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Dokumentenidentifikation DE102005033269B3 15.02.2007
Titel Mikroelektronisch-pyrotechnischer Anzünder
Anmelder TRW Airbag Systems GmbH, 84544 Aschau, DE
Erfinder Tischer, Andreas, 84524 Neuötting, DE;
Laucht, Horst, 83543 Rott, DE
Vertreter Prinz und Partner GbR, 80335 München
DE-Anmeldedatum 15.07.2005
DE-Aktenzeichen 102005033269
Veröffentlichungstag der Patenterteilung 15.02.2007
Veröffentlichungstag im Patentblatt 15.02.2007
IPC-Hauptklasse B60R 21/26(2006.01)A, F, I, 20051017, B, H, DE
IPC-Nebenklasse F42B 3/13(2006.01)A, L, I, 20051017, B, H, DE   F42C 19/12(2006.01)A, L, I, 20051017, B, H, DE   F42C 11/00(2006.01)A, L, I, 20051017, B, H, DE   
Zusammenfassung Die Erfindung stellt einen mikroelektronisch-pyrotechnischen Anzünder (10) zur Verwendung in einem Fahrzeuginsassenrückhaltesystem bereit, mit einem Kern (12) aus einer ersten pyrotechnischen Ladung (13, 15), einem den Kern (12) umgebenden Mantel (14), einem an einer der an den Kern (12) angrenzenden Stirnseiten (16) des Anzünders (10) vorgesehenen Zündelement (18) und einem an der gegenüberliegenden Stirnseite (32) angeordneten und wenigstens mit dem Mantel (14) verbundenen Verschlusselement (26), der dadurch gekennzeichnet ist, dass das Verschlusselement (26) einen weiteren Kern (28) aus einer zweiten pyrotechnischen Ladung (29, 31), die aus einem porösen Brennstoff (29) und einem darin eingebrachten Oxidator (31) gebildet ist, und einen den weiteren Kern (28) umgebenden Mantel (30) aufweist.

Beschreibung[de]

Die vorliegende Erfindung betrifft einen mikroelektronisch-pyrotechnischen Anzünder zur Verwendung in einem Fahrzeuginsassenrückhaltesystem gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.

Herkömmliche Anzünder für Gasgeneratoren bestehen aus einem mit einem Sockel abgedichteten Gehäuse und in das Gehäuse eingebrachten Zündmitteln, die über einen Heizdraht, ein Dünnschichtelement oder eine Halbleiterbrücke gezündet werden. Häufig sind die Zündmittel aus einer Primärladung und einer Verstärkerladung zusammengesetzt, wobei mit der Verstärkerladung die eigentliche gaserzeugende Treibladung des Gasgenerators aktiviert wird. Anzünder dieser Bauart lassen sich aufgrund ihres Konstruktionsprinzips nicht miniaturisieren. Sie genügen daher teilweise nicht mehr den Anforderungen der Kraftfahrzeugindustrie nach Bauteilen mit geringem Bauraumbedarf.

Aus der gattungsbildenden DE 102 04 833 A1 ist ein mikroelektronischpyrotechnischer Anzünder zur Verwendung in einer Sicherheitseinrichtung für Fahrzeuge bekannt, der einen Kern aus einem explosionsfähigen Material, einen den Kern umgebenden Mantel aus einem Halbleitermaterial und ein am Kern angeordnetes Zündelement aufweist. Das explosionsfähige Material ist mit einem Deckel aus einem inerten Material zum Schutz gegen Umwelteinflüsse gas- und flüssigkeitsdicht verschlossen.

