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Dokumentenidentifikation DE69934842T2 18.10.2007
EP-Veröffentlichungsnummer 0000970468
Titel VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES MAGNETISCH DURCHLÄSSIGEN FILMES
Anmelder Koninklijke Philips Electronics N.V., Eindhoven, NL
Erfinder BLOEMEN, J., Pascal, NL-5656 AA Eindhoven, NL;
RUIGROK, J., Jacobus, NL-5656 AA Eindhoven, NL
Vertreter Volmer, G., Dipl.-Ing., Pat.-Anw., 52066 Aachen
DE-Aktenzeichen 69934842
Vertragsstaaten DE, FR, GB
Sprache des Dokument EN
EP-Anmeldetag 18.01.1999
EP-Aktenzeichen 999000953
WO-Anmeldetag 18.01.1999
PCT-Aktenzeichen PCT/IB99/00064
WO-Veröffentlichungsnummer 1999039336
WO-Veröffentlichungsdatum 05.08.1999
EP-Offenlegungsdatum 12.01.2000
EP date of grant 17.01.2007
Veröffentlichungstag im Patentblatt 18.10.2007
IPC-Hauptklasse G11B 5/85(2006.01)A, F, I, 20051017, B, H, EP
IPC-Nebenklasse H01F 41/14(2006.01)A, L, I, 20051017, B, H, EP   

Beschreibung[de]

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Erzeugung einer magnetisch durchlässigen Schicht auf einer Oberfläche durch Aufbringen eines magnetischen Materials, wobei in der Nähe der Oberfläche ein Magnetfeld vorhanden ist, welches eine Feldrichtung aufweist, die im Wesentlichen parallel zu der Oberfläche verläuft.

Ein Verfahren dieser Art ist aus JP-A 61-16174 bekannt. In dem bekannten Verfahren wird eine Spule verwendet, um ein Magnetfeld parallel zu einer Oberfläche eines Substrats zu erzeugen, welches in einer Zerstäubungsvorrichtung vorgesehen ist. Das erzeugte Magnetfeld weist eine feste Magnetachse auf. Ziel des bekannten Verfahrens ist es, eine homogene, dünne Magnetschicht auf dem Substrat auszubilden.

Um die Anforderungen, die zurzeit zur Verfügung stehenden Magnetaufzeichnungs- und/oder Wiedergabegeräten sowie Magnetmessgeräten auferlegt werden, zu erfüllen, wurde die Forschung und Entwicklung zum großen Teil auf weichmagnetische Dünnschichtmaterialien gerichtet, welche eine Anzahl gewünschter physikalischer Eigenschaften, die für die Leistung der Geräte entscheidend sind, vereinigen. Beispiele gewünschter Materialeigenschaften sind eine hohe, magnetische Durchlässigkeit, welche je nach den spezifischen Geräteanforderungen stark anisotrop oder isotrop sein kann, eine hohe Sättigungsmagnetisierung, eine Magnetostriktionskonstante, welche so gering wie möglich ist, ein hoher Widerstand gegen Korrosion und Abnutzung, eine geringe elektrische Leitfähigkeit bei hohen Betriebsfrequenzen, ein beträchtlicher, anisotroper Magnetowiderstandseffekt oder, alternativ, ein großer Riesen-Magnetowiderstands- oder Spin-Tunnel-Effekt im Fall von aus mehreren Schichten bestehenden Bauelementen. Bei der sehr bedeutenden Gruppe von Geräten, welche so ausgeführt sind, dass sie ein kleines Magnetfeld oder eine geringfügige Änderung des Magnetfelds ermitteln, sind ,High-Films' mit einer hohen, magnetischen Durchlässigkeit erforderlich und unentbehrlich.

Es wurden mehrere verschiedene Lösungswege beschritten, um Schichten mit einem Material hoher magnetischer Durchlässigkeit vorzusehen. Es zeigte sich, dass der daraus resultierende Zustand, den diese Lösungswege gemeinsam haben, ein solcher ist, in welchem die magnetokristalline Anisotropie eine unwesentliche Rolle bei dem magnetischen Verhalten spielt, die Magnetostriktionskonstante, mit dem Zweck, zu verhindern, dass magnetostriktive Anisotropiebeiträge aktiv werden, nahe Null ist, und eine uniaxiale, magnetische Anisotropie entweder während oder nach der Herstellung durch ein Magnetfeld induziert werden kann.

