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Dokumentenidentifikation DE60217317T8 04.10.2007
EP-Veröffentlichungsnummer 0001381079
Titel WÄRMEBEHANDLUNGSVERFAHREN
Anmelder Tokyo Electron Ltd., Tokio/Tokyo, JP
Erfinder Okabe, Tsuneyuki, Tokoy-to, JP
Vertreter BOEHMERT & BOEHMERT, 80336 München
DE-Aktenzeichen 60217317
Vertragsstaaten DE, FR, GB, IT, NL
Sprache des Dokument EN
EP-Anmeldetag 13.03.2002
EP-Aktenzeichen 027051465
WO-Anmeldetag 13.03.2002
PCT-Aktenzeichen PCT/JP02/02377
WO-Veröffentlichungsnummer 2002082523
WO-Veröffentlichungsdatum 17.10.2002
EP-Offenlegungsdatum 14.01.2004
EP date of grant 03.01.2007
Date of publication of correction 04.10.2007
Information on correction Berichtigung zu INID-Code (72)
IPC-Hauptklasse H01L 21/31(2006.01)A, F, I, 20051017, B, H, EP
IPC-Nebenklasse H01L 21/205(2006.01)A, L, I, 20051017, B, H, EP   C23C 16/455(2006.01)A, L, I, 20051017, B, H, EP   F27D 7/06(2006.01)A, L, I, 20051017, B, H, EP   F27D 19/00(2006.01)A, L, I, 20051017, B, H, EP   








IPC
A Täglicher Lebensbedarf
B Arbeitsverfahren; Transportieren
C Chemie; Hüttenwesen
D Textilien; Papier
E Bauwesen; Erdbohren; Bergbau
F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
G Physik
H Elektrotechnik

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