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Dokumentenidentifikation DE102004014641B4 13.09.2007
Titel Anordnung zur Lagerung eines optischen Bauelements
Anmelder Carl Zeiss SMT AG, 73447 Oberkochen, DE
Erfinder Rief, Klaus, 73433 Aalen, DE
Vertreter Prünte, P., Dipl.-Phys., Pat.-Anw., 86199 Augsburg
DE-Anmeldedatum 25.03.2004
DE-Aktenzeichen 102004014641
Offenlegungstag 25.05.2005
Veröffentlichungstag der Patenterteilung 13.09.2007
Veröffentlichungstag im Patentblatt 13.09.2007
IPC-Hauptklasse G02B 7/00(2006.01)A, F, I, 20070412, B, H, DE
IPC-Nebenklasse G02B 7/02(2006.01)A, L, I, 20070412, B, H, DE   G02B 7/182(2006.01)A, L, I, 20070412, B, H, DE   

Beschreibung[de]

Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur Lagerung eines optischen Bauelements, insbesondere einer Linse oder eines Spiegels mit einem äußeren Umfangsbereich, in einem Trägerkörper mit einem Umfangsbereich, an dem eine Mehrzahl von Auflageelementen zur Aufnahme des äußeren Umfangsbereichs des Bauelements vorgesehen ist, von denen einige als erste Auflageelemente mit einer niedrigen Elastizität und einige als zweite Auflageelemente mit einer im Vergleich zu den ersten Auflageelementen höheren Elastizität ausgebildet sind.

Aus der US 6 239 924 B1 ist eine kinematische Anordnung zur Halterung einer Linse mit einer am Umfang verteilten Auflage bekannt. Bei dieser Anordnung ist eine Kombination aus festen Auflageelementen, die lediglich in axialer Richtung, d.h. in Strahlrichtung des Lichts, eine geringe Steifigkeit aufweisen, und elastischen Auflagepunkten vorgesehen, die vorzugsweise rotationssymmetrisch über einen die Linse an ihrem äußeren Umfang umgebenden Trägerkörper verteilt sind. Dadurch soll die Gravitationslast der Linse gleichmäßig auf die Unterlage verteilt werden, ohne dass die Linse zu hohen Spannungen ausgesetzt wird. Jedes der elastischen Auflageelemente ist vorbelastet, so dass die Kraft, die auf die Linse ausgeübt wird, über alle festen und elastischen Auflageelemente gleich verteilt wird.

Auch aus der US 6 400 516 B1 ist eine Anordnung für die im wesentliche waagrechte Lagerung einer Linse bekannt, bei der einerseits feste Auflageflächen für die Linse an der Innenseite des Trägerkörpers angeordnet sind und andererseits elastische, einseitig in dem Trägerkörper gelagerte Plättchen einen Teil des Gewichts der Linse aufnehmen, um eine Spannungsüberlastung der Linse infolge der Gravitation zu verhindern.

Weitere Anordnungen zur Lagerung eines optischen Elements sind bekannt aus der EP 1 209 500 A2, der US 6 229 657 B1 und der DE 199 04 152 A1 bekannt.

Bei einer Linsenfassung nach dem Stand der Technik (1) ergibt sich bei einer Anordnung von Federbeinen 1 bis 5 mit aus Fertigungsgründen unterschiedlicher Auflagenhöhe auf einem Trägerkörper 6 eine Abweichung &Dgr;S zu einem mittleren Auflagenniveau 7. In 1 ist ein Abschnitt der Auflageelemente am inneren Umfang des Trägerkörpers 6 dargestellt. Dabei haben alle Federbeine 1 bis 5 eine Streuung &Dgr;Ca ihrer Steifigkeit oder Federkonstanten Ca. Da über die gesamte Länge des inneren Umfangs des Trägerkörpers 6 mehr als drei Auflagen, insgesamt beispielsweise fünfzehn, vorhanden sind, ist die Linsenauflage überbestimmt, und aus den Faktoren &Dgr;S und Ca ergeben sich jeweils je Federbein unterschiedliche Kraftkomponenten, die jeweils eine Abweichung &Dgr;F von der Auflagekraft Fg/n erzeugen, die die Linse deformiert. Auf jedes der Federbeine 1 bis 5 wirkt eine Kraft Fg der Linse, dividiert durch die Gesamtzahl n der Auflageelemente; an jeder Auflage entsteht durch die Abweichungen &Dgr;S eine Abweichung in der Auflagekraft von ± &Dgr;F.