Die Größe der uniaxialen Anisotropie wird weitgehend durch die Materialzusammensetzung und die Verfahrensschritte, wie z.B. eine Ausheilungsbehandlung, bestimmt. Die Wahl der Materialzusammensetzung und/oder Ausheilungsbehandlung ist nicht frei, sondern ist vielmehr auf Grund anderer Anforderungen an Materialeigenschaften und, wie oben erwähnt, auf Grund begrenzter Kristallisation bei amorphen Materialien oder eines begrenzten Wachstums von vorhandenen Kristallen bei nanokristallinem Fe beschränkt.

Der Erfindung liegt als Aufgabe zugrunde, ein Verfahren vorzusehen, um eine magnetisch durchlässige Schicht durch Aufbringen eines weichmagnetischen Materials zu erzeugen, wonach die Durchlässigkeit des Materials während der Abscheidung eingestellt werden kann.

Das Verfahren gemäß der vorliegenden Erfindung ist durch Verfahrensschritte gekennzeichnet, wonach die magnetisch durchlässige Schicht aufgebaut wird, indem eine magnetisch durchlässige Schicht durch Aufbringen eines ferromagnetischen Materials bis zu einer Dicke, die maximal im Wesentlichen 12 &pgr;Lex entspricht, wobei

entspricht, ausgebildet wird, wobei A die Austauschkonstante des ferromagnetischen Materials, ebenfalls interatomare, direkte Austauschkonstante genannt, und Ku die uniaxiale Anisotropiekonstante darstellt, und die Feldrichtung des Magnetfeldes, mit Ausnahme einer Änderung um lediglich einen Winkel von im Wesentlichen 180°, während der Ausbildung der magnetisch durchlässigen Schicht geändert wird. Somit ist es eine Schlüsselkomponente des Verfahrens gemäß der vorliegenden Erfindung, die Richtung des Magnetfeldes während des Aufbringens der magnetisch durchlässigen Schicht in Relation zu deren Dicke zu ändern. Wie durch Anspruch 1 definiert, sollte die Dicke einer ausgebildeten Schicht zumindest im Wesentlichen unter 12 &pgr;Lex bleiben, wobei Lex die so genannte Austauschlänge darstellt. Dieser Zustand garantiert, dass der obere und untere Teil innerhalb der in dem Verfahren gemäß der vorliegenden Erfindung ausgebildeten Schicht stark austauschgekoppelt sind. Eine solche Kopplung ist erforderlich, um die Ausbildung einer Domänenwand parallel zu der ausgebildeten Schicht zu verhindern. Die Anforderung an Dicke stellt keine praktischen Probleme dar, selbst wenn Ku – welches die zusammensetzungsabhängige, uniaxiale Anisotropiekonstante darstellt, welche sich bei einer festen Ausrichtung des Feldes während des Aufbringens der Schicht ergeben hätte – groß ist, da selbst dann Lex nicht zu klein ist. Angesichts der Abscheidungsraten, welche recht gering sind, ist der Zeitmaßstab, bei welchem sich die Feldrichtung ändern sollte, selbst dann leicht erreichbar. Es ist außer Zweifel, dass eine Magnetschicht, welche dicker als 12 &pgr;Lex ist, leicht vorgesehen werden kann, indem eine oder mehrere zusätzliche Schichten, z.B. durch fortgesetztes Aufbringen ohne Unterbrechung, übereinander ausgebildet werden.

Ein überraschender Effekt des Verfahrens gemäß der vorliegenden Erfindung ist, dass die Durchlässigkeit der ausgebildeten, magnetisch durchlässigen Schicht bzw. Schichten und folglich die sich ergebende, magnetische Durchlässigkeit der erhaltenen, magnetisch durchlässigen Schicht lediglich durch Verändern der Magnetfeldausrichtung während des Aufbringens der Schicht bzw. Schichten gesteuert werden kann. Eine wichtige Konsequenz des Verfahrens gemäß der vorliegenden Erfindung ist, dass die Freiheit bei der Wahl magnetischer Materialien beträchtlich zugenommen hat, da ebenfalls Materialien mit intrinsisch geringer Durchlässigkeit oder hoher Ku zu Zwecken, bei denen eine relativ hohe, makroskopische Durchlässigkeit erforderlich ist, verwendet werden können. Materialien mit geringer Durchlässigkeit, welche sich zur Abscheidung in dem Verfahren gemäß der vorliegenden Erfindung eignen, sind solche, welche ein oder mehrere Elemente Co, Fe oder Ni enthalten. Beispiele sind z.B. die Legierungen Co90, Fe10, Ni65 Co35 und Ni66, Fe16 Co18.

