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Dokumentenidentifikation DE102006002889A1 07.09.2006
Titel Erzeugen einer internen Referenzspannung zum Testen von integrierten Schaltkreisen
Anmelder Infineon Technologies AG, 81669 München, DE
Erfinder Haetty, Jens, Essex Junction, Vt., US
Vertreter Epping Hermann Fischer, Patentanwaltsgesellschaft mbH, 80339 München
DE-Anmeldedatum 20.01.2006
DE-Aktenzeichen 102006002889
Offenlegungstag 07.09.2006
Veröffentlichungstag im Patentblatt 07.09.2006
IPC-Hauptklasse H01L 21/66(2006.01)A, F, I, 20060523, B, H, DE
IPC-Nebenklasse H01L 23/58(2006.01)A, L, I, 20060523, B, H, DE   G11C 29/50(2006.01)A, L, I, 20060523, B, H, DE   G01R 31/28(2006.01)A, L, I, 20060523, B, H, DE   
Zusammenfassung Bei einem oder mehreren offenbarten Verfahren wird ein integrierter Schaltkreis mit einer Versorgungsspannung versorgt, der integrierte Schaltkreis wird in einen Testmodus versetzt, um einen einer Vielzahl von Referenzspannungsgeneratoren auf dem integrierten Schaltkreis auszuwählen, um einen anderen Spannungsgenerator auf dem integrierten Schaltkreis mit einer Referenzspannung zu versorgen, die wenigstens teilweise von der Versorgungsspannung abhängig ist, und der integrierte Schaltkreis wird mit der Versorgungsspannung, mit der der andere Spannungsgenerator versorgt wird, getestet. ein oder mehrere offenbarte integrierte Schaltkreise umfassen: einen ersten Spannungsgenerator auf dem integrierten Schaltkreis, um eine erste Spannung zu erzeugen, die wenigstens teilweise von einer Versorgungsspannung abhängig ist, die den integrierten Schaltkreis mit Energie versorgt, einen zweiten Spannungsgenerator auf dem integrierten Schaltkreis, um eine zweite Spannung zu erzeugen, einen dritten Spannungsgenerator auf dem integrierten Schaltkreis, um eine oder mehrere interne Spannungen anhand einer Referenzspannung zu erzeugen, und eine Steuerschaltung, um die erste Spannung zur Benutzung als Referenzspannung in einem Testmodus auszuwählen und um die zweite Spannung als Referenzspannung in einem Nicht-Testmodus auszuwählen.

Beschreibung[de]
Hintergrund Gebiet der Erfindung

Die Erfindung betrifft allgemein das Testen von integrierten Schaltkreisen.

1 zeigt einen integrierten Schaltkreis 101 gemäß dem Stand der Technik auf einem Wafer 100. Der integrierte Schaltkreis 101 weist einen Bandlückenreferenz-(band gap reference, BGR)-Spannungsgenerator 110, einen Schalter 112, einen Versorgungs- und Steuerspannungsgenerator 140, eine Speichersteuerschaltung und einen oder mehrere Speicherfelder 150, eine Steuerschaltung 130, eine Testschaltung 160, und eine Anpassungsschaltung 170 auf. Der BGR-Spannungsgenerator 110 erzeugt eine im Wesentlichen temperaturunabhängige BGR-Spannung, aus der der Versorgungs- und Steuerspannungsgenerator 140 Versorgungs- und Steuerspannungen für Speichersteuerschaltung und Speicherfeld(er) 150 erzeugt. Da die BGR-Spannung, die von dem BGR-Spannungsgenerator 110 erzeugt wird, aufgrund von beispielsweise Herstellungstoleranzen von ihrem gewünschten Zielwert abweichen kann, wird ein Tester 180 benutzt, um den integrierten Schaltkreis 101 mit Hilfe einer extern getriebenen BGR-Spannung zu testen. Diese extern getriebene BGR-Spannung kann über einen Bereich variiert werden, der den Bereich mit den Variationen aufweist, die für die BGR-Spannung erwartet werden, die von dem Generator 110 erzeugt wird. Durch das Testen des integrierten Schaltkreises in diesem Bereich (z. B, durch Schreiben und Ablesen bekannter Testdatenmuster an Speicherfeld(er) 150) kann einige Sicherheit erlangt werden, dass der integrierte Schaltkreis 101 in dem erwarteten Bereich von Spannungen fehlerfrei arbeiten wird, die intern von dem Generator 110 erzeugt werden.

Tester 180 testet den integrierten Schaltkreis 101 gemäß einem Flussdiagramm 200 aus 2. Mit Bezug auf Block 202 führt der Tester 180 eine Versorgungsspannung VDD über einen externen VDD-Anschlussflecken 103 und eine Masseversorgungsspannung VSS über einen externen VSS-Anschlussflecken 104 dem integrierten Schaltkreis 101 zur Versorgung mit Energie zu. Mit Bezug auf Block 204 führt der Tester 180 der Steuerschaltung 130 über ein oder mehrere externe Steueranschlussflecken wie z. B. Anschlussflecken 106 und 107 Steuersignale zu, um den integrierten Schaltkreis 101 in einen Testmodus zu versetzen, in dem die Steuerschaltung 130 den Schalter 112 aktiviert, um einen externen VBGR-Anschlussflecken 109 an den BGR-Spannungsgenerator 110 zu koppeln. Mit Bezug auf Block 206 treibt der Tester 180 dann eine BGR-Spannung im Wesentlichen zu einem gewünschten Zielwert durch den externen VBGR-Anschlussflecken 109 in den integrierten Schaltkreis 101 und testet mit Bezug auf Block 208 den integrierten Schaltkreis 101 mit Hilfe der extern getriebenen BGR-Spannung.