Dabei bedeuten:

Fg
die Gewichtskraft der Linse,
n
die Anzahl der Auflageelemente,
Ca
die Steifigkeit der Auflageelemente

Unter folgenden Annahmen lässt sich hierbei beispielsweise die Linsenfassung betrachten, die im Fall einer für die Lithographie eingesetzten Linse einen Durchmesser von bis 300 mm und eine Masse zwischen 1 und 10 kg hat:

Linsenmasse: 10 kg, Eigenfrequenz der Linsenfassung f0: 500 Hz, Anzahl der Auflagepunkte: 15, Fertigungstoleranz &Dgr;S: ± 5 &mgr;m

Aus der Masse und der Eigenfrequenz ergeben sich die Steifigkeit der Auflagepunkte: Ca = m/n·(2·&pgr;·f0)2 = 6,6 N/&mgr;m, und die Abweichung der Auflagekraft: &Dgr;F = Ca·S = 33 N.

Andererseits beträgt bei einer Zahl von 15 Auflagepunkten oder Auflageflächen an dem Trägerkörper 6 für eine in diesem gelagerte Linse je Auflagepunkt die Gewichtskraft Fg/n = 3,3 N.

Dies bedeutet, dass bei einer statisch überbestimmten Abstützung des Eigengewichts Fg einer Linse die aus den Fertigungstoleranzen entstehende Schwankung der Kraft &Dgr;F dieselbe oder nahezu dieselbe Größenordnung wie die anteilige Gewichtskraft Fg der Linse hat.

Die bekannten Kombinationen aus starrer Dreipunktlagerung und zusätzlicher elastischer Lagerung (US 6239 924 B1 und US 6 400 516 B1) haben folgende Nachteile: Die dynamischen Belastungen (Schocklasten) werden nur über die Dreipunktlagerung abgestützt. Klebeverbindungen können dabei überbeansprucht werden. Linsen können aus der Anbindung an den Trägerkörper ausbrechen. Die weicheren Auflagen können bei der Montage aus ihrer vorgesehenen Position, der Idealposition, gedrückt werden. Eine falsche Positionierung führt ebenfalls zu einer Kraftschwankung an der Auflagestelle.

Es ist die Aufgabe der Erfindung, die Lagerung eines mit elastischen Auflageelementen ausgestatteten optischen Bauelements, insbesondere einer Linse, zu verbessern.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe bei einer Anordnung der eingangs genannten Art dadurch gelöst, dass dass mindestens einige der zweiten Auflageelemente durch mindestens ein biegeweiches ring- oder ringsegmentförmiges Verbindungselement in Umfangsrichtung mit einander verbunden sind und dass das Verbindungselement und die zweiten Auflageelemente übereinanderliegen.

Bei der Auslegung einer Linsenfassung, d.h. des inneren Umfangsbereichs eines Trägerkörpers, müssen unterschiedliche Kriterien berücksichtigt werden. Federnde Elemente, beispielsweise Federbeine, müssen einerseits eine ausreichende Steifigkeit aufweisen, um eine möglichst hohe Eigenfrequenz und Formstabilität bei einer Linsenmontage zu erzielen; andererseits sollte die Linsenauflage und somit auch die Federbeinsteifigkeit sehr weich ausgelegt sein, damit Fertigungstoleranzen, Reibeinflüsse in der Linsenmontage und unterschiedlich ausgeprägte Kleberspannungen nicht zu einer Linsendeformation führen.

