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Dokumentenidentifikation DE102005025509A1 07.12.2006
Titel Hochauflösende und steife Lateralverstelleinrichtung für ein optisches Element und Verfahren zur Justierung derselben
Anmelder Carl Zeiss SMT AG, 73447 Oberkochen, DE
Erfinder Schletterer, Thomas, 07646 Stadtroda, DE
Vertreter Müller-Rißmann, W., Dipl.-Phys. Dr.rer.nat., Pat.-Ass., 73447 Oberkochen
DE-Anmeldedatum 03.06.2005
DE-Aktenzeichen 102005025509
Offenlegungstag 07.12.2006
Veröffentlichungstag im Patentblatt 07.12.2006
IPC-Hauptklasse G02B 7/00(2006.01)A, F, I, 20051017, B, H, DE
IPC-Nebenklasse G02B 27/62(2006.01)A, L, I, 20051017, B, H, DE   
Zusammenfassung Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Justierung eines optischen Elements in einem Objektiv, insbesondere einem Mikrolithographie-Projektionsobjektiv, sowie eine Vorrichtung zur verstellbaren Befestigung eines entsprechenden optischen Elements in einem Gehäuse eines Objektivs, wobei das optische Element (1) in einem ersten Befestigungselement (2) aufgenommen ist, welches gegenüber einem zweiten Befestigungselement (3), das dem Gehäuse zugeordnet ist, lateral verschiebbar angeordnet ist, wobei eine Arretiereinrichtung (4, 5) vorgesehen ist, um erstes und zweites Befestigungselement (2, 3) unverschiebbar zu arretieren.

Beschreibung[de]
GEBIET DER ERFINDUNG

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur verstellbaren Befestigung eines optischen Elements in einem Gehäuse eines Objektivs, insbesondere eines Mikrolithographie-Projektionsobjektivs sowie ein Verfahren zur Justierung eines derartigen optischen Elements.

Objektive im Allgemeinen und Mikrolithographie-Projektionsobjektive weisen eine Vielzahl von optischen Elementen, wie Linsen, Spiegel und dergleichen auf, die entlang einer optischen Achse angeordnet sind. Damit das Objektiv seinen Zweck erfüllen kann, müssen die optischen Elemente exakt zueinander und insbesondere auch radial bzw. lateral in Bezug auf die optische Achse ausgerichtet werden. Insbesondere müssen die optischen Elemente beim Zusammenbau des Objektivs exakt positioniert werden.

Beim bekannten Stand der Technik werden meist Halterungen für die optischen Elemente verwendet, die Gelenke in Form von Festkörpergelenken aufweisen, aufgrund derer die Steifigkeit und die Schwingungsstabilität der Anordnung begrenzt ist. Ferner ist bei den bekannten Lösungen nachteilig, dass das Verstellelement, mit dem die Positionierung des optischen Elements durchgeführt wird, fest in dem Objektiv eingebaut wird, so dass es in dem Objektiv verbleiben muss, auch wenn es nur zur einmaligen Justierung beim Zusammenbau verwendet wird.

AUFGABE DER ERFINDUNG

Es ist deshalb Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Vorrichtung zur verstellbaren Befestigung eines optischen Elements in einem Gehäuse eines Objektivs bereit zu stellen, bei dem die Nachteile des Standes der Technik vermieden werden und welche insbesondere ermöglicht, eine exakte und in diesem Sinne hoch auflösende sowie einfache Justierung des optischen Elements bei gleichzeitiger steifer, erschütterungsfester Anordnung zu realisieren. Insgesamt soll die Vorrichtung einfach aufgebaut und ebenfalls leicht zu bedienen sein.

WESEN DER ERFINDUNG

Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 sowie ein Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 14. Vorteilhafte Ausgestaltungen sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche.

Gemäß der vorliegenden Erfindung weist die Vorrichtung zur verstellbaren Befestigung eines optischen Elements in einem Gehäuse eines Objektivs, insbesondere eines Mikrolithographie-Projektionsobjektivs ein erstes Befestigungselement auf, in dem das optische Element aufgenommen ist, sowie ein zweites Befestigungselement, das dem Gehäuse zugeordnet ist, d.h. an dem Gehäuse befestigt ist oder ein Teil des Gehäuses darstellt. Diese beiden Befestigungselemente sind so ausgebildet, dass sie lateral verschiebbar sind, d.h. radial bezüglich der optischen Achse. Ferner ist eine Arretiereinrichtung vorgesehen, um die beiden Befestigungselemente unverschiebbar zueinander zu arretieren.

