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Elektrisches Vielschichtbauelement - Dokument DE102006031085A1
 
PatentDe  


Dokumentenidentifikation DE102006031085A1 20.09.2007
Titel Elektrisches Vielschichtbauelement
Anmelder EPCOS AG, 81669 München, DE
Erfinder Hirschler, Michael, Dr., Graz, AT;
Sommariva, Helmut, Dr., Graz, AT;
Stimpfl, Peter, Graz, AT
Vertreter Epping Hermann Fischer, Patentanwaltsgesellschaft mbH, 80339 München
DE-Anmeldedatum 05.07.2006
DE-Aktenzeichen 102006031085
Offenlegungstag 20.09.2007
Veröffentlichungstag im Patentblatt 20.09.2007
IPC-Hauptklasse H01L 41/083(2006.01)A, F, I, 20060705, B, H, DE
IPC-Nebenklasse H01L 41/047(2006.01)A, L, I, 20060705, B, H, DE   H01L 41/16(2006.01)A, L, I, 20060705, B, H, DE   H02N 2/04(2006.01)A, L, I, 20060705, B, H, DE   F02M 51/00(2006.01)A, L, I, 20060705, B, H, DE   
Zusammenfassung Es wird ein piezoelektrisches Vielschichtbauelement (1) mit mehreren keramischen Schichten (2) und Elektrodenschichten (3a, 3b) angegeben, wobei mindestens eine Elektrodenschicht ein gegenüber den keramischen Schichten verändertes Materialgefüge aufweist und dadurch für Druckwellen oder Schwingungsimpulse einen Grenzflächeneffekt bewirkt, wodurch die Elektrodenschicht mechanische Belastungen absorbiert.

Beschreibung[de]

Es wird ein elektrisches Vielschichtbauelement mit einer mechanische Energie absorbierenden Absorptionsschicht beschrieben.

Aus WO 2004/077583 A1 ist ein elektrisches Vielschichtbauelement bekannt, in dem eine keramische Sollbruchschicht angeordnet ist.

Eine zu lösende Aufgabe besteht darin, ein alternatives elektrisches Vielschichtbauelement zu schaffen, das gegen mechanischen Belastungen unempfindlich ist.

Es wird eine elektrisches, insbesondere ein piezoelektrisches Vielschichtbauelement mit mehreren keramischen Schichten und Elektrodenschichten angegeben, wobei mindestens eine Elektrodenschicht ein gegenüber den keramischen Schichten anderes Materialgefüge aufweist und dadurch einen Grenzflächeneffekt bewirkt. Dadurch können mechanische Belastungen absorbiert werden.

Die Elektrodenschichten haben vorzugsweise die Funktion von Innenelektroden und dienen dem Aufbau eines elektrischen Feldes in den keramischen Schichten, die den Elektrodenschichten benachbart sind.

Mit einem Grenzflächeneffekt wird das Verhalten einer Druckwelle verstanden, wenn sie von einem Medium erster Dichte in ein Medium zweiter Dichte eintritt. Dabei werden ihre Eigenschaften verändert, wie z.B. ihre Form und / oder ihre Propagationsart. Die Veränderung der Welleneigenschaften könnte durch eine Amplitudenveränderung, Ablenkung, Verzerrung oder Brechung gezeigt werden.

Der Grenzflächeneffekt kann dabei sowohl innerhalb der Absorptionsschicht entstehen, als auch an der Grenzfläche zwischen der Absorptionsschicht und einer benachbarten keramischen bzw. piezoelektrischen Schicht.

Der Grenzflächeneffekt in oder bei den als Absorptionsschichten wirkenden Elektrodenschichten kann zur Absorption, Brechung, Zerstreuung oder auch Ablenkung der mechanischen Energie führen. Die mechanische Energie kann dabei aus einer Druckwelle beziehungsweise aus einem mechanischen Schwingungsimpuls stammen und beispielsweise durch Aufprall-, Schlag-, Schall- oder Schwingungsenergie erzeugt worden sein. Mechanische Energie, die durch Schläge oder Vibrationen in das Bauelement eingebracht wird, wird in bzw. an einer der Elektrodenschichten zerstreut, abgelenkt oder gedämpft.