Da es bei dem im Stand der Technik bestehenden Problem des hohen, aus Fertigungstoleranzen bestehenden Kraftanteils allenfalls durch unverhältnismäßigen Aufwand bei der Eingrenzung der Toleranzen möglich ist, diesen Kraftanteil zu reduzieren, beschreitet die Erfindung den Weg, eine Dreipunktlagerung mit einer sehr weich ausgelegten, schwimmend gelagerten Federbeinauflage zu verbinden. Im Gegensatz zu den Lösungen nach dem Stand der Technik werden die elastischen Auflageelemente über eine Biegefeder in Umfangsrichtung und in radialer Richtung an ihrer Position gehalten. Die eigentliche Abstützung des Linsengewichts kann somit über eine sehr weich ausgelegte Feder erfolgen, die nahezu unempfindlich hinsichtlich Fertigungstoleranzen ist.

Vorteilhafte Weiterbildungen ergeben sich aus den Unteransprüchen.

Eine besonders einfache Ausgestaltung des Verbindungselements besteht darin, dass dieses ein Plättchen oder eine nachgiebige Platte ist. Insbesondere erstreckt sich das Plättchen über ein ringförmiges Segment des Trägerkörpers oder über dessen gesamten Umfang. Unter „ringförmig" oder „ringsegmentförmig" im Sinne dieser Erfindung ist auch eine n-eckige Form des Verbindungselements, insbesondere des Plättchens zu verstehen.

In einer Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass die Bewegung der zweiten Auflageelemente mindestens durch erste, ringsegmentförmige Begrenzungselemente in der durch die Auflage des optischen Bauelements vorgegebenen Bewegungsrichtung oder entgegen dieser begrenzt ist. Durch die Begrenzungselemente werden die schwimmend gelagerten Auflagepunkte nicht vollständig freigegeben. Dadurch werden niederfrequente Schockbelastungen nicht nur über die ersten, mehr starren Auflageelemente, sondern auch über die zweiten, mehr elastischen Auflageelemente abgestützt. Die Belastung wird durch die Aufteilung auf nahezu alle Auflagepunkte deutlich verringert.

Die Elastizität des Aufbaus wird zusätzlich unterstützt, wenn die zweiten Auflageelemente jeweils über erste elastische Elemente mit dem Trägerkörper verbunden sind.

Von Vorteil ist es, wenn die Bewegung der zweiten Auflageelemente durch die ersten und durch zweite, ebenfalls ring- bzw. ringsegmentförmige Begrenzungselemente in beiden Bewegungsrichtungen begrenzt ist, wobei die zweiten Begrenzungselemente den ersten Begrenzungselementen in Bezug auf die zweiten Auflageelemente oder das die zweiten Auflageelemente mit einander verbindende Verbindungselement gegenüberliegen.

Die beiden Begrenzungselemente sind elastisch an den Grund- oder Trägerkörper angebunden und werden über elastische Elemente, beispielsweise durch Druckfedern, auf einen definierten Abstand zu dem beispielsweise ringförmig umlaufenden Verbindungselement gebracht, das insbesondere biegeweich ist. Bei der Montage des optischen Bauelements wird der Abstand zwischen dem Verbindungselement einerseits und den Begrenzungselementen andererseits durch Mittel zur Begrenzung des Abstands, beispielsweise Schrauben, bis auf einen Abstand Null verringert und dadurch das Verbindungselement und die Begrenzungselemente gemeinsam geklemmt. Die weichen Auflageelemente, d.h. die zweiten Auflageelemente, werden somit während der Montage des optischen Bauelements versteift. Dadurch können die Auflagepunkte während der Montage nicht aus ihrer Ideallage gedrückt werden. Kraftschwankungen aufgrund von falscher Positionierung der sehr weichen Auflagepunkte können somit klein gehalten werden. Gibt man das Verbindungselement, d.h. die Biegefeder, durch Entfernen der Mittel zur Begrenzung des Abstands, also beispielsweise der Schrauben, nach der Montage wieder frei, so erhält die weiche Auflage des optischen Bauelements wieder ihre volle Elastizität.