Es sei erwähnt, dass eine Änderung um lediglich 180°, d.h. Umkehren des Magnetfeldes, die Anisotropieachse in dem magnetischen Material nicht beeinflusst und daher nicht in einer Verbesserung der Durchlässigkeit resultiert.

Ein Ausführungsbeispiel des Verfahrens gemäß der vorliegenden Erfindung ist durch die Schritte, wie in Anspruch 2 definiert, charakterisiert. Die ausgebildete Schicht wird durch Aufbringen der Schicht ohne Verwendung einer nicht magnetischen Zwischenschicht erhalten. Durch dieses Verfahren werden die Beiträge zur magnetischen Anisotropie der sukzessiven Unterschichten zu einem Wert gemittelt, welcher bis zu einem gewünschten Grad effektiv gesteuert werden kann, indem die Zeitpunkte, zu denen das angelegte Feld in der einen und in der anderen Richtung ausgerichtet wird, einfach eingestellt werden. Im Allgemeinen wird die Stärke des Feldes konstant aufrechterhalten. Die magnetische Anisotropie der Schicht wird, relativ zu dem Fall, dass beide Unterschichten in einem Feld mit einer festen Richtung ausgebildet wurden, in einem solchen Fall um einen Faktor (t1-t2)/(t1+t2) reduziert. Hier stellen t1 und t2 die Abscheidungszeitpunkte dar – oder alternativ die Dicke – der einen bzw. anderen Unterschicht dar.

Ein Ausführungsbeispiel des Verfahrens gemäß der vorliegenden Erfindung ist durch den Schritt, wie in Anspruch 3 definiert, gekennzeichnet. In diesem Verfahren kann die Durchlässigkeit zwischen einer, durch das Material auferlegten, unteren Grenze und im Prinzip unendlich eingestellt werden. Im Allgemeinen ist jedoch zur Verhinderung von Instabilität eine bestimmte Mindestanisotropie erwünscht. Aus diesem Grunde ist es praktisch, das Feld im Falle von gleichen Änderungen der Feldrichtung je Zeitintervall nicht kontinuierlich oder intermittierend lediglich um einen Winkel von im Wesentlichen 180° zu drehen.

Ein Ausführungsbeispiel des Verfahrens gemäß der vorliegenden Erfindung ist in dem kennzeichnenden Teil von Anspruch 4 definiert. In dem Verfahren, wie hier beansprucht, können mögliche Instabilitäten in dem Fall, in dem Keff sich Null nähert, verhindert werden, ohne den Rotationsvorgang zu unterbrechen. Vorzugsweise ist die Stärke des Magnetfeldes während der Rotation des Feldes konstant.

Die vorliegende Erfindung bezieht sich weiterhin auf ein Verfahren zur Herstellung einer Struktur oder einer Einheit, wobei das Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4 angewandt wird. Die Struktur kann durch eine Dünnschichtstruktur, die Einheit durch einen Magnetkopf oder einen Magnetsensor dargestellt sein.

Des Weiteren bezieht sich die vorliegende Erfindung auf eine Einheit, im Einzelnen einen Magnetkopf oder Magnetsensor nach Anspruch 6. Der Magnetkopf kann ein Lesekopf sein, welcher sich zum Beispiel zum Lesen von magnetischen Informationen von einem Band bzw. einer Platte, auf dem bzw. auf der die Informationen, z.B. magnetisch oder magnetooptisch, aufgezeichnet wurden. Der Magnetkopf ist ebenfalls zu Schreibzwecken geeignet.

Darüber hinaus bezieht sich die vorliegende Erfindung auf eine Vorrichtung, welche sich zur Ausführung des Verfahrens gemäß der Erfindung eignet. Die Vorrichtung gemäß der Erfindung ist in Anspruch 7 definiert. Ein Vorteil der Vorrichtung gemäß der Erfindung ist, dass das elektrische Bauelement keine beweglichen Teile in der Abscheidungskammer aufweist. Auf Grund dessen besteht eine geringere Kontaminierungsgefahr in der Abscheidungskammer.

Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und werden im Folgenden näher beschrieben. Es zeigen:

1 – einen schematischen Querriss eines Ausführungsbeispiels einer magnetisch durchlässigen Schicht, welche unter Anwendung des Verfahrens gemäß der vorliegenden Erfindung vorgesehen wird;

2 – eine graphische Darstellung einer Variante des Verfahrens, bei welcher sich das Magnetfeld bei einer variierenden Winkelgeschwindigkeit dϕ/dt dreht;

3A – ein Kurvenbild der effektiven Anisotropieenergie Keff, normiert auf die intrinsische, uniaxiale Anisotropieenergie Ku, als eine Funktion der Elliptizität &egr;;

3B – ein Kurvenbild der effektiven Durchlässigkeit &mgr;eff, normiert auf die intrinsische Durchlässigkeit &mgr;i, als eine Funktion der Elliptizität &egr;;

4 – einen schematischen Querriss eines Ausführungsbeispiels des durch das Verfahren gemäß der vorliegenden Erfindung hergestellten Magnetkopfs; sowie

5 – eine schematische Darstellung eines Ausführungsbeispiels der Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung.

1 zeigt eine Struktur, welche ein Substrat 1, z.B. aus Al2O3/TiC, mit einer Oberfläche 3 aufweist, auf der eine magnetisch durchlässige Dünnschicht 5 durch Abscheidung, z.B. durch Aufsputtern, ausgebildet wurde, wobei während der Abscheidung ein Magnetfeld H parallel zu der Oberfläche 3 aufrechterhalten wurde.

In einem Verfahren gemäß der Erfindung zur Erzeugung einer magnetisch durchlässigen Schicht wird die Magnetschicht 5 durch Ausbildung von zwei magnetisch durchlässigen Schichten 2 und 4 aufgebaut, welche jeweils durch Aufbringen eines ferromagnetischen Materials, z.B. Co90Fe10, bis zu einer Dicke entsprechend 12 &pgr;Lex ausgebildet werden, wobei während der Aufbringung die Feldrichtung des Magnetfeldes H auf folgende Weise geändert wird. Bei Ausbildung einer ersten, magnetisch durchlässigen Unterschicht 2a wird die Richtung des Magnetfeldes H entsprechend einer x-Achse eines orthogonalen xyz-Systems gewählt; danach wird bei Ausbildung einer zweiten, magnetisch durchlässigen Unterschicht 2b die Richtung entsprechend einer y-Achse des xyz-Systems gewählt. Beide Unterschichten 2a und 2b bilden die erste Schicht 2. Nach Ausbildung der ersten Schicht 2 wird die zweite Schicht 4 auf ähnliche Weise vorgesehen. Das heißt, dass während der Ausbildung einer ersten Unterschicht 4a die Feldrichtung entsprechend der x-Achse und während der Ausbildung einer zweiten Unterschicht 4b die Feldrichtung entsprechend der y-Achse festgelegt wird. Die Dicke der Unterschichten 2a und 4a sowie der Unterschichten 2b und 4b ist jeweils t1 und t2, wobei in diesem Beispiel t1 > t2. Die Stärke des Magnetfeldes H wird in diesem Beispiel konstant gehalten und weist z.B. einen Wert von mindestens 10 kA/m auf. Auf Grund der vorgenommenen Änderungen der Feldrichtung bei Aufbringen des magnetischen Materials wird die magnetische Anisotropie jeder Schicht 2 und 4 und folglich der resultierenden Schicht 5 relativ zu einem Beschichtungszustand, in welchem eine feste Feldrichtung aufrechterhalten wird, um einen Faktor (t1-t2)/(t1+t2) reduziert.

Bezug nehmend auf die 2, 3A und 3B wird eine Variante des Verfahrens gemäß der vorliegenden Erfindung näher beschrieben. In diesem Ausführungsbeispiel wird ein Magnetfeld H mit konstanter Amplitude mit einer Richtung, welche sich mit der Zeit t gemäß ϕ(t) = Arkustangens [&egr; tan (2 &pgr; t/T)] verändert, angelegt. In diesem Fall bewegt sich ein Punkt P, wie in 2 definiert, mit einer konstanten Geschwindigkeit über eine elliptische Kurve und beendet eine Rotation in T Sekunden. &egr; stellt die Elliptizität dar.

