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Dokumentenidentifikation DE102004048798B4 03.05.2007
Titel Flüssigkeitsbad
Anmelder SMC Corp., Tokyo, JP
Erfinder Minoura, Atsushi, Ibaraki, JP
Vertreter Keil & Schaafhausen Patentanwälte, 60322 Frankfurt
DE-Anmeldedatum 07.10.2004
DE-Aktenzeichen 102004048798
Offenlegungstag 02.06.2005
Veröffentlichungstag der Patenterteilung 03.05.2007
Veröffentlichungstag im Patentblatt 03.05.2007
IPC-Hauptklasse F25B 21/04(2006.01)A, F, I, 20051017, B, H, DE

Beschreibung[de]
Technisches Gebiet

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Flüssigkeitsbad mit konstanter Temperatur, welches eine Flüssigkeit in einem Bad unter Verwendung eines Thermomoduls heizt und kühlt, wobei das Thermomodul die Temperatur durch den Peltier-Effekt einstellt. Insbesondere kann in das Flüssigkeitsbad ein Behälter (Flasche), welcher eine chemische Flüssigkeit enthält, eingetaucht und seine Temperatur auf eine konstante Temperatur eingestellt werden.

Flüssigkeitsbäder zum Halten eines Objektes auf einer konstanten Temperatur werden weithin eingesetzt. In jüngerer Zeit wird eine Wärmezufuhreinrichtung mit einem Thermomodul, das die Temperatur durch den Peltier-Effekt einstellt, in solchen Konstanttemperaturflüssigkeitsbädern eingesetzt (vgl. die japanischen Offenlegungsschriften Nr. 7-308592 und 2000-75935). Da die Wärmezufuhreinrichtung mit dem Thermomodul das Heizen und Kühlen durch Änderung einer Stromzufuhrrichtung durchführen kann, ist es einfach, die Temperatur zu steuern. Die Wärmezufuhreinrichtung kann kleiner gebaut werden, so dass eine solche Wärmezufuhreinrichtung insbesondere für kleine Konstanttemperaturbäder sehr geeignet ist.

Bei der Verwendung einer Wärmezufuhreinrichtung in dem Flüssigkeitsbad wird Wärme unterhalb des Flüssigkeitsbades mit der Wärmezufuhreinrichtung getauscht, wobei die Eigenschaften der Flüssigkeit, deren Temperatur gesteuert werden soll, berücksichtigt werden. Ein Rührflügelrad ist am Boden des Flüssigkeitsbades vorgesehen, oder es wird ein magnetischer Rotor durch einen Rührmotor angetrieben, um die Flüssigkeit zu rühren und dadurch die Temperatur der Flüssigkeit konstant zu halten.

Die Flüssigkeit wird jedoch im Wesentlichen in Umfangsrichtung und nicht gezielt in vertikaler Richtung gerührt. Wenn ein Objekt, das auf konstanter Temperatur gehalten werden soll, in einem Behälter (Flasche) aufgenommen und eingetaucht ist, besteht das Problem, dass der vertikale Flüssigkeitsstrom durch das Objekt stark behindert wird. Der Rühreffekt in einem oberen Bereich des Bades wird verändert und verlässt einen vorhergesagten Bereich, die Temperaturverteilung in dem Bad wird sehr ungleichmäßig und es werden Temperaturunterschiede zwischen oberen und unteren Bereichen des Bades erzeugt. Insbesondere liegt dann, wenn kein Behälter eingetaucht ist, die Temperaturverteilung bzw. -abweichung im Bereich von 0,1°C. Ist aber der Container eingetaucht, erreicht die Temperaturabweichung etwa 0,5°C.

