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Dokumentenidentifikation DE102005045680A1 05.04.2007
Titel Vorrichtung zum Ausrichten eines Gegenstandes
Anmelder Uschkurat, Edmund, 64397 Modautal, DE
Erfinder Uschkurat, Edmund, 64397 Modautal, DE
Vertreter Winter Lewandowsky Patentanwälte, 71364 Winnenden
DE-Anmeldedatum 24.09.2005
DE-Aktenzeichen 102005045680
Offenlegungstag 05.04.2007
Veröffentlichungstag im Patentblatt 05.04.2007
IPC-Hauptklasse G12B 5/00(2006.01)A, F, I, 20050924, B, H, DE
Zusammenfassung Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung (10) zum Ausrichten eines Gegenstandes entlang einer X-Achse, einer Y-Achse und einer Z-Achse, wobei die X-Achse, die Y-Achse und die Z-Achse senkrecht aufeinander stehen. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass die Vorrichtung (10) eine Grundplatte (11) sowie einen entlang der X-Achse verstellbaren Tisch (13), einen entlang der Y-Achse verstellbaren Tisch (14) und einen entlang der Z-Achse verstellbaren Tisch (12) aufweist, dass die Tische (12, 13, 14) übereinander angeordnet sind und dass der mittlere (13) Tisch einerseits mit dem oberen Tisch (14) und andererseits mit dem unteren Tisch (12) verbunden ist und der untere Tisch (12) mit der Grundplatte (11) verbunden ist.

Beschreibung[de]

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Ausrichten eines Gegenstandes entlang einer X-Achse, einer Y-Achse und einer Z-Achse, wobei die X-Achse, die Y-Achse und die Z-Achse senkrecht aufeinander stehen.

Eine gattungsgemäße Vorrichtung ist aus der DE-OS 2 056 568 bekannt. Diese Druckschrift offenbart einen Justiertisch zum Ausrichten eines Gegenstandes in sechs Freiheitsgraden. Der Gegenstand soll entlang einer X-Achse, einer Y-Achse und einer Z-Achse, wobei diese Achsen alle senkrecht aufeinander stehen, verschiebbar und um diese Achsen kippbar sein. Hierfür sind zwei U-förmige Bauteile ineinander greifend angeordnet und darauf ineinander gelagerte Zylindersegmente kraftschlüssig gelagert. Die Zylindersegmente dienen zum Verschieben in X- und Y-Richtung, und die U-förmigen Bauteile bewirken die Verschiebung in Z-Richtung. Die Verschiebung erfolgt über zahlreiche Schrauben- oder Keilgetriebe. Diese Vorrichtung hat einen äußerst komplexen und aufwendigen Aufbau. Sie ist daher kein Vorbild für eine Vorrichtung, bei der lediglich ein Ausrichten entlang der drei Raumachsen gewünscht ist.

Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht somit darin, eine gattungsgemäße Vorrichtung bereitzustellen, die einfach aufgebaut und bequem zu bedienen ist.

Die Lösung besteht in einer Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass die Vorrichtung eine Grundplatte sowie einen entlang der X-Achse verstellbaren Tisch, einen entlang der Y-Achse verstellbaren Tisch und einen entlang der Z-Achse verstellbaren Tisch aufweist, dass die Tische übereinander angeordnet sind und dass der mittlere Tisch einerseits mit dem oberen Tisch und andererseits mit dem unteren Tisch verbunden ist und der untere Tisch mit der Grundplatte verbunden ist.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung ist aus lediglich vier einfach herzustellenden Bauteilen zusammengesetzt. Diese Bauteile sind so miteinander verbunden, dass jeder Tisch sich entlang der ihm geordneten Achse verschieben lässt und dass der obere Tisch allein, d.h. unabhängig von den beiden anderen Tischen bewegbar ist, dass der mittlere Tisch bei seiner Bewegung den oberen Tisch mitnimmt und dass der untere Tisch bei seiner Bewegung sowohl den mittleren als auch den oberen Tisch mitnimmt. Jeder Tisch ist in eine der drei Raumrichtungen des kartesischen Koordinatensystems bewegbar, wobei es für die Erfindung unerheblich ist, welcher Tisch im Einzelfall welcher Raumrichtung zugeordnet ist. Die erfindungsgemäße Vorrichtung kann also in jeder beliebigen Orientierung in eine für sie vorgesehen Apparatur eingebaut werden. Dabei kann der auszurichtende Gegenstand immer auf dem oberen Tisch angeordnet sein.