Die Energieausbeute eines solchen Anzünders wird durch den Deckel jedoch nachteilig beeinflußt, da der Deckel aufgrund des monolithischen Aufbaus des Zünders in der Zündrichtung angeordnet ist und somit die vom Anzünder zur Aktivierung der gaserzeugenden Treibladung des Gasgenerators freigesetzte Energiemenge wenigstens teilweise absorbiert, bevor der Deckel eine Öffnung für den Anzündstrahl freigibt. Je nach Konfiguration des Deckels kann deshalb auch eine Verstärkung des Anzünders auf der Seite des Zündelements notwendig werden, um einen unerwünschten Durchschlag des Anzündstrahls entgegen der Zündrichtung zu verhindern.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, den bekannten mikroelektronischpyrotechnischen Anzünder mit dem Ziel einer verbesserten Energieausbeute des Anzündersystems weiter zu entwickeln.

Erfindungsgemäß wird hierzu ein mikroelektronisch-pyrotechnischer Anzünder zur Verwendung in einem Fahrzeuginsassenrückhaltesystem mit den Merkmalen des Anspruchs 1 vorgeschlagen.

Mit der erfindungsgemäßen Ausführung des Verschlußelements als ein separates explosionsfähiges Bauteil wird einerseits die erforderliche Versiegelung der ersten pyrotechnischen Ladung erreicht, die damit sicher gegen Umwelteinflüsse geschützt ist. Andererseits wird bei einer Aktivierung der ersten pyrotechnischen Ladung auch das in dem erfindungsgemäßen Verschlußelement vorgesehene explosionsfähige Material umgesetzt, so daß die Energieausbeute des Gesamtsystems wesentlich erhöht ist. Die Bereitstellung eines „reaktiven" Verschlußsystems läßt außerdem eine variablere Konfiguration des erfindungsgemäßen Anzünders zu. So kann beispielsweise die erste pyrotechnische Ladung im Hinblick auf ihre Zündfähigkeit optimiert werden, während mittels der zweiten pyrotechnischen Ladung ein verbesserter Energieeintrag in die nachfolgende Zündkette erreicht werden kann. Diese Konfiguration ermöglicht ferner, die Abmessungen der reaktiven explosionsfähigen Kerne zu verkleinern, so daß im Herstellungsprozeß eine höhere Ausbeute erzielt werden kann.

Der poröse Brennstoff der zweiten pyrotechnischen Ladung ist vorzugsweise aus einem Halbleitermaterial wie beispielsweise Si, Ge, SiGe, SiC, InP und GaAs gebildet und besteht besonders bevorzugt aus porösem Silizium. Das poröse Halbleitermaterial ist ein schwammartiger Festkörper aus einem Netzwerk von Nanokristallen mit einer Strukturgröße (d.h. einer mittleren Größe der Nanokristalle) von zwischen etwa 2 nm und 1000 nm, bevorzugt zwischen etwa 2 und 50 nm, sowie einer Porosität, d.h. einem Verhältnis des Porenvolumens zum Volumen des porösen Probenkörpers (VPoren/VProbe) von zwischen 10% und 98%. Das poröse Halbleitermaterial kann eine spezifische Oberfläche von bis zu etwa 1000 m2/cm3, bevorzugt zwischen 200 und 1000 m2/cm3 aufweisen. Die Porengröße der von den Nanokristallen eingeschlossenen Poren liegt in einem Bereich von ebenfalls 2 bis 1000 nm. Zur Steuerung der Empfindlichkeit der pyrotechnischen Ladung kann der poröse Brennstoff beispielsweise durch Tempern an Luft oder durch Beschichten mit einem inerten Material wenigstens teilweise passiviert sein.

Der den weiteren Kern aus der zweiten pyrotechnischen Ladung umgebende Mantel kann ebenfalls aus einem Halbleitermaterial bestehen, wobei das Material des Kerns und des Brennstoffs gleich oder verschieden sein können. Der poröse Brennstoff der zweiten pyrotechnischen Ladung und der den Kern aus der zweiten pyrotechnischen Ladung umgebende Mantel sind aber vorzugsweise stoffgleich, wodurch eine einfache und kostengünstige Herstellung möglich wird. Besonders bevorzugt sind Kern und Mantel aus Silizium gebildet. Das Verschlußelement kann somit aus einem einzigen Siliziumwafer hergestellt werden, bei dem der Bereich, der den späteren Brennstoff bilden soll, durch elektrochemisches Ätzen des Siliziums in einem fluorwasserstoffhaltigen Elektrolyten unter Bildung von porösem Silizium behandelt wird, wogegen der den Mantel bildende Bereich unbehandelt bleibt. Mantel und Kern sind auf diese Weise einstückig miteinander ausgeführt und bilden einen mechanisch stabilen Verbund.