Aus US 6,976,371 B1 ist eine transportierbare Kühleinrichtung zum Kühlen von in einem Behälter angeordneten Lebensmitteln bekannt. Ein in der Druckschrift dargestelltes Ausführungsbeispiel weist eine Kühlschlange zum Kühlen der Luft auf, die sich in einem Bereich des Bodens befindet. Unterhalb der Kühlschlange ist ein Ventilator angeordnet, welcher bewirkt, dass die Luft über die Kühlschlange geführt wird und zirkuliert. Die gekühlte Luft wird durch eine Lochblenden-Wand, welche oberhalb der Kühlschlange angeordnet ist, in einem Zwischenraum zwischen einer äußeren Wand und einer inneren Wand nach oben geleitet. Durch eine Belüftungsöffnung bzw. vorstehende Bereiche am oberen Ende des Zwischenraums zwischen innerer Wand und äußerer Wand gelangt die gekühlte Luft in den Innenraum des Nahrungsmittel-Behälters. Die Basis weist an der Außenwand einen Thermostat auf, welcher einen Temperatursensor beinhaltet. Der Thermostat ist mit der Kühleinheit verbunden, so dass die Kühleinheit ausgeschaltet wird, wenn die Temperatur eine gewünschte und voreingestellte Temperatur überschreitet.

In der Druckschrift DE 27 21 862 B2 wird eine Klimakammer zur Erzeugung einer bestimmten Temperatur und Feuchtigkeit innerhalb eines Prüfraums beschrieben. Die Druckschrift zeigt eine Klimakammer mit einem Gehäuse (äußeres Bad) und einer Wand (inneres Bad), das an seinem unteren Ende seitlich einen Durchgang zwischen Gehäuse und Wand ausbildet. In einer Ausnehmung in dem Unterteil des Gehäuses ist ein Wasserbad angeordnet, das von einem Wärmetauscher temperiert wird. Oberhalb des Wärmetauschers ist eine Wärmeverteilerplatte angeordnet, welche mit dem Wärmetauscher verbunden ist. Der Wärmetauscher kann aus Peltierelementen bestehen. Zwischen der Decke der Wand und der Innenwand des Gehäuses sind ein Ventilator und oberhalb dieses Ventilators eine Heizeinrichtung angeordnet. Der Ventilator bewirkt die Umwälzung der Luft in der Klimakammer, welche in der Zeichnung anhand von Pfeilen dargestellt ist. Ausgehend vom Ventilator bewegt sich die Luft entlang des Zwischenraumes zwischen Wand und Gehäuse nach unten, passiert dort das Wasserbad und steigt innerhalb der Wand wieder zum Ventilator auf. Im Bereich des Innenraums in der Wand sind Temperaturfühler im Bereich des Wasserbades angeordnet, welche die Temperaturen in dem jeweiligen Bereich erfassen.

Aus diesem Grund wird es bei dem Flüssigkeitsbad mit dem Thermomodul angestrebt, dass immer ein gleichmäßiger Flüssigkeitsstrom an einer Wärmeübertragungsfläche des Thermomoduls erzeugt wird, auch wenn ein Gegenstand in das Flüssigkeitsbad eingetaucht ist. Die Flüssigkeit soll in dem gesamten Bad strömen und gerührt werden.

Zusammenfassung der Erfindung

Die vorliegende Erfindung dient der Lösung der oben beschriebenen Probleme bei den herkömmlichen Flüssigkeitsbädern und hat insbesondere die Aufgabe, ein Konstanttemperaturflüssigkeitsbad mit einem Thermomodul vorzuschlagen, bei dem Wärme zwischen einer Wärmequelle und einer Flüssigkeit wirksam ausgetauscht und die Temperatur der Flüssigkeit konstant gehalten werden kann, auch wenn ein Gegenstand, dessen Temperatur gesteuert werden soll, in das Bad eingetaucht ist. Die Temperatur soll einfach und schnell einstellbar sein.

Diese Aufgabe wird mit der Erfindung durch die Merkmale des Anspruchs 1 gelöst.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprü che.

