PatentDe  


Dokumentenidentifikation DE102006017668A1 18.10.2007
Titel Verfahren zur Herstellung von Leistungshalbleiterbauteilen und Verwendung von Farbstoffen
Anmelder Infineon Technologies AG, 81669 München, DE
Erfinder Mahler, Joachim, Dr., 93051 Regensburg, DE;
Landau, Stefan, Dipl.-Chem., 61273 Wehrheim, DE
Vertreter Schweiger & Partner, 80333 München
DE-Anmeldedatum 12.04.2006
DE-Aktenzeichen 102006017668
Offenlegungstag 18.10.2007
Veröffentlichungstag im Patentblatt 18.10.2007
IPC-Hauptklasse H01L 21/66(2006.01)A, F, I, 20060412, B, H, DE
IPC-Nebenklasse H01L 29/78(2006.01)A, L, I, 20060412, B, H, DE   H01L 23/488(2006.01)A, L, I, 20060412, B, H, DE   B23K 31/02(2006.01)A, L, I, 20060412, B, H, DE   C09B 3/14(2006.01)A, L, I, 20060412, B, H, DE   C09B 11/24(2006.01)A, L, I, 20060412, B, H, DE   C09B 57/00(2006.01)A, L, I, 20060412, B, H, DE   
Zusammenfassung Bei der Herstellung eines Leistungshalbleiterbauteils mit einem weichgelöteten Kontakt sollen ein Bondpad oder andere Bauteilkomponenten beschädigende Lotpastenrückstände zuverlässig detektiert werden. Dazu wird der Lotpaste eine fluoreszierende Markierungssubstanz zugesetzt und das Leistungshalbleiterbauteil vor dem Aufbringen des Bonddrahtes auf Lotpastenrückstände inspiziert.

Beschreibung[de]

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Leistungshalbleiterbauteils, beispielsweise eines MOSFET-Halbleiterchips mit Kontaktflächen für Source-, Drain- und Gatekontakt, wobei der Source- und der Drainkontakt mit einem Bügel oder Clip und der Gatekontakt mit einem Bonddraht kontaktiert werden. Sie betrifft weiter die Verwendung von Farbstoffen als Markierungssubstanzen in einem solchen Verfahren.

Solche Leistungshalbleiterbauteile sind beispielsweise aus der US 6,040626 bekannt. Sie umfassen ein Substrat, beispielsweise einen Flachleiterrahmen, auf das ein Leistungshalbleiterchip aufgebracht ist. Der Leistungshalbleiterchip weist zumindest einen Source-, einen Drain- und einen Gatekontakt auf, wobei der Source- und der Drainkontakt jeweils durch einen Clip oder einen Bügel mit dem Substrat mittels Weichlöten verbunden sind. Zur Kontaktierung des Gatekontakts ist jedoch eine Bonddrahtverbindung zu einem auf dem Substrat angeordneten Bondpad vorgesehen.

Im Zuge der Miniaturisierung verringert sich auch die für dieses Bondpad zur Verfügung stehende Fläche. Dies ist insofern problematisch, als Spritzer der Lotpaste, das zum Weichlöten des Source- und Drainkontakts verwendet wird, leicht auf das Bondpad gelangen können. Die als Lotpaste verwendeten Substanzen sind typischerweise stark korrosiv und können die ohnehin sehr kleine Fläche des Bondpads angreifen und ihre Bondbarkeit stark verringern. Auf diese Weise kann es zu Zuverlässigkeitsproblemen des Gatekontakts und somit des ganzen Leistungshalbleiterbauteils kommen. Es ist zwar möglich, nach dem Weichlötprozess eine Reinigung der betroffenen Flächen durchzuführen. Da jedoch auch kleinste Lotpastenspritzer zu Zuverlässigkeitsproblemen führen können, muss sichergestellt werden, dass diese Reinigung auch erfolgreich war, beziehungsweise dass keine Lotpastenspritzer vorhanden sind.

Aufgabe der Erfindung ist es daher, ein Verfahren zur Herstellung eines Leistungshalbleiterbauteils anzugeben, bei dem die Zuverlässigkeit des Halbleiterbauteils dadurch sichergestellt wird, dass Halbleiterbauteile mit Lotpastenspritzern erkannt und aussortiert werden.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe mit dem Gegenstand der unabhängigen Patentansprüche gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind Gegenstand der abhängigen Patentansprüche.

Ein erfindungsgemäßes Verfahren zur Herstellung eines Leistungshalbleiterbauteils weist folgende Schritte auf: Zunächst wird ein Leistungshalbleiterchip mit mindestens einer ersten, einer zweiten und einer dritten Kontaktfläche bereitgestellt, wobei die erste Kontaktfläche den Anodenkontakt, die zweite Kontaktfläche den Kathodenkontakt und die dritte Kontaktfläche einen Steuerelektrodenkontakt darstellt. Außerdem wird ein Substrat mit zur Verbindung mit den Kontaktflächen vorgesehenen Kontaktanschlussflächen bereitgestellt. Anschließend wird der Leistungshalbleiterchip auf das Substrat unter Verbinden von mindestens einer der drei Kontaktflächen mit der entsprechenden Kontaktanschlussfläche aufgebracht, wobei die Verbindung mittels Löten, insbesondere Weichlöten, mit einer Lotpaste, die eine fluoreszierende Markierungssubstanz enthält, erfolgt.

Um Lotpastenrückstände detektieren zu können, wird dann eine optische Inspektion des Leistungshalbleiterbauteils in dem Wellenlängenbereich, in dem die Markierungssubstanz Fluoreszenzlicht aussendet, vorgenommen. Werden Lotpastenrückstände detektiert, wird das Leistungshalbleiterbauteil als Ausschuss markiert. Sind die Kontaktanschlussflächen und auch die übrigens Oberflächen des Bauteils jedoch frei von Lotpastenrückständen, werden gegebenenfalls die übrigen Kontaktflächen mit den entsprechenden Kontaktanschlussflächen auf dem Substrat mittels eines Bonddrahts verbunden. Anschließend kann das Leistungshalbleiterbauteil mit einem Kunststoffgehäuse umgeben werden.

Die Erfindung geht von der Überlegung aus, dass eine aufwendige Reinigung des Halbleiterbauteils nach dem Weichlöten sehr zeit- und kostenintensiv ist. Es ist jedoch kaum möglich, durch eine Reinigung die Entfernung auch kleinster Lotpastenspritzer von der gesamten Oberfläche des Halbleiterbauteils zu garantieren. Vielmehr sollten verunreinigte Halbleiterbauteile möglichst schon vor dem Bonden erkannt und aussortiert werden und es sollte eine Möglichkeit zur Verfügung stehen, das Ergebnis der Reinigung einfach und schnell zu überwachen. Zur Detektion von Lotpastenrückständen sind fluoreszierende Markierungssubstanzen, die der Lotpaste beigemischt werden, besonders geeignet, weil sie sich auch in kleinsten Spuren verhältnismäßig einfach und trotzdem zuverlässig nachweisen lassen.

