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Dokumentenidentifikation DE102005057400A1 14.12.2006
Titel Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauteils mit Kunststoffmasse
Anmelder Infineon Technologies AG, 81669 München, DE
Erfinder Fürgut, Edward, Dipl.-Ing., 86453 Dasing, DE
Vertreter Schweiger & Partner, 80333 München
DE-Anmeldedatum 30.11.2005
DE-Aktenzeichen 102005057400
Offenlegungstag 14.12.2006
Veröffentlichungstag im Patentblatt 14.12.2006
IPC-Hauptklasse H01L 21/50(2006.01)A, F, I, 20051130, B, H, DE
Zusammenfassung Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements (1) mit Kunststoffmasse (3). Dazu weist das Halbleiterbauelement (1) einen Halbleiterchip (4) mit Flipchipkontakten (5) auf seiner aktiven Oberseite (6) auf. Die Flipchipkontakte (5) werden auf Kontaktanschlussflächen (7) einer Verdrahtungsstruktur (8) auf einer Oberseite (9) eines Schaltungsträgers (10) angeordnet. Das Halbleiterbauelement (1) weist eine Kunststoffmasse (3) auf, in der die Flipchipkontakte (5) und die Halbleiterchips (4) eingebettet werden, wobei der Zwischenraum (11) zwischen der Oberseite (6) des Halbleiterchips (4) und der Oberseite (9) des Schaltungsträgers (10) mit der gleichen Kunststoffmasse (3) aufgefüllt wird, in welche die Randseiten (12, 13) und die Rückseite (14) des Halbleiterchips (4) eingebettet sind. Die Kunststoffmasse (3) ist homogen und identisch zusammengesetzt und bildet ein lunkerfreies und kompaktes Gehäusevolumen (15).

Beschreibung[de]

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauteils mit Kunststoffmasse. Dabei weist das Halbleiterbauelement einen Halbleiterchip mit Flipchipkontakten auf seiner aktiven Oberseite aufweist und die Flipchipkontakte werden auf Kontaktanschlussflächen einer Verdrahtungsstruktur auf einer Oberseite eines Schaltungsträgers angeordnet.

Beim Herstellen derartiger Halbleiterbauelemente besteht das Problem, dass der Zwischenraum zwischen der Oberseite eines Schaltungsträgers und der Oberseite der Halbleiterchips in Abhängigkeit von den Abmessungen der Flipchipkontakte und in Abhängigkeit von der Anzahl der Flipchipkontakte derart komplex ist, dass dieser Zwischenraum nicht mit einer Standard-Gehäusemasse beim Spritzgussverfahren zuverlässig aufgefüllt werden kann. Vielmehr wird in einem getrennten Präparationsschritt mittels Kapillarwirkung der Zwischenraum zwischen den beiden Oberseiten durch ein Dispens-Verfahren mit Unterfüllmaterial aufgefüllt. Dieses ist ein serieller Prozess, der für jedes der Halbleiterbauelemente einzeln durchgeführt werden muss, bevor der Halbleiterchip auf dem Schaltungsträger in eine Kunststoffmasse eingebettet werden kann.

Neben dem Dispens-Verfahren zum seriellen Einbringen eines Unterfüllmaterials in den Zwischenraum zwischen der Oberseite des Schaltungsträgers und der Oberseite des Halbleiterchips mit Flipchipkontakten ist auch ein sogenanntes "Transfer-Undermolden" möglich, bei dem jedoch das Abdichten des Moldwerkzeugs kritisch ist und die Funktion der Halbleiterbauelemente durch Verschmutzung des Werkzeugs negativ beeinflusst werden kann. Darüber hinaus kann die Größe des Schaltungsträgers nicht voll genutzt werden, da für das Einbringen des Unterfüllmaterials zwischen der Oberfläche des Halbleiterchips und der Oberfläche des Schaltungsträgers zusätzliche Fläche auf dem Schaltungsträger reserviert werden muss.