Das Verschlußelement kann weiter mit einer nur wenige &mgr;m dicken Membran verschlossen sein, die an der dem Zündelement entgegengesetzten Stirnseite des Verschlußelements angeordnet ist. Diese Membran verhindert, daß Feuchtigkeit und unerwünschte Stoffe in den Anzünder eindringen, und gewährleistet somit eine gute Funktionsfähigkeit des Anzünders während der gesamten Fahrzeuglebensdauer. Sie kann jedoch so dünn ausgeführt werden, daß sie dem bei der Aktivierung des Anzünders entstehenden Anzündstrahl keinen wesentlichen Widerstand entgegensetzt und damit die Energieausbeute des Anzündersystems nicht nachteilig beeinflußt.

Vorzugsweise sind der den Kern der zweiten pyrotechnischen Ladung umgebende Mantel und die Membran stoffgleich und einstückig miteinander verbunden. Die Membran besteht dann vorzugsweise aus einem Halbleitermaterial und bleibt als Restwandstärke bei der Herstellung des porösen Brennstoffs durch elektrochemisches Ätzen des Halbleiterwafers erhalten. Alternativ kann die Membran aus einem anderen Material wie beispielsweise Siliziumcarbid bestehen, das sich leicht auf dem Halbleitermaterial des Wafers herstellen läßt und als Ätzstopp wirkt.

Schließlich ist denkbar, die Membran durch Aufbringen dünner Schichten aus Siliziumdioxid, Siliziumnitrid, Glas, Keramik, Kunststoff oder Metall auf die Stirnfläche des Verschlußelements herzustellen.

Als Oxidationsmittel für die zweite pyrotechnische Ladung können bei Raumtemperatur feste oder flüssige Verbindungen oder Gemische verwendet werden, die Wasserstoffperoxid, Hydroxylammoniumnitrat, organische Nitroverbindungen und Nitrate, anorganische Nitrate, Nitrite, Chlorate, Perchlorate, Bromate, Jodate, Oxide, Peroxide, Ammoniumperchlorat, Ammoniumnitrat, Schwefel, Schwefelverbindungen oder deren Mischungen enthalten. Das Einbringen des Oxidationsmittels in den porösen Brennstoff kann durch Auftragen als Flüssigkeit oder in Lösung und anschließendes Verdampfen des Lösungsmittels erfolgen. Bevorzugt wird das Oxidationsmittel jedoch im geschmolzenen Zustand auf den porösen Brennstoff aufgetragen, wobei die Schmelze durch Kapillarkräfte in die Poren des Brennstoffs gezogen wird und darin erstarrt. Dieses Verfahren eignet sich insbesondere für Schwefel und Schwefelverbindungen sowie für niedrig schmelzende Alkalimetallverbindungen, wie Lithiumnitrat, Kaliumnitrat und Kaliumperchlorat.