In einer Ausführungsform der Erfindung ist die mit der entsprechenden Kontaktanschlussfläche mittels Weichlöten verbundene Kontaktfläche der Anoden- oder der Kathodenkontakt.

Das Leistungshalbleiterbauteil kann ein MOSFET sein, wobei die erste Kontaktfläche ein Sourcekontakt, die zweite Kontaktfläche ein Drainkontakt und die dritte Kontaktfläche ein Gatekontakt sind. Es kann jedoch auch ein IGBT sein, wobei die erste Kontaktfläche ein Emitterkontakt, die zweite Kontaktfläche ein Kollektorkontakt und die dritte Kontaktfläche ein Gatekontakt sind. Ferner kann es auch ein bipolarer Transistor sein, wobei die erste Kontaktfläche ein Emitterkontakt, die zweite Kontaktfläche ein Kollektorkontakt und die dritte Kontaktfläche ein Basiskontakt sind.

Das Leistungshalbleiterbauteil kann entweder ein vertikales Leistungshalbleiterbauteil sein, bei dem der Leistungshalbleiterchip auf seiner Unterseite einen Kathodenkontakt aufweist, der typischerweise durch Weichlöten mit der entsprechenden Kontaktanschlussfläche auf dem Substrat verbunden wird. Die übrigen Kontaktflächen werden entweder ebenfalls durch Weichlöten oder mittels Drahtbonden mit den entsprechenden Kontaktanschlussflächen verbunden.

Das Leistungshalbleiterbauteil kann auch ein laterales Leistungshalbleiterbauteil sein, bei dem die erste, die zweite und die dritte Kontaktfläche auf der Oberseite des Halbleiterchips angeordnet sind und wenigstens eine dieser Kontaktflächen mit der entsprechenden Kontaktanschlussfläche auf dem Substrat beispielsweise über einen Bügel mittels Weichlöten verbunden wird. Auch bei diesem Ausführungsbeispiel können die übrigen Kontaktflächen mittels Drahtbonden mit den entsprechenden Kontaktanschlussflächen verbunden sein.

Besonders vorteilhaft ist das Verfahren zur Herstellung von Leistungshalbleiterbauteilen, bei denen mindestens eine der Kontaktflächen mit der entsprechenden Kontaktanschlussfläche durch einen Bonddraht verbunden wird, insbesondere, wenn die mit der entsprechenden Kontaktanschlussfläche durch einen Bonddraht verbundene Kontaktfläche der Steuerelektrodenkontakt ist. In diesem Fall ist die als Bondpad zur Verfügung stehende Kontaktanschlussfläche besonders klein, so dass auch kleinste Spritzer einer Lotpaste die Zuverlässigkeit der Bondverbindung stark beeinträchtigen können.

Als fluoreszierende Markierungssubstanz sind beispielsweise Substanzen mit Emissionslinien im UV-Bereich geeignet. Insbesondere sind Diketopyrrolopyrrol-, Perylen- und Rhodamin-Verbindungen geeignete Markierungssubstanzen. Diese Verbindungen haben den Vorteil, dass sie eine ausreichend starke Fluoreszenz im UV-Bereich zeigen, so dass auch geringe Lotpastenrückstände detektiert werden können, und außerdem ausreichend beständig gegen die chemischen Substanzen in der Lotpaste und gegen hohe Temperaturen bis über 400°C sind.

Vorteilhafterweise wird die Markierungssubstanz der Lotpaste in einer Konzentration c mit c ≤ 0,1 Massenprozent zugesetzt.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung hat den Vorteil, dass Leistungshalbleiterbauteile, bei denen durch Lotpastenrückstände insbesondere auf dem Bondpad Zuverlässigkeitsprobleme auftreten können, einfach erkannt und aussortiert werden können. Auch Lotpastenrückstände auf dem Halbleiterchip, die zu Korrosion führen können, und auf Grenzflächen zu einer Kunststoffgehäusemasse, die Haftungsprobleme und Delamination des Gehäuses zur Folge haben können, werden erkannt. Die Prüfung der Halbleiterbauteile auf Lotpastenrückstände kann nach einem Standardreinigungsprozess durchgeführt werden und garantiert, dass nur rückstandsfreie Bauteile in der weiteren Produktion verwendet werden.

Ausführungsbeispiele der Erfindung werden im folgenden anhand der beigefügten Figuren näher erläutert.

1 zeigt die Strukturformel einer als Markierungsmittel geeigneten Diketopyrrolopyrrol-Verbindungen;

2a2g zeigen die Strukturformeln von als Markierungsmittel geeigneten Perylen-Verbindungen und

3a3x zeigen die Strukturformeln von als Markierungsmittel geeigneten Rhodamin-Verbindungen.

Gleiche Teile sind in allen Figuren mit den gleichen Bezugszeichen versehen.

Die Diketopyrrolopyrrol-Verbindungen gemäß 1 können neutral sein oder auch einfach- oder mehrfach positiv oder negativ geladen, ebenso die Perylen- und die Rhodamin-Verbindungen in den folgenden Figuren. R1, R2, R3, R4 sind unabhängig voneinander und aus der folgenden Gruppe ausgewählt, wobei R eines oder mehrere Elemente aus der Gruppe R1, R2, R3, R4 umfasst: Wasserstoff, Fluor, Chlor, Brom, Iod, COOH, COOR, NO2, C1-C30-Alkyl ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C1-C30-Alkyl, C3-C8-Cycloalkyl, ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C3-C8-Cycloalkyl, OR, NR2, SR, SO2R, SOR, C6-C30-Aryl, ein- oder mehrfach mit R substituierte C6-C30-Aryl, tertiäre Amino-Gruppen, PO4 2–, PO3 2–, SO4 2–, SO3 , C1-C30-Alkoxy, ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alkoxy, C1-C30-Alkylamino, ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alyklamino, ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Homocyclen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können, ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Heterocyclen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können.

2a zeigt die Strukturformel einer als Markierungssubstanz geeigneten Perylenverbindung, wobei R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, X, Y unabhängig voneinander sind und folgendes gilt:

R umfasst eines oder mehrere der Elemente aus R1–R10, X, Y sind aus der Gruppe C, N, O, S, P ausgewählt.

R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10 sind aus der folgenden Gruppe ausgewählt: H; F; Cl; Br; I; COOH; COOR; NO2; C1-C30-Alkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C1-C30-Alkyl; C3-C8-Cycloalkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C3-C8-Cycloalkyl; OR; NR2; SR; SO2R; SOR; C6-C30-Aryl; ein- oder mehrfach mit R substituierte C6-C30-Aryl; tertiäre Amino-Gruppen; PO4 2–; PO3 2–; SO4 2–; SO3 ; C1-C30-Alkoxy; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alkoxy; C1-C30-Alkylamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alyklamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Homocyclen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Heterocyclen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können.

2b zeigt die Strukturformel einer weiteren als Markierungssubstanz geeigneten Perylenverbindung, wobei R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, R11, R12, R13, R14, X, Y unabhängig voneinander sind und folgendes gilt:

R umfasst eines oder mehrere der Elemente aus R1–R14 und X, Y sind aus der Gruppe C, N, O, S, P ausgewählt.

