht, koaxiale Beleuchtung, etc.) zur optischen Hervorhebung (Kontrastierung) von solchen Oberflächendefekten, welche keine ausgeprägte Kantenstruktur aufweisen.

Bei der zuvor beschriebenen Art der automatisierten Inspektion liegt eine zweidimensionale Bildinformation vor, d.h., es kann zunächst nicht bei der Detektion einer Kante (z.B. einer Kante eines Defektes) unterschieden werden, ob eine Erhebung (Grat) oder eine Vertiefung (Loch) vorliegt. In einige Anwendungsfällen ist diese Unterscheidung jedoch zwingend erforderlich, um zwischen einer tolerierbaren und einer nicht-tolerierbaren Abweichung zu unterscheiden.

In einer weiteren vorteilhaften Art der Ausführung der erfindungsgemäßen Vorrichtung wird daher das im Rahmen der zweidimensionalen optischen Inspektion detektierte Ringsegment des Stents einem topographischen Sensor (z.B. einem Konfokal-Sensor, einem Interferometer, etc.) zugeführt. Durch die selektive Abtastung der Probenoberfläche im Bereich der zuvor im zweidimensionalen Bild detektierten Abweichung ergibt sich ein Signal, aus welchem die benötigte Höheninformation gewonnen werden kann. Der Vorteil der hier beschriebenen Kombination von Messverfahren liegt in der eingeschränkten Benutzung des hochgenauen und somit zeitaufwendigen Topographie-Sensors in einem zuvor mit Hilfe der schnellen 2-dimensionalen optischen Messung vorselektiertem Bereich der Probenoberfläche.

Je nach vorliegendem Defekt, z.B. einem Materialrückstand, werden verschiedene Wellenlängenbereiche des zur Beleuchtung verwendeten Lichts unterschiedlich stark reflektiert bzw. absorbiert. Durch Verwendung von Filtern, welche Licht transmittieren, welches bevorzugt von dem vorliegenden Defekt reflektiert oder absorbiert wird, wird bei der optischen Abbildung ein zur Auswertung benötigter Kontrast erreicht.

Zur Ermittlung der Abweichung der Ist- von der Sollstruktur der Stentstege können die zur Herstellung der Stege durch Laserschneiden dienenden CAD-Daten in die Inspektionssoftware eingelesen und im Weiteren als Referenz verwendet. Somit kann die erfindungsgemäße Inspektionsvorrichtung einfach an neue Stentdesigns und -dimensionen angepasst werden, ohne den ansonsten üblichen zusätzlichen Aufwand beim Anlernen der neuen Strukturen zu verursachen.

Die nach dem bisherigen Stand der Technik nicht realisierbare automatisierte Inspektion des Stentinneren wird bei der erfindungsgemäßen Inspektionsvorrichtung 2 durch eine Kombination aus der Halterung des Stents und angepasster abbildender Optik erreicht.

2 zeigt das Prinzip zur Abbildung der Stentinnenseite. Durch den Einsatz einer Optik bestehend aus einem Mikroskopobjektiv 18 mit Vergrößerung V, numerischer Apertur NA, Arbeitsabstand WD und Tiefenschärfe DoF wird die im linken Teil der Figur dargestellte Situation realisiert. Dabei ist die Tiefenschärfe des Objektivs 18 klein im Vergleich zum Durchmesser des Stents 4, d.h. zum Abstand von Innen- zu Außenseite. Die numerische Apertur des Objektives 18 wird so gewählt bzw. Eingestellt, dass der daraus resultierende Tiefenschärfebereich ausreicht, um die Variationen der Oberfläche (z.B. Höhenschlag) relativ zur Optik abbilden zu können. Gleichzeitig wird der Tiefenschärfebereich so niedrig wie möglich eingestellt, um die bei der Innenseiteninspektion darüber liegenden Stentstrukturen auszublenden (vgl. 2). Je nach Art und Lage dieser Stentstrukturen werden die Raumfrequenzen, d.h. die Winkelanteile der optischen Abbildung unterschiedlich stark blockiert oder gestreut, was im resultierenden Gesamtbild zu einer Unschärfe führt, die durch die nachfolgende Bildverarbeitung noch ausgeglichen werden kann.