Auch die Materialauswahl ist beim Transfer-Untermolden wie beim Dispensen stark limitiert und auf entsprechende dünnflüssige Epoxidharze begrenzt. Derartige Epoxidharze sind aus der Druckschrift JP 11263854 bekannt und umfassen neben einem Epoxidharz eine Härterlösung, einen elektrisch nicht leitenden Kohlenstoff und ein anorganisches Füllmaterial, um den thermischen Ausdehnungskoeffizienten des Epoxidharzes in dem Zwischenraum an den thermischen Ausdehnungskoeffizienten des Halbleitermaterials weitgehend anzupassen. Dazu umfasst ferner das Epoxidharz gemäß der obigen Offenbarung von JP 11263854 eine eingeschränkte Anzahl unterschiedlicher Radikale, die ein Vernetzen des Epoxidharzes in Verbindung mit dem Härter ermöglichen.

Die 4 bis 6 zeigen die drei Hauptverfahrensschritte, die zur Herstellung derartiger Halbleiterbauelemente mit Kunststoffmasse und Halbleiterchips mit Flipchipkontakten in herkömmlicher Bauweise erforderlich sind.

4 zeigt einen Schaltungsträger 10 mit mehreren Halbleiterbauelementpositionen 17, wobei in jeder der Halbleiterbauelementpositionen 17 Halbleiterchips 4 mit Flipchipkontakten 5 auf Kontaktanschlussflächen 7 der Oberseite 9 des Schaltungsträgers 10 angeordnet sind. Bevor diese Halbleiterchips 4 mit ihren Flipchipkontakten 5 auf dem Schaltungsträger 10in eine gemeinsame Kunststoffmasse eingebettet werden können, wird ein Unterfüllmaterial einzeln in die Zwischenräume 11 zwischen der Oberseite 6 der Halbleiterchips 4 und der Oberseite 9 des Schaltungsträgers 10 eingebracht. Dadurch ist einerseits ein lunkerfreies Auffüllen des Zwischenraums 11 gewährleistet und andererseits werden die relativ starren Flipchipkontakte 5 derart gestützt, dass sie bei thermischer Belastung weder von ihren Kontaktanschlussflächen 7 auf der Oberseite 9 des Schaltungsträgers 10 noch von ihren Kontaktflächen 21 auf den Oberseiten 6 der Halbleiterchips 4 beim anschließenden Mold-Prozess und/oder bei thermischer Belastung abgerissen werden.

5 zeigt den Schaltungsträger 10 gemäß 4 mit Halbleiterchips 4 in Halbleiterbauelementpositionen 17, wobei der Zwischenraum 11 zwischen dem Halbleiterchip 4 und dem Schaltungsträger 10 mit einem Unterfüllmaterial 22 einzeln aufgefüllt ist. Dazu sind die Abstände a zwischen den Halbleiterchips 4 groß genug gewählt, um entsprechende Werkzeuge zum Einbringen des Unterfüllmaterials 22 in den Zwischenraum 11 in jedem der Halbleiterbauelementpositionen 17 auf dem Schaltungsträger 10 anzuordnen. Erst nachdem jeder einzelne Halbleiterchip 4 mit seinem Halbleitermaterial 16 in den Halbleiterbauteilpositionen 17 durch das Unterfüllmaterial sicher mit den Flipchipkontakten 5 auf den Kontaktanschlussflächen 7 auf der Oberseite 9 des Schaltungsträgers 10 verankert ist, kann dann in einem weiteren Verarbeitungsschritt eine Kunststoffmasse aufgebracht werden.

6 zeigt den Schaltungsträger 10 gemäß 5 nach Einbetten der Halbleiterchips 4 in eine Kunststoffmasse 3 zu einer Verbundplatte 19. Diese Verbundplatte 19 kann dann entlang der mit einer strichpunktierten Linie 23 gekennzeichneten Trennspuren in einzelne Halbleiterbauelemente 2 aufgetrennt werden, wobei das Gehäusevolumen 15 nachteilig zwei unterschiedliche Materialien in Form des Unterfüllmaterials 22 und des Kunststoffgehäusematerials 3 aufweist.