Erfindungsgemäß ist ein Konstanttemperaturflüssigkeitsbad vorgesehen, das ein Thermomodul zur Einstellung der Temperatur mit Hilfe des Peltier-Effektes aufweist und die Temperatur der Flüssigkeit in dem Bad durch eine Wärmezufuhreinrichtung einstellt. Das Flüssigkeitsbad umfasst ein äußeres Bad zur Aufnahme der Flüssigkeit, ein inneres Bad, das mit einem Spalt (Lücke) in dem äußeren Bad angeordnet ist und an seiner Seitenwand einen Durchgang, durch den die Flüssigkeit von dem äußeren Bad in das innere Bad fließt, und an seinem zentralen Bodenbereich eine Öffnung aufweist, und ein Rührwerk, welches die Flüssigkeit, die von der Öffnung im Boden des inneren Bades durch Seitenwände des inneren und äußeren Bades fließt, mit Hilfe eines Rotorblattes, welches an einem zentralen Bereich zwischen dem äußeren Bad und dem inneren Bad angeordnet ist, nach oben führt, wobei das Thermomodul der Wärmezufuhrvorrichtung an einer Außenfläche der Seitenwand des äußeren Bades angebracht ist und wobei die Temperatur der zwischen dem inneren und äußeren Bad fließenden Flüssigkeit auf der Basis des Ausgangssignals eines Temperatursensors, der die Temperatur der Flüssigkeit erfasst, auf einen voreingestellten Wert gesteuert wird.

Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung wird der Durchgang der Seitenwand des inneren Bades durch eine Vielzahl von Öffnungen gebildet, die sich entlang des gesamten Umfangs der Seitenwand des Innenbades öffnen. In diesem Fall können die Öffnungen in einer Mehrzahl von Stufen in Vertikalrichtung der Seitenwand des Innenbades ausgebildet sein.

Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung ist der Durchgang der Seitenwand des Innenbades an einer Überlaufkante am oberen Ende des inneren Bades ausgebildet, welches niedriger liegt als die Seitenwand des äußeren Bades.

Außerdem ist der Durchgang an der Seitenwand des inneren Bades vorzugsweise zu einem oberen Bereich der Seitenwand, der dem Thermomodul gegenüberliegt, verschoben. Hierdurch wird die Chance, dass die Flüssigkeit durch das Thermomodul fließt, erhöht.

Das äußere und innere Bad können eine zylindrische Form aufweisen und konzentrisch angeordnet sein. Das äußere Bad kann aber auch eine polygonale Prismenform aufweisen, während das innere Bad zylindrisch geformt ist. Zudem kann das Innenbad in der Mitte des äußeren Bades angeordnet sein. Die Erfindung ist jedoch auf diese Gestaltungen nicht beschränkt.

Wird bei dem Flüssigkeitsbad mit dem oben beschriebenen Aufbau das Rotorblatt des Rührwerks in einem Zustand gedreht, in dem die Flüssigkeit in das äußere Bad eingeführt wird, so wird die Flüssigkeit in dem inneren Bad durch die in dem Boden des inneren Bades ausgebildete Öffnung angesaugt, die Flüssigkeit wird durch das Rotorblatt gerührt, fließt in Umfangsrichtung, und gleichzeitig wird eine Aufwärtsströmung durch den Spalt zwischen den Seitenwänden des inneren und äußeren Bades erzeugt. Die Geschwindigkeit der Flüssigkeit ist relativ hoch. Während die Flüssigkeit nach oben fließt, wird daher die Wärme zwischen der Flüssigkeit und dem Thermomodul wirksam ausgetauscht. Dann fließt die Flüssigkeit durch den Durchgang in dem oberen Bereich der Seitenwand des Innenbades in das innere Bad und dann in dem inneren Bad nach unten. Dadurch wird die Flüssigkeit in dem inneren Bad immer in vertikaler Richtung gerührt, und die Temperatur der Flüssigkeit wird effizient auf einen konstanten Wert eingestellt. Da ein Großteil der durch das Rotorblatt gerührten Flüssigkeit mit hoher Geschwindigkeit an dem Thermomodul vorbeitritt, wird zwischen dem Thermomodul und der Flüssigkeit ein effizienter Wärmeaustausch bewirkt.

