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Dokumentenidentifikation DE102006025341A1 06.12.2007
Titel Handler mit Beschleunigungsvorrichtung zum Testen von elektronischen Bauelementen
Anmelder Multitest elektronische Systeme GmbH, 83026 Rosenheim, DE
Erfinder Kiermeier, Arnfried, Dr., 83080 Oberaudorf, DE;
Mühlbauer, Josef, 83083 Riedering, DE;
Klier, Michael, 83620 Feldkirchen-Westerham, DE
Vertreter Andrae Flach Haug, 83022 Rosenheim
DE-Anmeldedatum 31.05.2006
DE-Aktenzeichen 102006025341
Offenlegungstag 06.12.2007
Veröffentlichungstag im Patentblatt 06.12.2007
IPC-Hauptklasse G01R 31/28(2006.01)A, F, I, 20060531, B, H, DE
IPC-Nebenklasse B06B 1/02(2006.01)A, L, I, 20060531, B, H, DE   
Zusammenfassung Ein Handler zum Testen von elektronischen Bauelementen weist eine Beschleunigungsvorrichtung (1) mit einem Stößel (3) auf, der durch mindestens eine Federscheibe (6) linear geführt ist, die zwei Gruppen von Federarmen (9, 11) aufweist, wobei eine Gruppe am Stößel (3) und die andere Gruppe an einem relativ zu einem Gehäuse (21) der Bewegungserzeugungseinrichtung (2) feststehenden Rahmen (7) befestigt ist.

Beschreibung[de]

Die Erfindung betrifft einen Handler zum Testen von elektronischen Bauelementen, mit einem Nest zur Aufnahme der Bauelemente und einer Beschleunigungsvorrichtung, mit der die im Nest gehalterten Bauelemente Beschleunigungstests unterzogen werden, wobei die Beschleunigungsvorrichtung einen Stößel, an dem das Nest befestigbar ist, sowie eine Bewegungserzeugungseinrichtung zur Beschleunigung des Stößels in axialer Richtung aufweist.

Handler (Handhabungsvorrichtungen) dienen bekanntermaßen dazu, elektronische Bauelemente wie beispielsweise IC's einem Testkopf einer Testvorrichtung zuzuführen, um die Bauelemente mit dem Testkopf zu kontaktieren und elektrischen Tests zu unterziehen. Sollen die Bauelemente Beschleunigungstests unterzogen werden, wird das nach Bedarf temperierte Bauteil einem Nest zugeführt, mit der Testvorrichtung kontaktiert und z.B. in Richtung senkrecht zur Kontaktierebene des Bauteils beschleunigt.

Als Handler wird in diesem Zusammenhang ausdrücklich auch eine Vorrichtung bezeichnet, wenn die Bauteile nicht automatisch dem Nest zugeführt werden, sondern das Nest von Hand bestückt wird.

Die Beschleunigungsvorrichtung weist hierzu bekanntermaßen einen Stößel mit einem freien Ende auf, an dem das Nest befestigbar ist. Der Stößel wird von einer Bewegungserzeugungseinrichtung in axialer Richtung hin- und her bewegt. Die Bewegungserzeugungseinrichtung kann beispielsweise aus einer Spule bestehen und nach dem Lautsprecherprinzip arbeiten.

Bei derartigen Beschleunigungstests können sich die Frequenzen vom niedrigen Herzbereich bis in den Kiloherzbereich bewegen. Der Beschleunigungsweg kann von wenigen Mikrometern bis zu mehreren Zentimetern betragen.

Hierbei besteht das Problem, dass durch die Bewegungserzeugungseinrichtung, beispielsweise Spule, Nebenbeschleunigungen in nicht beabsichtigten Raumrichtungen und auch Drehbewegungen auf den Stößel und damit das zu testende Bauelement übertragen werden können, wodurch die Messergebnisse verfälscht werden können. Ein weiteres Problem besteht darin, dass die Lager zur linearen Führung des Stößels durch die teilweise sehr hohen Bewegungsfrequenzen und durch Temperaturbereiche von –55°C bis +155°C, in denen diese Tests durchgeführt werden, extremen Belastungen ausgesetzt sind. Übliche Lager halten derartigen Belastungen in der Regel nicht stand und haben nicht die gewünschte Haltbarkeit.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Handler der eingangs genannten Art mit einer Beschleunigungsvorrichtung zu schaffen, die bei einfachem Aufbau unerwünschte Nebenbeschleunigungen und/oder Drehungen des Stößels vermeidet und eine hohe Haltbarkeit aufweist.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch einen Handler mit den Merkmalen des Anspruches 1 gelöst. Vorteilhafte Ausführungsformen der Erfindung sind in den weiteren Ansprüchen beschrieben.