Zur Dämpfung von Schwingungen dient auch eine Ausgestaltung der Erfindung, bei der die elastischen Auflageelemente mit den weniger elastischen oder starren Auflageelementen über elastische Anschlussstücke verbunden sind. Ebenso lassen sich auch die Begrenzungselemente mit den starren Auflageelementen verbinden.

In einer anderen vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass der Trägerkörper und die ersten und/oder die zweiten Auflageelemente und/oder das mindestens eine Verbindungselement und/oder die ersten und/oder die zweiten Begrenzungselemente und/oder ersten und/oder die zweiten elastischen Elemente und/oder die Anschlussstücke monolithisch ausgeführt sind. Dies bedeutet, dass alle oder einige der das optische Bauelement tragenden Elemente durch mechanisches Abtragen aus einem Rohling des Trägerkörpers entstehen. Allein durch die geometrische Anordnung der Elemente zu einander und durch ihre Form werden ihre Elastizität und ihre Funktion bestimmt.

Von Vorteil ist es, wenn alle Elemente rotationssymmetrisch zu einander angeordnet sind; dies gilt insbesondere für die zweiten Auflageelemente.

Nachstehend wird die Erfindung in Ausführungsbeispielen anhand der Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:

2 eine schematische Draufsicht auf eine ausgebrochen dargestellte Linse, die auf einem Trägerkörper gelagert ist,

3 eine Anordnung von starren und elastischen Auflageelementen an dm Trägerkörper entlang einer Schnittlinie III-III aus 2, in der die elastischen Auflageelemente mit einander verbunden sind,

4 eine Anordnung, in der zusätzlich Begrenzungselemente eingebracht sind, um die Schwingungen der elastischen Auflageelemente zu begrenzen,

5 eine weitere Anordnung, in der die Begrenzungselemente durch Schrauben unter Einhaltung eines Abstandes mit einander verbunden sind, und

6 die Anordnung gemäß 5, wobei die Abstände während der Montage der Linse auf dem Trägerkörper zu Null reduziert sind.

Auf einem ringförmigen Trägerkörper 8 (2, 3) sind zur Aufnahme einer Linse 9 gleichmäßig über dessen inneren Umfang verteilt drei starre Auflageelemente 10, 11 und 12 vorhanden. Die Auflageelemente 10, 11, 12 haben jeweils eine geringe Elastizität, die sich durch eine große Federkonstante Cd ausdrückt. Zur Vermeidung einer durch diese Dreipunktauflage entstehenden dreiwelligen Deformation des optischen Bauelements, insbesondere der Linse, deren Gewichtskraft in den Figuren durch Pfeile angedeutet ist, sind zusätzlich zu den Auflageelementen 10, 11, 12 zwischen diesen Auflageelemente 13, 14, 15; 131, 141 in gleichen Abständen zu einander angeordnet, die jeweils eine eigene Federkonstante Ca haben. Zur Erzielung der gewünschten Elastizität sind die Auflageelemente 13, 14, 15 jeweils auf vorzugsweise sehr weich ausgelegten Federn 16, 17, 18 mit einer niedrigen Federkonstante Cg gelagert und biegeweich an den Grundkörper der Fassung der Linse angebunden. Entsprechend dem Verhältnis zwischen den Federkonstanten Cd und Cg wird der Kraftanteil &Dgr;F gegenüber dem Gewichtsanteil F/n sehr klein, wobei n die Gesamtzahl der Auflageelemente ist. Über eine ringsegmentförmige Feder oder ein Plättchen 19 sind die Auflageelemente 13 bis 15 unter einander und mit den festen Auflageelementen 11, 12 verbunden. Durch das Plättchen 19 werden die elastischen Auflagen in Umfangsrichtung und in radialer Richtung an ihrer Position gehalten.

Mit dieser Ausführungsform der Erfindung werden statische Gewichtskräfte gleichmäßig abgestützt, und es entfallen die starken statistischen Schwankungen in den Kraftanteilen &Dgr;F je Auflageelement beim Stand der Technik.