Um eine hohe Qualität der Abbildung der Stentinnenseite zu erreichen, die Voraussetzung für jede Art der automatischen Inspektion ist, ist auch die zuvor angesprochene Halterung der Stents 4 von Bedeutung. Bei dem eingangs genannten Stand der Technik werden die Stents auf Spindeln gesetzt, welche zudem an den jeweiligen Stentdurchmesser angepasst sein müssen. Die Stentinnenseite ist bei dieser Art der Lagerung optisch nicht frei zugänglich, des weiteren ist die automatische Bestückung des Systems nicht einfach zu realisieren.

Durch die in 3 dargestellten Halterung der Stents 4 mittels zweier parallel zueinander angeordneten Walzen 6 werden die zur Abbildung der Stentinnenseite optimalen Bedingungen erreicht, d.h., die Halterung beeinflusst dabei weder das zur Beleuchtung verwendete Licht noch die Strahlführung der reflektierten Anteile dieses Lichts. Die Walzendurchmesser D sind möglichst klein bzw. vergleichbar zu den Stentdurchmessern gewählt, im Gegensatz zu den Spindeln nach dem Stand der Technik kann allerdings für alle gängigen Stentdurchmesser ein einziger Walzensatz verwendet werden. Der Abstand der Walzen 6 lässt sich automatisch einstellen und wird an den jeweiligen Stentdurchmesser so angepasst, dass Geometrievariationen des Stents 4 bzw. der Walzen 6 einen minimalen Einfluss auf die Fokusebene der abbildenden Optik haben. Durch diese Ausführung der Stenthalterung und -drehung gelingt es, die Stentinnenseite möglichst weit im Raum oberhalb der Walzen 6 zu lagern.

In einer weiteren vorteilhaften Ausführung der erfindungsgemäßen Vorrichtung werden zur Vermeidung des Schlupfes des Stents 4 relativ zu den Walzen 6 diese durch geeignete Mittel, wie z.B. Beschichtung, Strukturierung, d.h., Aufbringung einer Materialschicht in einer strukturierten Form, z.B. einer Gitterstruktur, etc., mit einem angepassten Reibungskoeffizienten versehen.

In einer weiteren vorteilhaften Ausführung der erfindungsgemäßen Vorrichtung werden zur Vermeidung des Schlupfes des Stents 4 relativ zu den Walzen 6 deren Oberflächen so strukturiert, dass sich zwischen Stent 4 und Walzen 6 ein Formschluss ergibt.

In einer weiteren vorteilhaften Ausführung der erfindungsgemäßen Vorrichtung werden zur Vermeidung des Schlupfes des Stents 4 relativ zu den Walzen 6 diese mit unterschiedlichen Winkelgeschwindigkeiten gedreht.

In noch einer weiteren vorteilhaften Ausführung der der erfindungsgemäßen Vorrichtung werden zur Vermeidung des Schlupfes des Stents 4 relativ zu den Walzen 6 diese so ausgeführt, dass ein von außen ausgelegter Unterdruck die Stents 4 auf der Walzenoberfläche ansaugt.

In noch einer weiteren vorteilhaften Ausführung der der erfindungsgemäßen Vorrichtung wird zur Vermeidung des Schlupfes des Stents 4 relativ zu den Walzen 6 eine Ansaugung von außen verwendet.