R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, R11, R12, R13, R14 sind aus der folgenden Gruppe ausgewählt: H; F; Cl; Br; I; COOH; COOR; NO2; C1-C30-Alkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C1-C30-Alkyl; C3-C8-Cycloalkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C3-C8-Cycloalkyl; OR; NR2; SR; SO2R; SOR; C6-C30-Aryl; ein- oder mehrfach mit R substituierte C6-C30-Aryl; tertiäre Amino-Gruppen; PO4 2–; PO3 2–; SO4 2–; SO3 ; C1-C30-Alkoxy; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alkoxy; C1-C30-Alkylamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alyklamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Homocyclen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Heterocyclen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können.

2c zeigt die Strukturformel einer weiteren als Markierungssubstanz geeigneten Perylenverbindung, wobei R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, R11, R12, R13, R14, R15, R16, R17, R18, X, Y unabhängig voneinander sind und folgendes gilt:

R umfasst eines oder mehrere der Elemente aus R1–R18 und X, Y sind aus der Gruppe C, N, O, S, P ausgewählt.

R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, R11, R12, R13, R14, R15, R16, R17, R18 sind aus der folgenden Gruppe ausgewählt: H; F; Cl; Br; I; COOH; COOR; NO2; C1-C30-Alkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C1-C30-Alkyl; C3-C8-Cycloalkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C3-C8-Cycloalkyl; OR; NR2; SR; SO2R; SOR; C6-C30-Aryl; ein- oder mehrfach mit R substituierte C6-C30-Aryl; tertiäre Amino-Gruppen; PO4 2–; PO3 2–; SO4 2–; SO3 ; C1-C30-Alkoxy; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alkoxy; C1-C30-Alkylamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alyklamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Homocyclen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Heterocyclen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können.

2d zeigt die Strukturformel einer weiteren als Markierungssubstanz geeigneten Perylenverbindung, wobei R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, Y, Z unabhängig voneinander sind und folgendes gilt:

R umfasst eines oder mehrere der Elemente aus R1–R9, Z, Y sind aus der Gruppe C, N, O, S, P ausgewählt und Z kann als Substituent R haben.

R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9 sind aus der folgenden Gruppe ausgewählt: H; F; Cl; Br; I; COOH; COOR; NO2; C1-C30-Alkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C1-C30-Alkyl; C3-C8-Cycloalkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C3-C8-Cycloalkyl; OR; NR2; SR; SO2R; SOR; C6-C30-Aryl; ein- oder mehrfach mit R substituierte C6-C30-Aryl; tertiäre Amino-Gruppen; PO4 2–; PO3 2–; SO4 2–; SO3 ; C1-C30-Alkoxy; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alkoxy; C1-C30-Alkylamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alyklamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Homocyclen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Heterocyclen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können.

2e zeigt die Strukturformel einer weiteren als Markierungssubstanz geeigneten Perylenverbindung, wobei R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, Y unabhängig voneinander sind und folgendes gilt:

R umfasst eines oder mehrere der Elemente aus R1–R11 und Y ist aus der Gruppe C, N, O, S, P ausgewählt.

R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, R11 sind aus der folgenden Gruppe ausgewählt: H; F; Cl; Br; I; COOH; COOR; NO2 ; C1-C30-Alkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C1-C30-Alkyl; C3-C8-Cycloalkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C3-C8-Cycloalkyl; OR; NR2; SR; SO2R; SOR; C6-C30-Aryl; ein- oder mehrfach mit R substituierte C6-C30-Aryl; tertiäre Amino-Gruppen; PO4 2–; PO3 2–; SO4 2–; SO3 ; C1-C30-Alkoxy; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alkoxy; C1-C30-Alkylamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alyklamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Homocyclen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Heterocyclen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können.

2f zeigt die Strukturformel einer weiteren als Markierungssubstanz geeigneten Perylenverbindung, wobei R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, Y, X unabhängig voneinander sind und folgendes gilt:

R umfasst eines oder mehrere der Elemente aus R1–R10 und Y, X sind aus der Gruppe C, N, O, S, P ausgewählt.

R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10 sind aus der folgenden Gruppe ausgewählt: H; F; Cl; Br; I; COOH; COOR; NO2; C1-C30-Alkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C1-C30-Alkyl; C3-C8-Cycloalkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C3-C8-Cycloalkyl; OR; NR2; SR; SO2R; SOR; C6-C30-Aryl; ein- oder mehrfach mit R substituierte C6-C30-Aryl; tertiäre Amino-Gruppen; PO4 2–; PO3 2–; SO4 2–; SO3 ; C1-C30-Alkoxy; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alkoxy; C1-C30-Alkylamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alyklamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Homocyclen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Heterocyclen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können.

2g zeigt die Strukturformel einer weiteren als Markierungssubstanz geeigneten Perylenverbindung, wobei R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, Y, X, Z unabhängig voneinander sind und folgendes gilt:

R umfasst eines oder mehrere der Elemente aus R1–R9 und X, Y, Z sind aus der Gruppe C, N, O, S, P ausgewählt.

R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9 sind aus der folgenden Gruppe ausgewählt: H; F; Cl; Br; I; COOH; COOR; NO2; C1-C30-Alkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C1-C30-Alkyl; C3-C8-Cycloalkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C3-C8-Cycloalkyl; OR; NR2; SR; SO2R; SOR; C6-C30-Aryl; ein- oder mehrfach mit R substituierte C6-C30-Aryl; tertiäre Amino-Gruppen; PO4 2–; PO3 2–; SO4 2–; SO3 ; C1-C30-Alkoxy; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alkoxy; C1-C30-Alkylamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alyklamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Homocyclen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Heterocyclen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können.

3a zeigt die Strukturformel einer als Markierungssubstanz geeigneten Rhodaminverbindung, wobei R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, R11, R12, R13, R14, R15, X, Y, Z unabhängig voneinander sind und folgendes gilt:

R umfasst eines oder mehrere der Elemente aus R1–R15 und X, Y, Z sind aus der Gruppe C, O, N, S, P ausgewählt.

R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, R11, R12, R13, R14, R15 sind aus der folgenden Gruppe ausgewählt: H; F; Cl; Br; I; COOH; COOR; NO2; C1-C30-Alkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C1-C30-Alkyl; C3-C8-Cycloalkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C3-C8-Cycloalkyl; OR; NR2; SR; SO2R; SOR; C6-C30-Aryl; ein- oder mehrfach mit R substituierte C6-C30-Aryl; tertiäre Amino-Gruppen; PO4 2–; PO3 2–; SO4 2–; SO3 ; C1-C30-Alkoxy; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alkoxy; C1-C30-Alkylamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alyklamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Homocyclen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Heterocyclen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können.

3b zeigt die Strukturformel einer weiteren als Markierungssubstanz geeigneten Rhodaminverbindung, wobei R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, R11, R12, R13, R14, R15, X, Y, Z unabhängig voneinander sind und folgendes gilt:

R umfasst eines oder mehrere der Elemente aus R1–R15 und X, Y, Z sind aus der Gruppe C, O, N, S, P ausgewählt.