Die Wärme kann zwischen der Wärmequelle und der Flüssigkeit wirksam ausgetauscht werden, die Temperatur der Flüssigkeit kann zuverlässig konstant gehalten werden, und die Temperatur der Flüssigkeit kann einfach und schnell auf einen konstanten Wert eingestellt werden.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Ausführungsbeispielen und der Zeichnung näher erläutert. Dabei bilden alle beschriebenen und/oder bildlich dargestellten Merkmale für sich oder in beliebiger Kombination den Gegenstand der Erfindung, unabhängig von ihrer Zusammenfassung in den Ansprüchen oder deren Rückbeziehung.

Kurze Beschreibung der Zeichnungen

1 ist ein Schnitt durch einen wesentlichen Bereich einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;

2 ist eine Draufsicht auf den wesentlichen Bereich der ersten Ausführungsform;

3 ist eine Draufsicht auf den wesentlichen Bereich einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; und

4 ist ein Schnitt durch den wesentlichen Bereich einer dritten Ausführungsform der Erfindung.

Detaillierte Beschreibung der bevorzugten Ausführungsform

Eine der Ausführungsformen ist für einen Fall geeignet, bei dem ein Objekt, das die Flüssigkeitsumwälzung behindert, in ein Bad eingetaucht wird, um die Temperatur der chemischen Flüssigkeit einzustellen, bspw. wenn eine chemische Flüssigkeit einer MO-CVD(metallorganische chemische Dampfablagerung)-Vorrichtung in einem Behälter (Flasche) aufgenommen wird. Wie in den 1 und 2 dargestellt ist, bezeichnet das Bezugszeichen 1A ein Konstanttemperaturflüssigkeitsbad, nachfolgend kurz als Flüssigkeitsbad bezeichnet. Das Flüssigkeitsbad 1A umfasst ein äußeres Bad 3 zur Aufnahme von Flüssigkeit in einem Gehäuse 2, ein inneres Bad 5, das innerhalb des äußeren Bades 3 angeordnet ist, ein Rührwerk 7 mit einem Rotorblatt 11, das an einem zentralen Bodenbereich zwischen dem äußeren Bad 3 und dem inneren Bad 5 angeordnet ist, und eine Wärmezufuhrvorrichtung 9, welche die Temperatur der zwischen dem inneren und äußeren Bad 3, 5 fließenden Flüssigkeit auf eine eingestellte Temperatur gesteuert. Die Wärmezufuhrvorrichtung 9 weist ein Thermomodul 31 auf, das an einer Außenfläche des äußeren Bades 3 angebracht ist.

Wie aus 2 ersichtlich ist, sind das äußere Bad 3 und das innere Bad 5 konzentrische zylindrische Körper mit Boden. Eine Rotorblattkammer 12 zur Aufnahme des Rotorblattes 11 des Rührwerkes 7 ist zwischen den Böden 8 und 23 des äußeren Bades 3 bzw. des inneren Bades 5 ausgebildet. Das Rotorblatt 11 ist durch eine Durchgangsöffnung im Boden des äußeren Bades 3 mit einem Motor 13 verbunden. Eine Öffnung 25, durch welche Flüssigkeit aus dem inneren Bad 5 in die Rotorblattkammer 12 fließt, ist in einem zentralen Bereich des Bodens 23 des inneren Bades 5 ausgebildet. Durch diesen Aufbau fließt Flüssigkeit zu der Rotorblattkammer 12 zwischen den Böden 8 und 23 des inneren und äußeren Bades 3 und 5 und wird durch die Bewegung des Rotorblattes 11 in Umfangsrichtung gerührt. Zur gleichen Zeit wird Flüssigkeit durch eine Lücke (Spalt) 17 zwischen einer Seitenwand 15 des äußeren Bades 3 und einer Seitenwand 19 des inneren Bades 5 nach oben geführt. Das Rotorblatt 11 umfasst ein Zentrifugalblatt, welches Flüssigkeit in zentrifugaler Richtung fließen lässt. Die Rotation des Zentrifugalblattes bewirkt, dass die Flüssigkeit zu dem Spalt 17 fließt, wie es in 1 durch Pfeile angedeutet ist.