Tester 180 steuert Steuerschaltung 130, um die Testschaltung 160 zu steuern, um die Speichersteuerschaltung und Speicherfeld(er) 150 unter Benutzung der extern getriebenen BGR-Spannung zu testen, während beispielsweise bekannte Datenmuster in die Felder 150 geschrieben und zurückgelesen werden, um den Betrieb des integrierten Schaltkreises 101 unter der getriebenen BGR-Spannung zu verifizieren. In einigen Fällen kann der BGR-Spannungsgenerator 110 durch die Anpassungsschaltung 170 angepasst werden (während oder nach zusätzlichen Tests), um die intern erzeugte BGR-Spannung abzugleichen (z. B. durch das Setzen von einer oder mehreren Sicherungen).

Beim Testen von integrierten Schaltungen auf einem Wafer ist es im Allgemeinen wünschenswert, über einen hohen Grad an Parallelität zu verfügen, das heißt, die Benutzung derselben Testerressourcen für mehrere integrierte Schaltkreise auf einem Wafer. Die Anzahl der Testerkanäle, die mit jedem integrierten Schaltkreis in der Prüfung verbunden werden müssen, beschränkt allerdings den Grad an Parallelität, der erreichbar ist. Unglücklicherweise macht die Notwendigkeit, eine extern getriebene BGR-Spannung zuzuführen, einen separaten Testerkanal für jeden integrierten Schaltkreis in der Prüfung notwendig.

Kurzdarstellung

Ein oder mehrere offenbarte Verfahren zum Testen eines integrierten Schaltkreises weisen auf: Versorgen des integrierten Schaltkreises mit einer Versorgungsspannung, Versetzen des integrierten Schaltkreises in einen Testmodus, um einen einer Vielzahl von Referenzspannungsgeneratoren auf dem integrierten Schaltkreis zu wählen, um einen anderen Spannungsgenerator auf dem integrierten Schaltkreis mit einer Referenzspannung zu versorgen, die wenigstens teilweise von der Versorgungsspannung abhängig ist, und Testen des integrierten Schaltkreises mit der Referenzspannung, mit der der andere Spannungsgenerator versorgt wird.

Ein oder mehrere offenbarte integrierte Schaltkreise weisen auf: Einen ersten Spannungsgenerator auf dem integrierten Schaltkreis, um eine erste Spannung zu erzeugen, die wenigstens teilweise von einer Versorgungsspannung abhängig ist, die den integrierten Schaltkreis mit Energie versorgt, einen zweiten Spannungsgenerator auf dem integrierten Schaltkreis, um eine zweite Spannung zu erzeugen, einen dritten Spannungsgenerator, um anhand einer Referenzspannung eine oder mehrere interne Spannungen zu erzeugen, und eine Steuerschaltung, um die erste Spannung zur Benutzung als Referenzspannung in einem Testmodus zu wählen und die zweite Spannung zur Benutzung als Referenzspannung in einem Nicht-Testmodus zu wählen.

Ein oder mehrere offenbarte Systeme weisen auf: Einen Wafer mit integrierten Schaltkreisen, von denen einer oder mehrere einen ersten Spannungsgenerator aufweisen, um eine erste Spannung zu erzeugen, die wenigstens teilweise von einer Versorgungsspannung abhängig ist, einen zweiten Spannungsgenerator, um eine zweite Spannung zu erzeugen, einen dritten Spannungsgenerator, um anhand einer Referenzspannung eine oder mehrere interne Spannungen zu erzeugen, und eine Steuerschaltung, um die erste Spannung zur Benutzung als Referenzspannung in einem Testmodus zu wählen und die zweite Spannung zur Benutzung als Referenzspannung in einem Nicht-Testmodus zu wählen. Ein oder mehrere offenbarte Systeme weisen außerdem einen Tester auf, um einen oder mehrere integrierte Schaltkreise mit der Versorgungsspannung zu versorgen, um einen oder mehrere integrierte Schaltkreise in einen Testmodus zu versetzen, und um einen oder mehrere integrierte Schaltkreise zu testen, wobei die erste Spannung als die Referenzspannung benutzt wird.

Kurze Beschreibung der Figuren

Damit die oben genannten Merkmale der vorliegenden Erfindung genau nachvollzogen werden können, steht eine genauere Beschreibung der Erfindung, die oben kurz zusammengefasst wurde, unter Bezugnahme auf Ausführungsformen, von denen einige in den beiliegenden Figuren dargestellt sind, zur Verfügung, Es sollte allerdings beachtet werden, dass die beiliegenden Figuren nur typische Ausführungsformen dieser Erfindung darstellen und deshalb nicht als deren Umfang begrenzend zu betrachten sind, da die Erfindung andere ebenso effektive Ausführungsformen zulassen kann.

1 zeigt einen dem Stand der Technik entsprechenden integrierten Schaltkreis, der eine extern getriebene Referenzspannung zum Testen benutzt;

2 zeigt ein dem Stand der Technik entsprechendes Flussdiagramm zum Testen eines integrierten Schaltkreises mit Hilfe einer extern getriebenen Referenzspannung;

3 zeigt einen beispielhaften integrierten Schaltkreis gemäß einer oder mehrerer Ausführungsformen mit einem internen Referenzspannungsgenerator zum Testen;

4 zeigt eine Schaltung gemäß einer oder mehrerer Ausführungsformen für einen internen Referenzspannungsgenerator zum Erzeugen einer Referenzspannung; und

5 zeigt ein Flussdiagramm gemäß einer oder mehrerer Ausführungsformen zum Testen eines integrierten Schaltkreises mit einem internen Referenzspannungsgenerator.