Anspruch[de]
  1. Vorrichtung (2) zur automatischen Beleuchtung und Inspektion von röhrenförmigen Proben (4), insbesondere Stents, mit drehbaren Mitteln (6) zur Halterung der zu inspizierenden Proben (4), einer elektronischen Kamera (10) mit zugehöriger Optik (18), einem Computer-basierten elektronischen Bildverarbeitungssystem, sowie Mitteln (14, 16) zur Beleuchtung der zu inspizierenden Probe (4), dadurch gekennzeichnet, dass die Beleuchtung der Probenoberflächen mittels einer Kombination aus Dunkelfeld- und Durchlichtbeleuchtung erfolgt.
  2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die elektronische Kamera ausgewählt ist aus der Gruppe bestehend aus Zeilenkamera, CCD-Kamera, Matrix-Kamera und dgl.
  3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Dunkelfeldbeleuchtung mittels eines Ringlichts (14) erfolgt .
  4. Vorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Durchlichtbeleuchtung durch eine der Kamera (10) gegenüber liegend unterhalb der Walzen (6) angeordnete Durchlichteinheit (16) erfolgt.
  5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Durchlichteinheit (16) aus einer Lichtplatte besteht.
  6. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Durchlichteinheit (16) aus einem Lichtwellenleiter mit vorgesetzter Optik besteht.
  7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die drehbaren Mittel (6) zur Halterung der zu inspizierenden Probe (4) aus zwei parallel zueinander angeordneten Walzen (6) bestehen.
  8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Walzen (6) so angeordnet sind, dass die Probeninnenseite möglichst weit im Raum oberhalb der Walzen liegt.
  9. Vorrichtung nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Abstand der Walzen (6) frei wählbar ist.
  10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Durchmesser der Walzen (6) vergleichbar dem Durchmesser der Probe (4) wählbar ist.
  11. Vorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zur Vermeidung des Schlupfes der Probe (4) relativ zu den Walzen (6) die Walzen (6) einen bestimmten Reibungskoeffizienten aufweisen.
  12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass zur Vermeidung des Schlupfes der Probe (4) relativ zu den Walzen (6) die Walzen mit unterschiedlichen Winkelgeschwindigkeiten drehbar sind.
  13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass zur Vermeidung des Schlupfes der Probe (4) relativ zu den Walzen (6) die Probe (4) durch einen Unterdruck auf der Walzenoberfläche ansaugbar ist.
  14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass zur Vermeidung des Schlupfes der Probe (4) relativ zu den Walzen (6) eine Ansaugung von außen verwendbar ist.
  15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass zur Vermeidung des Schlupfes der Probe (4) relativ zu den Walzen (6) deren Oberflächen so strukturiert sind, dass sich zwischen Probe (4) und Walzen (6) ein Formschluss ergibt.
  16. Vorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Probenkonturen und eventuell vorhandene Defekte der Probenoberfläche automatisch erkenn- und auswertbar sind.
  17. Vorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zur Beleuchtung der Probe (4) unterschiedliche Wellenlängen verwendbar sind.
  18. Vorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zur Ermittlung der Abweichung der Ist- von der Sollstruktur der Probe (4) die zur Herstellung der Probenstruktur dienenden CAD-Daten in die Inspektionssoftware des computer-basierten elektronischen Bildverarbeitungssystems einlesbar sind.
  19. Vorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Tiefenschärfe des Objektivs (18) klein ist im Verhältnis zum Durchmesser der Probe (4).
  20. Vorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sie zusätzlich ein Autofokussystem aufweist.
  21. Vorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Optik (18) der Kamera (10) relativ zu den zu inspizierenden Flächen der Probe (4) positionierbar ist.
  22. Vorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine Mehrzahl von parallel angeordneten optischen Anordnungen verwendbar ist.
  23. Vorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sie eine zusätzliche Auflichtbeleuchtung zur optischen Hervorhebung von Oberflächendefekten aufweist, die keine ausgeprägte Kantenstrukturen besitzen.
  24. Vorrichtung nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, dass die Auflichtbeleuchtung bspw. als koaxiale Beleuchtung ausführbar ist.
  25. Vorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sie zusätzlich einen Topographie-Sensor zur Unterscheidung und Vermessung von Erhebungen und Vertiefungen der Oberfläche der Probe (4) aufweist.
  26. Vorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sie zusätzlich einen Schichtdicken-Sensor zur Unterscheidung und Vermessung von Schichtdicken aufweist.
  27. Vorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die zu inspizierenden Proben (4) eine Beschichtung aufweisen.
Es folgen 5 Blatt Zeichnungen






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