Vorteilhafte Weiterbildungen ergeben sich aus den Unteransprüchen.

Die drei Tische sind bspw. mittels auf der Grundplatte gelagerter Gewindespindeln entlang der X-Achse, der Y-Achse bzw. der Z-Achse verstellbar. Dies ermöglicht eine einfache Handhabung und eine genaue Ausrichtung des jeweiligen Gegenstandes in der ihm zugedachten Bezugsachse.

Eine besonders bevorzugte Weiterbildung besteht darin, dass die Verbindung eines oder mehrerer der drei Tische mittels entlang einer Achse auslenkbarer federelastischer Verbindungselemente erfolgt. Dabei ist bspw. der untere Tisch mittels mindestens zweier parallel übereinander liegender, entlang der dem unteren Tisch zugeordneten Achse auslenkbarer federelastischer Verbindungselemente mit der Grundplatte, vorzugsweise mit einem auf der Grundplatte angeordneten Bock verbunden. Der mittlere Tisch kann mittels mindestens zweier parallel zueinander liegender, entlang der dem mittleren Tisch zugeordneten Achse auslenkbarer federelastischer Verbindungselemente mit dem unteren Tisch verbunden sein. In vergleichbarer Weise kann der obere Tisch mittels mindestens zweier parallel zueinander liegender, entlang der dem oberen Tisch zugeordneten Achse auslenkbarer federelastischer Verbindungselemente mit dem mittleren Tisch verbunden sein.

Durch diese Art der federelastischen Verbindung wird bewirkt, dass die Verschiebung der Tische entlang der ihnen jeweils zugeordneten Achse spielfrei erfolgt. Eine Schmierung ist nicht erforderlich. Außerdem wird die Beeinflussung der Gängigkeit der erfindungsgemäßen Vorrichtung durch unterschiedliche Umgebungstemperaturen weitgehend bis völlig ausgeschlossen. Diese bevorzugte Weiterbildung zeichnet sich somit durch einen mechanischen, spiel- und schmierungsfreien Verfahrweg im Raum bei temperaturunabhängiger und doch gleichmäßiger Gängigkeit aus.

Zweckmäßigerweise sind an jedem Tisch vier federelastische Verbindungselemente vorgesehen, wobei jeweils zwei Verbindungselemente in derselben Ebene liegen. Auf diese Weise wird die Führung der Tisch bei der Verschiebung entlang der ihnen zugeordneten Achse optimiert.

Die federelastischen Verbindungselemente sind vorteilhafterweise als Blattfedern ausgebildet. Als einfache und preiswerte Bauteile mit konstanten Federeigenschaften sind sie zur Verwendung als Verbindungselemente besonders gut geeignet.

Im Einzelnen kann die Grundplatte im Bereich der Verbindungselemente Ausnehmungen aufweisen, um die Bewegungsfreiheit der Tische zu gewährleisten und die Bauhöhe der erfindungsgemäßen Vorrichtung zu reduzieren.