Die Seitenwand 19 des inneren Bades 5 liegt einer Innenfläche der Seitenwand 15 des äußeren Bades 3 mit einem im Wesentlichen konstanten Spalt 17 gegenüber. Eine Vielzahl von Öffnungen 21 ist in dem gesamten Umfang der Seitenwand 19 an einer Vielzahl von (in der Zeichnung 2) Höhenstufen ausgebildet. Die Öffnungen 21 bilden Durchgänge, durch welche Flüssigkeit, die in dem Spalt 17 nach oben strömt, von dem äußeren Bad 3 in das innere Bad 5 fließt. Die Öffnungen 21 der Seitenwand 19 des inneren Bades 5 können gleichmäßig über den Umfang der Seitenwand 19 vorgesehen sein. Alternativ können die Öffnungen in höherer Zahl an einem Bereich der Seitenwand 19 ausgebildet sein, der dem Thermomodul 31 gegenüberliegt, oder an einem oberen Bereich der Seitenwand. Durch diese Gestaltung wird die Chance erhöht, dass die Flüssigkeit um das Thermomodul 31 fließt. Hierdurch lässt sich der Temperatureinstelleffekt verstärken.

Der Boden 23 des inneren Bades 5 weist eine Öffnung 25 auf, durch welche Flüssigkeit durch die Rotorblattkammer 12 in das äußere Bad 3 fließt.

Die Wärmezufuhrvorrichtung 9 umfasst das Thermomodul 31, welches die Temperatur mit Hilfe des Peltier-Effektes einstellt, eine Wärmeabsorptionsplatte 33, welche Wärme durch die Seitenwand 15 des äußeren Bades 3 zuführt, und einen Radiatorabschnitt 35, der an der der Wärmeabsorptionsplatte 33 gegenüberliegenden Seite vorgesehen ist. Das Thermomodul 31, die Wärmeabsorptionsplatte 33 und der Radiatorabschnitt 35 sind aneinandergeschichtet. Ein Temperatursensor 36, der die Temperatur der Flüssigkeit in dem Bad erfasst, ist in dem inneren Bad 5 vorgesehen. Das Thermomodul 31 und der Temperatursensor 36 sind mit einer Steuervorrichtung verbunden, welche die Flüssigkeitstemperatur in dem Bad auf der Basis des Ausgangswertes des Temperatursensors 36 auf eine festgelegte eingestellte Temperatur steuert. Anstelle des Temperatursensors 36 in dem inneren Bad 5 kann auch ein Temperatursensor 37 in dem äußeren Bad 3 vorgesehen sein, wie es in 1 dargestellt ist.

Bei der ersten Ausführungsform sind vier Thermomodule 31 der Wärmezufuhrvorrichtung 9 an der Außenfläche der Seitenwand 15 des äußeren Bades 3 mit Abständen von jeweils 90° angebracht. Obwohl die Thermomodule 31 hier über den im Wesentlichen gesamten vertikalen Bereich der Seitenwand angebracht sind, kann die Anordnung auch entsprechend den Temperatureinstellbedingungen angepasst werden.

Wenn das Flüssigkeitsbad 1A mit dem oben beschriebenen Aufbau in einer MO-CVD-Vorrichtung eingesetzt wird, wird üblicherweise eine Flüssigkeit auf Fluorbasis als die chemische Flüssigkeit, die die Temperatur der Flüssigkeit auf einen konstanten Wert einstellt, eingesetzt und dem äußeren Bad 3 zugeführt.