Die Herstellung derartige Halbleiterbauelemente ist aufgrund der erforderlichen Auffüllung des Zwischenraums 11 mit einem Unterfüllmaterial 22 zeitaufwändig und entsprechend teuer.

Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren anzugehen, das kostengünstig und zuverlässig und für eine Massenproduktion und Parallelfertigung geeignet ist.

Diese Aufgabe wird mit dem Gegenstand der unabhängigen Ansprüche gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den abhängigen Ansprüchen.

Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren wird ein Halbleiterbauelement mit Kunststoffmasse geschaffen, wobei das Halbleiterbauelement einen Halbleiterchip mit Flipchipkontakten auf seiner aktiven Oberseite aufweist. Die Flipchipkontakte sind ihrerseits auf Kontaktanschlussflächen einer Verdrahtungsstruktur auf einer Oberseite eines Schaltungsträgers angeordnet. Dabei weist das Halbleiterbauelement eine Kunststoffmasse auf, in der die Flipchipkontakte und der Halbleiterchip derart eingebettet sind, dass der Zwischenraum zwischen der Oberseite des Halbleiterchips und der Oberseite des Schaltungsträgers mit der gleichen Kunststoffmasse aufgefüllt ist, in welche die Randseiten und die Rückseiten des Halbleiterchips eingebettet sind. Dazu ist die Kunststoffmasse identisch und homogen zusammengesetzt und weist ein lunkerfreies und kompaktes Gehäusevolumen auf.

Das Problem der Lunker- und Blasenbildung tritt bisher in den Zwischenräumen zwischen der Oberseite des Halbleiterchips und der Oberseite des Schaltungsträgers dann auf, wenn auf ein serielles Einbringen eines Unterfüllmaterials verzichtet wird, da der Zwischenraum aufgrund der dort angeordneten Flipchipkontakte komplex ist und mit der herkömmlichen Kunststoffmasse mit hohem Füllstoffgrad nicht zuverlässig aufgefüllt werden kann. Des Weiteren sind die herkömmlichen Kunststoffmassen mit Füllmaterialien, wie sie auch aus der oben zitierten Druckschrift zum Stand der Technik bekannt sind, nicht geeignet, um einen Ausgleich von thermischen Spannungen zwischen einem niedrigen Ausdehnungskoeffizienten des Halbleitermaterials und einem hohen Ausdehnungskoeffizienten der umgebenden Kunststoffmasse zu gewährleisten.

Die Vorteile des Verfahrens zur Herstellung derartiger Halbleiterbauelements gegenüber bekannten Halbleiterbauelementen liegen auf der Hand, da auf ein Einbringen einer teuren Unterfüllmasse im Zwischenraum zwischen der Oberseite des Halbleiterchips und der Oberseite des Schaltungsträgers zwischen den Flipchipkontakten bei dem erfindungsgemäßen Halbleiterbauelement verzichtet wird.

In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung weist die Kunststoffmasse eine Kunststoffpaste, vorzugsweise eine Silikonpaste, auf. Derartige Pasten können vorteilhaft mit dem sog. Kompressionsmolden eingebracht werden, bei dem die Pasten zunächst beispielsweise auf einen Schaltungsträger in Form eines Nutzens mit einer Vielzahl von Halbleiterbauelementpositionen aufgebracht werden. Anschließend wird der Schaltungsträger in eine entsprechende evakuierbare Pressform eingebracht, in der unter mechanisch aufgebrachtem Pressdruck auf zwei Formhälften und unter gleichzeitiger Evakuierung der mit Kunststoffpaste bzw. Silikonpaste aufgefüllten Kavitäten der Pressform eine nahezu lunkerfreie Einbettung der Halbleiterchips in die Kunststoffmasse erreicht werden kann.