Gemäß einer Ausführungsform des elektrischen Vielschichtbauelements kann die Elektrodenschicht als Bereich mit veränderter Dichte und somit Elastizität beziehungsweise Komprimierbarkeit im Bauelement konzipiert sein. Dieser Bereich soll Druck- bzw. Schallwellen ablenken und Vibrationsenergie aufnehmen. Dabei könnte die Elektrodenschicht eine geringere Dichte und/oder eine höhere Komprimierbarkeit aufweisen als die keramischen Schichten.

Die als Absorptionsschicht wirkende Elektrodenschicht hat den Vorteil, dass bei einer schnellen Abfolge mehrerer mechanischer Stöße auf das Vielschichtbauelement eine dauerhafte Ausbreitung der dadurch entstehenden mechanischen Stoßwellen, beispielsweise auch durch Reflexion an den äußeren Enden des Bauelements, wirksam vermindert werden kann. Hierfür wird die Elektrodenschicht so gestaltet, dass beispielsweise in Schallgeschwindigkeit durch das Bauelement laufende Stoßwellen an Grenzflächen zwischen einer Elektrodenschicht und einer anderen Schicht, beispielsweise einer keramischen Schicht, eine Beugung oder eine Brechung erfahren, wodurch die geradlinige Ausbreitung der Stoßwelle geschwächt wird. Dadurch können sich hochschaukelnde bzw. kumulierende, durch schnelle aufeinander folgende mechanische Stöße bewirkte Stoßwellenpakete hinsichtlich ihrer Intensität verringert und die Gefahr der Zerstörung des Vielschichtbauelements vermindert werden.

Das elektrische Vielschichtbauelement ist vorzugsweise ein piezoelektrischer Vielschichtaktor, dessen Keramik eine Piezokeramik enthält, vorzugsweise eine PZT-Keramik.

Auch wird ein elektrisches, insbesondere ein piezoelektrisches Vielschichtbauelement mit mehreren keramischen Schichten und Elektrodenschichten angegeben, wobei mindestens eine Elektrodenschicht ein gegenüber den keramischen Schichten anderes Materialgefüge aufweist und bei mechanischen Belastungen als Sollbruchstelle wirkt. Das Materialgefüge ist derart, dass sich in der Elektrodenschicht bei mechanischer Belastung ein im Wesentlichen parallel zur Elektrodenschicht verlaufender Riss ausbreitet.

Insbesondere wurde nämlich erkannt, das piezoelektrische Vielschichtaktoren besonders empfindlich sind gegenüber der Zufuhr mechanischer Energie in der Form von Aufprall-, Schall- und Schwingungsenergie, und dass dabei die piezoelektrische Vielschichtaktoren bei Überdehnung zu einer bauteilzerstörenden, unkontrollierten Rissbildung neigen. Es wurde jedoch auch beobachtet, dass diese Rissbildung keinen negativen Einfluss auf die Eigenschaften und Lebensdauer des Aktors hat, wenn sie parallel zu den Elektroden verläuft.

Das vorgeschlagene elektrische Vielschichtbaulement hat nun den Vorteil, dass durch die Sollbruchstelle eine Rissbildung innerhalb der Elektrodenschicht im Wesentlichen parallel zu den Ebenen der Elektrodenschichten bzw. den keramischen Schichten erfolgt. Es ist jedoch auch möglich, dass aufgrund der Abdämpfung der mechanischen Energie durch die Elektrodenschichten das elektrische Vielschichtbauelement unter mechanischer Belastung gänzlich rissfrei bleibt.

Dadurch, dass die Elektrodenschicht als Absorptionsschicht oder als Sollbruchstelle- bzw. schicht wirkt, kann ein elektrisches Vielschichtbauelement geschaffen werden, das trotz mechanischer Belastung, insbesondere häufiger, sich wiederholender mechanischer Belastung, funktionstüchtig bleibt.