R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, R11, R12, R13, R14, R15 sind aus der folgenden Gruppe ausgewählt: H; F; Cl; Br; I; COOH; COOR; NO2; C1-C30-Alkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C1-C30-Alkyl; C3-C8-Cycloalkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C3-C8-Cycloalkyl; OR; NR2; SR; SO2R; SOR; C6-C30-Aryl; ein- oder mehrfach mit R substituierte C6-C30-Aryl; tertiäre Amino-Gruppen; PO4 2–; PO3 2–; SO4 2–; SO3 ; C1-C30-Alkoxy; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alkoxy; C1-C30-Alkylamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alyklamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Homocyclen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Heterocyclen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können.

3c zeigt die Strukturformel einer weiteren als Markierungssubstanz geeigneten Rhodaminverbindung, wobei R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, R11, R12, R13, R14, R15, R16, R17, R18, R19, R20, R21, R22, R23, X, Y, Z unabhängig voneinander sind und folgendes gilt:

R umfasst eines oder mehrere der Elemente aus R1–R23 und X, Y, Z sind aus der Gruppe C, O, N, S, P ausgewählt.

R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, R11, R12, R13, R14, R15, R16, R17, R18, R19, R20, R21, R22, R23 sind aus der folgenden Gruppe ausgewählt: H; F; Cl; Br; I; COOH; COOR; NO2; C1-C30-Alkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C1-C30-Alkyl; C3-C8-Cycloalkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C3-C8-Cycloalkyl; OR; NR2; SR; SO2R; SOR; C6-C30-Aryl; ein- oder mehrfach mit R substituierte C6-C30-Aryl; tertiäre Amino-Gruppen; PO4 2–; PO3 2–; SO4 2–; SO3 ; C1-C30-Alkoxy; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alkoxy; C1-C30-Alkylamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alyklamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Homozyklen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Heterozyklen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können. Zyklen, die Y und Z enthalten, können unabhängig voneinander gesättigt oder ungesättigt sein.

3d zeigt die Strukturformel einer weiteren als Markierungssubstanz geeigneten Rhodaminverbindung, wobei R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, R11, X, Y, Z unabhängig voneinander sind und folgendes gilt:

R umfasst eines oder mehrere der Elemente aus R1–R11 und X, Y, Z sind aus der Gruppe = C, O, N, S, P ausgewählt.

R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, R11 sind aus der folgenden Gruppe ausgewählt: H; F; Cl; Br; I; COOH; COOR; NO2; C1-C30-Alkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C1-C30-Alkyl; C3-C8-Cycloalkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C3-C8-Cycloalkyl; OR; NR2; SR; SO2R; SOR; C6-C30-Aryl; ein- oder mehrfach mit R substituierte C6-C30-Aryl; tertiäre Amino-Gruppen; PO4 2–; PO3 2–; SO4 2–; SO3 ; C1-C30-Alkoxy; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alkoxy; C1-C30-Alkylamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alyklamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Homozyklen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Heterozyklen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können.

Zyklen, die Y und Z enthalten, können unabhängig voneinander gesättigt oder ungesättigt sein. Zyklus A und Zyklus B können unabhängig voneinander gesättigt oder ungesättigt sein und mit den jeweiligen Resten ein- oder mehrfach substituiert sein. Zyklus A und Zyklus B können unabhängig voneinander Zyklen mit 5 oder 6 Ring-Atomen sein. Zyklus C und Zyklus D können unabhängig voneinander ein- oder mehrfach substituiert sein.

3e zeigt die Strukturformel einer weiteren als Markierungssubstanz geeigneten Rhodaminverbindung, wobei R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, R11, X, Y, Z unabhängig voneinander sind und folgendes gilt:

R umfasst eines oder mehrere der Elemente aus R1–R11 und X, Y, Z sind aus der Gruppe C, O, N, S, P ausgewählt.

R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, R11 sind aus der folgenden Gruppe ausgewählt: H; F; Cl; Br; I; COOH; COOR; NO2; C1-C30-Alkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C1-C30-Alkyl; C3-C8-Cycloalkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C3-C8-Cycloalkyl; OR; NR2; SR; SO2R; SOR; C6-C30-Aryl; ein- oder mehrfach mit R substituierte C6-C30-Aryl; tertiäre Amino-Gruppen; PO4 2–; PO3 2–; SO4 2–; SO3 ; C1-C30-Alkoxy; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alkoxy; C1-C30-Alkylamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alyklamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Homozyklen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Heterozyklen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können.

Zyklen, die Y und Z enthalten, können unabhängig voneinander gesättigt oder ungesättigt sein. Zyklus A und Zyklus B können unabhängig voneinander gesättigt oder ungesättigt sein und mit den jeweiligen Resten ein- oder mehrfach substituiert sein können. Zyklus A und Zyklus B können unabhängig voneinander Zyklen mit 5 oder 6 Ring-Atomen sein. Zyklus C und Zyklus D können unabhängig voneinander ein- oder mehrfach substituiert sein.

3f zeigt die Strukturformel einer weiteren als Markierungssubstanz geeigneten Rhodaminverbindung, wobei R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, R11, R12, R13, X, Y, Z unabhängig voneinander sind und folgendes gilt:

R umfasst eines oder mehrere der Elemente aus R1–R13 und X, Y, Z sind aus der Gruppe C, O, N, S, P ausgewählt.

R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, R11, R12, R13 sind aus der folgenden Gruppe ausgewählt: H; F; Cl; Br; I; COOH; COOR; NO2; C1-C30-Alkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C1-C30-Alkyl; C3-C8-Cycloalkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C3-C8-Cycloalkyl; OR; NR2; SR; SO2R; SOR; C6-C30-Aryl; ein- oder mehrfach mit R substituierte C6-C30-Aryl; tertiäre Amino-Gruppen; PO4 2–; PO3 2–; SO4 2–; SO3 ; C1-C30-Alkoxy; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alkoxy; C1-C30-Alkylamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alyklamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Homozyklen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Heterozyklen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können.

Zyklen, die Y und Z enthalten, können unabhängig voneinander gesättigt oder ungesättigt sein. Zyklus A und Zyklus B können unabhängig voneinander gesättigt oder ungesättigt sein und mit den jeweiligen Resten ein- oder mehrfach substituiert sein. Zyklus A und Zyklus B können unabhängig voneinander Zyklen mit 5 oder 6 Ring-Atomen sein.

3g zeigt die Strukturformel einer weiteren als Markierungssubstanz geeigneten Rhodaminverbindung, wobei R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, R11, R12, R13, X, Y, Z unabhängig voneinander sind und folgendes gilt:

R umfasst eines oder mehrere der Elemente aus R1–R13 und X, Y, Z sind aus der Gruppe C, O, N, S, P ausgewählt.