Dazu weist die Kunststoffmasse aus einer Silikonpaste nach Aushärtung einen thermischen Ausdehnungskoeffizienten auf, welcher dem thermischen Ausdehnungskoeffizienten des Halbleitermaterials angepasst ist. Darüber hinaus weist die Kunststoffmasse vorzugsweise elektrisch nicht leitende Kohlenstoffpartikel, insbesondere elektrisch nicht leitende Kohlenstoffnanopartikel auf. Da Kohlenstoff in seinem Ausdehnungsverhalten dem Halbleiterchipmaterial nahekommt, bedeutet das Auffüllen der Kunststoffpaste für die Kunststoffmasse eine Anpassung des Ausdehnungsverhaltens der Kunststoffmasse an das Ausdehnungsverhalten des Halbleiterchips.

In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der Erfindung weist die Kunststoffmasse nicht leitende Keramikpartikel, vorzugsweise elektrisch nicht leitende Keramiknanopartikel als Füllstoff auf. Da derartige Keramikpartikel einen geringeren Ausdehnungskoeffizienten als die Kunststoffmasse aufweisen, wird insgesamt der Ausdehnungskoeffizient der Kunststoffmasse herabgesetzt und dem Ausdehnungskoeffizienten des Halbleitermaterials angenähert.

Vorzugsweise ist dabei die Silikonpaste mit Nanopartikeln als Füllstoff vor ihrem Aushärten äußerst dünnflüssig und weist eine geringe Viskosität auf. Dieses hat den Vorteil, dass die Silikonpaste das Auffüllen des Zwischenraums zwischen der Oberseite des Halbleiterchips und der Oberseite des Schaltungsträgers beim Kompressionsmolden unterstützt.

Ein Verfahren zur Herstellung von mehreren Halbleiterbauelementen mit in Kunststoffmasse eingebetteten Halbleiterchips mit Flipchipkontakten weist die nachfolgenden Verfahrensschritte auf. Zunächst wird ein Schaltungsträger mit mehreren Halbleiterbauelementpositionen und Verdrahtungsstrukturen mit Kontaktanschlussflächen in den Halbleiterbauelementpositionen hergestellt. Dabei werden die Kontaktanschlussflächen derart angeordnet, dass sie der Anordnung der Flipchipkontakte auf den aktiven Oberseiten der Halbleiterchips entsprechen. Auf einen derartigen Schaltungsträger werden die Halbleiterchips mit ihren Flipchipkontakten auf die Kontaktanschlussflächen der Verdrahtungsstruktur unter Ausbilden von Zwischenräumen zwischen der Oberseite der Halbleiterchips und der Oberseite der Verdrahtungsstruktur aufgebracht.

Die Erfindung kann mit jeder Kunststoffmasse, also mit Duroplasten und mit Thermoplasten durchgeführt werden. Vorzugsweise wird ein Reaktivharz wie Epoxydharz, insbesondere eine gefüllte Silikonpaste geringer Viskosität auf den Schaltungsträger unter Einbetten der Halbleiterchips aufgebracht. Danach wird der Schaltungsträger mit Halbleiterchips und Kunststoffmasse in eine vorgeheizte evakuierbare Pressform für ein Kompressionsmolden eingebracht. Diese Pressform wird unter Erzeugen eines Vakuums durch Evakuierung der Kavität der Pressform und unter Komprimieren der Kunststoffmasse und unter Austreiben von Lunkern und Gaseinschlüssen sowie unter Auffüllen der komplexen Zwischenräume bei fortschreitender Aushärtung der Kunststoffmasse geschlossen gehalten. Anschließend kann die Pressform geöffnet werden und eine Verbundplatte mit Schaltungsträger und mit in eine identisch zusammengesetzte homogene Kunststoffmasse eingebetteter Halbleiterchips und Flipchipkontakte entnommen werden. Schließlich wird die Verbundplatte in einzelne Halbleiterbauelemente aufgetrennt.