Zur Herstellung des elektrischen Vielschichtbauelements sind vorteilhafterweise keine weiteren Schritte erforderlich, als solche, die für die Herstellung eines keine Absorptionsschicht bzw. Sollbruchsschicht aufweisenden elektrischen Vielschichtbauelements nötig sind. Das wird dadurch erreicht, dass die Elektrodenschicht bereits als Absorptionsschicht bzw. als Sollbruchschicht wirkt und beispielsweise keine zusätzliche, von der Elektrodenschicht und den keramischen Schichten getrennte Schicht geschaffen werden muss, die veränderte Abmessungen, inbesondere vergrößerte Abmessungen des elektrischen Vielschichtbauelements zur Folge hätte.

Es wird somit ein elektrisches Vielschichtbauelement angegeben, dessen Elektrodenschichten als Absorptionsschichten mit einer Grenzflächenwirkung oder alternativ als Sollbruchschichten in beiden Fällen vorteilhafterweise sowohl eine elektrische Funktion als auch eine mechanische Schutzfunktion aufweisen.

Nach einer Ausführungsform des elektrischen Vielschichtbauelements enthält mindestens eine als Sollbruchstelle wirkende Elektrodenschicht einen Zusatz eines Materials, das die mechanische Zugfestigkeit der Elektrodenschicht gegenüber den keramischen schichten absenkt. Es ist günstig, wenn es sich dabei um keramische Zusätze handelt. Die keramischen Zusätze können dabei das gleiche Material enthalten, wie die keramischen Schichten. Andere Materialien, die den genannten Effekt haben, können jedoch ebenfalls eingesetzt werden.

Der keramische Zusatz ist vorzugsweise derart beschaffen, das er das Materialgefüge der Elektrodenschicht soweit schwächt, dass die mechanische Zugfestigkeit geringer ist als die umgebende Keramik.

Der keramische Zusatz kann zusätzlich oder alternativ die Dichte oder die Komprimierbarkeit der Elektrodenschicht soweit verändern, dass diese als Absorptionsschicht wirkt. Der keramische Zusatz kann bei der Herstellung des elektrischen Vielschichtbauelements in demselben Herstellungsschritt wie in dem der Elektrodenschicht beigemengt werden, sodass vorteilhafterweise kein weiterer Herstellungsschritt notwendig ist.

Gemäß einer Ausführungsform eines elektrischen Vielschichtbauelements, das als Absorptionsschichten oder als Sollbruchschichten wirkende Elektrodenschichten aufweist, ist den Elektrodenschichten keramisches Material zugesetzt, das vorzugsweise Keramikkörner, deren Größen sich um das Vielfache voneinander unterscheiden aufweist. Dabei wird vorzugsweise eine Mischung aus groben und feinen Körnern gewählt.

Die mechanische Festigkeit im Bereich bzw. innerhalb einer Elektrodenschicht kann aufgrund der Diffusion von Material während des Sinterns des Vielschichtbauelements gleich oder größer sein als die der umliegenden Keramik. Diese Festigkeit könnte durch den Zusatz feinvermahlender Keramik sogar noch erhöht werden, um an benötigter Menge an relativ teurem Elektrodenmaterial zu sparen bzw. oder die Verwendung von niedriger schmelzenden Legierungen als Elektrodenschicht zu begünstigen.

Es wird dennoch vorgeschlagen, durch einen Zusatz einer groben Keramik oder einer Keramik die sich von jener der keramischen Schichten unterscheidet eine für die Sollbruchstelle bzw. Absorptionsschicht günstige Festigkeit- oder Dichte zu erreichen. Der Zusatz schließt jedoch nicht den gleichzeitigen Einsatz von feinvermahlener Keramik zu dem genannten Zweck aus und zerstört auch nicht die zur Funktion der Elektrodenschicht nötige elektrische Leitfähigkeit.