Genaue Beschreibung

Ausführungsformen der Erfindung sehen allgemein das Testen eines integrierten Schaltkreises mit Hilfe einer intern erzeugten Referenzspannung vor, um dabei behilflich zu sein, die Notwendigkeit zu vermeiden, einen separaten Testerkanal zu benutzen, der eine extern getriebene Referenzspannung bereitstellt. Auf diese Weise kann der Grad an Parallelität, mit der die integrierten Schaltkreise auf einem Wafer für eine oder mehrere Ausführungsformen getestet werden können, erhöht werden. Alternativ kann der frei gewordene Testerkanal für eine oder mehrere Ausführungsformen zu einem anderen Zweck benutzt werden.

3 zeigt einen integrierten Schaltkreis 301 auf einem Wafer 300. Der integrierte Schaltkreis 301 weist auf: Einen Betriebsmodus-Bandlückenreferenz-(band gap reference, BGR)-Spannungsgenerator 310 zum Erzeugen einer BGR-Spannung zur Benutzung durch den integrierten Schaltkreis 301 in einem Betriebsmodus, einen Testmodus-BGR-Spannungsgenerator 320 zum Erzeugen einer BGR-Spannung zur Benutzung durch den integrierten Schaltkreis 301 in einem Testmodus, und eine Steuerschaltung 330, um das Setzen des integrierten Schaltkreises 301 in den Betriebsmodus oder den Testmodus zu unterstützen. Obwohl als ein Betriebsmodus-BGR-Spannungsgenerator 310 beschrieben, kann der Betriebsmodus-BGR-Spannungsgenerator 310 bei einer oder mehreren Ausführungsformen in jedem geeigneten Nicht-Testmodus benutzt werden. Der integrierte Schaltkreis 301 kann bei einer oder mehreren Ausführungsformen, wie in 3 dargestellt, auch einen Versorgungs- und Steuerspannungsgenerator 340 und Speichersteuerschaltung und Speicherfeld er) 350 aufweisen. Der Betriebsmodus-BGR-Spannungsgenerator 310 kann angekoppelt sein, um den Versorgungs- und Steuerspannungsgenerator 340 mit einer BGR-Spannung zu versorgen, wenn der integrierte Schaltkreis 301 in einem Betriebsmodus ist, und der Testmodus-BGR-Spannungsgenerator 320 kann angekoppelt sein, um den Versorgungs- und Steuerspannungsgenerator 340 mit einer BGR-Spannung zu versorgen, wenn der integrierte Schaltkreis 301 in einem Testmodus ist. Bei einer oder mehreren Ausführungsformen kann der Versorgungs- und Steuerspannungsgenerator 340 anhand der zugeführten BGR-Spannung für die Speichersteuerschaltung und Speicherfeld(er) 350 jede geeignete – eine oder mehrere – interne Versorgungsspannung und/oder jede geeignete – eine oder mehrere – interne Steuerspannung erzeugen, einschließlich beispielsweise einer oder mehrerer interner Steuerspannungen. Obwohl als Versorgungs- und Steuerspannungsgenerator 340 zum Erzeugen interner Spannungen anhand einer BGR-Spannung für Speichersteuerschaltung und Speicherfeld er) 350 aufweisend beschrieben, kann der integrierte Schaltkreis 301 gemäß einer oder mehrerer Ausführungsformen jeden geeigneten – einen oder mehrere – Spannungsgenerator zum Erzeugen jeder geeigneten – einer oder mehrerer – internen Spannung für jede geeignete Schaltung anhand einer zugeführten BGR-Spannung aufweisen.

Der Betriebsmodus-BGR-Spannungsgenerator 310 kann jede zum Erzeugen einer BGR-Spannung geeignete Schaltung aufweisen. Bei einer oder mehreren Ausführungsformen kann der Betriebsmodus-BGR-Spannungsgenerator 310 im Wesentlichen temperaturunabhängig sein. Das heißt, der Betriebsmodus-BGR-Spannungsgenerator 310 kann eine im Wesentlichen konstante BGR-Spannung mit relativ minimaler Abweichung von einem gewünschten Zielwert trotz Schwankungen innerhalb eines Betriebstemperaturbereichs erzeugen. Bei einer oder mehreren Ausführungsformen kann der Betriebsmodus-BGR-Spannungsgenerator 310 im Wesentlichen versorgungsspannungsunabhängig sein. Das heißt, der Betriebsmodus-BGR-Spannungsgenerator 310 kann eine im Wesentlichen konstante BGR-Spannung mit relativ minimierter Abweichung von einem gewünschten Zielwert trotz Schwankungen innerhalb eines Betriebstemperaturbereichs einer Versorgungsspannung erzeugen, die zugeführt wird, um den integrierten Schaltkreis 301 mit Energie zu versorgen.

Da die von dem Betriebsmodus-BGR-Spannungsgenerator 310 erzeugte BGR-Spannung beispielsweise aufgrund von Herstellungstoleranzen von ihrem gewünschten Zielbereich abweichen kann, kann der integrierte Schaltkreis 301 bei einer oder mehreren Ausführungsformen einen Testmodus-BGR-Spannungsgenerator 320 benutzen, um eine BGR-Spannung zu erzeugen, die beim Testen des integrierten Schaltkreises 301 im Wesentlichen bei einem gewünschten Zielwert liegt, um dabei behilflich zu sein, festzustellen, wie der Betriebsmodus-BGR-Spannungsgenerator 310 anzupassen ist. Bei einer oder mehreren Ausführungsformen kann der integrierte Schaltkreis 301, wie in 3 dargestellt, eine Testschaltung 360 aufweisen, um den integrierten Schaltkreis 301 zu testen. Bei einer oder mehreren Ausführungsformen kann der integrierte Schaltkreis 301, wie in 3 dargestellt, eine Anpassungsschaltung 370 aufweisen, um den Betriebsmodus-BGR-Spannungsgenerator 310 anzupassen.