Dieses Verfahren hat den Vorteil, dass Pasten, insbesondere Silikonpasten verwendet werden können, die mit entsprechenden Füllstoffpartikeln dennoch eine geringe Viskosität und Dünnflüssigkeit aufweisen. Pasten mit hohem Füllstoffanteil von über 40 % können verwendet werden. Füllgrade von ca 80 % können noch funktionieren, ohne dass sich Lunker bilden. Ferner hat die Erfindung den Vorteil, dass eine größere Anzahl an Halbleiterchips auf einem Nutzen angeordnet werden kann, da kein Flächenbedarf für Werkzeuge für ein Einbringen von Unterfüllmaterial vorgesehen werden muss. Schließlich zeichnet sich dieses Verfahren durch parallele Fertigungsschritte aus. Hinzu kommt, dass das Material maximal genutzt wird, da die Pasten gleichmäßig auf den Schaltungsträger ohne Zulauftrichter und andere Hilfsmittel, die bei dem üblichen Spritzgießen erforderlich wären, verteilt wird. Schließlich besteht die Möglichkeit, das Vakuum vor dem endgültigen Schließen der Form zu überprüfen und nachzuregeln, bis die Kunststoffmasse die Form komplett ausfüllt. Ferner kann bei der Form auf Auswurfstifte und andere kostenintensive mechanische Vorrichtungen verzichtet werden.

In einer bevorzugten Durchführung des Verfahrens weist die Pressform auf ihrer oberen Innenwand eine plastisch verformbare Folie auf, die sich bis in die Trennfuge der Pressform erstreckt und ein Abdichten der Formhälften beim Kompressionsmolden sichert. Außerdem ist es vorgesehen, dass das Auftrennen der Verbundplatte in Halbleiterbauelemente mittels Sägetechnik erfolgt. Diese Sägetechnik erfordert Sägeblätter, welche sowohl den Kunststoff als auch das Material der Schaltungsplatine durchtrennen können.

In einer weiteren alternativen Durchführung des Auftrennens der Verbundplatte in einzelne Halbleiterbauelemente wird eine Laserablation eingesetzt. Diese Laserablation hat den Vorteil, dass eine Verschmutzung des Werkzeugs, wie bei Sägeblättern, nicht auftreten kann und somit eine hohe Anzahl an Halbleiterbauelementen fertiggestellt werden kann, ohne dass Werkzeugreinigungskosten anfallen. Schließlich ist es vorgesehen, dass entweder vor oder nach dem Auftrennen der Verbundplatte in einzelne Halbleiterbauelemente auf die Unterseite der Halbleiterbauelemente oberflächenmontierbare Außenkontakte auf frei zugänglichen Außenkontaktflächen aufgebracht werden. Um diese frei zugänglichen Außenkontaktflächen vor einem Beschichten mit Kunststoffmasse zu schützen, kann bei dem Kompressionsmolden auch die untere Pressformhälfte bzw. die untere Innenseite der Kavität, auf der der Schaltungsträger angeordnet wird, mit einer plastisch verformbaren Folie ausgekleidet sein, in die sich die Unterseite des Schaltungsträgers einprägt.

Die Erfindung wird nun anhand der beigefügten Figuren näher erläutert.

1 zeigt einen schematischen Querschnitt durch einen Schaltungsträger mit Halbleiterchips;

2 zeigt eine schematischen Querschnitt durch den Schaltungsträger gemäß 1 nach Einbetten der Halbleiterchips in eine Kunststoffmasse,

3 zeigt einen schematischen Querschnitt durch ein Halbleiterbauelement gemäß einer Ausführungsform der Erfindung.

4 zeigt einen schematischen Querschnitt durch einen Schaltungsträger gemäß dem Stand der Technik mit mehreren Halbleiterbauelementpositionen;

5 zeigt einen schematischen Querschnitt durch den Schaltungsträger gemäß 4 mit Halbleiterchips in den Halbleiterbauelementpositionen;

6 zeigt einen schematischen Querschnitt durch den Schaltungsträger gemäß 5 nach Einbetten der Halbleiterchips 4 in eine Kunststoffmasse.