Mit dieser Gestaltung kann auf jegliche Gelenke verzichtet werden, die zu einer Reduzierung der Steifheit der Anordnung führen würden. Außerdem ist durch die gegenseitige Verschiebung der Befestigungselemente eine exakte Positionierung möglich.

Dies wird noch dadurch begünstigt, wenn gemäß einer bevorzugten Ausführungsform die beiden Befestigungselemente mittels Reibkraft in der Arretierposition gehalten werden. Hierbei ist es dann nämlich möglich, die Verschiebung entgegen einer weiter aufrechterhaltenen Reibkraft durchzuführen, so dass durch genaue Einstellung der Reibkraft und der Kraft zur Schiebebewegung der beiden Befestigungselemente eine sehr exakte Positionierung möglich ist.

Um die beiden Befestigungselemente gegenseitig zu arretieren, weist die Arretiervorrichtung vorzugsweise eine Spannvorrichtung auf, mittels der die beiden Befestigungselemente in einem unverschiebbaren Zustand und einem für die laterale Verschiebung freigegebenen Zustand gehalten werden können. Vorzugsweise ist die Spannvorrichtung derart vorgespannt, dass in diesem Zustand eine gegenseitige Bewegung der Befestigungselemente nicht möglich ist. Insofern sorgt die Arretiervorrichtung für eine dauerhafte feste und steife Anordnung des optischen Elements, wohingegen zur Justierung die Spannvorrichtung gelöst bzw. gelockert werden muss. Zu diesem Zweck weist die Arretiervorrichtung vorzugsweise entsprechende Mittel auf, die eine Gegenkraft gegen die Spannkraft der Spanneinrichtung erzeugen können.

Nach einer bevorzugten Ausführungsform sind sowohl das erste als auch das zweite Befestigungselement jeweils in Form eines Halterings gebildet, der das optische Element jeweils kreisförmig umgibt. Die Halteringe sind als äußerer und innerer Haltering vorzugsweise so ausgebildet, dass sie einander gegenüberliegende Anschlagflächen aufweisen, die in axialer Richtung bezüglich der optischen Achse aufeinander gedrückt werden können, so dass sie sowohl in axialer als auch in radialer bzw. lateraler Richtung mittels der zwischen den Anschlagmittel erzeugten Reibkraft fixiert sind.

Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung weist die Arretiereinrichtung bzw. die Spannvorrichtung ein oder mehrere insbesondere um den Umfang der Befestigungselemente vorgesehene Federelemente auf, die das erste Befestigungselement mit dem optischen Element gegen das zweite Befestigungselement des Gehäuses drücken. Das Federelement kann hierbei entweder ebenfalls als ringförmiges umlaufendes Federelement ausgebildet sein oder durch eine Vielzahl von beabstandet zueinander am Umfang des zweiten Befestigungselement angeordnete Federelemente realisiert sein.

Nach einer vorteilhaften Variante der vorliegenden Erfindung weist die Arretiereinrichtung, bzw. die Mittel zum Lösen, einen ringförmigen bzw. mehrere um den Umfang der Befestigungselemente verteilte Blasebälge auf, die durch Aufblasen und Entleeren die Arretierung lösen bzw. einstellen können. Die Einstellung erfolgt insbesondere in Bezug auf die Klemmwirkung der Spanneinrichtung bzw. der Federelemente der Arretiereinrichtung. Mit einem derartigen Blasebalg kann eine besonders einfache Realisierung eines Elements zur Betätigung der Arretiereinrichtung verwirklicht werden.

Zur Justierung des optischen Elements ist vorzugsweise mindestens eine Betätigungseinrichtung, vorzugsweise mehrere an der Außenseite des zweiten Befestigungselements verteilte Betätigungseinrichtungen vorgesehen, mittels der erstes und zweites Befestigungselement, insbesondere schrittweise lateral gegeneinander verschoben werden können. Vorzugsweise ist die Betätigungseinrichtung durch einen oder mehrere elektromagnetische Impulshämmer ausgebildet.