Testmodus-BGR-Spannungsgenerator

Bei einer oder mehreren Ausführungsformen kann der Testmodus-BGR-Spannungsgenerator 320 eine BGR-Spannung erzeugen, die wenigstens teilweise von einer Versorgungsspannung abhängig ist, die zugeführt wird, um den integrierten Schaltkreis 301 mit Energie zu versorgen. Bei einer oder mehreren Ausführungsformen kann die Versorgungsspannung angepasst werden, um bei der Einstellung des Werts der BGR-Spannung behilflich zu sein, die von dem Testmodus-BGR-Spannungsgenerator 320 erzeugt wird. Der Testmodus-BGR-Spannungsgenerator 320 kann jede geeignete Schaltung aufweisen. Bei einer oder mehreren Ausführungsformen kann der Testmodus-BGR-Spannungsgenerator 320, wie in 3 dargestellt, einen Spannungsteiler 322 aufweisen, der zwischen einen ersten Versorgungsspannungsknoten, wie beispielsweise einen externen VDD-Anschlussflecken 303, und einen zweiten Versorgungsspannungsknoten, wie beispielsweise einen externen VSS-Anschlussflecken 304, gekoppelt ist. Durch Steuern der Spannungen an dem ersten und dem zweiten Versorgungsspannungsknoten sowie der Temperatur, bei der der integrierte Schaltkreis 301 getestet wird, kann der Spannungsteiler 322 benutzt werden, um eine BGR-Spannung zu erzeugen, die an einem BGR-Spannungsknoten 321 im Wesentlichen einen gewünschten Zielwert aufweist.

Der Spannungsteiler 322 kann dazu ausgestattet sein, um anhand der Spannungsdifferenz zwischen dem ersten und dem zweiten Versorgungsspannungsknoten jede geeignete BGR-Spannung zu erzeugen, und kann unter Benutzung jeder geeigneten Schaltungskomponente implementiert werden. Bei einer oder mehreren Ausführungsformen, in denen die von dem Betriebsmodus-BGR-Spannungsgenerator 310 erzeugte BGR-Spannung von den Vorrichtungsparametern von relativ mehr Schaltungskomponenten abhängt als die BGR-Spannung, die von dem Testmodus-BGR-Spannungsgenerator 320 erzeugt wird, kann der Testmodus-BGR-Spannungsgenerator 320 dazu ausgestattet sein, um eine BGR-Spannung mit einer im Verhältnis zu der des Betriebsmodus-BGR-Spannungsgenerators 310 kleineren Verteilung zu erzeugen. Da die von dem Spannungsteiler 322 erzeugte BGR-Spannung von den Spannungen des ersten und des zweiten Versorgungsspannungsknotens abhängig ist, kann die Spannung an dem ersten und/oder zweiten Versorgungsspannungsknoten variiert werden, um bei der Einstellung der BGR-Spannung im Wesentlichen auf einen oder mehrere Zielwerte zum Testen behilflich zu sein.

Bei einer oder mehreren Ausführungsformen kann der Testmodus-BGR-Spannungsgenerator 320, wie in 3 dargestellt, einen Schalter 324 aufweisen, der zwischen einen BGR-Spannungsknoten 311, an dem der Betriebsmodus-BGR-Spannungsgenerator 310 eine BGR-Spannung erzeugt, und BGR-Spannungsknoten 321 gekoppelt ist, und er kann einen Schalter 325 aufweisen, der zwischen den ersten Versorgungsspannungsknoten und Spannungsteiler 322 gekoppelt ist. Bei einer oder mehreren Ausführungsformen kann die Steuerschaltung 330 angekoppelt sein, um Schalter 324 zu aktivieren und Schalter 325 zu deaktivieren, wenn der integrierte Schaltkreis 301 in einen Betriebsmodus versetzt wird, um den Versorgungs- und Steuerspannungsgenerator 340 mit einer BGR-Spannung von Betriebsmodus-BGR-Spannungsgenerator 310 zu versorgen. Bei einer oder mehreren Ausführungsformen kann die Steuerschaltung 330 angekoppelt sein, um Schalter 324 zu deaktivieren und Schalter 325 zu aktivieren, wenn der integrierte Schaltkreis 301 in einen Testmodus versetzt wird, um Versorgungs- und Steuerspannungsgenerator 340 mit einer BGR-Spannung von dem Testmodus-BGR-Spannungsgenerator 320 zu versorgen. Die Schalter 324 und 325 können unter Benutzung aller geeigneten Schaltungskomponenten implementiert sein. Bei einer oder mehreren Ausführungsformen kann der Schalter 325 einen Teil von Spannungsteiler 322 bilden.

Bei einer oder mehreren Ausführungsformen kann der Testmodus-BGR-Spannungsgenerator 320 jede geeignete Schaltung aufweisen, um bei der Bereitstellung einer variablen BGR-Spannung anhand einer gegebenen Versorgungsspannung, die zugeführt wird, um den integrierten Schaltkreis 301 mit Energie zu versorgen, behilflich zu sein. Auf diese Weise kann bei einer oder mehreren Ausführungsformen der Testmodus-BGR-Spannungsgenerator 320 benutzt werden, um den integrierten Schaltkreis 301 mit Hilfe von verschiedenen BGR-Spannungen zu testen, um dabei behilflich zu sein, Variationen in der von Betriebsmodus-BGR-Spannungsgenerator 310 erzeugten BGR-Spannung, nachdem er angepasst wurde, zu antizipieren, und/oder, um dabei behilflich zu sein, extreme BGR-Spannungsbedingungen zu antizipieren. Bei einer oder mehreren Ausführungsformen kann der Testmodus-BGR-Spannungsgenerator 320 einen variablen Spannungsteiler aufweisen.