R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, R11, R12, R13 sind aus der folgenden Gruppe ausgewählt: H; F; Cl; Br; I; COOH; COOR; NO2; C1-C30-Alkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C1-C30-Alkyl; C3-C8-Cycloalkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C3-C8-Cycloalkyl; OR; NR2; SR; SO2R; SOR; C6-C30-Aryl; ein- oder mehrfach mit R substituierte C6-C30-Aryl; tertiäre Amino-Gruppen; PO4 2–; PO3 2–; SO4 2–; SO3 ; C1-C30-Alkoxy; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alkoxy; C1-C30-Alkylamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alyklamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Homozyklen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Heterozyklen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können.

Zyklen, die Y und Z enthalten, können unabhängig voneinander gesättigt oder ungesättigt sein. Zyklus A und Zyklus B können unabhängig voneinander gesättigt oder ungesättigt sein und mit den jeweiligen Resten ein- oder mehrfach substituiert sein. Zyklus A und Zyklus B können unabhängig voneinander Zyklen mit 5 oder 6 Ring-Atomen sein.

3h zeigt die Strukturformel einer weiteren als Markierungssubstanz geeigneten Rhodaminverbindung, wobei R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, R11, R12, R13, X, Y, Z unabhängig voneinander sind und folgendes gilt:

R umfasst eines oder mehrere der Elemente aus R1–R13 und X, Y, Z sind aus der Gruppe C, O, N, S, P ausgewählt.

R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, R11, R12, R13 sind aus der folgenden Gruppe ausgewählt: H; F; Cl; Br; I; COOH; COOR; NO2; C1-C30-Alkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C1-C30-Alkyl; C3-C8-Cycloalkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C3-C8-Cycloalkyl; OR; NR2; SR; SO2R; SOR; C6-C30-Aryl; ein- oder mehrfach mit R substituierte C6-C30-Aryl; tertiäre Amino-Gruppen; PO4 2–; PO3 2–; SO4 2–; SO3 ; C1-C30-Alkoxy; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alkoxy; C1-C30-Alkylamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alyklamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Homozyklen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Heterozyklen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können.

Zyklen, die Y und Z enthalten, können unabhängig voneinander gesättigt oder ungesättigt sein. Zyklus A und Zyklus B können unabhängig voneinander gesättigt oder ungesättigt sein und mit den jeweiligen Resten ein- oder mehrfach substituiert sein. Zyklus A und Zyklus B können unabhängig voneinander Zyklen mit 5 oder 6 Ring-Atomen sein.

3i zeigt die Strukturformel einer weiteren als Markierungssubstanz geeigneten Rhodaminverbindung, wobei R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, R11, R12, R13, X, Y, Z unabhängig voneinander sind und folgendes gilt:

R umfasst eines oder mehrere der Elemente aus R1–R13 und X, Y, Z sind aus der Gruppe C, O, N, S, P ausgewählt.

R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, R11, R12, R13 sind aus der folgenden Gruppe ausgewählt: H; F; Cl; Br; I; COOH; COOR; NO2; C1-C30-Alkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C1-C30-Alkyl; C3-C8-Cycloalkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C3-C8-Cycloalkyl; OR; NR2; SR; SO2R; SOR; C6-C30-Aryl; ein- oder mehrfach mit R substituierte C6-C30-Aryl; tertiäre Amino-Gruppen; PO4 2–; PO3 2–; SO4 2–; SO3 ; C1-C30-Alkoxy; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alkoxy; C1-C30-Alkylamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alyklamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Homozyklen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Heterozyklen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können.

Zyklen, die Y und Z enthalten, können unabhängig voneinander gesättigt oder ungesättigt sein. Zyklus A und Zyklus B können unabhängig voneinander gesättigt oder ungesättigt sein und mit den jeweiligen Resten ein- oder mehrfach substituiert sein. Zyklus A und Zyklus B können unabhängig voneinander Zyklen mit 5 oder 6 Ring-Atomen sein.

3j zeigt die Strukturformel einer weiteren als Markierungssubstanz geeigneten Rhodaminverbindung, wobei R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, R11, R12, R13, X, Y, Z unabhängig voneinander sind und folgendes gilt:

R umfasst eines oder mehrere der Elemente aus R1–R13 und X, Y, Z sind aus der Gruppe = C, O, N, S, P ausgewählt.

R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, R11, R12, R13 sind aus der folgenden Gruppe ausgewählt: H; F; Cl; Br; I; COOH; COOR; NO2; C1-C30-Alkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C1-C30-Alkyl; C3-C8-Cycloalkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C3-C8-Cycloalkyl; OR; NR2; SR; SO2R; SOR; C6-C30-Aryl; ein- oder mehrfach mit R substituierte C6-C30-Aryl; tertiäre Amino-Gruppen; PO4 2–; PO3 2–; SO4 2–; SO3 ; C1-C30-Alkoxy; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alkoxy; C1-C30-Alkylamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alyklamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Homozyklen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Heterozyklen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können;

Zyklen, die Y und Z enthalten, können unabhängig voneinander gesättigt oder ungesättigt sein. Zyklus A und Zyklus B können unabhängig voneinander gesättigt oder ungesättigt sein und mit den jeweiligen Resten ein- oder mehrfach substituiert sein. Zyklus A und Zyklus B können unabhängig voneinander Zyklen mit 5 oder 6 Ring-Atomen sein.

3k zeigt die Strukturformel einer weiteren als Markierungssubstanz geeigneten Rhodaminverbindung, wobei R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, R11, R12, R13, X, Y, Z unabhängig voneinander sind und folgendes gilt:

R umfasst eines oder mehrere der Elemente aus R1–R13 und X, Y, Z sind aus der Gruppe C, O, N, S, P ausgewählt.

R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, R11, R12, R13 sind aus der folgenden Gruppe ausgewählt: H; F; Cl; Br; I; COOH; COOR; NO2; C1-C30-Alkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C1-C30-Alkyl; C3-C8-Cycloalkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C3-C8-Cycloalkyl; OR; NR2; SR; SO2R; SOR; C6-C30-Aryl; ein- oder mehrfach mit R substituierte C6-C30-Aryl; tertiäre Amino-Gruppen; PO4 2–; PO3 2–; SO4 2–; SO3 ; C1-C30-Alkoxy; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alkoxy; C1-C30-Alkylamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alyklamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Homocyclen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Heterocyclen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können.

Zyklen, die Y und Z enthalten, können unabhängig voneinander gesättigt oder ungesättigt sein. Zyklus A und Zyklus B können unabhängig voneinander gesättigt oder ungesättigt sein und mit den jeweiligen Resten ein- oder mehrfach substituiert sein. Zyklus A und Zyklus B können unabhängig voneinander Zyklen mit 5 oder 6 Ring-Atomen sein.

3l zeigt die Strukturformel einer weiteren als Markierungssubstanz geeigneten Rhodaminverbindung, wobei R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, R11, R12, R13, R14, R15, X, Y, Z unabhängig voneinander sind und folgendes gilt:

R umfasst eines oder mehrere der Elemente aus R1–R15 und X, Y, Z sind aus der Gruppe C, O, N, S, P ausgewählt.