Zur Optimierung der Spielfreiheit und zur Unterstützung der Hin- und Herbewegung der einzelnen Tische können Druck- bzw. Zugfedern vorgesehen sein. Insbesondere kann zwischen dem mittleren Tisch und dem unteren Tisch eine in Richtung der dem mittleren Tisch zugeordneten Achse wirkende Druckfeder vorgesehen sein. Zweckmäßigerweise ist die Druckfeder am mittleren Tisch befestigt und stützt sich an einer am unteren Tisch vorgesehenen Anlageschulter ab. In vergleichbarer Weise kann zwischen dem oberen Tisch und dem mittleren Tisch eine in Richtung der dem oberen Tisch zugeordneten Achse wirkende Druckfeder vorgesehen sein. Zweckmäßigerweise ist die Druckfeder am oberen Tisch befestigt und stützt sich an einer am mittleren Tisch vorgesehenen Anlageschulter ab. Schließlich kann zwischen der Grundplatte und dem unteren Tisch eine in Richtung der dem unteren Tisch zugeordneten Achse wirkende Zugfeder vorgesehen sein.

Um den Angriff der Gewindespindel an dem ihnen jeweils zugeordneten Tisch besonders einfach zu gestalten, kann am mittleren und/oder am oberen Tisch jeweils ein Ausleger angeordnet sein, an dem die in Richtung der dem jeweiligen Tisch zugeordneten Achse wirksame Gewindespindel angreift. Dann kann ggf. auch die dem jeweiligen Tisch zugeordnete Druckfeder in einfacher Weise am Ausleger angebracht sein.

Zu dem gleichen Zweck kann auf der Grundplatte ein um eine Drehachse verschwenkbarer Winkelhebel gelagert sein, der sich mit seinem ersten Hebelarm an der Unterseite des unteren Tisches abstützt und an dessen zweitem Hebelarm die in Richtung der dem unteren Tisch zugeordneten Achse wirksame Gewindespindel angreift.

Zweckmäßigerweise kann am oberen Tisch eine Aufnahme zur reversiblen Befestigung des auszurichtenden Gegenstandes vorgesehen sein.

Der obere Tisch kann bspw. der Y-Achse, der mittlere Tisch der X-Achse und der untere Tisch der Z-Achse des kartesischen Koordinatensystems zugeordnet sein.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung ist insbesondere zur Ausrichtung von Gegenständen, bspw. Lampenwendeln, in einem optischen Strahlengang geeignet. Die erfindungsgemäße Vorrichtung kann darüber hinaus auch auf den Gebieten der Pharmazie, der Medizin sowie der Umwelt- und Raumfahrttechnik eingesetzt werden.

Ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung wird im Folgenden anhand der beigefügten Zeichnungen näher beschrieben. Es zeigen in schematischer, nicht maßstabsgetreuer Darstellung:

1 eine Draufsicht eines Ausführungsbeispiels der erfindungsgemäßen Vorrichtung;

2 eine Frontansicht, teilweise im Schnitt, der Vorrichtung gemäß 1;

3 eine Seitenansicht, teilweise im Schnitt, der Vorrichtung gemäß 1, in Richtung des Pfeils A in 1;

4a eine Draufsicht einer Grundplatte der Vorrichtung gemäß 1;

4b eine Frontansicht, teilweise im Schnitt, der Grundplatte gemäß 4a;

4c eine Seitenansicht der Grundplatte gemäß 4a in Richtung des Pfeils B in 4a;

5a eine Draufsicht eines Y-Tisches (oberen Tisches) der Vorrichtung gemäß 1;

5b eine Frontansicht des Y-Tisches gemäß 5a;

5c eine Seitenansicht des Y-Tisches gemäß 5a in Richtung des Pfeils C in 5a

6a eine Draufsicht eines X-Tisches (mittleren Tisches) der Vorrichtung gemäß 1;

6b eine Frontansicht des X-Tisches gemäß 6a;

6c eine Seitenansicht des X-Tisches gemäß 6a in Richtung des Pfeils D in 6a;

7a eine Draufsicht eines Z-Tisches (unteren Tisches) der Vorrichtung gemäß 1;

7b eine Frontansicht, teilweise im Schnitt, des Z-Tisches gemäß 7a;

7c eine Seitenansicht des Z-Tisches gemäß 7a in Richtung des Pfeils E in 7a;

7d eine Seitenansicht des Z-Tisches gemäß 7a in Richtung des Pfeils F in 7a.

