1A Schematische Darstellung der keilförmigen Ventilkonstruktion

1B Schematische Darstellung des Ventils der keilförmigen Ventilkonstruktion

2A Schematische Darstellung der Ventilkonstruktion des Parallelogramms

2B Schematische Darstellung des Ventils der Ventilkonstruktion des Parallelogramms

3 Schematische Darstellung der VAT-Ventilkonstruktion

4 Schematische Darstellung einer bevorzugten Ausführung der Ventilkonstruktion der vorliegenden Erfindung.

5 Schematische Darstellung der bevorzugten Ausführung mit zerlegten Komponenten

6 Schematische Darstellung der bevorzugten Ausführung im Querschnitt

7A Stereographische Darstellung einer Anwendung der vorliegenden Erfindung

7B Schematische Darstellung der Anwendung der vorliegenden Erfindung in der Seitenansicht

7C Schematische Darstellung der Anwendung der vorliegenden Erfindung in der Seitenansicht

8A Stereographische Darstellung der vorliegenden Erfindung bei der Anwendung mit einem breiteren Ventil (größer als 1.2 Meter)

8B Schematische Darstellung der Seitenansicht der vorliegenden Erfindung bei der Anwendung mit einem breiteren Ventil (größer als 1.2 Meter)

4 zeigt schematisch eine bevorzugte Ausführung der Ventilkonstruktion der vorliegenden Erfindung. 5 zeigt diese bevorzugte Ausführung mit zerlegten Komponenten. 6 zeigt schematisch einen Querschnitt der bevorzugten Ausführung. Um die Komponenten in den Figuren klar darzustellen, wird eine gestrichelte Linie als eine Spiegelungsachse in 4-6 eingezeichnet und nur die Komponenten an irgend einer Seite der Spiegelungsachse werden zur Erklärung markiert. Wie in 4-6 gezeigt, besteht eine Ventilkonstruktion der vorliegenden Erfindung aus: einem Ventilkörper 20 mit einem Ventilkörper, der ein Ende zum Verbinden mit einem Ventilgehäuse 21 hat, und an welchem Ventilkörper 20 ein Zylinder 23 mit einer Kolbenstange 22 als eine dynamische Einheit, eine entlang der vertikalen Richtung erstreckte erste Führungsmulde 24 sowie eine entlang der horizontalen Richtung erstreckte zweite Führungsmulde 25 versehen sind, wobei die erste Führungsmulde 24 am Ende des Ventilkörpers 20 nahe des Ventilgehäuses 21 ein gekrümmtes Ende 26 hat, welches gekrümmte Ende 26 in die Gegenrichtung der Ventilseite des Ventilkörpers zugewandten Seite des Ventilkörper 20 gebeugt ist, und am Ventilkörper 20 an der Ventilseite ein Führungsbrett 28 (nicht gezeigt in 4) versehen ist, und innerhalb des Ventilgehäuses 21 eine Öffnung 29 versehen ist, welche Öffnung 29 an ihrer einen Seite eine innere Kopplungsfläche hat, und welches Ventilgehäuse 21 an seinen beiden Seiten jeweils eine Kopplungsfläche der Vakuumkammer 30 und 31 hat; eine Lenkergetriebe, die aus einem Schubbrett 32 mit seinen zwei am Ventilkörper 20 zentral verkoppelt Enden und einem Lenkerbrett 33 besteht, wobei sich das Lenkerbrett 33 an der dem Ventilgehäuse 21 zugewandten Seite des Schubbretts 32 befindet, und an welchem Schubbrett 32 ein erster Drehpunktteil 34 und ein zweiter Drehpunktteil 35 versehen sind, wobei sich der erste Drehpunktteil 34 an der Achse des Schubbretts 32 befindet und sich der zweit Drehpunktteil 35 am Schubbrett 34 an einer Seite der Achse des Schubbretts 32 befindet, und welcher erste Drehpunktteil 34 mit einem Ende der Kolbenstange 22 des Zylinders 23 zentral verkoppelt ist, und welcher zweite Drehpunktteil 35 durch das Pivot des zweiten