Gemäß einer Ausführungsform des elektrischen Vielschichtbauelements umfassen die keramischen Zusätze Mischungen aus Zirkonoxid und Titanoxid. Grundsätzlich sind jedoch andere keramische Zusätze einsetzbar, die ein gegenüber der umgebenen Keramik verändertes Gefüge ausbilden. Die Mischungen können dabei Fein- und Grobkörner in ausgewählten Anteilen bzw. in einer bimodalen Korngrößenverteilung aufweisen. Eine solche bimodale Korngrößenverteilung des keramischen Zusatzes ermöglicht dabei die Bildung der Elektrode der Elektrodenschicht durch die Wirkung des Feinkorns mit verringertem Metallbedarf und/oder veränderten Legerierungsverhältnis, beispielsweise eine Legierung mit einem verringerten Anteil von Palladium, aber auch gleichzeitig die Bildung einer mechanisch abgeschwächten Stelle, beispielsweise zum Bilden einer Sollbruchstelle, durch die Anwesenheit des Grobkorns- oder Fremdkorns.

Wenn eine Sollbruchtstelle derart belastet wird, dass sie Risse bildet, ist durch die keramischen Zusätze schlimmstenfalls das Bilden von Rissen ersten Grades möglich, wobei Risse ersten Grades ihrerseits die Entstehung von Rissen zweiten Grades verhindern.

Ein Riss ersten Grades ist dabei derart zu verstehen, dass er nicht oder nur äußerst geringfügig die Funktionstüchtigkeit des elektrischen Vielschichtbauelements beeinträchtigt. Er verläuft dabei im Wesentlichen parallel zu einer Elektrodenschicht.

Ein Riss zweiten Grades ist dabei einer, der direkt zum Ausfall des Bauelements führen kann, beispielsweise dadurch, dass er durch Spaltung eines Dielektrikums bzw. keramischen Schicht einen elektrischen Pfad schafft, der seinerseits einen Kurzschluss zwischen unterschiedlichen elektrischen Polen bzw. unterschiedlich gepolen Elektrodenschichten des Bauelements verursachen könnte. Risse zweiten Grades könnten beispielsweise senkrecht zu den Ebenen der keramischen- und Elektrodenschichten verlaufen. Sie werden durch die Entstehung von Rissen ersten Grades vermieden, indem durch die Risse ersten Grades kleinere Bruchstücke in der Elektrodenschicht entstehen und somit mechanische Spannungen innerhalb dieser Schicht derart abgebaut werden, dass auch unter weiterer mechanischer Belastung keine weiteren Risse entstehen können.

Das elektrische Vielschichtbauelement ist vorzugsweise mit Zuleitungen oder an seiner Oberfläche mit Außenkontakten versehen, die die Elektrodenschichten kontaktieren.

Das elektrische Vielschichtbauelement kann durch seine erhöhte mechanische Stabilität in Geräten verwendet werden, die mechanischen Schwingungen ausgesetzt sein können, wie beispielsweise Motoren oder Triebwerke. Dabei kommen insbesondere Benzin-, Kerosin- oder Dieselmotoren für Kraftfahr- bzw. Flugzeuge oder Züge in Betracht.

Auch wird eine Einspritzvorrichtung angegeben, welche das piezoelektrische Vielschichtbauelement aufweist. Dabei könnte das piezoelektrische Vielschichtbauelement an einer Stirnseite mechanisch mit einem Ventil bzw. mit einer Ventilnadel verbunden und an der anderen Stirnseite fest oder nahezu fest gelagert sein.

Die beschriebenen Gegenstände werden anhand der folgenden Figur und Ausführungsbeispielen näher erläutert. Dabei zeigt:

1 ein elektrisches Vielschichtbauelement mit Elektrodenschichten, die einen keramischen Zusatz enthalten.

1 zeigt ein elektrisches Vielschichtbauelement 1, das eine Vielzahl von übereinanderliegenden Keramikschichten 2 aufweist. Die Keramikschichten sind entlang einer Längsachse, die mit einem Pfeil dargestellt ist, angeordnet. Zwischen den keramischen Schichten sind Elektrodenschichten 3a, 3b angeordnet. In zumindest einer Elektrodenschicht 3a oder 3b befindet sich eine Sollbruchstelle oder ein Absorptionsbereich, die bzw. der hier speziell durch die Präsenz von keramischen Zusätzen in der Elektrodenschicht ermöglicht wird.