Die 1 bis 3 zeigen ein Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung 10. Die Vorrichtung 10 weist eine Grundplatte 11, einen unteren Tisch 12, einen mittleren Tisch 13 und einen oberen Tisch 14 auf, die in Richtung der X-, Y- bzw. Z-Achse des kartesischen Koordinatensystems bewegbar sind. Die Grundplatte 11 und die Tische 12, 13, 14 sind vorzugsweise aus Metall hergestellt.

Im Ausführungsbeispiel ist der untere Tisch 12 der Z-Achse zugeordnet und wird im Folgenden als Z-Tisch 12 bezeichnet. Der mittlere Tisch 13 ist der X-Achse zugeordnet und wird im Folgenden als X-Tisch 13 bezeichnet. Schließlich ist der obere Tisch der Y-Achse zugeordnet und wird im Folgenden als Y-Tisch 14 bezeichnet. Jedem der Tische 12, 13, 14 ist ferner je eine Gewindespindel zugeordnet, die entsprechend ihrer Zuordnung im Folgenden als Z-Spindel 15, X-Spindel 16 und Y-Spindel 17 bezeichnet werden.

Auf dem Y-Tisch ist eine Aufnahme 18 für einen auszurichtenden Gegenstand (nicht dargestellt), bspw. zum Ausrichten in einem optischen Strahlengang, angeordnet.

Im Folgenden wird der Aufbau des Ausführungsbeispiels von der Grundplatte 11 ausgehend im Einzelnen beschrieben.

Aus den 1 bis 3 und 4a bis 4c ist ersichtlich, dass die Grundplatte 11 so geformt ist, dass je ein Lagerbock 19 für die Z-Spindel 15, 20 für die X-Spindel 16 und 21 für die Y-Spindel 17 auf ihrer Oberfläche angeordnet ist und zwar derart, dass die beiden Lagerböcke 19, 20 auf einer Achse fluchtend zueinander liegen und der Lagerbock 21 rechtwinklig hierzu angeordnet ist. Im Ausführungsbeispiel weist die Grundplatte 11 eine angenäherte Dreiecksform auf, jedoch sind alle Grundformen, welche die beschriebene Anordnung der Lagerböcke 19, 20, 21 erlauben, geeignet.

In der Grundplatte 11 sind zwei im Wesentlichen rechteckförmige Ausnehmungen 22, 23 vorgesehen, die sich zwischen den Lagerböcken 19, 20 erstrecken und einen Steg 24 einschließen. Auf dem Steg 24 sitzt ein Bock 25, der seitlich in die Ausnehmungen 22, 23 hineinragt.

Gegenüber dem Lagerbock 19 für die Z-Spindel 15 ist auf der Grundplatte 11 ein Lagerkörper 26 für einen Winkelhebel 27 mit zwei rechtwinklig zueinander stehenden Hebelarmen 27a, 27b angeordnet. Dabei greift die Z-Spindel 15 am Hebelarm 27a an.

Auf der Grundplatte 11 ist der Z-Tisch 12 gehalten und geführt. Die 1 bis 3 und 7a bis 7d zeigen, dass der Z-Tisch 12 im Wesentlichen U-förmig mit zwei Schenkeln 28, 29 und einem Steg 30 ausgebildet ist. Der Schenkel 28 weist zwei Aussparungen auf, die in jeweils einer Anlagefläche 31, 32 enden. Die Enden zweier Blattfedern 33, 34 liegen auf den Anlageflächen 31, 32 auf und sind dort bspw. mittels Schraubverbindungen befestigt. Die anderen Enden der Blattfedern 33, 34 liegen auf der Oberseite des Bocks 25 auf und dort ebenfalls bspw. mittels Schraubverbindungen befestigt. Die Blattfedern 33, 34 sind dabei parallel zueinander angeordnet. Die Enden zweier weiterer Blattfedern 35, 36 sind in vergleichbarer Weise einerseits an der Unterseite des Schenkels 28 und andererseits an der in die Ausnehmungen 22, 23 der Grundplatte 11 hineinragenden Unterseite des Bocks 25 befestigt. Die Blattfedern 35, 36 sind dabei parallel zueinander angeordnet und erstrecken sich im Bereich der Ausnehmungen 22, 23 der Grundplatte 11. Außerdem erstreckt sich die obere Blattfeder 33 im Wesentlichen parallel zur unteren Blattfeder 35, und die obere Blattfeder 34 erstreckt sich im Wesentlichen parallel zur unteren Blattfeder 36. Auf diese Weise ist der Z-Tisch 12 am Bock 25 angelenkt und somit auf der Grundplatte 11 gehalten und geführt.