Um auch dynamische Lasten, wie sie bei einer Schockbelastung auftreten, die nur über die Dreipunktauflage mit den Auflageelementen 11, 12 aufgenommen werden und die zu einer Überbeanspruchung der Klebestellen oder sogar zu einem Ausbrechen der Linse führen, gut abfangen zu können, wird in einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung (4) eine schwimmende Lagerung geschaffen. Bei dieser ist zusätzlich zu dem Plättchen 19 ein weiteres ebenfalls ringsegmentförmiges Plättchen 20 als Begrenzungselement oder als Anschlag vorhanden, das Schwingungen der Auflageelemente 13 bis 15 nach oben elastisch begrenzt.

Eine Schwingungsbegrenzung nach unten wird durch einen weiteren, ebenfalls ringsegmentförmigen und als Begrenzungselement dienenden Anschlag 21 erreicht; die maximal zulässige Schwingungsamplitude nach oben beträgt &Dgr;H, die gesamte zulässige Schwingungsamplitude somit 2 &Dgr;H; die Größe &Dgr;H ist so gewählt, dass sie größer ist als die Amplitude &Dgr;S einer sich durch die Verbindung zwischen den Auflageelementen 13 bis 15 einstellenden Biegelinie des Plättchens 19. Wird die Größe &Dgr;H nur unwesentlich größer als &Dgr;S gewählt, so kommen die schwimmend gelagerten Auflagepunkte 13 bis 15 bei dynamischer Anregung zur Anlage. Dadurch werden vor allem niederfrequente Schwingungen unterdrückt und die dynamischen Kräfte neben den starren Auflageelementen 11, 12 auch über die weichen Elemente 13 bis 15 abgestützt.

Die Bregenzungslemente oder Anschläge 20, 21 sind jeweils mit Ausnehmungen versehen, damit durch diese die Auflageelemente 12 bis 14 bzw. die Federn 16 bis 18 hindurchtreten. Zusätzlich sind die Begrenzungselemente 20, 21 über elastische Anschlussstücke 22, 23, 24, 25 mit den starren Auflageelementen 11 bzw. 12 verbunden. Ebenso sind zur Schwingungsdämpfung Federn 26, 27 zwischen den Plättchen 20, 21 vorhanden, die eine größere Federkonstante als die Federn 16 bis 18 haben, jedoch weniger starr als die Auflageelemente 11, 12 sind. In dem als Biegefeder fungierenden Verbindungselement 19 sind Ausnehmungen vorhanden, durch die Federn 26, 27 hindurchtreten. Die Federn 26, 27 halten die Anschläge 20, 21 gegenüber den elastischen Anschlussstücken 22 bis 25 in einer definierten Öffnungsstellung.

Während der Montage (6) werden die Federn 26, 27 sowie weitere in 5, 6 dargestellte Federn 28, 29 zusammengedrückt und die Begrenzungselemente 20, 21durch mit dem Verbindungselement 19 starr über Schrauben 30, 31, 32, 33 mit einander verbunden. Die elastischen Auflagen 13 bis 15 haben in der starren Verbindung zwar ihre Abweichung bezüglich der Fertigungstoleranzen; sie werden jedoch bei der Montage nicht aus ihrer Idealposition verschoben. Durch das Lösen der Schrauben 30 bis 33 nach der Montage, wie in 5 dargestellt, erhalten die Auflageelemente 13 bis 15 wieder ihre volle Elastizität, wodurch die Fertigungstoleranzen wieder egalisiert werden.

Durch die Erfindung lässt sich eine gravitationsbedingte Dreiwelligkeit bei Lagerung eines optischen Bauelements in waagrechter Lage auf ausschließlich drei starren Auflageelementen beseitigen. Schockbelastungen können nicht nur an diesen drei festen Punkten, sondern auch an den schwimmend gelagerten Auflagepunkten abgestützt werden, indem diese nicht komplett freigegeben werden. Durch Klemmen der schwimmend gelagerten Auflagepunkte während des Einklebens ergibt sich keine zusätzliche Deformation der Auflagepunkte.