Die Elektrodenschichten 3a und 3b enthalten vorzugsweise einen bestimmten keramischen Zusatz, der sowohl aus groben 4a als auch aus feinen 4b keramischen Körnern besteht.

Die Elektrodenschichten 3a gehören zu einem elektrischen Pol des Vielschichtbauelements und die Elektrodenschichten 3b zum anderen Pol des Bauelements. Die bis ganz an den rechten Rand des Bauelements herangeführten Elektrodenschichten 3a sind durch die Außenkontaktierung 5 miteinander elektrisch leitend verbunden.

Dementsprechend sind die auf der linken Seite des Bauelements bis an den äußeren Rand reichenden Elektrodenschichten 3b mit einer auf der linken Seite des Bauelements angeordneten Außenkontaktierung 5' elektrisch leitend verbunden.

Vorzugsweise wird das Bauelement 1 durch Sintern eines Stapels von übereinanderliegenden keramischen Grünfolien und dazwischenliegenden Elektrodenschichten hergestellt. Dadurch entsteht ein monolithisches Bauelement.

Um die maximale Belastung des Bauelements durch die mechanischen Schwingungen weiter zu reduzieren, kann es vorgesehen sein, daß an mehreren Stellen der Längsachse als Sollbruchschichten wirkende Elektrodenschichten, die jeweils keramische Zusätze enthalten können, vorgesehen sind. Diese sind derart beschaffen, dass sie bei mechanischen Belastungen lediglich Risse ersten Grades bilden.

Mit den als Absorptionsschichten oder als Sollbruchschichten wirkenden Elektrodenschichten wird das Bauelement in mehrere Teil-Bauelemente unterteilt, wobei jedes Teil-Bauelement hinsichtlich der Belastung durch die mechanischen Spannungen separat betrachtet werden kann. Es können sich nicht mehr über die gesamte Länge des piezoelektrischen Vielschichtbauelements mechanische Schwingungen oder Zugspannungen aufaddieren und somit zu unkontrollierten Rissen im Bauelement führen.

Wenn das elektrische Vielschichtbauelement n als Absorptionsschichten oder Sollbruchschichten wirkende Elektrodenschichten 3a, 3b aufweist, würde das Bauelement in k Bereiche aufgeteilt werden in denen sich jeweils mechanische Spannungen aufbauen können, wobei k > n – 1 ist. Die k Bereiche entsprechen die neben einer Elektrodenschicht befindlichen keramische Schichten 2. Jeder dieser Bereiche ist jedoch so schmal bzw. klein, dass pro Bereich lediglich kleine mechanische Spannungen entstehen können, die sofort an einer benachbarten Elektrodenschicht mittels ihres Grenzflächeneffekts bzw. ihrer Absorptionswirkung oder in dem Falle, dass es sich bei der Elektrodenschicht um eine Sollbruchschicht handelt, mittels eines mechanischen Bruchs abgebaut werden können.

Die Verteilung Elektrodenschichten 3a und 3b kann also entlang der Längsachse des Vielschichtbauelements derart gleichmäßig gewählt werden, daß Teil-Bauelemente entstehen, deren Höhe so stark reduziert ist, daß die bei dem normalen Betrieb bzw. beim Polen des Piezoaktors auftretenden Zugspannungen keine Risse außerhalb der Sollbruchstellen oder Absorptionsschichten mehr in dem Bauelement erzeugen können.

Sollte das Vielschichtbauelement zudem mehrere Elektrodenschichten 3a, 3b der genannten Art aufweisen, sodass dadurch mehrere piezoelektrische Vielschichtbauelementteile gebildet werden, könnte bei einer Höhe des piezoelektrischen Vielschichtbauelements von 30 mm dieses durch 9 Elektrodenschichten mit Sollbruchstellen in 10 Teile unterteilt werden, wobei jeder Teil eine Höhe von 3 mm aufweist.

Die Elektrodenschichten 3a, 3b können Silber, Palladium oder Kupfer sowie eine Legierung mehrerer dieser Materialien enthalten.