Die Betätigungsvorrichtung weist vorzugsweise ein Betätigungsglied, insbesondere in Form eines Stößels des Impulshammers auf, welcher durch das Gehäuse des Objektivs hindurch und insbesondere durch das zweite Befestigungselement bzw. den äußeren Haltering hindurch auf das erste Befestigungselement bzw. den inneren Haltering einwirken kann. Auf diese Weise ist es möglich, die Betätigungseinrichtung lösbar an der Vorrichtung vorzusehen, so dass die Betätigungseinrichtungen nach der Justage des optischen Elements beim Zusammenbau entfernt und für andere Vorrichtungen bzw. Objektive verwendet werden können, wobei gewährleistet ist, dass durch eine erneute Anbringung eine Nachjustierung möglich ist.

Vorzugsweise ist nach einer bevorzugten Ausgestaltung weiterhin eine Steuerungs- und/oder Regelungseinrichtung vorgesehen, die die Betätigungseinrichtung, insbesondere in Form von elektromagnetischen Impulshämmern und/oder die Arretiereinrichtung und hier insbesondere die Mittel zum Lösen der Arretierung in Form des oder der Blasebälge steuert und/oder regelt.

Insbesondere für eine automatische Regelung ist es vorteilhaft, wenn ein optisches Messsystem, insbesondere in Form eines Reflexbildgeräts, vorgesehen ist, welches die Positionierung des optischen Elements und insbesondere die Abweichung von einer vorgegebenen Soll-Position ermitteln kann, so dass aufgrund dieser ermittelten Daten die Steuerungs- und/oder Regelungseinrichtung die Betätigungs- und/oder Arretiereinrichtung steuern bzw. regeln kann. Insbesondere ist es dann möglich, kontinuierlich bei der Justierung des optischen Elements die Fehlpositionierung festzustellen und direkt bei der Verstellung des optischen Elements zu berücksichtigen.

Gemäß der vorliegenden Erfindung erfolgt die Justierung eines optischen Elements in der Weise, dass zunächst in einem ersten Schritt die Positionsabweichung von einer Soll-Position des optischen Elements, insbesondere mittels des optischen Messsystems ermittelt wird, dass in einem zweiten Schritt die Arretierung des optischen Elements gelöst oder gelockert wird und dass in einem dritten Schritt in Abhängigkeit von der Fehlpositionierung eine Schiebebewegung des optischen Elements durchgeführt wird, bis die Fehlpositionierung aufgehoben ist, woraufhin dann in einem vierten Schritt das optische Element wieder arretiert wird.

Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform wird die Arretierung jedoch nicht vollständig gelöst, sondern nur teilweise, so dass eine Resthaltekraft, insbesondere eine restliche Reibkraft zwischen den Befestigungselementen des optischen Elements verbleibt, so dass die Schiebebewegung gegen die Gegenkraft der Reibkraft erfolgt. Weiterhin wird vorzugsweise die Schiebebewegung nicht kontinuierlich, sondern schrittweise oder pulsartig, vorzugsweise durch entsprechende Schläge oder Stöße des Impulshammers ausgeführt, was eine exakte Positionierung ermöglicht.

Die exakte Positionierung wird noch dadurch verbessert, wenn nach einer bevorzugten Ausführungsform die Arretierung und somit die Reibkraft kontinuierlich oder schrittweise während der Verschiebung verstärkt wird, so dass mit zunehmender Annäherung des optischen Elements an die Idealposition kleinere Positionsveränderungen vorgenommen werden, wenn die Schlagkraft des oder der Impulshämmer oder allgemein die Verschiebeenergie gleich bleibt.

Zusätzlich oder alternativ kann auch die aufgebrachte Verschiebeenergie bzw. -kraft und die Impulsdauer bzw. der Kraftstoß verändert werden, um die Positionierung nach Annäherung an die Idealposition zu verfeinern.

KURZBESCHREIBUNG DER FIGUR

Weitere Vorteile, Kennzeichen und Merkmale der vorliegenden Erfindung werden bei der nachfolgenden detaillierten Beschreibung eines Ausführungsbeispiels an Hand der beigefügten Zeichnung deutlich. Die einzige Figur zeigt in einer rein schematischen Schnittdarstellung einen Teil einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zur lateral verstellbaren Befestigung eines optischen Elements in einem Gehäuse eines Objektivs, insbesondere eines Mikrolithographie-Projektionsobjektivs.