R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, R11, R12, R13, R14, R15 sind aus der folgenden Gruppe ausgewählt: H; F; Cl; Br; I; COOH; COOR; NO2; C1-C30-Alkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C1-C30-Alkyl; C3-C8-Cycloalkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C3-C8-Cycloalkyl; OR; NR2; SR; SO2R; SOR; C6-C30-Aryl; ein- oder mehrfach mit R substituierte C6-C30-Aryl; tertiäre Amino-Gruppen; PO4 2–; PO3 2–; SO4 2–; SO3 ; C1-C30-Alkoxy; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alkoxy; C1-C30-Alkylamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alyklamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Homozyklen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Heterozyklen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können.

3m zeigt die Strukturformel einer weiteren als Markierungssubstanz geeigneten Rhodaminverbindung, wobei R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, R11, R12, R13, R14, R15, X, Y, Z unabhängig voneinander sind und folgendes gilt:

R umfasst eines oder mehrere der Elemente aus R1–R15 und X, Y, Z sind aus der Gruppe C, O, N, S, P ausgewählt.

R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, R11, R12, R13, R14, R15 sind aus der folgenden Gruppe ausgewählt: H; F; Cl; Br; I; COOH; COOR; NO2; C1-C30-Alkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C1-C30-Alkyl; C3-C8-Cycloalkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C3-C8-Cycloalkyl; OR; NR2; SR; SO2R; SOR; C6-C30-Aryl; ein- oder mehrfach mit R substituierte C6-C30-Aryl; tertiäre Amino-Gruppen; PO4 2–; PO3 2–; SO4 2–; SO3 ; C1-C30-Alkoxy; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alkoxy; C1-C30-Alkylamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alyklamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Homozyklen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Heterozyklen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können.

3n zeigt die Strukturformel einer weiteren als Markierungssubstanz geeigneten Rhodaminverbindung, wobei R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, R11, R12, R13, R14, R15, R16, R17, R18, R19, R20, R21, R22, R23, X, Y, Z unabhängig voneinander sind und folgendes gilt:

R umfasst eines oder mehrere der Elemente aus R1–R23 und X, Y, Z sind aus der Gruppe C, O, N, S, P ausgewählt.

R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, R11, R12, R13, R14, R15, R16, R17, R18, R19, R20, R21, R22, R23 sind aus der folgenden Gruppe ausgewählt: H; F; Cl; Br; I; COOH; COOR; NO2; C1-C30-Alkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C1-C30-Alkyl; C3-C8-Cycloalkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C3-C8-Cycloalkyl; OR; NR2; SR; SO2R; SOR; C6-C30-Aryl; ein- oder mehrfach mit R substituierte C6-C30-Aryl; tertiäre Amino-Gruppen; PO4 2–; PO3 2–; SO4 2–; SO3 ; C1-C30-Alkoxy; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alkoxy; C1-C30-Alkylamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alyklamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Homozyklen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Heterozyklen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können.

Zyklen, die Y und Z enthalten, können unabhängig voneinander gesättigt oder ungesättigt sein.

3o zeigt die Strukturformel einer weiteren als Markierungssubstanz geeigneten Rhodaminverbindung, wobei R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, R11, R12, R13, R14, R15, R16, R17, R18, R19, R20, R21, R22, R23, X, Y, Z unabhängig voneinander sind und folgendes gilt:

R umfasst eines oder mehrere der Elemente aus R1–R23 und X, Y, Z sind aus der Gruppe C, O, N, S, P ausgewählt.

R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, R11, R12, R13, R14, R15, R16, R17, R18, R19, R20, R21, R22, R23 sind aus der folgenden Gruppe ausgewählt: H; F; Cl; Br; I; COOH; COOR; NO2; C1-C30-Alkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C1-C30-Alkyl; C3-C8-Cycloalkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C3-C8-Cycloalkyl; OR; NR2; SR; SO2R; SOR; C6-C30-Aryl; ein- oder mehrfach mit R substituierte C6-C30-Aryl; tertiäre Amino-Gruppen; PO4 2–; PO3 2–; SO4 2–; SO3 ; C1-C30-Alkoxy; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alkoxy; C1-C30-Alkylamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alyklamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Homozyklen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Heterozyklen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können.

Zyklen, die Y und Z enthalten, können unabhängig voneinander gesättigt oder ungesättigt sein.

3p zeigt die Strukturformel einer weiteren als Markierungssubstanz geeigneten Rhodaminverbindung, wobei R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, R11, R12, R13, R14, R15, R16, R17, R18, R19, R20, R21, R22, R23, X, Y, Z unabhängig voneinander sind und folgendes gilt:

R umfasst eines oder mehrere der Elemente aus R1–R23 und X, Y, Z sind aus der Gruppe C, O, N, S, P ausgewählt.

R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, R11, R12, R13, R14, R15, R16, R17, R18, R19, R20, R21, R22, R23 sind aus der folgenden Gruppe ausgewählt: H; F; Cl; Br; I; COOH; COOR; NO2; C1-C30-Alkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C1-C30-Alkyl; C3-C8-Cycloalkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C3-C8-Cycloalkyl; OR; NR2; SR; SO2R; SOR; C6-C30-Aryl; ein- oder mehrfach mit R substituierte C6-C30-Aryl; tertiäre Amino-Gruppen; PO4 2–; PO3 2–; SO4 2–; SO3 ; C1-C30-Alkoxy; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alkoxy; C1-C30-Alkylamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alyklamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Homozyklen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Heterozyklen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können;

Zyklen, die Y und Z enthalten, können unabhängig voneinander gesättigt oder ungesättigt sein.

3q zeigt die Strukturformel einer weiteren als Markierungssubstanz geeigneten Rhodaminverbindung, wobei R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, R11, X, Y, Z unabhängig voneinander sind und folgendes gilt:

R umfasst eines oder mehrere der Elemente aus R1–R11 und X, Y, Z sind aus der Gruppe C, O, N, S, P ausgewählt.

R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, R11 sind aus der folgenden Gruppe ausgewählt: H; F; Cl; Br; I; COOH; COOR; NO2; C1-C30-Alkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C1-C30-Alkyl; C3-C8-Cycloalkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C3-C8-Cycloalkyl; OR; NR2; SR; SO2R; SOR; C6-C30-Aryl; ein- oder mehrfach mit R substituierte C6-C30-Aryl; tertiäre Amino-Gruppen; PO4 2–; PO3 2–; SO4 2–; SO3 ; C1-C30-Alkoxy; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alkoxy; C1-C30-Alkylamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alyklamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Homozyklen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Heterozyklen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können.

Zyklen, die Y und Z enthalten, können unabhängig voneinander gesättigt oder ungesättigt sein. Zyklus A und Zyklus B können unabhängig voneinander gesättigt oder ungesättigt sein und mit den jeweiligen Resten ein- oder mehrfach substituiert sein. Zyklus A und Zyklus B können unabhängig voneinander Zyklen mit 5 oder 6 Ring-Atomen sein. Zyklus C und Zyklus D können unabhängig voneinander ein- oder mehrfach substituiert sein.

3r zeigt die Strukturformel einer weiteren als Markierungssubstanz geeigneten Rhodaminverbindung, wobei R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, R11, X, Y, Z unabhängig voneinander sind und folgendes gilt:

R umfasst eines oder mehrere der Elemente aus R1–R11 und X, Y, Z sind aus der Gruppe C, O, N, S, P ausgewählt.