Die erste pyrotechnische Ladung des Anzünders kann ebenfalls aus einem porösen Brennstoff und einem darin eingebrachten Oxidationsmittel gebildet sein, wobei der Brennstoff und/oder das Oxidationsmittel der ersten und der zweiten pyrotechnischen Ladung gleich oder verschieden sein können. Als Brennstoff und Oxidationsmittel für die erste pyrotechnische Ladung eignen sich somit die gleichen Stoffe und Verbindungen wie für die zweite pyrotechnische Ladung. Soll eine Materialunverträglichkeit zwischen den Oxidationsmitteln der beiden pyrotechnischen Ladungen vermieden werden, so weisen sie vorzugsweise den gleichen oder einen chemisch ähnlichen Oxidator auf. Die Verwendung unterschiedlicher Oxidationsmittel für die erste und die zweite pyrotechnische Ladung bietet jedoch den Vorteil, daß ein Anzünder mit einem Energieprofil geschaffen werden kann, das den Profilen von herkömmlichen pulverbasierten pyrotechnischen Anzündern ähnlich ist, die aus einer Primärladung und einer Verstärkerladung bestehen, der aber wesentlich kleinere Abmessungen als die herkömmlichen Anzünder aufweist. Darüber hinaus können bei dieser Ausführungsform die erste und die zweite pyrotechnische Ladung so konfiguriert werden, daß erstere eine verbesserte Zündfähigkeit aufweist, während die zweite pyrotechnische Ladung stabiler gegen Umwelteinflüsse ist.

Die porösen Brennstoffe der ersten und der zweiten pyrotechnischen Ladung sowie der die erste pyrotechnischen Ladung umgebende Mantel und der weitere, die zweite pyrotechnischen Ladung umgebende Mantel sind vorzugsweise stoffgleich und besonders bevorzugt aus Silizium hergestellt. Damit kann eine Materialunverträglichkeit ausgeschlossen und eine sichere und dauerhafte Verbindung zwischen dem Verschlußelement und dem die erste pyrotechnische Ladung umgebenden Mantel hergestellt werden. Darüber hinaus sind auch die Produktionskosten niedriger, da diese Teile des Anzünders alle auf einem einzigen Halbleiterwafer hergestellt werden können

Die Verbindung des Verschlußelements mit dem den Kern aus der ersten pyrotechnischen Ladung umgebenden Mantel erfolgt vorzugsweise mittels einer Klebverbindung, einer Bondverbindung, einer Lötverbindung oder einer Schweißverbindung. Es kann aber auch jede andere, dem Fachmann geläufige Verbindungstechnik eingesetzt werden.

Der erfindungsgemäße Anzünder eignet sich insbesondere zur Verwendung in Gassackmodulen oder Gurtstraffern. Er bietet aufgrund der Bereitstellung eines reaktiven Verschlußelements gegenüber den bekannten mikroelektronischpyrotechnischen Anzündern den Vorteil einer verbesserten Energieausbeute und die Möglichkeit einer optimierten Gestaltung des Energieprofils. Aufgrund des segmentweisen Aufbaus der reaktiven Bereiche des Anzünders sind außerdem höhere Füllgrade mit Oxidationsmittel erreichbar, wodurch die Funktionsfähigkeit des Anzünders weiter erhöht werden kann. Da die reaktiven Bereiche des Anzünders weiter verkleinert werden können, ist schließlich auch von niedrigeren Herstellungskosten auszugehen.

Weitere Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der folgenden Beschreibung unter Bezugnahme auf die Zeichnung. In der Zeichnung zeigt:

1 eine schematische Darstellung eines erfindungsgemäßen Anzünders.

Der in 1 dargestellte erfindungsgemäße Anzünder 10 weist einen Kern 12 aus einer ersten pyrotechnischen Ladung und einen den Kern 12 umgebenden Mantel 14 auf. Der Kern 12 der ersten pyrotechnischen Ladung besteht aus einem porösen Brennstoff 13, wie z.B. porösem Silizium, in den ein Oxidationsmittel 15 eingebracht ist. Der den Kern des porösen Brennstoffs umgebende Mantel 14 ist ein massiver Festkörper, der vorzugsweise aus einem Halbleitermaterial besteht. Bei der in 1 gezeigten Ausführungsform sind der Mantel 14 und der poröse Brennstoff 13 stoffgleich und integral miteinander ausgeführt.