Wird die Wärmezufuhrvorrichtung 9 betrieben und das Rotorblatt 11 durch den Motor 13 gedreht, wobei die Temperatur der Thermomodule 31 gesteuert wird, wird die Flüssigkeit in dem inneren Bad durch die in dem Boden 23 des inneren Bades 5 ausgebildete Öffnung 25 in die Rotorblattkammer 12 gesaugt. Die aus der Rotorblattkammer 12 austretende Flüssigkeit wird in Umfangsrichtung gerührt, und gleichzeitig wird eine Aufwärtsströmung durch den Spalt 17 erzeugt. Da diese Flüssigkeitsströmung relativ schnell ist, wird die Wärme wirksam mit den Thermomodulen 31 getauscht, während die Flüssigkeit nach oben strömt. Dann tritt die Flüssigkeit durch die Vielzahl von Öffnungen 21, die in der Seitenwand 19 des inneren Bades 5 ausgebildet sind, fließt in das innere Bad 5 und in diesem nach unten. Die Flüssigkeit fließt dann erneut durch die Öffnung 25 in der Bodenplatte des inneren Bades 5 in die Rotorblattkammer 12. Ein Flüssigkeitsstrom, der durch das äußere Bad 3 und das innere Bad 5 zirkuliert, wird gebildet, wie er durch die Pfeile in 1 angedeutet ist. Durch den zirkulierenden Flüssigkeitsstrom wird ein konstanter Wärmetausch erreicht. Die Flüssigkeitstemperatur in dem Bad wird auf einen konstanten Wert eingestellt.

Auch wenn die Flasche 38 mit chemischer Flüssigkeit, deren Temperatur gesteuert werden soll, in das innere Bad 5 eingetaucht wird, wird die Flüssigkeit in dem inneren Bad 5 immer in vertikaler Richtung gerührt und die Temperatur der Flüssigkeit wird effizient auf den konstanten Wert eingestellt. Da außerdem ein Großteil der durch das Rotorblatt 11 gerührten Flüssigkeit in der Nähe der Thermomodule 31 mit hoher Geschwindigkeit fließt, wenn die Flüssigkeit durch den Spalt 17 nach oben strömt, wird außerdem ein wirksamer Wärmetausch zwischen den Thermomodulen 31 und der Flüssigkeit gewährleistet.

3 zeigt eine zweite Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Ein Konstanttemperaturflüssigkeitsbad 1B gemäß der zweiten Ausführungsform unterscheidet sich von dem Konstanttemperaturflüssigkeitsbad 1A der ersten Ausführungsform in der Gestaltung des äußeren Bades. Das äußere Bad 43 der zweiten Ausführungsform ist ein gleichmäßig oktogonales Prisma, und Wärmezufuhrvorrichtungen 49 sind jeweils abwechselnd an vier der acht Oberflächen der Außenwand vorgesehen. Der übrige Aufbau, die Betriebs- und Wirkungsweise sind die gleiche wie bei der ersten Ausführungsform, so dass sie nicht erneut erläutert werden müssen.

4 zeigt eine dritte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Das Konstanttemperaturflüssigkeitsbad 1C der dritten Ausführungsform unterscheidet sich von dem Konstanttemperaturflüssigkeitsbad 1A der ersten Ausführungsform hinsichtlich der Gestaltung des inneren Bades. Bei der dritten Ausführungsform ist das innere Bad 45 ein zylindrischer Körper mit Boden. Eine Seitenwand 59 des inneren Bades 45 ist niedriger als eine Seitenwand 55 des äußeren Bades 53. Eine Umfangskante des oberen Endes des inneren Bades 45 ist als Überlaufkante 45a ausgebildet. Ein Durchgang, durch den Flüssigkeit von dem äußeren Bad 53 in das innere Bad 45 fließt, wird oberhalb der Überlaufkante 45a gebildet.