Drehpunktteils 36 mit einer Seite des Lenkerbretts 33 zentral verkoppelt ist, an beiden Enden des Schubbretts 32 und des Lenkerbretts 33 jeweils ein Führungsrad des Schubbretts 37 und ein Führungsrad des Lenkerbretts 38 versehen sind, wobei das Führungsrad des Schubbretts 37 und das Führungsrad des Lenkerbretts 38 in die erste Führungsmulde 24 des Ventilkörpers 20 eingelegt sind, und an der Achse des Schubbrett 32 zu mindest ein Führungsrad der Gegenkraft 39 versehen ist, welches Führungsrad der Gegenkraft 39 mit dem Führungsbrett 28 in Berührung kommt und darauf rollen kann; einer Baueinheit des Antriebs, die aus einem flexiblen gasdichten Rohr 40 und einem Gestänge 41 besteht, wobei das flexible gasdichte Rohr 40 ein metallisches flexibles Rohr ist und den Teil des Gestänges 41 zwischen einem dynamischen Ende 42 und einem Ende des Gestänges 41 als Ventilstütze umschließt, welches dynamische Ende 42 des Gestänges über ein freies Ende 43 des flexiblen gasdichten Rohrs 40 herausragt und mit dem Lenkerbrett 33 der Lenkergetriebe verbunden ist, wobei das andere Ende des flexiblen gasdichten Rohrs 40 als ein festes Ende 44 des flexiblen gasdichten Rohrs 40 an dem Ende des Ventilkörpers 20 zur Verbindung mit dem Ventilgehäuse 21 fest angebracht ist, so dass das Ende des Gestänges 41 als Ventilstütze über ein an dem Ventilkörper 20 versehenes Loch als Drehpunkt 45 in das Ventilgehäuse 21 hineinragt, und am freien Ende 43 des flexiblen gasdichten Rohr 40 ein am Ventilkörper 20 zentral verkoppelter Schaukelteil 46 versehen ist, welcher Schaukelteil 46 sich zwischen der Lenkergetriebe und dem freien Ende 43 des flexiblen gasdichten Rohrs 40, wobei das dynamische Ende 42 des Gestänges 41. durch ein Loch im Schaukelteil 46 am Lenkerbrett 33 angebracht ist, und an zwei Enden des Schaukelteils 46 jeweils ein Führungsrad des Schaukelteils 47 versehen ist, welches Führungsrad des Schaukelteils 47 in die zweite Führungsmulde 25 eingelegt ist; sowie ein Ventil 48, welches Ventil 48 sich im Ventilgehäuse 21 befindet und am Ende des Gestänges 41 als Ventilstütze angebracht ist, wobei an einer der Ventilseite des Ventilkörpers zugewandten Seite des Ventils 48 eine ringförmige Mulde auf einer flachen Ebene versehen ist, um einen Flansch mit der ringförmigen Mulde und einem in sie eingelegten Dichtring zu realisieren, so dass beim Zuschließen das Ventil die innere Kopplungsfläche auf der Öffnung 29 des Ventilgehäuses 21 gasdicht kontaktiert.

7A zeigt stereographisch eine Anwendung der vorliegenden Erfindung in der oben beschriebenen Realisierungsform. 7B zeigt eine Seitenansicht der Anwendung der vorliegenden Erfindung in der oben beschriebenen Realisierungsform, wobei entlang einer Richtung senkrecht auf der Kopplungsrichtung der Vakuumkammer beobachtet wird. 7C zeigt eine andere Seitenansicht der Anwendung der vorliegenden Erfindung in der oben beschriebenen Realisierungsform, wobei der Kopplungsrichtung der Vakuumkammer beobachtet wird. Wie in 7A, 7B und 7C gezeigt, die zwei Kopplungsflächen der Vakuumkammer 30 und 31 des Ventilgehäuse 21 dieser Ventilkonstruktion jeweils mit den zwei Vakuumkammer 49, 50 gasdicht gekoppelt sind, so dass bei geöffnetem Ventil zwischen den Vakuumkammern 49, 50 Objekte durch die Öffnung 29 gefördert werden können und bei zugeschlossenem Ventil die Vakuumkammer 49, 50 gasdicht voneinander isoliert sind.