Anspruch[de]
Piezoelektrisches Vielschichtbauelement (1) mit mehreren keramischen Schichten (2) und Elektrodenschichten (3a, 3b), wobei mindestens eine Elektrodenschicht ein gegenüber den keramischen Schichten verändertes Materialgefüge aufweist und dadurch für Druckwellen oder Schwingungsimpulse einen Grenzflächeneffekt bewirkt, wodurch die Elektrodenschicht mechanische Belastungen absorbiert. Piezoelektrisches Vielschichtbauelement nach Anspruch 1, bei dem die Elektrodenschicht (3a, 3b) wenigstens einen der folgenden Effekte auf einen mechanischen Schwingungsimpuls oder auf eine Druckwelle ausübt: Absorption, Brechung, Zerstreuung, Ablenkung. Piezoelektrisches Vielschichtbauelement nach einem der Ansprüche 1 oder 2, bei dem die Druckwelle oder der Schwingungsimpuls durch Aufprall-, Schlag-, Schall- oder Schwingungsenergie erzeugt ist. Piezoelektrisches Vielschichtbauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem die Elektrodenschicht (3a, 3b) eine andere Komprimierbarkeit aufweist, als die keramischen Schichten (2). Piezoelektrisches Vielschichtbauelement (1) mit mehreren keramischen Schichten (2) und Elektrodenschichten (3a, 3b), wobei mindestens eine Elektrodenschicht ein gegenüber den keramischen Schichten verändertes Materialgefüge aufweist und bei mechanischen Belastungen als Sollbruchtstelle wirkt. Piezoelektrisches Vielschichtbauelement nach Anspruch 5, bei dem sich bei mechanischer Belastung in der Elektrodenschicht (3a, 3b) ein im Wesentlichen parallel zur Elektrodenschicht verlaufender Riss ausbreitet. Piezoelektrisches Vielschichtbauelement nach einem der Ansprüche 5 oder 6, bei dem die Zugfestigkeit der Elektrodenschicht (3a, 3b) gegenüber den keramischen Schichten (2) abgesenkt ist. Piezoelektrisches Vielschichtbauelement nach einem der Ansprüche 5 bis 7, bei dem die Zugfestigkeit einer Grenzfläche zwischen der Elektrodenschicht (3a, 3b) und einer benachbarten keramischen Schicht (2) gegenüber den keramischen Schichten abgesenkt ist. Piezoelektrisches Vielschichtbauelement nach Anspruch 8, bei dem die abgesenkte mechanische Zugfestigkeit durch den Zusatz eines Materials in der Elektrodenschicht (3a, 3b) bewirkt wird. Piezoelektrisches Vielschichtbauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem die Elektrodenschicht (3a, 3b) eine andere Dichte aufweist, als die keramischen Schichten (2). Piezoelektrisches Vielschichtbauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem die Elektrodenschicht (3a, 3b) einen Zusatz an keramischem Material enthält. Piezoelektrisches Vielschichtbauelement nach Anspruch 11, bei dem das keramische Material Keramikkörner enthält, deren Größen sich um ein Vielfaches voneinander unterscheiden. Piezoelektrisches Vielschichtbauelement (1) nach einem der Ansprüche 11 oder 12, bei dem das keramische Material eine Mischung aus Zirkonoxid und Titanoxid enthält. Piezoelektrisches Vielschichtbauelement (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem die Elektrodenschicht (3a, 3b) eine Silber-Palladium Legierung enthält. Piezoelektrisches Vielschichtbauelement (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem die Elektrodenschichten (3a, 3b) Kupfer enthalten. Piezoelektrisches Vielschichtbauelement (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem die Elektrodenschichten (3a, 3b) abwechselnd gestapelt und mit unterschiedlichen Außenanschlüssen (5) kontaktiert sind. Piezoelektrisches Vielschichtbauelement (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem die Elektrodenschichten (3a, 3b) gleichmäßig über die Höhe des keramischen Vielschichtbauelements verteilt sind. Piezoelektrisches Vielschichtbauelement (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem die keramischen Schichten (2) eine Mischung aus Blei, Zirkonat und Titanat enthalten.






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