BEVORZUGTE AUSFÜHRUNGSFORM

Das optische Element 1 in Form einer optischen Linse ist innerhalb eines inneren Halterings 2 angeordnet. Der innere Haltering 2 ist wiederum in einem äußeren Haltering 3 aufgenommen, wobei innerer Haltering 2 und äußerer Haltering 3 über radial verlaufende Anschlagflächen 11 aneinander liegen.

Mittels einer im wesentlichen U-förmigen Federklammer 4, welche bei 12 beispielsweise über eine Schraubverbindung mit dem äußeren Haltering 3 fest verbunden ist, wird der innere Haltering 2 mit seiner Anschlagfläche 11 in axialer Richtung gegen die entsprechende Anschlagfläche 11 des äußeren Halterings 3 gedrückt, so dass über die Reibkraft zwischen den Anschlagflächen 11 das optische Element 1 gegenüber dem äußeren Haltering 3 festgelegt ist. Da der äußerer Haltering 3 dem Gehäuse des Objektivs zugeordnet bzw. an diesem befestigt ist oder selbst Teil dieses Gehäuses ist, ist das optische Element 1 in dem Objektiv sicher und fest fixiert.

Zwischen der U-förmigen Federklammer 4 und dem äußeren Haltering 3 ist in der Ausnehmung 13, die durch die U-Form der Federklammer 4 gebildet ist, mindestens ein Blasebalg 5 angeordnet, der über die Leitung 14 aufgepumpt und entleert werden kann. Die Leitung 14 ist entsprechend durch eine Öffnung 15 durch die Federklammer 4 geführt. Durch entsprechendes Aufpumpen und Entleeren des Blasebalgs 5 kann die Federklammer 4, die mit dem Schenkel 19 an der der Anschlagfläche 11 gegenüberliegenden Seite des inneren Halterings 2 anliegt, von dem inneren Haltering 2 wegbewegt oder auf diesen zu bewegt werden.

Im gezeigten Ausführungsbeispiel ist die Federeigenschaft der Federklammer 4 durch einen Schlitz 16 verwirklicht, der entlang des Schenkels 20 in der Basis 22 der Federklammer 4 eingebracht ist, um bei einem an sich steifen Material der Federklammer 4 eine gewisse Beweglichkeit des Schenkels 19 zu erreichen.

Da der innere Haltering 2 sowie der äußerer Haltering 3 als kreisförmige Ringe ausgeführt sind, ist üblicherweise die Federklammer 4 ebenfalls als kreisförmiger Ring ausgebildet. Alternativ können jedoch auch mehrere einzelne Federklammern 4 über den Umfang des inneren und äußeren Halterings 2, 3 verteilt sein. Entsprechend kann auch der Blasebalg 5 als ringförmiges Element ausgebildet sein oder es können mehrere Blasbälge 5 ebenfalls über den Umfang des äußeren Halterings 3 verteilt sein.

Der äußere Haltering 3 weist eine Schulter 17 auf, so dass von der Anschlagfläche 11 radial nach außen die Dicke des äußeren Halterings 3 vergrößert ist. Auf diese Weise wird durch den L-förmigen Querschnitt des äußeren Halterings 3 ein Aufnahmebereich für den inneren Haltering 2 gebildet, so dass der innere Haltering 2 bündig mit dem äußeren Haltering 3 abschließt. Allerdings dient die Schulter 17 nicht zur formschlüssigen Aufnahme des inneren Halterings 2, da dieser ausschließlich über die Reibkräfte, die in den Anschlagflächen 11 erzeugt werden, gehalten wird. Vielmehr dient die Vergrößerung der Dicke im äußeren Bereich des äußeren Halterings 3 dazu, Durchgangsöffnungen 18 aufzunehmen, durch die bewegbare Stößel 7 von eine Betätigungseinrichtung bildenden Impulshämmern 8 auf die Stirnseite 21 des inneren Halterings 2 geführt werden können. Die Stößel 7 sind entlang der Längserstreckung der Durchgangsöffnung 18 hin und her bewegbar, so dass durch die Betätigungseinrichtung 8 Stöße oder Schläge auf die Stirneseite 21 des inneren Halterings 2 ausgeübt werden können.

Die Betätigungseinrichtung 8 mit elektromagnetischen Impulshämmern kann ebenfalls ringförmig entlang der Außenseite des äußeren Halterings 3 angeordnet werden, wobei insbesondere mindestens vier Impulshämmer 8 oder sonstige Betätigungseinrichtungen, die paarweise gegenüberliegend und mit Viertelreis-Abstand zueinander angeordnet sind, vorgesehen sind, um in radialer Richtung eine Verschiebung des optischen Elements 1 in jede Richtung zu ermöglichen.