Die Höhe der Überlaufkante 45a kann teilweise variiert werden. So kann ein oberer Bereich der Überlaufkante 45a, der dem Thermomodul 31 gegenüberliegt, eine geringere Höhe aufweisen, so dass die Chance, dass die Flüssigkeit in der Nähe des Thermomoduls 31 fließt, erhöht wird. Dies verbessert den Temperatureinstelleffekt.

Der übrige Aufbau, die Betriebs- und Wirkungsweise dieser Ausführungsform sind wiederum die gleiche wie bei der ersten Ausführungsform.

Das äußere Bad ist bei sämtlichen Ausführungsformen nicht auf den zylindrischen Körper oder das gleichmäßig oktogonale Prisma beschränkt. Vielmehr können auch andere Prismenformen, bspw. ein gleichmäßig rechteckiges Prisma oder ein gleichmäßig hexagonales Prisma eingesetzt werden.


Anspruch[de]
Flüssigkeitsbad zur Einstellung einer konstanten Temperatur von Flüssigkeit in dem Bad durch eine Wärmezufuhrvorrichtung (9), mit einem Thermomodul (31) zur Einstellung der Temperatur, vorzugsweise mit Hilfe des Peltier-Effektes, mit:

einem äußeren Bad (3, 53) zur Aufnahme der Flüssigkeit;

einem inneren Bad (5, 45), das in dem äußeren Bad (3, 53) aufgenommen ist und an seiner Seitenwand (19, 59) einen Durchgang aufweist, durch welchen die Flüssigkeit aus dem äußeren Bad (3, 53) in das innere Bad (5, 45) fließt, und das an einem zentralen Bereich seines Bodens (23) eine Öffnung (25) aufweist; und

einem Rührwerk (7), welches die Flüssigkeit, die aus der Öffnung (25) des Bodens (23) des inneren Bades (5, 45) fließt, zwischen dem Seitenwänden des inneren und äußeren Bades mit Hilfe eines Rotorblattes (11), das an einem zentralen Bereich zwischen dem äußeren Bad (3, 53) und dem inneren Bad (5, 45) angeordnet ist, aufwärts führt,

wobei das Thermomodul (31) der Wärmezufuhrvorrichtung (9) an einer Außenfläche der Seitenwand (15, 55) des äußeren Bades (3, 53), angebracht ist, wobei die Temperatur der zwischen dem inneren und äußeren Bad fließenden Flüssigkeit auf der Basis eines Ausgangswertes eines Temperatursensors (36), welcher die Temperatur der Flüssigkeit erfasst, auf einen eingestellten Wert gesteuert wird.
Flüssigkeitsbad nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Durchgang der Seitenwand (19) des inneren Bades (5) durch eine Vielzahl von Öffnungen (21) gebildet wird, die sich über den gesamten Umfang der Seitenwand (19) des inneren Bades (5) öffnen. Flüssigkeitsbad nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Öffnungen (21) am einer Vielzahl von vertikalen Positionen in der Seitenwand (19) des inneren Bades (5) ausgebildet sind. Flüssigkeitsbad nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Durchgang der Seitenwand (59) des inneren Bades (45) durch eine Überlaufkante (45a) an dem oberen Ende des inneren Bades (45) gebildet wird, welches niedriger liegt als die Seitenwand (55) des äußeren Bades (53). Flüssigkeitsbad nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Durchgang der Seitenwand (19, 59) des inneren Bades (5, 45) zu einem Bereich der Seitenwand verschoben ist, der dem Thermomodul (31) gegenüberliegt. Flüssigkeitsbad nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das äußere Bad (3, 53) und das innere Bad (5, 45) eine zylindrische Form aufweisen und konzentrisch angeordnet sind. Flüssigkeitsbad nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das äußere Bad (3, 53) die Form eines polygonalen Prismas aufweist, dass das innere Bad (3, 45) eine zylindrische Form aufweist, und dass das innere Bad (5, 45) im Zentrum des äußeren Bades (3, 53) angeordnet ist.






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