Wenn &egr; 0 erreicht, beträgt der Winkel ϕ während der Periode meistens nahezu 0° oder nahezu 180°. Dieses resultiert in einer ,Easy-Axis' parallel zu der x-Achse, wie in 2 definiert, bei einer effektiven Anisotropieenergie Keff nahe der intrinsischen, uniaxialen Anisotropieenergie Ku (s. 3A); infolgedessen wird die effektive Durchlässigkeit &mgr;eff gegenüber der intrinsischen Durchlässigkeit &mgr;i (s. 3B) kaum verbessert.

Wenn &egr; zu 1 hin zunimmt, ist der Winkel ϕ fast 2&pgr; t/T, so dass die Winkelgeschwindigkeit dϕ/dt praktisch konstant ist. Es ergibt sich lediglich eine schwache ,Easy-Axis' parallel zu der x-Achse, d.h. es wird eine hohe, effektive Durchlässigkeit &mgr;eff gegenüber der intrinsischen Durchlässigkeit &mgr;i (s. 3B) erreicht.

Wenn &egr; zu 1 hin abnimmt, wird ebenfalls eine hohe, effektive Durchlässigkeit erreicht, wobei sich jedoch nun die ,Easy-Axis' parallel zu der y-Achse befindet.

Der in 4 dargestellte Magnetkopf gemäß der vorliegenden Erfindung kann durch einen Mehrkanal-Kopf oder einen Einkanalkopf dargestellt sein. Der Magnetkopf ist ein Dünnschichtkopf mit einer Kopffläche 11 zur Kooperation mit einem magnetischen Informations- oder Registrierungsmedium 13, wie z.B. einem Magnetband oder einer Magnetplatte, welches entlang der Kopffläche 11 in einer Richtung z beweglich ist. Der Magnetkopf weist eine Kopfstruktur auf, welche ein nicht magnetisches Substrat 15 aus z.B. Al2O3/TiC und eine Dünnschichtstruktur umfasst. In diesem Beispiel weist die Dünnschichtstruktur ein oder mehrere Magnetjoche auf, welche jeweils durch einen ersten Flusspfad 17, einen unterbrochenen, zweiten Flusspfad 19a, 19b und ein ,Transducing'-Element 21, welches einen Zwischenraum zwischen den Flusspfadteilen 19a und 19b überbrückt, gebildet werden. Die Flusspfade 17 und 19a, 19b wurden durch Aufbringen eines weichmagnetischen Materials, wie z.B. eine NiFe-Legierung, gebildet. Das ,Transducing'-Element 21 weist eine, durch eine Variante des Verfahrens gemäß der Erfindung vorgesehene, magnetisch durchlässige Schicht auf. Das bei Ausführen des Verfahrens zur Ausbildung des Elements 21 aufgebrachte, weichmagnetische Material war ursprünglich ein Material mit geringer Durchlässigkeit, in diesem Beispiel Ni65Co35, erhielt jedoch während der Ausbildung der magnetisch durchlässigen Schicht eine verbesserte Durchlässigkeit.