An der in 1 unteren, an den Kern 12 angrenzenden Stirnseite 16 des Anzünders ist ein Zündelement 18 angeordnet. Das Zündelement 18 befindet sich zwischen elektrischen Kontaktflächen 20, die Zuleitungen 22 für elektrische Kontakte aufweisen. Das Zündelement 18 steht bevorzugt in direktem Kontakt mit der ersten pyrotechnischen Ladung und löst bei Stromdurchgang eine Zündung dieses Materials aus. Zwischen dem Zündelement 18 bzw. den elektrischen Kontaktflächen 20 und der Stirnfläche 16 des Kerns 12 kann aber auch eine dünnere Membran vorgesehen sein.

An einer der Stirnseite 16 gegenüberliegenden Stirnseite 24 des Kerns aus der ersten pyrotechnischen Ladung ist ein Verschlußelement 26 als separates Bauteil vorgesehen. Das Verschlußelement 26 weist einen weiteren Kern 28 aus einer zweiten pyrotechnischen Ladung und einen den weiteren Kern 28 umgebenden Mantel 30 auf. Der Kern 28 der zweiten pyrotechnischen Ladung besteht ebenfalls aus einem porösen Brennstoff 29, der bevorzugt ein poröses Halbleitermaterial ist, und einem in die Poren des Brennstoffs 29 eingebrachten Oxidationsmittel 31. Der Brennstoff 29 ist besonders bevorzugt poröses Silizium mit einer Strukturgröße (mittlere Größe der Si-Nanokristalle) von zwischen etwa 2 und 50 nm und einer Porosität (VPoren/VProbe) von zwischen etwa 40 und 80%. Das Silizium kann schwach oder stark p-dotiert oder n-dotiert sein. Auch die Verwendung von undotiertem Silizium ist möglich. Der Mantel 30 und der poröse Brennstoff sind vorzugsweise stoffgleich und integral miteinander ausgeführt.

Die in die porösen Brennstoffe 13, 29 der ersten und der zweiten pyrotechnischen Ladung eingebrachten Oxidationsmittel 15, 31 können gleich oder verschieden sein. Sie sind bei Raumtemperatur fest oder flüssig und können aus der aus Wasserstoffperoxid, Hydroxylammoniumnitrat, organischen Nitroverbindungen und Nitraten, Metallnitraten, -nitriten, Metallchloraten, -perchloraten, -bromaten, -jodaten, -Oxiden, -peroxiden, Ammoniumperchlorat, Ammoniumnitrat, Schwefel und Schwefelverbindungen oder deren Mischungen bestehenden Gruppe ausgewählt sein. Bevorzugt sind die Oxidationsmittel Alkalimetallnitrate, Alkalimetallperchlorate oder Schwefel.

An einer dem Zündelement 18 entgegengesetzten, in der 1 oberen Stirnseite 32 des Anzünders ist eine Membran 34, d.h. eine dünne, nur wenige &mgr;m starke Schicht, angeordnet. Die Membran 34 kann mit dem den Kern 28 der zweiten pyrotechnischen Ladung umgebenden Mantel 30 stoffgleich und einstückig verbunden sein. Bevorzugt besteht die Membran 34 aus einem Halbleitermaterial, und besonders bevorzugt aus Silizium. Alternativ dazu kann die Membran 34 auch aus SiO2 gebildet sein, welches sich leicht auf dem Halbleitermaterial des Mantels 30 herstellen läßt und bei der Herstellung des Kerns 28 als Ätzstop wirkt. Die Membran 34 kann aber auch aus SiO2, Siliziumnitrid, Glas, Keramik, Kunststoff oder Metall gebildet und auf die Stirnseite 32 des Kerns 28 aufgebracht sein. Sofern die zweite pyrotechnische Ladung hinreichend stabil gegenüber Umwelteinflüssen ist und den üblichen Anforderungen an die Warmlagerbeständigkeit genügt, kann die Membran 34 aber auch entfallen.