Anspruch[de]
Anordnung zur Lagerung eines optischen Bauelements in einem Trägerkörper (8) mit einem Umfangsbereich, an dem eine Mehrzahl von Auflageelementen (11, 12, 13, 14, 15) zur Aufnahme des äußeren Umfangsbereichs des Bauelements vorgesehen ist, von denen einige als erste Auflageelemente (11, 12) mit einer niedrigen Elastizität und einige als zweite Auflageelemente (13, 14, 15) mit einer im Vergleich zu den ersten Auflageelementen (11, 12) höheren Elastizität ausgebildet sind, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens einige der zweiten Auflageelemente (13, 14, 15) durch mindestens ein biegeweiches Verbindungselement in Umfangsrichtung mit einander verbunden sind und dass das mindestens eine Verbindungselement und die zweiten Auflageelemente (13, 14, 15) in Richtung einer durch das optische Bauelement hindurchgehenden optischen Achse über- oder untereinanderliegen. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das mindestens eine Verbindungselement ein Plättchen (19) ist. Anordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine Verbindungselement ring- oder ringsegmentförmig ausgestaltet ist. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Bewegung der zweiten Auflageelemente (13, 14, 15) mindestens durch erste, ring- oder ringsegmentförmige Begrenzungselemente (20) in der durch die Auflage des optischen Bauelements vorgegebenen Bewegungsrichtung oder entgegen dieser begrenzt ist. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die zweiten Auflageelemente (13, 14, 15) jeweils über erste elastische Elemente (16, 17, 18) mit dem Trägerkörper (18) verbunden sind. Anordnung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Bewegung der zweiten Auflageelemente (13, 14, 15) durch die ersten (20) und durch zweite, ebenfalls ring- oder ringsegmentförmige Begrenzungselemente (21) in beiden Bewegungsrichtungen in der Richtung der optischen Achse begrenzt ist. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die ersten (20) und/oder die zweiten Begrenzungselemente (21) mit einander durch zweite elastische Elemente (26, 27) verbunden sind. Anordnung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die ersten und/oder die zweiten elastischen Elemente Federn (16, 17, 18; 26, 27) sind. Anordnung nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass die zweiten elastischen Elemente (26, 27) eine niedrigere Elastizität als die ersten elastischen Elemente (16, 17, 18) haben. Anordnung nach Anspruch 5 oder 7, dadurch gekennzeichnet, dass zusätzlich zu den ersten (16, 17, 18) oder den zweiten elastischen Elementen (26, 27) Mittel zur Begrenzung des Abstands vorhanden sind, mit denen die ersten (20) und die zweiten Begrenzungselemente (21) bzw. die zweiten Auflageelemente (13, 14, 15) und der Trägerkörper (8) in verschiedenen Abständen zu einander verbindbar sind. Anordnung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Mittel zur Begrenzung des Abstands Schrauben (26, 29, 30, 31) sind. Anordnung nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass die ersten (20) und die zweiten Begrenzungselemente (21) oder die zweiten Auflageelemente (13, 14, 15) und der Trägerkörper (8) während der Montage durch die Mittel zur Begrenzung des Abstands in verschiedenen Abständen zu einander feststellbar sind. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eines der Elemente: die zweiten Auflageelemente (13, 14, 15), das mindestens eine Verbindungselement, die ersten (20) und die zweiten Begrenzungselemente (21) über elastische Anschlussstücke (22, 23, 24, 25) mit den ersten Auflageelementen (11, 12) verbunden ist. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine der Elemente: der Trägerkörper (8), die ersten (11, 12) oder die zweiten Auflageelemente (13, 14, 15), das mindestens eine Verbindungselement, die ersten (20) und die zweiten Begrenzungselemente (21), die ersten (16, 17, 18) und die zweiten elastischen Elemente (26, 27), die Anschlussstücke (22, 23, 24, 25) monolithisch ausgeführt ist. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass die zweiten Auflageelemente (13, 14, 15) rotationssymmetrisch zu einander angeordnet sind. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass das optische Bauelement eine Linse oder ein Spiegel ist.






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