Als ein Beispiel, wie in 4 dargestellt, kann Testmodus-BGR-Spannungsgenerator 320 eine Vielzahl von Spannungsteiler 427, 428 und 429 aufweisen, die selektiv zwischen einen ersten Versorgungsspannungsknoten, wie beispielsweise den externen VDD-Anschlussflecken 303, und einen zweiten Versorgungsspannungsknoten, wie beispielsweise den externen VSS-Anschlussflecken 304, gekoppelt sind. Die Vielzahl von Spannungsteilern 427, 428 und 429 weisen unterschiedliche Ausgangsspannungen auf. Durch Steuern der Spannungen an dem ersten und zweiten Versorgungsspannungsknoten und der Temperatur, bei der der integrierte Schaltkreis 301 getestet wird, und durch Auswählen von einem der Vielzahl von Spannungsteilern 427, 428 und 429 kann der Testmodus-BGR-Spannungsgenerator 320 benutzt werden, um eine BGR-Spannung zu erzeugen, die im Wesentlichen den gewünschten von einer Vielzahl von Zielwerten an einem BGR-Spannungsknoten 421 aufweist. Die Spannungsteiler 427, 428 und 429 können dazu ausgestattet sein, um anhand der Spannungsdifferenz zwischen dem ersten und zweiten Versorgungsspannungsknoten jede geeignete BGR-Spannung zu erzeugen, und können unter Benutzung aller geeigneten Schaltungskomponenten implementiert sein. Da die BGR-Spannung, die von einem ausgewählten Spannungsteiler 427, 428 oder 429 erzeugt wird, von den Spannungen an dem ersten und zweiten Versorgungsspannungsknoten abhängt, kann die Spannung an dem ersten und zweiten Versorgungsspannungsknoten variiert werden, um bei der Einstellung der BGR-Spannung im Wesentlichen auf einen oder mehrere gewünschte Zielwerte zum Testen behilflich zu sein.

Der Testmodus-BGR-Spannungsgenerator 320 kann jede geeignete Schaltung aufweisen, um einen der Vielzahl von Spannungsteilern 427, 428 und 429 auszuwählen. Bei einer oder mehreren Ausführungsformen kann der Testmodus-BGR-Spannungsgenerator 320, wie in 4 dargestellt, einen Schalter 424, der zwischen BGR-Spannungsknoten 311 und BGR-Spannungsknoten 421 gekoppelt ist, einen Schalter 425, der zwischen den ersten Versorgungsspannungsknoten und jeden Spannungsteiler 427, 428 und 429 gekoppelt ist, und einen Schalter 426, der zwischen den zweiten Versorgungsspannungsknoten und jeden Spannungsteiler 427, 428 und 429 gekoppelt ist, aufweisen. Bei einer oder mehreren Ausführungsformen kann die Steuerschaltung 330 angekoppelt sein, um den Schalter 424 zu aktivieren und die Schalter 425 und 426 zu deaktivieren, wenn der integrierte Schaltkreis 301 in einen Betriebsmodus versetzt wird, um Versorgungs- und Steuerspannungsgenerator 340 mit einer BGR-Spannung von dem Betriebsmodus-BGR-Spannungsgenerator 310 zu versorgen. Bei einer oder mehreren Ausführungsformen kann die Steuerschaltung 330 angekoppelt sein, um Schalter 424 zu deaktivieren und die Schalter 425 und 426 zu aktivieren, um einen der Spannungsteiler 427, 428 und 429 auszuwählen, wenn der integrierte Schaltkreis 301 in einen Testmodus versetzt wird, um den Versorgungs- und Steuerspannungsgenerator 340 mit einer BGR-Spannung von dem Testmodus-BGR-Spannungsgenerator 320 zu versorgen. Bei einer oder mehreren Ausführungsformen kann die Steuerschaltung 330 ein oder mehrere programmierbare Register 432 aufweisen, die eingestellt sein können, um die Schalter 424, 425 und/oder 426 zu steuern. Die Schalter 424, 425 und 426 können unter Benutzung jeder geeigneten Schaltungskomponente implementiert sein. Bei einer oder mehreren Ausführungsformen können Schalter 425 und/oder 426 einen Teil der Spannungsteiler 427, 428 und/oder 429 bilden.

Testen von IC unter Benutzung des Testmodus-BGR-Spannungsgenerators

Der integrierte Schaltkreis 301 kann in jeder geeigneten Weise mit Hilfe einer BGR-Spannung getestet werden, die von Testmodus-BGR-Spannungsgenerators 320 erzeugt wird, um dabei behilflich zu sein, festzustellen, wie Betriebsmodus-BGR-Spannungsgenerator 310 anzupassen ist. Bei einer oder mehreren Ausführungsformen kann der integrierte Schaltkreis 301 mit Hilfe eines Testers 380, wie in 3 dargestellt, gemäß einem Flussdiagramm 500 aus 5 getestet werden.