Das Verschlußelement 26 ist wenigstens über den die zweite pyrotechnische Ladung umgebenden Mantel 30 mit dem die erste pyrotechnische Ladung umgebenden Mantel 14 verbunden. Die Verbindung kann über herkömmliche Bond-, Klebe-, oder anderen Verbindungstechniken erfolgen. Das Verschlußelement 26 und das das Zündelement 18 tragende Anzündersegment mit dem Kern 12 und Mantel 14 grenzen somit direkt aneinander an und können nach Art eines herkömmlichen pyrotechnischen Anzünders auf Pulverbasis mit Primärladung und Sekundärladung ausgeführt sein, wobei durch die Auswahl unterschiedlicher Oxidationsmittel 15, 31 verschiedene Energieprofile der ersten und der zweiten pyrotechnischen Ladung eingestellt werden können.

Zur Herstellung des Anzünders 10 werden Waferscheiben aus Silizium oder anderen Halbleitermaterialien nach bekannten Verfahren, wie sie beispielweise in Physical Review Letters 87/6 (2001), S. 068301/1 bis 068301/4, oder der WO-A-96/36990 beschrieben sind, in ausgewählten Bereichen einer Ätzbehandlung in einem fluoridhaltigen Elektrolyten unterzogen. Der Elektrolyt ist vorzugsweise ein Gemisch aus Ethanol und wäßriger Flußsäure (50prozentig) in einem Volumenverhältnis von zwischen 3:1 und 1:3. Die Stromdichte des Anodisierungsstroms liegt vorzugsweise im Bereich zwischen 20 und 70 mÅ/cm2. Das Wafersubstrat kann aus n-dotiertem, p-dotiertem oder undotiertem Silizium bestehen. Die Dotierung kann schwach oder stark konzentriert sein. Während der Ätzbehandlung kann das Wafersubstrat in bekannter Weise belichtet werden. Die Ätzbehandlung führt zur Bildung eines Kerns aus porösem Silizium mit diesen Kern umgebenden und integral mit dem porösen Silizium verbundenen Seitenwänden aus massivem Silizium. Die Ätzbehandlung wird vorzugsweise so durchgeführt, daß an einer der Stirnseiten des Kerns bzw. des Wafersubstrats durch einen eindiffundierten Ätzstop eine geringe Restwandstärke (Membran) von wenigen &mgr;m verbleibt. Das Substrat kann gegebenenfalls auch durchgeätzt und, falls gewünscht, die Membran später aufgebracht werden. Andere Herstellungsverfahren für poröse Halbleitermaterialien umfassen chemische oder physikalische Abscheidungsverfahren wie CVD, PVD, MOCVD, MBE oder Sputtern. Das poröse Halbleitermaterial wird in diesem Fall auf einem Träger aus massivem Halbleitermaterial abgeschieden.

Das so hergestellte poröse Halbleitermaterial wird gegebenenfalls durch Tempern an Luft passiviert und mit dem gewünschten Oxidationsmittel befüllt. Da der erfindungsgemäße Anzünder segmentweise aufgebaut ist und die einzelnen Anzündersegmente somit geringere Porentiefen im Bereich der jeweiligen Kerne aufweisen, lassen sich auf diese Weise höhere Füllgrade erzielen.

Über herkömmliche Siliziumprozeßtechniken kann das Wafersubstrat für den Anzünder anschließend mit den Kontakten versehen, in die gewünschte Größe geschnitten und schließlich mit den Zuleitungen kontaktiert werden. Das Verschlußelement kann mittels bekannter Bondtechnik hermetisch mit dem Anzünder verbunden werden.

Die vorliegende Erfindung ermöglicht die Herstellung eines miniaturisierten Anzünders zur Verwendung in Gasgeneratoren, Gurtstraffern oder anderen sicherheitstechnischen Einrichtungen in Fahrzeugen nach bekannten, in großtechnischem Maßstab durchführbaren und deshalb kostengünstigen Verfahrensschritten. Aufgrund des vorgeschlagenen segmentweisen Aufbaus des erfindungsgemäßen Anzünders mit einem reaktiven Verschlußelement sind verschiedene Energieprofile einstellbar. Außerdem lassen sich die erfindungsgemäßen Anzünder leicht in einen bestehenden Halbleiterschaltkreis integrieren.