Der Schenkel 28 weist eine weitere, mittig angeordnete Ausnehmung 37 auf, in die der Hebelarm 27b des Winkelhebels 27 hineinragt. Der Hebelarm 27b stützt sich an einer durch die Ausnehmung 37 gebildeten Abstützfläche 38 ab.

Zwischen dem Steg 30 des Z-Tisches 12 und dem Steg 24 der Grundplatte 11 ist ferner eine Zugfeder 39 in Senkbohrungen vorgespannt gehalten.

Über dem Z-Tisch 12 ist der X-Tisch 13 angeordnet. Aus den 1 bis 3 und 6a bis 6c sind der Aufbau und die Anordnung des X-Tisches 13 erkennbar. Der X-Tisch 13 weist eine im Wesentlichen rechteckförmige Platte 40 auf, die sich oberhalb des Stegs 30 des Z-Tisches 12 in geringem Abstand und parallel hierzu erstreckt. An jeder Längsseite der Platte 40 ist je ein L-förmiger Verbindungsarm 41, 42 mit je einem sich vom jeweiligen Verbindungsarm weg erstreckenden Stutzen 61 vorgesehen. An der zur X-Spindel 16 hin orientierten Stirnseite der Platte 40 ist ein Ausleger 43 angeordnet, der sich vertikal zur Platte 40 in den Bereich der X-Spindel 16 erstreckt, derart, dass die X-Spindel 16 am Ausleger 43 angreift.

Am Ausleger 43 ist ferner eine Druckfeder 49 bspw. mittels einer Schraubverbindung befestigt. Die Druckfeder 49 erstreckt sich parallel zur Platte 40 des X-Tisches 13 und ist in eine Ausnehmung 50 an der Oberseite des Stegs 30 des Z-Tisches 12 aufgenommen. Die Ausnehmung 50 bildet eine Anlageschulter 51, an der sich die Druckfeder 49 abstützt.

An jeder Stirnseite der Platte 40 sind die Enden von je zwei Blattfedern 44, 45 bzw. 46, 47 bspw. mittels Schraubverbindungen befestigt. Die anderen Enden der Blattfedern 44, 45 bzw. 46, 47 sind an den Enden der Schenkel 28 bzw. 29 des Z-Tisches 12 bspw. mittels Schraubverbindungen befestigt, und zwar an dort vorgesehenen Vorsprüngen 48. Sowohl die Blattfedern 44, 45 als auch die Blattfedern 46, 47 erstrecken sich hierbei parallel zueinander und im Wesentlichen vertikal in Richtung der Grundplatte 11. Auch die einander gegenüber liegenden Blattfedern 44, 46 bzw. 45, 47 verlaufen im Wesentlichen parallel zueinander. Auf diese Weise ist der X-Tisch 13 am Z-Tisch 12 gehalten.

Über dem X-Tisch 13 ist wiederum der Y-Tisch 14 angeordnet. Aus den 1 bis 3 und 5a bis 5c sind der Aufbau und die Anordnung des Y-Tisches 14 erkennbar. Der Y-Tisch 14 weist eine im Wesentlichen rechteckförmige Platte 52 auf, die sich oberhalb der Platte 40 des X-Tisches 13 in geringem Abstand und im rechten Winkel hierzu erstreckt. An der zur Y-Spindel 17 hin orientierten Stirnseite der Platte 52 ist ein Ausleger 53 angeordnet, der sich vertikal zur Platte 52 in den Bereich der Y-Spindel 17 erstreckt, derart, dass die Y-Spindel 17 am Ausleger 53 angreift.