Mit Bezug auf Block 502 aus 5 führt der Tester 380 eine Versorgungsspannung zur Versorgung des integrierten Schaltkreises 301 mit Energie zu. Bei einer oder mehreren Ausführungsformen kann der Tester 380 über wenigstens den externen VDD-Anschlussflecken 303 eine Versorgungsspannung VDD und über wenigstens den externen Anschlussflecken VSS 304 eine Referenzversorgungsspannung VSS, wie z. B. eine Masseversorgungsspannung, zur Versorgung des integrierten Schaltkreises 301 mit Energie zuführen.

Mit Bezug auf Block 504 versetzt der Tester 380 den integrierten Schaltkreis 301 in einen Testmodus, um einen Testmodus-BGR-Spannungsgenerator 320 auszuwählen, um eine BGR-Spannung für den integrierten Schaltkreis 301 zu erzeugen. Bei einer oder mehreren Ausführungsformen kann der Tester 380 der Steuerschaltung 330 über ein oder mehrere externe Steueranschlussflecken, wie z. B. Anschlussflecken 306 und 307, Steuersignale zuführen, um den integrierten Schaltkreis 301 in einen Testmodus zu versetzen, um Testmodus-BGR-Spannungsgenerator 320 auszuwählen, um Versorgungs- und Steuerspannungsgenerator 340 mit einer BGR-Spannung zu versorgen, die wenigstens teilweise von der Versorgungsspannung VDD und/oder der Versorgungsspannung VSS abhängig ist. Der Tester 380 kann jedes geeignete Steuersignal über jeden geeigneten – einen oder mehrere – externe Steueranschlussflecken zuführen, um den integrierten Schaltkreis 301 in geeigneter Weise in einen Testmodus zu versetzen. Bei einer oder mehreren Ausführungsformen kann der Tester 380 wahlweise die Versorgungsspannung VDD und/oder die Versorgungsspannung VSS anpassen, um bei der Einstellung der BGR-Spannung im Wesentlichen auf den gewünschten Zielwert behilflich zu sein.

Mit Bezug auf Block 506 kann Tester 380 wahlweise Testmodus-BGR-Spannungsgenerator 320 einstellen, um bei der Einstellung der BGR-Spannung behilflich zu sein. Wenn Testmodus-BGR-Spannungsgenerator 320 eine Vielzahl Spannungsteilern 427, 428 und 429 aufweist, wie in 4 dargestellt, kann bei einer oder mehreren Ausführungsformen der Tester 380 einen der Spannungsteiler 427, 428 und 429 auswählen, um eine BGR-Spannung zu erzeugen, die im Wesentlichen den gewünschten Zielwert aufweist.

Bei einer oder mehreren Ausführungsformen kann der Tester 380 den Testmodus-BGR-Spannungsgenerator 320 einstellen, um die BGR-Spannung grob um einen gewünschten Zielwert herum einzustellen, und die Versorgungsspannung VDD und/oder die Versorgungsspannung VSS einstellen, um die BGR-Spannung genauer im Wesentlichen auf den gewünschten Zielwert einzustellen.

Mit Bezug auf Block 508 testet Tester 380 den integrierten Schaltkreis 301 unter Benutzung der BGR-Spannung, die von dem Testmodus-BGR-Spannungsgenerator 320 erzeugt wird. Bei einer oder mehreren Ausführungsformen kann der Tester 380 die Steuerschaltung 330 steuern, um die Testschaltung 360 zu steuern, um Speichersteuerschaltung und Speicherfeld er) 350 unter Benutzung der BGR-Spannung zu testen, die von Testmodus-BGR-Spannungsgenerator 320 erzeugt wird. Während dieses Tests können Datenmuster in Felder 350 geschrieben und davon abgelesen werden. Die Datenmuster, die von den Feldern 350 abgelesen werden, können mit Datenmustern verglichen werden, die in die Felder 350 geschrieben wurden, um zu verifizieren, dass der integrierte Schaltkreis 301 über den gesamten erwarteten Bereich von intern erzeugten BGR-Spannungen fehlerfrei arbeitet.

In einigen Fällen (während zusätzlicher Tests oder danach) kann Betriebsmodus-BGR-Spannungsgenerator 310 von Anpassungsschaltung 370 angepasst werden. Beispielsweise kann bei einer oder mehreren Ausführungsformen der Tester 380 die Steuerschaltung 330 steuern, um die Anpassungsschaltung 370 zu steuern, um Betriebsmodus-BGR-Spannungsgenerator 310 anzupassen. Bei einer oder mehreren Ausführungsformen kann die Testschaltung 360 angekoppelt sein, um die Anpassungsschaltung 370 zu steuern, um den Betriebsmodus-BGR-Spannungsgenerator 310 anzupassen (z. B. durch Setzen von einer oder mehreren Sicherungen).

In jedem Fall kann der integrierte Schaltkreis 301 nach dem Testen in einen Betriebsmodus versetzt werden, um Betriebsmodus-BGR-Spannungsgenerator 310 zu wählen, um Versorgungs- und Steuerspannungsgenerator 340 mit einer BGR-Spannung zu versorgen. Bei einer oder mehreren Ausführungsformen kann Tester 380 über einen oder mehrere Steueranschlussflecken, wie z. B. Anschlussflecken 306 und 307, die Steuerschaltung 330 mit Steuersignalen versorgen, um den integrierten Schaltkreis 301 in einen Betriebsmodus zu versetzen. Bei einer oder mehreren Ausführungsformen kann der integrierte Schaltkreis 301 auch jede Schaltung aufweisen, die geeignet ist, um den integrierten Schaltkreis 301 automatisch nach dem Einschalten und/oder Neustarten in einen Betriebsmodus zu versetzen.