R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, R11 sind aus der folgenden Gruppe ausgewählt: H; F; Cl; Br; I; COOH; COOR; NO2; C1-C30-Alkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C1-C30-Alkyl; C3-C8-Cycloalkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C3-C8-Cycloalkyl; OR; NR2; SR; SO2R; SOR; C6-C30-Aryl; ein- oder mehrfach mit R substituierte C6-C30-Aryl; tertiäre Amino-Gruppen; PO4 2–; PO3 2–; SO4 2–; SO3 ; C1-C30-Alkoxy; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alkoxy; C1-C30-Alkylamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alyklamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Homozyklen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Heterozyklen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C,N, O, S, P sein können.

Zyklen, die Y und Z enthalten, können unabhängig voneinander gesättigt oder ungesättigt sein. Zyklus A und Zyklus B können unabhängig voneinander gesättigt oder ungesättigt sein und mit den jeweiligen Resten ein- oder mehrfach substituiert sein. Zyklus A und Zyklus B können unabhängig voneinander Zyklen mit 5 oder 6 Ring-Atomen sein. Zyklus C und Zyklus D können unabhängig voneinander ein- oder mehrfach substituiert sein.

3s zeigt die Strukturformel einer weiteren als Markierungssubstanz geeigneten Rhodaminverbindung, wobei R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, R11, R12, R13, X, Y, Z unabhängig voneinander sind und folgendes gilt:

R umfasst eines oder mehrere der Elemente aus R1–R13 und X, Y, Z sind aus der Gruppe C, O, N, S, P ausgewählt.

R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, R11, R12, R13 sind aus der folgenden Gruppe ausgewählt: H; F; Cl; Br; I; COOH; COOR; NO2; C1-C30-Alkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C1-C30-Alkyl; C3-C8-Cycloalkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C3-C8-Cycloalkyl; OR; NR2; SR; SO2R; SOR; C6-C30-Aryl; ein- oder mehrfach mit R substituierte C6-C30-Aryl; tertiäre Amino-Gruppen; PO4 2–; PO3 2–; SO4 2–; SO3 ; C1-C30-Alkoxy; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alkoxy; C1-C30-Alkylamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alyklamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Homozyklen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Heterozyklen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können.

Zyklen, die Y und Z enthalten, können unabhängig voneinander gesättigt oder ungesättigt sein. Zyklus A und Zyklus B können unabhängig voneinander gesättigt oder ungesättigt sein und mit den jeweiligen Resten ein- oder mehrfach substituiert sein. Zyklus A und Zyklus B können unabhängig voneinander Zyklen mit 5 oder 6 Ring-Atomen sein.

3t zeigt die Strukturformel einer weiteren als Markierungssubstanz geeigneten Rhodaminverbindung, wobei R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, R11, R12, R13, X, Y, Z unabhängig voneinander sind und folgendes gilt:

R umfasst eines oder mehrere der Elemente aus R1–R13 und X, Y, Z sind aus der Gruppe C, O, N, S, P ausgewählt.

R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, R11, R12, R13 sind aus der folgenden Gruppe ausgewählt: H; F; Cl; Br; I; COOH; COOR; NO2; C1-C30-Alkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C1-C30-Alkyl; C3-C8-Cycloalkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C3-C8-Cycloalkyl; OR; NR2; SR; SO2R; SOR; C6-C30-Aryl; ein- oder mehrfach mit R substituierte C6-C30-Aryl; tertiäre Amino-Gruppen; PO4 2–; PO3 2–; SO4 2–; SO3 ; C1-C30-Alkoxy; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alkoxy; C1-C30-Alkylamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alyklamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Homozyklen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Heterozyklen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können.

Zyklen, die Y und Z enthalten, können unabhängig voneinander gesättigt oder ungesättigt sein. Zyklus A und Zyklus B können unabhängig voneinander gesättigt oder ungesättigt sein und mit den jeweiligen Resten ein- oder mehrfach substituiert sein. Zyklus A und Zyklus B können unabhängig voneinander Zyklen mit 5 oder 6 Ring-Atomen sein.

3u zeigt die Strukturformel einer weiteren als Markierungssubstanz geeigneten Rhodaminverbindung, wobei R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, R11, R12, R13, X, Y, Z unabhängig voneinander sind und folgendes gilt:

R umfasst eines oder mehrere der Elemente aus R1–R13 und X, Y, Z sind aus der Gruppe C, O, N, S, P ausgewählt.

R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, R11, R12, R13 sind aus der folgenden Gruppe ausgewählt: H; F; Cl; Br; I; COOH; COOR; NO2; C1-C30-Alkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C1-C30-Alkyl; C3-C8-Cycloalkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C3-C8-Cycloalkyl; OR; NR2; SR; SO2R; SOR; C6-C30-Aryl; ein- oder mehrfach mit R substituierte C6-C30-Aryl; tertiäre Amino-Gruppen; PO4 2–; PO3 2–; SO4 2–; SO3 ; C1-C30-Alkoxy; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alkoxy; C1-C30-Alkylamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alyklamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Homozyklen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Heterozyklen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können.

Zyklen, die Y und Z enthalten, können unabhängig voneinander gesättigt oder ungesättigt sein. Zyklus A und Zyklus B können unabhängig voneinander gesättigt oder ungesättigt sein und mit den jeweiligen Resten ein- oder mehrfach substituiert sein. Zyklus A und Zyklus B können unabhängig voneinander Zyklen mit 5 oder 6 Ring-Atomen sein.

3v zeigt die Strukturformel einer weiteren als Markierungssubstanz geeigneten Rhodaminverbindung, wobei R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, R11, R12, R13, X, Y, Z unabhängig voneinander sind und folgendes gilt:

R umfasst eines oder mehrere der Elemente aus R1–R13 und X, Y, Z sind aus der Gruppe C, O, N, S, P ausgewählt.

R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, R11, R12, R13 sind aus der folgenden Gruppe ausgewählt: H; F; Cl; Br; I; COOH; COOR; NO2; C1-C30-Alkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C1-C30-Alkyl; C3-C8-Cycloalkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C3-C8-Cycloalkyl; OR; NR2; SR; SO2R; SOR; C6-C30-Aryl; ein- oder mehrfach mit R substituierte C6-C30-Aryl; tertiäre Amino-Gruppen; PO4 2–; PO3 2–; SO4 2–; SO3 ; C1-C30-Alkoxy; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alkoxy; C1-C30-Alkylamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alyklamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Homozyklen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Heterozyklen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können.

Zyklen, die Y und Z enthalten, können unabhängig voneinander gesättigt oder ungesättigt sein. Zyklus A und Zyklus B können unabhängig voneinander gesättigt oder ungesättigt sein und mit den jeweiligen Resten ein- oder mehrfach substituiert sein. Zyklus A und Zyklus B können unabhängig voneinander Zyklen mit 5 oder 6 Ring-Atomen sein.