1 zeigt einen schematischen Querschnitt durch einen Schaltungsträger 10 mit Halbleiterchips 4. Diese Halbleiterchips 4 sind auf einer Verdrahtungsstruktur 8 der Oberseite 9 des Schaltungsträgers 10 in Halbleiterbauelementpositionen 17 angeordnet. Die Halbleiterchips 4 weisen auf ihrer aktiven Oberseite 6 Flipchipkontakte 5 auf, die in den Halbleiterbauteilpositionen 17 auf Kontaktanschlussflächen 7 auf der Oberseite 9 des Schaltungsträgers 10 angeordnet sind. Durch die Flipchipkontakte 5 entsteht nach dem Aufbringen der Halbleiterchips 4 auf den Schaltungsträger 10 ein Zwischenraum 11 zwischen der Oberseite 6 des Halbleiterchips 4 und der Oberseite 9 des Schaltungsträgers 10. Dieser Zwischenraum 11 ist relativ komplex und sehr eng, was durch die Höhe der Flipchipkontakte 5 bestimmt wird.

Für die Vorbereitung eines erfindungsgemäß vorgesehenen Kompressionsmoldens wird nun auf den Schaltungsträger 10 mit Halbleiterchips 4 eine Kunststoffmasse aufgebracht, die anschließend in einer evakuierbaren Pressform die Kunststoffmasse mechanisch in ihre Endform presst und gleichzeitig durch die Evakuierung der Kavität der Pressform dafür sorgt, dass Blasenbildungen oder Lunkerbildungen insbesondere in dem engen Zwischenraum 11 vermieden werden.

2 zeigt einen schematischen Querschnitt durch den Schaltungsträger 10 gemäß 1 nach Einbetten der Halbleiterchips 4 in eine Kunststoffmasse 3 und nach Ausbilden einer Verbundplatte 19. Diese Kunststoffmasse 3 ist vorzugsweise eine Silikonpaste mit geringer Viskosität und mit Füllstoffpartikeln, welche den thermischen Ausdehnungskoeffizienten der Silikonpaste bzw. der ausgehärteten Silikonmasse dem Ausdehnungskoeffizienten des Halbleiterchips 4 anpasst. Dazu weisen diese Füllstoffe elektrisch nicht leitende Keramikpartikel oder Kohlenstoffpartikel, insbesondere Nanopartikel auf. Der Schaltungsträger 10 wird mit der aufgebrachten Kunststoffmasse 3 von geringer Viskosität in die Pressform für ein Kompressionsmolden eingebracht.

Nach dem Kompressionsmolden ist der Zwischenraum 11 mit Kunststoffmasse 3 aufgefüllt und die Rückseiten 14 sowie die Randseiten 12 und 13 der Halbleiterchips 4 sind in Kunststoffmasse 3 eingebettet. Dabei kann die Pressform auf der oberen Innenwand ihrer Kavität eine plastisch verformbare Folie aufweisen, welche das Abdichten der Form unterstützt. Ferner kann auf der Unterseite eine plastisch verformbare Folie angeordnet sein, welche Außenkontaktflächen des Schaltungsträgers 10 vor einem Benetzen durch die Kunststoffmasse 3 während des Kompressionsmoldens schützt.

Beim Kompressionsmolden wird gleichzeitig das Vakuum überprüft, um sicherzustellen, dass alle Blasen und Lunker entfernt werden, bevor die Kunststoffmasse ausgehärtet ist. Die Verbundplatte 19 wird nach dem Aushärten der Silikonmasse aus der Form entnommen und in einzelne Halbleiterbauelemente 1 entlang der strichpunktierten Linien 23 getrennt. Dabei kann der Zwischenraum zwischen benachbarten Halbleiterchips gegenüber dem Verfahren nach dem Stand der Technik weiter reduziert werden, da keine Werkzeuge zum seriellen Anbringen eines Unterfüllmaterials in den Zwischenraum 11 zwischen der Oberseite 6 der Halbleiterchips und der Oberseite 9 des Schaltungsträgers erforderlich sind.