Obwohl in Zusammenhang mit dem Testen des integrierten Schaltkreises 301 beschrieben, kann der Tester 380 bei einer oder mehreren Ausführungsformen mehrere integrierte Schaltkreise auf dem Wafer 300 gemäß Flussdiagramm 500 aus 5 testen. Da Tester 380 also integrierte Schaltkreise auf Wafer 300 testen kann, ohne einen Testerkanal zu benutzen, der eine extern getriebene Referenzspannung bereitstellt, kann der Grad an Parallelität, mit der die integrierten Schaltkreise auf Wafer 300 getestet werden können, bei einer oder mehreren Ausführungsformen erhöht werden. Alternativ kann der frei gewordene Testerkanal bei einer oder mehreren Ausführungsformen zu anderen Zwecken benutzt werden.

Schluss

Ausführungsformen der Erfindung, die allgemein das Testen von integrierten Schaltkreisen unter Benutzung einer intern erzeugten Referenzspannung vorsieht, um das Benutzen eines Testerkanals zu vermeiden, der eine extern getriebene Referenzspannung bereitstellt, sind auf diese Weise beschrieben worden. Während die obigen Angaben auf solche Ausführungsformen abzielen, können andere und weitere Ausführungsformen der Erfindung erdacht werden, ohne von dem Grundumfang derselben abzuweichen, wobei der Grundumfang derselben durch die nachfolgenden Ansprüche bestimmt ist.


Anspruch[de]
  1. Verfahren zum Testen eines integrierten Schaltkreises, umfassend:

    – Versorgen des integrierten Schaltkreises mit einer Versorgungsspannung;

    – Versetzen des integrierten Schaltkreises in einen Testmodus, um einen einer Vielzahl von Referenzspannungsgeneratoren auf dem integrierten Schaltkreis auszuwählen, um einen anderen Spannungsgenerator auf dem integrierten Schaltkreis mit einer Referenzspannung zu versorgen, die wenigstens teilweise von der Versorgungsspannung abhängig ist; und

    – Testen des integrierten Schaltkreises mit der Referenzspannung, mit der der andere Spannungsgenerator versorgt wird.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, ferner umfassend:

    Anpassen der Versorgungsspannung, um bei der Einstellung der Referenzspannung behilflich zu sein.
  3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, ferner umfassend:

    Einstellen des gewählten Referenzspannungsgenerators, um bei der Einstellung der Referenzspannung behilflich zu sein.
  4. Verfahren nach Anspruch 1 bis 3, ferner umfassend:

    Anpassen eines nicht ausgewählten der Referenzspannungsgeneratoren in Reaktion auf das Testen.
  5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, ferner umfassend:

    Versetzen des integrierten Schaltkreises in einen Betriebsmodus, um einen im Wesentlichen temperaturunabhängigen der Vielzahl von Referenzspannungsgeneratoren auf dem integrierten Schaltkreis auszuwählen, um den anderen Spannungsgenerator auf dem integrierten Schaltkreis mit einer Referenzspannung zu versorgen.
  6. Verfahren zum Testen eines integrierten Schaltkreises, umfassend:

    – Versorgen des integrierten Schaltkreises mit einer Versorgungsspannung;

    – Versetzen des integrierten Schaltkreises in einen Testmodus, um einen einer Vielzahl von Referenzspannungsgeneratoren auf dem integrierten Schaltkreis auszuwählen, um einen anderen Spannungsgenerator auf dem integrierten Schaltkreis mit einer Referenzspannung zu versorgen, die wenigstens teilweise von der Versorgungsspannung abhängig ist, wobei der ausgewählte Referenzspannungsgenerator einen oder mehrere Spannungsteiler aufweist, die an die Versorgungsspannung gekoppelt sind; und

    – Testen des integrierten Schaltkreises mit der Referenzspannung, mit der der andere Spannungsgenerator versorgt wird.
  7. Verfahren nach Anspruch E, ferner umfassend:

    Anpassen der Versorgungsspannung, um bei der Einstellung der Referenzspannung behilflich zu sein.
  8. Verfahren nach Anspruch 6 oder 7, ferner umfassend:

    Auswählen von einem einer Vielzahl von Spannungsteilern, um die Referenzspannung zu erzeugen.
  9. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 8, ferner umfassend:

    Anpassen eines nicht ausgewählten der Referenzspannungsgeneratoren in Reaktion auf das Testen.
  10. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 9, ferner umfassend:

    Versetzen des integrierten Schaltkreises in einen Betriebsmodus, um einen im Wesentlichen temperaturunabhängigen von der Vielzahl von Referenzspannungsgeneratoren auf dem integrierten Schaltkreis auszuwählen, um den anderen Spannungsgenerator auf dem integrierten Schaltkreis mit einer Referenzspannung zu versorgen.
  11. Integrierter Schaltkreis, umfassend:

    – Einen ersten Spannungsgenerator auf dem integrierten Schaltkreis, um eine erste Spannung zu erzeugen, die wenigstens teilweise abhängig ist von einer Versorgungsspannung, die den integrierten Schaltkreis mit Energie versorgt;

    einen zweiten Spannungsgenerator auf dem integrierten Schaltkreis, um eine zweite Spannung zu erzeugen;

    einen dritten Spannungsgenerator auf dem integrierten Schaltkreis, um eine oder mehrere interne Spannungen anhand einer Referenzspannung zu erzeugen; und

    eine Steuerschaltung, um die erste Spannung zur Benutzung als Referenzspannung in einem Testmodus auszuwählen, und um die zweite Spannung zur Benutzung als Referenzspannung in einem Nicht-Testmodus auszuwählen.
  12. Integrierter Schaltkreis nach Anspruch 11, wobei der zweite Spannungsgenerator eine zweite Spannung erzeugen soll, die im Wesentlichen temperaturunabhängig ist.
  13. Integrierter Schaltkreis nach Anspruch 11, wobei der zweite Spannungsgenerator eine zweite Spannung erzeugen soll, die im Wesentlichen über einen Betriebsbereich der Versorgungsspannung hinweg konstant ist.
  14. Integrierter Schaltkreis nach Anspruch 11 bis 13, ferner umfassend:

    – eine Speicherschaltung,

    – wobei der dritte Spannungsgenerator eine oder mehrere interne Spannungen für die Speicherschaltung anhand der Referenzspannung erzeugen soll.
  15. Integrierter Schaltkreis nach Anspruch 11 bis 14, ferner umfassend:

    eine Anpassungsschaltung zum Anpassen des zweiten Spannungsgenerators.
  16. Speichervorrichtung, umfassend:

    – eine Speicherschaltung,

    – einen ersten Spannungsgenerator auf dem integrierten Schaltkreis, um eine erste Spannung zu erzeugen, die wenigstens teilweise von einer Versorgungsspannung abhängig ist, die den integrierten Schaltkreis mit Energie versorgt, wobei der erste Spannungsgenerator einen oder mehrere Spannungsteiler umfasst;

    – einen zweiten Spannungsgenerator auf dem integrierten Schaltkreis, um eine zweite Spannung zu erzeugen;

    – einen dritten Spannungsgenerator auf dem integrierten Schaltkreis, um eine oder mehrere interne Spannungen anhand einer Referenzspannung zu erzeugen, die der Speicherschaltung zugeführt werden sollen; und

    – eine Steuerschaltung, um die erste Spannung zur Benutzung als Referenzspannung in einem Testmodus auszuwählen, und um die zweite Spannung zur Benutzung als Referenzspannung in einem Nicht-Testmodus auszuwählen.
  17. Integrierter Schaltkreis nach Anspruch 16, wobei der erste Spannungsgenerator eine Vielzahl von Spannungsteilern mit unterschiedlichen Ausgangsspannungen aufweist.
  18. Integrierter Schaltkreis nach Anspruch 16 oder 17, wobei die Steuerschaltung ein oder mehrere Register aufweist, um einen einer Vielzahl von Spannungsteilern auszuwählen, um die erste Spannung zu erzeugen.
  19. Integrierter Schaltkreis nach einem der Ansprüche 16 bis 18, wobei der zweite Spannungsgenerator eine zweite Spannung erzeugen soll, die im Wesentlichen temperaturunabhängig ist.
  20. Integrierter Schaltkreis nach einem der Ansprüche 16 bis 18, wobei der zweite Spannungsgenerator eine zweite Spannung erzeugen soll, die im Wesentlichen über einen Betriebsbereich der Versorgungsspannung hinweg konstant ist.
  21. Integrierter Schaltkreis, umfassend:

    – Mittel zum Erzeugen von einer oder mehreren internen Spannungen anhand einer Referenzspannung;

    – Mittel zum Erzeugen einer ersten Spannung, die wenigstens teilweise abhängig ist von einer Versorgungsspannung, die den integrierten Schaltkreis mit Energie versorgt, zur Benutzung als Referenzspannung, wenn der integrierte Schaltkreis sich in einem Testmodus befindet; und

    – Mittel zum Erzeugen einer zweiten Spannung zur Benutzung als Referenzspannung, wenn der integrierte Schaltkreis sich in einem Nicht-Testmodus befindet.
  22. Integrierter Schaltkreis nach Anspruch 21, ferner umfassend:

    Ein Mittel zum Anpassen der zweiten Spannung.
  23. System, umfassend:

    – einen Wafer mit integrierten Schaltkreisen, von denen einer oder mehrere einen ersten Spannungsgenerator aufweisen, um eine erste Spannung zu erzeugen, die wenigstens teilweise abhängig ist von einer Versorgungsspannung, einen zweiten Spannungsgenerator, um eine zweite Spannung zu erzeugen, einen dritten Spannungsgenerator, um eine oder mehrere interne Spannungen anhand einer Referenzspannung zu erzeugen, und eine Steuerschaltung, um die erste Spannung zur Benutzung als Referenzspannung in einem Testmodus auszuwählen, und um die zweite Spannung zur Benutzung als Referenzspannung in einem Nicht-Testmodus auszuwählen; und

    – einen Tester, um einen oder mehrere integrierte Schaltkreise mit der Versorgungsspannung zu versorgen, um einen oder mehrere integrierte Schaltkreise in einen Testmodus zu versetzen, und um einen oder mehrere integrierte Schaltkreise mit der ersten Spannung, die als Referenzspannung benutzt wird, zu testen.
  24. System nach Anspruch 23, wobei der Tester die Versorgungsspannung anpassen soll, um bei der Einstellung der ersten Spannung behilflich zu sein.
  25. System nach Anspruch 23, wobei der Tester den ersten Spannungsgenerator einstellen soll, um bei der Einstellung der ersten Spannung behilflich zu sein.
  26. System nach einem der Ansprüche 23 bis 25, wobei der erste Spannungsgenerator einen oder mehrere Spannungsteiler umfasst.
  27. System nach einem der Ansprüche 23 bis 26, wobei ein oder mehrere integrierte Schaltkreise eine Speicherschaltung aufweisen und wobei der dritte Spannungsgenerator anhand der Referenzspannung eine oder mehrere interne Spannungen für die Speicherschaltung erzeugen soll.
  28. System nach einem der Ansprüche 23 bis 27, wobei ein oder mehrere integrierte Schaltkreise eine Anpassungsschaltung aufweisen, um den zweiten Spannungsgenerator anzupassen.
Es folgen 5 Blatt Zeichnungen






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