Anspruch[de]
Mikroelektronisch-pyrotechnischer Anzünder (10) zur Verwendung in einem Fahrzeuginsassenrückhaltesystem, mit einem Kern (12) aus einer ersten pyrotechnischen Ladung, einem den Kern (12) umgebenden Mantel (14), einem an einer der an den Kern (12) angrenzenden Stirnseiten (16) vorgesehenen Zündelement (18) und einem an der dem Zündelement (18) gegenüberliegenden Stirnseite angeordneten und wenigstens mit dem Mantel (14) verbundenen Verschlußelement (26), wobei die erste pyrotechnische Ladung einen einstückig mit dem Mantel (14) gebildeten porösen Brennstoff (13) umfaßt, dadurch gekennzeichnet, daß das Verschlußelement (26) einen weiteren Kern (28) aus einer zweiten pyrotechnischen Ladung und einen den weiteren Kern (28) umgebenden zweiten Mantel (30) aufweist, wobei die zweite pyrotechnische Ladung aus einem einstückig mit dem zweiten Mantel (30) gebildeten porösen Brennstoff (29) und einem in den porösen Brennstoff (29) eingebrachten Oxidationsmittel (31) besteht. Anzünder (10) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der poröse Brennstoff (29) der zweiten pyrotechnischen Ladung und der zweite Mantel (30) aus einem Halbleitermaterial gebildet sind. Anzünder (10) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Verschlußelement (26) eine Membran (34) aufweist, die an einer dem Zündelement (18) entgegengesetzten Stirnseite (32) des Verschlußelements (26) angeordnet ist. Anzünder (10) nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der den Kern (28) der zweiten pyrotechnischen Ladung umgebende Mantel (30) und die Membran (34) stoffgleich sind. Anzünder (10) nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der den weiteren Kern (28) aus der zweiten pyrotechnischen Ladung umgebende zweite Mantel (30) und die Membran (34) aus unterschiedlichen Materialien bestehen. Anzünder (10) nach einem der Ansprüche 3 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Membran (34) aus Silizium, einer Siliziumverbindung, Glas, Keramik, Kunststoff oder Metall gebildet ist. Anzünder (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß der poröse Brennstoff (29) der zweiten pyrotechnischen Ladung aus porösem Silizium besteht. Anzünder (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß das Oxidationsmittel (31) der zweiten pyrotechnischen Ladung Wasserstoffperoxid, Hydroxylammoniumnitrat, organische Nitroverbindungen und Nitrate, anorganische Nitrate, Nitrite, Chlorate, Perchlorate, Bromate, Jodate, Oxide, Peroxide, Ammoniumperchlorat, Ammoniumnitrat, Schwefel, Schwefelverbindungen oder deren Mischungen enthält. Anzünder (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die erste pyrotechnische Ladung aus einem porösen Brennstoff (13) und einem darin eingebrachten Oxidationsmittel (15) gebildet und der poröse Brennstoff (13) der ersten pyrotechnischen Ladung und der Brennstoff (29) der zweiten pyrotechnischen Ladung gleich oder verschieden sind. Anzünder (10) nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß das Oxidationsmittel (15) der ersten pyrotechnischen Ladung und das Oxidationsmittel (31) der zweiten pyrotechnischen Ladung gleich oder verschieden sind. Anzünder (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß der den Kern (12) aus der ersten pyrotechnischen Ladung umgebende Mantel (14) und der den weiteren Kern (28) aus der zweiten pyrotechnischen Ladung umgebende zweite Mantel (30) gleich oder verschieden sind. Anzünder (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß der den Kern (12) aus der ersten pyrotechnischen Ladung umgebende Mantel (14) mit dem Verschlußelement (26) mittels einer Klebeverbindung, einer Bondverbindung, einer Lötverbindung oder einer Schweißverbindung verbunden ist.






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