Erfindungsgemäß ist der Stößel durch mindestens eine Federscheibe linear geführt, die zwei Gruppen von Federarmen aufweist, wobei eine Gruppe am Stößel und die andere Gruppe an einem relativ zu einem Gehäuse der Bewegungserzeugungseinrichtung feststehenden Rahmen befestigt ist.

Mit Hilfe einer derartigen Federscheibe kann vermieden werden, dass der Stößel in unerwünschten Richtungen bewegt bzw. beschleunigt wird. Soll beispielsweise der Stößel in z-Richtung hin- und herbewegt werden, so vermeidet die Federscheibe, dass sich der Stößel in x- und y-Richtung bewegt oder sich um seine Längsachse dreht. Dadurch, dass die eine Gruppe von Federarmen fest am Stößel und die andere Gruppe fest am Rahmen befestigt ist, sind keine Wälz- oder Gleitbewegungen zwischen dem Stößel und der Federscheibe einerseits und der Federscheibe und dem Rahmen andererseits vorhanden, so dass unerwünschte Erwärmungen und Verschleißerscheinungen in diesen Bereichen vermieden werden können. Die Federscheibe gewährleistet damit eine sehr präzise, lineare Führung des Stößels in der gewünschten Richtung mit geringem Verschleiß und hoher Haltbarkeit bei kleiner Baugröße.

Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform weist jede Gruppe zwei bis sechs, insbesondere drei bis fünf, Federarme auf. Besonders bevorzugt sind hierbei drei bis vier Federarme pro Gruppe, da bei einer derartigen Anzahl einerseits der Stößel nach allen Richtungen quer zu seiner Längsachse definiert abgestützt und andererseits ein sehr einfacher Aufbau der Federscheibe möglich ist.

Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform erstrecken sich die Federarme von einem ringförmig geschlossenen Umfangsbereich zumindest im Wesentlichen radial nach innen. Dies ermöglicht eine sehr kompakte Bauform der Federscheibe. Alternativ hierzu ist es jedoch auch grundsätzlich möglich, dass sich die eine Gruppe von Federarmen, die mit dem Stößel verbunden ist, vom ringförmig geschlossenen Umfangsbereich nach innen und die andere Gruppe von Federarmen, die mit dem Rahmen verbunden ist, vom ringförmig geschlossenen Umfangsbereich nach außen erstreckt. Weiterhin können sich auch alle Federarme nach außen erstrecken, beispielsweise wenn der Stößel rohrförmig ausgebildet und die Federscheibe im Inneren des Stößels angeordnet ist.

Bevorzugt ist der Umfangsbereich kreisringförmig ausgebildet. Alternativ hierzu ist es jedoch auch möglich, dass der Umfangsbereich eine andere Form, beispielsweise eine mehreckige Form, hat.

Bevorzugt sind die Federarme in Umfangsrichtung der Federscheibe gleichmäßig verteilt angeordnet. Hierdurch wird eine gleichmäßige Krafteinleitung auf die Federscheibe und eine gleichmäßige Kraftübertragung von dem Stößel auf den Rahmen gewährleistet.

Die Federarme können geradlinig oder gekrümmt ausgebildet sein, wobei sie im letzteren Fall vorzugsweise einen S-förmig gebogenen Abschnitt aufweisen. Während die geradlinige Ausführung der Federarme eine sehr einfache und kostengünstige Herstellung der Federscheibe ermöglicht, haben gekrümmte Federarme den Vorteil, dass damit besonders große Auslenkungen bei einer kleinen Baugröße ermöglicht werden, da durch die Krümmung die Länge der Federarme vergrößert wird.

Die S-förmig gebogenen Abschnitte aller Federarme können gleichgerichtet angeordnet sein. Alternativ hierzu ist es jedoch auch möglich, dass die S-förmig gebogenen Abschnitte eines Teils der Federarme, vorzugsweise der Hälfte aller Federarme, gegenläufig zu den S-förmig gebogenen Abschnitten des anderen Teils der Federarme ausgerichtet sind. Hierdurch können sich mögliche Drehkräfte um die Längsachse des Stößels, welche beim Hin- und Herbewegen des Stößels von den einzelnen Federarmen erzeugt werden, gegenseitig aufheben.