Am Ausleger 53 ist ferner eine Druckfeder 54 bspw. mittels einer Schraubverbindung befestigt. Die Druckfeder 54 erstreckt sich parallel zur Platte 52 des Y-Tisches 14 und ist in eine Ausnehmung 55 an der Oberseite der Platte 40 des X-Tisches 13 aufgenommen. Die Ausnehmung 55 bildet eine Anlageschulter 56, an der sich die Druckfeder 54 abstützt.

An jeder Stirnseite der Platte 52 sind die Enden von je zwei Blattfedern 57, 58 bzw. 59, 60 bspw. mittels Schraubverbindungen befestigt. Die anderen Enden der Blattfedern 57, 58 bzw. 59, 60 sind an den Stutzen 61 der L-förmigen Verbindungsarme 41, 42 des X-Tisches 13 bspw. mittels Schraubverbindungen befestigt. Sowohl die Blattfedern 57, 58 als auch die Blattfedern 59, 60 erstrecken sich hierbei parallel zueinander und im Wesentlichen vertikal in Richtung der Grundplatte 11. Auch die einander gegenüber liegenden Blattfedern 57, 59 bzw. 58, 60 verlaufen im Wesentlichen parallel zueinander. Auf diese Weise ist der Y-Tisch 14 am X-Tisch 13 gehalten.

Zum Ausrichten eines auf der Aufnahme 18 angeordneten Gegenstandes werden die Gewindespindeln 15, 16, 17 betätigt und damit die ihnen zugeordneten Tische 12, 13, 14 in Z-, X- bzw. Y-Richtung bewegt, bis die gewünschte Ausrichtung des Gegenstandes erzielt ist. Dabei bewegt sich bei Betätigung der Y-Spindel 17 der Y-Tisch 14 ausschließlich, d.h. der X-Tisch 13 und der Z-Tisch 12 werden nicht mitbewegt. Damit wird der Gegenstand entlang der Y-Achse ausgerichtet. Bei Betätigung der X-Spindel 16 wird der X-Tisch 13 bewegt und der Gegenstand entlang der X-Achse ausgerichtet. Dabei wird der Y-Tisch 14 in X-Richtung mitgenommen, wobei eine ggf. bereits vorgenommene Ausrichtung des Gegenstandes in Y-Richtung erhalten bleibt. Bei Betätigung der Z-Spindel 15 wird der Z-Tisch 12 bewegt und der Gegenstand entlang der Z-Achse ausgerichtet. Dabei werden der X-Tisch 13 und der Y-Tisch 14 in Z-Richtung mit bewegt, wobei eine ggf. bereits vorgenommene Ausrichtung des Gegenstandes in X- bzw. Y-Richtung erhalten bleibt.

Die konstruktionsbedingte Bewegung der Tische 12, 13, 14 entlang eines gering ausgeprägten Kreisbogens kann durch geeignete Korrektureinrichtungen, bspw. Stellmotoren, ausgeglichen werden.