Die Betätigungseinrichtung(en) bzw. die elektromagnetischen Impulshämmer 8 sind genauso wie der oder die Blasebälge 5 über Wirkverbindungen mit einer Steuerungs- und/oder Regelungseinrichtung 10 verbunden, mittels der das Aufpumpen und Entleeren des oder der Blasebälge 5 sowie die Bewegung des Stößels 7 des elektromagnetischen Impulshammers 8 gesteuert bzw. geregelt wird.

Die Steuerungs- bzw. Regelungseinrichtung 10 ist ferner mit einem optischen Messsystem 9 in Form eines Reflexbildgeräts verbunden, welches die Position des optischen Elements 1 ermittelt und die Abweichung von einer Idealposition, beispielsweise eine Dezentrierung feststellen kann. Aufgrund der von dem optischen Messsystem 9 ermittelten Daten, die an die Steuerungs- und/oder Regelungseinrichtung 10 über eine entsprechende Leitung abgegeben werden, werden die elektromagnetischen Impulshämmer 8 und der oder die Blasebälge 5 betätigt, so dass das optische Element 1 verschoben werden kann.

Dies erfolgt in der Weise, dass durch Aufpumpen des Blasebalgs 5 die axiale Druckkraft der Federklammer 4 mittels des Schenkels 19 auf den inneren Haltering 2 so weit gelockert wird, dass durch eine Verschiebung des Stößels 7 von einem oder mehreren elektromagnetischen Impulshämmern, insbesondere in Form von kurzen Schlägen oder Stößen eine Bewegung des inneren Halterings 2 entgegen der in den Anschlagflächen 11 erzeugten Reibkraft in lateraler Richtung möglich ist. Insbesondere bei der impulsartigen Übertragung von Energie zur Verschiebung des optischen Elements 1 kann durch das dadurch erzeugte Ruckgleiten (Stick-Slip-Effekt) eine sehr exakte Positionierung des optischen Elements 1 vorgenommen werden, die kontinuierlich online durch das optische Messsystem 9 überwacht werden kann. Insbesondere wird bei zunehmender Annäherung an die gewünschte Position die Reibkraft durch Absenken des Drucks in dem oder den Blasebälgen 5 erhöht, so dass bei gleich bleibender Verschiebe- bzw. Stoß- oder Schlagenergie eine immer geringere Verschiebung des optischen Elements folgt. Selbstverständlich kann jedoch auch die Schlag- oder Stoßenergie bzw. die Verschiebekraft variiert werden. Insgesamt kann durch entsprechende Einstellung der Verschiebe- bzw. Impulsenergie der Betätigungseinrichtung 8, der Druckbeaufschlagung des Blasebalgs 5 und/oder der Dauer der Impulse eine exakte Positionierung des optischen Elements 1 mittels der Steuer- und Regelungseinrichtung 10 vorgenommen werden, die insbesondere auch die Auswahl und Ansteuerung der einzelnen zu betätigenden Impulshämmer vornehmen kann.