Wie in 4-6 gezeigt, der Aktionsmechanismus einer Ventilkonstruktion der vorliegenden Erfindung funktioniert in der folgenden bevorzugten Weise. Beim geöffneten Zustand ist die Öffnung 29 innerhalb des Ventilgehäuses 21 nicht vom Ventil 48 bedeckt. Zum Schließen des Ventils, übt der Zylinder 23 durch die Kolbenstange 22 eine Kraft auf den ersten Drehpunktteil 34 des Schubbretts 32, so dass das Schubbrett 32 und das Lenkerbrett 33 mit dem Führungsrad des Lenkerbretts 38 entlang der ersten Führungsmulde 24 zur Richtung des Ventilgehäuses 21 eine vertikale Bewegung ausführen, wobei das Schubbrett 32 und das Lenkerbrett 33 einen Wickel von etwa 60 Grad einschließen, bis das Führungsrad des Lenkerbretts 38 an die Krümmungsstelle der ersten Führungsmulde 24 kommt und somit das Ventil 48 auf die gleiche Höhe wie die Öffnung 29 im Ventilgehäuse 21 kommt. Inzwischen berührt das Ventil 48 aber noch nicht die innere Kopplungsfläche des Ventilgehäuse 21. Die Kolbenstange 22 des Zylinders 23 übt weiter eine Kraft in Richtung zum Ventilgehäuse 21 auf dem ersten Drehpunktteil 34 des Schubbrett 32 Das Schubbrett 32 ist der vom Führungsbrett 28 auf das Führungsrad der Gegenkraft 39 geübten horizontalen Kraft und der von der ersten Führungsmulde auf dem Führungsrad des Schubbretts 37 geübten Kraft ausgesetzt. Hierdurch übt der zweite Drehpunktteil 35 des Schubbretts 32 eine horizontale Kraft auf das Pivot des zweiten Drehpunktteils 36 des Lenkerbretts 33, so dass das Führungsrad des Lenkerbretts 38 des Lenkerbretts 33 entlang der horizontalen Richtung in das gekrümmtes Ende 26 hinein rollt. Zu dieser Zeit führt das dynamisches Ende 42 des am Lenkerbrett 33 angebrachten Gestänges 41 eine horizontale Bewegung in Richtung zur Ventilseite des Ventilkörpers 20 aus, wobei das Führungsrad des Schaukelteils 47 des Schaukelteils 45 entlang der zweiten Führungsmulde 25 in der horizontalen Richtung rollt, so dass sich das flexible gasdichte Rohr 40 mit dem mit dem Schaukelteil 46 versehenen freien Ende 43 in Gegenrichtung der Richtung zur Ventilseite des Ventilkörpers 20 etwa 2 Grad beugt. Hierdurch führt das Gestänge 41 mit dem am Ventilkörper 20 versehenen Loch als einem Drehpunkt 45 eine Lenkerbewegung, wobei sich das am Ende des Gestänges 41 als Ventilstütze versehene Ventil 48 in Richtung der Ventilseite des Ventilkörpers 20 bewegt und die innere Kopplungsfläche der Öffnung 29 gasdicht überdeckt und damit den Prozess des Zuschließens der Ventilkonstruktion beendet. Wenn im oben beschriebenen Prozess des Zuschließens der Ventilkonstruktion das Führungsrad 33 des Lenkerbretts 38 in das gekrümmte Ende hinein rollt, dreht sich das Schubbrett 32 mit dem zweiten Drehpunktteil 35 als einer Achse, wobei sich der zwischen dem Schubbrett 32 und dem Lenkerbrett 33 eingeschlossen Winkel von etwa 60 Grad über 0 Grad zu etwa –5 Grad ändert. Die nun stabile Konstruktion mit dem Ventilkörper 20, dem