Anspruch[de]
Vorrichtung (10) zum Ausrichten eines Gegenstandes entlang einer X-Achse, einer Y-Achse und einer Z-Achse, wobei die X-Achse, die Y-Achse und die Z-Achse senkrecht aufeinander stehen, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung (10) eine Grundplatte (11) sowie einen entlang der X-Achse verstellbaren Tisch (13), einen entlang der Y-Achse verstellbaren Tisch (14) und einen entlang der Z-Achse verstellbaren Tisch (12) aufweist, dass die Tische (12, 13, 14) übereinander angeordnet sind und dass der mittlere (13) Tisch einerseits mit dem oberen Tisch (14) und andererseits mit dem unteren Tisch (12) verbunden ist und der untere Tisch (12) mit der Grundplatte (11) verbunden ist. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Tische (12, 13, 14) mittels auf der Grundplatte (11) gelagerter Gewindespindeln (15, 16, 17) entlang der X-Achse, der Y-Achse bzw. der Z-Achse verstellbar sind. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der untere Tisch (12) mittels mindestens zweier parallel übereinander liegender, entlang der ihm zugeordneten Achse auslenkbarer federelastischer Verbindungselemente (33, 34; 35, 36) mit der Grundplatte (11) verbunden ist. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Grundplatte (11) im Bereich der Verbindungselemente (35, 36) Ausnehmungen (22, 23) aufweist. Vorrichtung nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Verbindungselemente (33, 34; 35, 36) mit einem auf der Grundplatte (11) angeordneten Bock (25) verbunden sind. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der mittlere Tisch (13) mittels mindestens zweier parallel zueinander liegender, entlang der ihm zugeordneten Achse auslenkbarer federelastischer Verbindungselemente (44, 45; 46, 47) mit dem unteren Tisch (12) verbunden ist. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der obere Tisch (14) mittels mindestens zweier parallel zueinander liegender, entlang der ihm zugeordneten Achse auslenkbarer federelastischer Verbindungselemente (57, 58; 59, 60) mit dem mittleren Tisch (13) verbunden ist. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass an jedem Tisch (12, 13, 14) vier federelastische Verbindungselemente (33, 34, 35, 36; 44, 45, 46, 47; 57, 58, 59, 60) vorgesehen sind, wobei jeweils zwei Verbindungselemente (33, 34; 35, 36; 44, 45; 46, 47; 57, 58; 59, 60) in derselben Ebene liegen. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die federelastischen Verbindungselemente als Blattfedern ausgebildet sind. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen dem mittleren Tisch (13) und dem unteren Tisch (12) eine in Richtung der dem mittleren Tisch (13) zugeordneten Achse wirkende Druckfeder (49) vorgesehen ist. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Druckfeder (49) am mittleren Tisch (13) befestigt ist und sich an einer am unteren Tisch (12) vorgesehenen Anlageschulter (51) abstützt. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen dem oberen Tisch (14) und dem mittleren Tisch (13) eine in Richtung der dem oberen Tisch (14) zugeordneten Achse wirkende Druckfeder (54) vorgesehen ist. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Druckfeder (54) am oberen Tisch (14) befestigt ist und sich an einer am mittleren Tisch (13) vorgesehenen Anlageschulter (56) abstützt. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen der Grundplatte (11) und dem unteren Tisch (12) eine in Richtung der dem unteren Tisch (12) zugeordneten Achse wirkende Zugfeder (39) vorgesehen ist. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass am oberen Tisch (14) eine Aufnahme (18) für den auszurichtenden Gegenstand vorgesehen ist. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass am mittleren Tisch (13) ein Ausleger (43) angeordnet ist, an dem die in Richtung der dem mittleren Tisch (13) zugeordneten Achse wirksame Gewindespindel (16) angreift. Vorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass an dem Ausleger (43) die in Richtung der dem mittleren Tisch (13) zugeordneten Achse wirkende Druckfeder (49) angebracht ist. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass am oberen Tisch (14) ein Ausleger (53) angeordnet ist, an dem die in Richtung der dem oberen Tisch (14) zugeordneten Achse wirkende Gewindespindel (17) angreift. Vorrichtung nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass an dem Ausleger (53) die in Richtung der dem oberen Tisch (14) zugeordneten Achse wirkende Druckfeder (54) angebracht ist. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 19, dadurch gekennzeichnet, dass auf der Grundplatte (11) ein um eine Drehachse verschwenkbarer Winkelhebel (27) gelagert ist, der sich mit einem Hebelarm (27b) an der Unterseite des unteren Tisches (12) abstützt und an dessen anderem Hebelarm (27a) die in Richtung der dem unteren Tisch (12) zugeordneten Achse wirksame Gewindespindel (15) angreift. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass dem oberen Tisch (14) die Y-Achse, dem mittleren Tisch (13) die X-Achse und dem unteren Tisch (12) die Z-Achse zugeordnet ist.






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