PatentDe  


Dokumentenidentifikation DE102006021356A1 15.11.2007
Titel Kohlefilzhalterung für Sputtertargets
Anmelder Flécher, Pierre, Dr., 84307 Eggenfelden, DE
Erfinder Flécher, Pierre, Dr., 84307 Eggenfelden, DE
DE-Anmeldedatum 08.05.2006
DE-Aktenzeichen 102006021356
Offenlegungstag 15.11.2007
Veröffentlichungstag im Patentblatt 15.11.2007
IPC-Hauptklasse C23C 14/34(2006.01)A, F, I, 20060508, B, H, DE
Zusammenfassung Targetunterlage aus Kohle- oder Graphitfilz, gehalten mit Titanklemmen, dadurch gekennzeichnet, dass die Filzdicke eine thermische Isolation bewirkt und für eine weiche Targetbefestigung sorgt.
Das Klemmmaterial wird dabei praktisch nicht gesputtert.

Beschreibung[de]

Keramische Targets wie ITO werden üblicherweise mittels einem niedriegschmelzendem Lot auf einer Kupferplatte gebondet. Die schlechte Wärmeleitfähigkeit der Keramik und der damit hohe Temperaturgradient im Target sind oft Ursache für Risse und Brüche.

Versuche mit "heißen" Targets haben gezeigt das die Sputterrate gesteigert werden kann, jedoch ein "weiche" Befestigung der bruchempfindlichen Keramiken konnte bisher nicht realisiert werden.

Der weiche Filz bis etwa 10 mm Dicke federt ab und isoliert thermisch das Target.

Darüberhinaus ist er elektrisch leitend, so dass auch ein DC-Betrieb problemlos möglich ist.

Die Klemmung mit Titanleisten ermöglicht auch eine Befestigung im Sputterbereich z. B. im Mittelstreifen des Targets.


Anspruch[de]
Kohle- oder Graphitfilz-Unterlage für die Befestigung von heißen Targets.

Bei einer Sputterkathode wird zwischen Kühlplatte und Target eine Zwischenlage aus einem Kohle- oder Graphitfilz gelegt.

Dadurch gekennzeichnet,

dass der Filz eine ausreichende Dicke besitzt um den thermischen Kontakt zur Kühlplatte stark reduziert wird, und die direkte Befestigung des Targets ohne mechanische Spannungen ermöglicht.

Kohlefilzhalterung für Sputtertargets

dadurch gekennzeichnet,

dass die Halterung durch Klemmen aus schwer zerstäubarem Material wie Titan besteht






IPC
A Täglicher Lebensbedarf
B Arbeitsverfahren; Transportieren
C Chemie; Hüttenwesen
D Textilien; Papier
E Bauwesen; Erdbohren; Bergbau
F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
G Physik
H Elektrotechnik

Anmelder
Datum

Patentrecherche

Patent Zeichnungen (PDF)

Copyright © 2008 Patent-De Alle Rechte vorbehalten. eMail: info@patent-de.com