3 zeigt einen schematischen Querschnitt durch ein Halbleiterbauelement 1 gemäß einer Ausführungsform der Erfindung. In diesem Fall wurden auf entsprechende Außenkontaktflächen 18 auf der Unterseite 24 des Schaltungsträgers 10 Außenkontakte 20 in Form von Lotkugeln aufgebracht. Mit diesen aufgebrachten Lotkugeln kann das Halbleiterbauelement 1 auf einer übergeordneten Schaltungsplatine oberflächenmontiert werden.

1
Halbleiterbauelement (1. Ausführungsform)
2
Halbleiterbauelement (Stand der Technik)
3
Kunststoffmasse
4
Halbleiterchip
5
Flipchipkontakt
6
aktive Oberseite
7
Kontaktanschlussfläche
8
Verdrahtungsstruktur
9
Oberseite des Schaltungsträgers
10
Schaltungsträger
11
Zwischenraum
12
Randseite des Halbleiterchips
13
Randseite des Halbleiterchips
14
Rückseite des Halbleiterchips
15
Gehäusevolumen
16
Halbleitermaterial
17
Halbleiterbauteilposition
18
Außenkontaktfläche
19
Verbundplatte
20
Außenkontakt
21
Kontaktfläche
22
Unterfüllmaterial
23
strichpunktierte Linie
24
Unterseite des Schaltungsträgers
a
Abstand


Anspruch[de]
Verfahren zur Herstellung von mehreren Halbleiterbauelementen (1) mit Kunststoffmasse (3), wobei die Halbleiterbauelemente (1) Halbleiterchips (4) mit Flipchipkontakten (5) aufweisen, und wobei das Verfahren folgende Verfahrensschritte aufweist:

– Herstellen eines Schaltungsträgers (10) mit mehreren Halbleiterbauelementpositionen (17) und Verdrahtungsstrukturen (8) mit Kontaktanschlussflächen (7) in den Halbleiterbauelementpositionen (17), wobei die Kontaktanschlussflächen (7) derart angeordnet werden, dass sie der Anordnung der Flipchipkontakte (5) entsprechen;

– Aufbringen der Halbleiterchips (4) mit ihren Flipchipkontakten (5) auf die Kontaktanschlussflächen (7) der Verdrahtungsstruktur (8) unter Ausbilden von Zwischenräumen (11) zwischen den Oberseiten (6) der Halbleiterchips (4) und der Verdrahtungsstruktur (8);

– Aufbringen einer Kunststoffmasse auf den Schaltungsträger (10) unter Einbetten der Halbleiterchips (4);

– Einbringen des Schaltungsträgers (10) mit der Kunststoffmasse in eine vorgeheizte evakuierbare Pressform zum Kompressionsmolden;

– Schließen der Pressform unter Erzeugen eines Vakuums in der Kavität der Pressform und unter Komprimieren der Kunststoffmasse, unter Auffüllen von Zwischenräumen (11) bei fortschreitender Aushärtung der Kunststoffmasse,

– Öffnen der Pressform und Entnehmen einer Verbundplatte (19) mit Schaltungsträger und mit in eine Kunststoffmasse (3) eingebetteten Halbleiterchips (4) und Flipchipkontakten (5);

– Auftrennen der Verbundplatte (19) in einzelne Halbleiterbauelemente (1).
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Vakuum in der Pressform beim Kompressionsmolden überwacht wird. Verfahren nach Anspruch 1 oder Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Pressform auf ihrer oberen Innenwand eine plastisch verformbare Folie aufweist, die sich bis in die Trennfuge der Pressform erstreckt und eine Abdichtung der Formhälften beim Pressverfahren sichert. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass als Kunststoffmasse (3) eine Silikonpaste eingesetzt wird. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Auftrennen der Verbundplatte (19) in einzelne Halbleiterbauelemente (1) mittels Sägetechnik oder Laserablation erfolgt. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass vor oder nach dem Auftrennen der Verbundplatte (19) in einzelne Halbleiterbauelemente (1) auf die Unterseite der Halbleiterbauelemente (1) oberflächenmontierbare Außenkontakte (20) auf frei zugänglichen Außenkontaktflächen (19) aufgebracht werden.






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