3w zeigt die Strukturformel einer weiteren als Markierungssubstanz geeigneten Rhodaminverbindung, wobei R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, R11, R12, R13, X, Y, Z unabhängig voneinander sind und folgendes gilt:

R umfasst eines oder mehrere der Elemente aus R1–R13 und X, Y, Z sind aus der Gruppe C, O, N, S, P ausgewählt.

R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, R11, R12, R13 sind aus der folgenden Gruppe ausgewählt: H; F; Cl; Br; I; COOH; COOR; NO2; C1-C30-Alkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C1-C30-Alkyl; C3-C8-Cycloalkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C3-C8-Cycloalkyl; OR; NR2; SR; SO2R; SOR; C6-C30-Aryl; ein- oder mehrfach mit R substituierte C6-C30-Aryl; tertiäre Amino-Gruppen; PO42–; PO3 2–; SO4 2–; SO3 ; C1-C30-Alkoxy; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alkoxy; C1-C30-Alkylamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alyklamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Homozyklen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Heterozyklen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können.

Zyklen, die Y und Z enthalten, können unabhängig voneinander gesättigt oder ungesättigt sein. Zyklus A und Zyklus B können unabhängig voneinander gesättigt oder ungesättigt sein und mit den jeweiligen Resten ein- oder mehrfach substituiert sein. Zyklus A und Zyklus B können unabhängig voneinander Zyklen mit 5 oder 6 Ring-Atomen sein.

3x zeigt die Strukturformel einer weiteren als Markierungssubstanz geeigneten Rhodaminverbindung, wobei R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, R11, R12, R13, X, Y, Z unabhängig voneinander sind und folgendes gilt:

R umfasst eines oder mehrere der Elemente aus R1–R13 und X, Y, Z sind aus der Gruppe C, O, N, S, P ausgewählt.

R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, R11, R12, R13 sind aus der folgenden Gruppe ausgewählt: H; F; Cl; Br; I; COOH; COOR; NO2; C1-C30-Alkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C1-C30-Alkyl; C3-C8-Cycloalkyl; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte C3-C8-Cycloalkyl; OR; NR2; SR; SO2R; SOR; C6-C30-Aryl; ein- oder mehrfach mit R substituierte C6-C30-Aryl; tertiäre Amino-Gruppen; PO4 2–; PO3 2–; SO4 2–; SO3 ; C1-C30-Alkoxy; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alkoxy; C1-C30-Alkylamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte C1-C30-Alyklamino; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Homozyklen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können; ein- oder mehrfach mit R substituierte gesättigte oder ungesättigte Heterozyklen mit 5 bis 8 Ring-Atomen, wobei die Ring-Atome unabhängig voneinander C, N, O, S, P sein können.

Zyklen, die Y und Z enthalten, können unabhängig voneinander gesättigt oder ungesättigt sein. Zyklus A und Zyklus B können unabhängig voneinander gesättigt oder ungesättigt sein und mit den jeweiligen Resten ein- oder mehrfach substituiert sein. Zyklus A und Zyklus B können unabhängig voneinander Zyklen mit 5 oder 6 Ring-Atomen sein.


Anspruch[de]
Verfahren zur Herstellung eines Leistungshalbleiterbauteils mit einem Leistungshalbleiterchip, das folgende Schritte aufweist:

– Bereitstellen eines Leistungshalbleiterchips mit mindestens einer ersten, einer zweiten und einer dritten Kontaktfläche, wobei die erste Kontaktfläche den Anodenkontakt, die zweite Kontaktfläche den Kathodenkontakt und die dritte Kontaktfläche einen Steuerelektrodenkontakt bereitstellt;

– Bereitstellen eines Substrats mit zur Verbindung mit den Kontaktflächen vorgesehenen Kontaktanschlussflächen;

– Aufbringen des Leistungshalbleiterchips auf das Substrat unter Verbinden von mindestens einer der drei Kontaktflächen mit der entsprechenden Kontaktanschlussfläche mittels Löten mit einer Lotpaste, die eine fluoreszierende Markierungssubstanz enthält;

– optische Inspektion des Leistungshalbleiterbauteils auf fluoreszierende Lotpastenrückstände.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die mit der entsprechenden Kontaktanschlussfläche mittels Löten verbundene Kontaktfläche der Anoden- oder der Kathodenkontakt ist. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Leistungshalbleiterbauteil ein MOSFET ist und die erste Kontaktfläche ein Sourcekontakt, die zweite Kontaktfläche ein Drainkontakt und die dritte Kontaktfläche ein Gatekontakt sind. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Leistungshalbleiterbauteil ein IGBT ist und die erste Kontaktfläche ein Emitterkontakt, die zweite Kontaktfläche ein Kollektorkontakt und die dritte Kontaktfläche ein Gatekontakt sind. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Leistungshalbleiterbauteil ein bipolarer Transistor ist und die erste Kontaktfläche ein Emitterkontakt, die zweite Kontaktfläche ein Kollektorkontakt und die dritte Kontaktfläche ein Basiskontakt sind. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Leistungshalbleiterbauteil ein vertikales Leistungshalbleiterbauteil ist, wobei der Leistungshalbleiterchip auf seiner Unterseite einen Kathodenkontakt aufweist, der durch Weichlöten mit der entsprechenden Kontaktanschlussfläche auf dem Substrat verbunden wird. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Leistungshalbleiterbauteil ein laterales Leistungshalbleiterbauteil ist, wobei die erste, die zweite und die dritte Kontaktfläche auf der Oberseite des Halbleiterchips angeordnet sind und wenigstens eine dieser Kontaktflächen mit der entsprechenden Kontaktanschlussfläche auf dem Substrat mittels Weichlöten verbunden wird. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine der Kontaktflächen mit der entsprechenden Kontaktanschlussfläche durch einen Bonddraht verbunden wird. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die mit der entsprechenden Kontaktanschlussfläche durch einen Bonddraht verbundene Kontaktfläche der Steuerelektrodenkontakt ist. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass als fluoreszierende Markierungssubstanz eine Diketopyrrolopyrrol-Verbindung verwendet wird. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass als fluoreszierende Markierungssubstanz eine Perylen-Verbindung verwendet wird. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass als fluoreszierende Markierungssubstanz eine Rhodamin-Verbindung verwendet wird. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die fluoreszierende Markierungssubstanz der Lotpaste in einer Konzentration c mit c ≤ 0,1 Massenprozent zugesetzt wird. Verwendung von Diketopyrrolopyrrol-Verbindungen als Markierungssubstanz in einem Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9. Verwendung von Perylen-Verbindungen als Markierungssubstanz in einem Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9. Verwendung von Rhodamin-Verbindungen als Markierungssubstanz in einem Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9.






IPC
A Täglicher Lebensbedarf
B Arbeitsverfahren; Transportieren
C Chemie; Hüttenwesen
D Textilien; Papier
E Bauwesen; Erdbohren; Bergbau
F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
G Physik
H Elektrotechnik

Anmelder
Datum

Patentrecherche

Patent Zeichnungen (PDF)

Copyright © 2008 Patent-De Alle Rechte vorbehalten. eMail: info@patent-de.com