Die in 5 dargestellte Vorrichtung eignet sich zur Ausführung von Verfahren gemäß der vorliegenden Erfindung. Die Vorrichtung weist eine Abscheidungskammer 51, z.B. eine Sputterkammer, sowie ein in der Kammer 51 vorgesehenes, elektrisches Bauelement mit einem ringförmigen Kern 53 auf. Um den Kern 53, welcher ein weichmagnetischer Kern ist, sind zwei Paare Wicklungen 55a, 55b sowie 57a, 57b gewickelt und bilden eine Vierspulenform. Jedes Paar Wicklungen 55a, 55b sowie 57a, 57b ist mit einer Energieversorgung, z.B. einer Gleichstromquelle, 59 bzw. 61, verbunden. Die Wicklungen 55a, 55b sowie 57a, 57b jedes Paares sind auf gegenüber liegenden Teilen des Kerns 53 angeordnet, sind in diesem Beispiel, in Gegenrichtungen gewickelt, wie in 5 dargestellt miteinander verbunden und weisen in diesem Beispiel die gleichen Anzahl Windungen auf. Wie aus der Zeichnung zu ersehen ist, ist lediglich eine geringe Anzahl Durchführungen erforderlich, um das elektrische Bauelement mit der Energieversorgung zu verbinden. Bei Ansteuerung erzeugt jedes Paar Wicklungen 55a, 55b sowie 57a, 57b ein Magnetfeld, wobei die Felder Hx und Hy des Paares 55a, 55b den Strom Ix und diese des Paares 57a, 57b jeweils den Strom Iy führen. Für das so gebildete Vektorfeld H kann bei Aufbringen einer Schicht eine gewünschte Richtung vorgesehen werden. Zum Beispiel erzeugen Ströme Ix ≠ 0 und Iy = 0 ein Vektorfeld in einer x-Richtung; Ströme Iy ≠ 0 und Ix = 0 erzeugen ein Vektorfeld in einer y-Richtung senkrecht zu der x-Richtung; und Ströme Iy ≠ Ix ≠ 0 erzeugen ein Vektorfeld mit einem Winkel ϕ=45° in der x-Richtung. Im Allgemeinen gilt die folgende Relation in dem Mittelpunkt des Kerns: ϕ = Arkustangens [Hy/Hx] + k·180° = Arkustangens [(NyIy)/(NxIx)] + k·180°, wobei k = 0 oder 1, Nx die Anzahl Windungen jeder der Wicklungen des einen Wicklungspaares und Ny die Anzahl Windungen jeder der Wicklungen des anderen Wicklungspaares darstellt.

Fig. 3B

  • ellipticity
  • Elliptizität


Anspruch[de]
Verfahren zur Erzeugung einer magnetisch durchlässigen Schicht auf einer Oberfläche durch Aufbringen eines magnetischen Materials, wobei in der Nähe der Oberfläche ein Magnetfeld vorhanden ist, welches eine Feldrichtung aufweist, die im Wesentlichen parallel zu der Oberfläche verläuft, dadurch gekennzeichnet, dass

– die magnetisch durchlässige Schicht aufgebaut wird, indem eine magnetisch durchlässige Schicht durch Aufbringen eines ferromagnetischen Materials bis zu einer Dicke, die maximal im Wesentlichen 12 &pgr;Lex entspricht, wobei
entspricht, ausgebildet wird, wobei A die Austauschkonstante des ferromagnetischen Materials und Ku die uniaxiale Anisotropiekonstante darstellt, und

– die Feldrichtung des Magnetfeldes, mit Ausnahme einer Änderung um lediglich einen Winkel von im Wesentlichen 180° während der Ausbildung der magnetisch durchlässigen Schicht, geändert wird.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass

– sich die magnetisch durchlässige Schicht aus mindestens zwei, durch Aufbringen eines magnetischen Materials gebildeten, magnetisch durchlässigen Unterschichten zusammensetzt, und

– die Feldrichtung des Magnetfeldes während der Ausbildung einer der Unterschichten im Wesentlichen senkrecht zu der bei Ausbildung der anderen Unterschicht von zwei sukzessiven Unterschichten eingestellten Feldrichtung eingestellt wird.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass bei Ausbildung der Schicht das Magnetfeld kontinuierlich oder intermittierend um einen Winkel zwischen 90° und 270° gedreht wird. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass sich das Magnetfeld bei einer variierenden Winkelgeschwindigkeit dreht. Verfahren zur Herstellung einer Struktur oder einer Einheit, wobei das Verfahren nach einem der vorangegangenen Ansprüche angewandt wird. Struktur oder Einheit, welche gemäß dem Verfahren nach Anspruch 5 vorgesehen wird, dadurch gekennzeichnet, dass eine magnetisch durchlässige Schicht vorhanden ist, welche sich aus einem Material mit einem oder mehreren der Elemente Co, Fe oder Ni zusammensetzt. Vorrichtung, welche sich zur Ausführung des Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5 eignet und welche eine Abscheidungskammer sowie ein elektrisches Bauelement zur Erzeugung eines wechselnden Magnetfeldes in der Abscheidungskammer aufweist, wobei das Bauelement einen Kern und zwei Paare Wicklungen, die um den Kern gewickelt sind, aufweist, wobei die Wicklungen, in Umlaufrichtung gegenüber dem Kern gesehen, in regelmäßigen Abständen voneinander positioniert sind, wobei die Wicklungen jedes Paares auf gegenüber liegenden Teilen des Kerns angeordnet und die Wicklungspaare selektiv ansteuerbar sind.






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