Anspruch[de]
Vorrichtung zur verstellbaren Befestigung eines optischen Elements (1) in einem Gehäuse eines Objektivs, insbesondere eines Mikrolithographie-Projektionsobjektivs, dadurch gekennzeichnet, dass das optische Element (1) in einem ersten Befestigungselement (2) aufgenommen ist, welches gegenüber einem zweiten Befestigungselement (3), das dem Gehäuse zugeordnet ist, lateral verschiebbar angeordnet ist, wobei ein Arretiereinrichtung (4, 5) vorgesehen ist, um erstes und zweites Befestigungselement (2, 3) unverschiebbar zu arretieren. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass erstes und zweites Befestigungselement (2, 3) durch Reibkraft in der arretierten Lage gehalten werden. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Arretiereinrichtung eine Spannvorrichtung (4) umfasst, die mindestens zwei Positionen einnehmen kann, wobei in der ersten Position erstes und zweites Befestigungselement (2, 3) in einer unverschiebbaren Position gehalten sind und in der zweiten Position erstes und zweites Befestigungselement (2, 3) zur gegenseitigen lateralen Verschiebung frei gegeben sind. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Spannvorrichtung (4) in der ersten Position vorgespannt ist. Vorrichtung nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Arretiereinrichtung Mittel zum Lösen (5) der Arretierung umfasst, die eine Gegenkraft gegen die Spannkraft der Spanneinrichtung (4) erzeugen. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass erstes und zweites Befestigungselement (2, 3) jeweils in Form eines Halteringes gebildet sind, die gegenüberliegende Anschlagflächen (11) aufweisen, mittels der sie über Reibkraft gegeneinander festgelegt sind. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Arretiereinrichtung (4, 5) mindestens ein, vorzugsweise mehrere, insbesondere entlang des Umfangs des zweiten Befestigungselements verteilte, insbesondere am zweiten Befestigungselement befestigte Federelemente (4), vorzugsweise in der Form einer ringförmig, im Querschnitt im Wesentlichen U-förmigen Klammer umfasst, welches das erste Befestigungselement (2) gegen das zweite Befestigungselement (3) drückt. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Arretiereinrichtung mindestens einen, vorzugsweise mehrere, insbesondere entlang des Umfangs des zweiten Befestigungselements (3) verteilte Blasebälge (5) umfasst, die durch Aufblasen und Entleeren die Arretierung lösen und einstellen können, und zwar insbesondere mit einer Spanneinrichtung oder einem Federelement der Arretiereinrichtung. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine Betätigungseinrichtung (8) vorgesehen ist, mittels der erstes und zweites Befestigungselement (2, 3) gegeneinander lateral, insbesondere schrittweise verschiebbar sind, und welche insbesondere lösbar an der Vorrichtung anordenbar ist. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Betätigungsvorrichtung (8) ein Betätigungsglied (7) aufweist, welches durch das Gehäuse oder das zweite Befestigungselement (3) zur Betätigung des ersten Befestigungselements (2) durchführbar ist. Vorrichtung nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Betätigungseinrichtung mindestens einen, vorzugsweise mehrere, insbesondere an der Außenseite des zweiten Befestigungselements verteilte, elektromagnetische Impulshämmer aufweist, die insbesondere einen Stößel (7) als Betätigungsglied umfassen. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine Steuerungs- und/oder Regelungseinrichtung (10) vorgesehen ist, die die Betätigungseinrichtung (8), insbesondere den elektromagnetischen Impulshammer und/oder die Arretiereinrichtung (4, 5), insbesondere die Mittel (5) zum Lösen der Arretierung, vorzugsweise den Blasbalg (5) steuert und/oder regelt. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein optisches Messsystem (9) vorgesehen ist, welches die Positionierung, insbesondere die Zentrierung des optischen Elements (1) ermittelt, wobei insbesondere eine Verbindung zwischen Steuerungs- und/oder Regelungseinrichtung und Messsystem vorhanden ist, mittels der Ausgangssignale des Messsystems als Eingangsgrößen für die Steuerungs- und/oder Regelungseinrichtung übermittelt werden. Verfahren zur Justierung eines optischen Elements in einem Objektiv, insbesondere einem Mikrolithogaphie-Projektionsobjektiv, vorzugsweise mittels einer Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass in einem ersten Schritt die Positionsabweichung von einer Sollposition des optischen Elements (1) ermittelt wird, dass in einem zweiten Schritt die Arretierung des optischen Elements gelöst oder gelockert wird, dass in einem dritten Schritt in Abhängigkeit von der im ersten Schritt ermittelten Positionsabweichung die Position des optischen Elements (1) durch eine Schiebebewegung verändert wird, und dass in einem vierten Schritt das optische Element wieder arretiert wird. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Arretierung nicht vollständig gelöst, sondern nur schrittweise oder kontinuierlich gelockert wird, so dass eine Resthaltekraft insbesondere einer reibschlüssigen Halterung (2, 3) des optischen Elements (1) verbleibt. Verfahren nach Anspruch 14 oder 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Verschiebung des optischen Elements schrittweise durch diskontinuierliche oder impulsartige Energieaufbringung insbesondere entgegen einer Reibkraft der Halterung (2, 3) des optischen Elements (1) erfolgt. Verfahren nach einem der Ansprüche 14 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass die Arretierung während der insbesondere schrittweisen Verschiebung des optischen Elements (1) zunehmend verstärkt wird. Verfahren nach einem der Ansprüche 14 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass die Verschiebung des optischen Elements (1) durch eine kontinuierliche Positionsbestimmung des optischen Elements gesteuert oder geregelt wird.






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