Schubbrett 32, dem Lenkerbrett 33 und dem Loch als Drehpunkt 45 hält das dynamisches Ende 42 des Gestänges 41 fest, wobei sich die Lenkergetriebe in einer stabilen abgesperrten Lage befindet und hierdurch das gasdichte Schließen der Ventilkonstruktion ohne den Antrieb des Zylinders 23 zu sichern ist. Zum Öffnen des Ventils übt die Kolbenstange 22 des Zylinders 23 eine Kraft auf den ersten Drehpunktteil 34 des Schubbretts 32 in Richtung weg vom Ventilgehäuse 21, wobei sich das Schubbrett 32 mit seinem zweiten Drehpunktteil 35 als einer Achse dreht, bis sich der zwischen dem Schubbrett 32 und dem Lenkerbrett 33 eingeschlossene Winkel von etwa –5 Grad über 0 Grad zu etwa 60 Grad ändert und der abgesperrte Zustand der Lenkergetriebe aufgelöst wird. Inzwischen geht Führungsrad 38 des Lenkerbretts 33 in der horizontalen Richtung aus dem gekrümmten Ende 26 aus, wobei das dynamische Ende 42 des am Lenkerbrett 33 versehenen Gestänges 41 in Richtung zur Ventilseite des Ventilkörpers 20 eine horizontale Bewegung ausführt, während das Führungsrad des Schaukelteils 47 des Schaukelteils 46 in der zweiten Führungsmulde 25 eine horizontale Bewegung ausführt. Inzwischen beugt sich das flexible gasdichte Rohr 40 mit seinem mit dem Schaukelteil 46 versehenen freien Ende 43 etwa 2 Grad in Richtung zur Ventilseite des Ventilkörpers 20, wobei das Gestänge 41 mit dem am Ventilkörper 20 versehenen Loch als Drehpunkt 45 eine Lenkerbewegung ausführt. Dabei führt das am Ende des Gestänges 41 als Ventilstütze versehene Ventil 48 in die Gegenrichtung der Richtung zur Ventilseite des Ventilkörpers 20 eine horizontale Bewegung aus und sich von der inneren Kopplungsfläche entkoppelt. Dann übt weiter die Kolbenstange 22 eine Kraft auf den ersten Drehpunktteil 34 des Schubbretts 32 in Richtung weg vom Ventilgehäuse 21, so dass das Schubbrett 32 und das Lenkerbrett 33 mit dem ersten Führungsrad des Lenkerbretts 38 entlang der ersten Führungsmulde 24 in Richtung weg vom Ventilgehäuse 21 eine vertikale Bewegung ausführen, bis das Gestänge 41 das Ventil 48 zurück zur Stelle zieht, wo das Ventil 48 die Öffnung 29 nicht überdeckt, und hiermit der Prozess des Öffnens der Ventilkonstruktion beendet wird. Zu beachten ist, dass das in der vorliegenden Erfindung verwendete flexible gasdichte Rohr nur etwa 2 Grad gebeugt werden muss und nicht dehnbar sein muss. Daher ist die Verwendung von teueren gasdichten dehnbaren Röhren zu vermeiden.

8A zeigt stereographisch die vorliegende Erfindung bei einem Beispiel der Anwendung mit einem breiteren Ventil (größer als 1.2 Meter). Wenn die vorliegende Erfindung für große Vakuumkamme angewandt wird, wie in 8A gezeigt, werden eine erste Ventilkonstruktion 51 und eine zweite Ventilkonstruktion 52 kombiniert, um eine gasdichte Isolierung zu realisieren. 8B zeigt die Seitenansicht des oben genannten Beispiels der Anwendung mit einem breiteren Ventil (größer als 1.2 Meter).