Bevorzugt sind die Federarme an Befestigungsstellen mit dem Stößel und dem Rahmen verbunden, die auf einem gemeinsamen Kreis liegen. Hierüber wird der Stößel auf besonders gleichmäßige Weise nach allen Seiten hin abgestützt.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist der Stößel durch mindestens zwei axial beabstandete Federscheiben linear geführt. Hierbei kann eine erste Federscheibe in Nachbarschaft des Nest und mindestens eine weitere Federscheibe in Nachbarschaft der Bewegungserzeugungseinrichtung, entweder auf derselben Seite wie die erste Federscheibe oder jenseits der Bewegungserzeugungseinrichtung, angeordnet sein. Die radiale Abstützung des Stößels durch mehrere Federscheiben ermöglicht eine besonders gute Linearführung des Stößels in der gewünschten Richtung. Die Anordnung mindestens einer weiteren Federscheibe jenseits der Bewegungserzeugungseinrichtung ist dabei selbstverständlich nur bei Beschleunigungsvorrichtungen möglich, bei denen der Stößel durch die Bewegungserzeugungseinrichtung hindurchtritt und über deren Rückseite vorsteht.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand der Zeichnungen beispielhaft näher erläutert. Es zeigen:

1: eine schematische Darstellung einer Beschleunigungsvorrichtung für einen Handler, um elektronische Bauelemente Beschleunigungstests zu unterziehen,

2: eine vergrößerte Darstellung der am Stößel und an einem Abschnitt des Rahmens befestigten Federscheibe,

3: eine Vorderansicht der Federscheibe von 2 in Alleinstellung,

4: eine Seitenansicht der Federscheibe von 3,

5: eine zweite Ausführungsform einer Federscheibe, und

6: eine dritte Ausführungsform einer Federscheibe.

In 1 ist eine Beschleunigungsvorrichtung 1 dargestellt, die zum Einbau in einem Handler für elektronische Bauelemente bestimmt ist, um nicht näher dargestellte elektronische Bauelemente wie IC's einem Beschleunigungstest zu unterziehen.

Hierzu weist die Beschleunigungsvorrichtung 1 eine Bewegungserzeugungseinrichtung 2, beispielsweise eine Spule, auf, mit deren Hilfe ein Stößel 3 in Axialrichtung, d.h. in Richtung des Pfeils 4, mit einer bestimmten Frequenz hin- und herbewegt werden kann. Die Testfrequenz ist hierbei von der Art des Bauelements und vom gewünschten Einsatzzweck abhängig und kann von wenigen Herz bis mehrere Kiloherz betragen. Beim Stößel 3 handelt es sich im dargestellten Ausführungsbeispiel um einen geradlinigen Stab, der beispielsweise einen runden Querschnitt aufweist, jedoch auch andere Querschnittsformen haben kann.

Am freien Ende des Stößels 3 ist ein Nest 5 befestigbar, d.h. eine Aufnahmevorrichtung, in der das zu testende Bauelement gehaltert ist. Wird der Stößel 3 in Richtung des Pfeils hin- und herbewegt, so wird entsprechend das Nest 5 und damit das Bauelemente ebenfalls in dieser Richtung bewegt.

Der Stößel 3 ist mittels einer in den 3 und 4 näher dargestellten Federscheibe 6 derart an einem Rahmen 7 linear geführt, dass sich der Stößel 3 nur in Richtung des Pfeils 4, d.h. in z-Richtung, hin- und herbewegen kann, während Nebenbewegungen und damit auch Nebenbeschleunigungen quer zur z-Richtung, d.h. in x- oder y-Richtung, sowie Drehbewegungen um die Längsachse des Stößels 3 vermieden werden. Hierzu weist der Stößel 3 einen in 2 näher dargestellten Befestigungsflansch 8 auf, der fest mit dem Stößel 3 verbunden, beispielsweise angeformt, aufgeschweißt oder aufgeschrumpft ist.

Mit dem Befestigungsflansch 8 sind eine Gruppe von Federarmen 9 der Federscheibe 6 fest verbunden, insbesondere mittels Schrauben 10 festgeschraubt, während eine andere Gruppe von Federarmen 11 mit dem Rahmen 7 verbunden, insbesondere mittels Schrauben 12 festgeschraubt ist. Hierbei ist die Federscheibe 6 ausschließlich über die Federarme 11 mit dem Rahmen 7 in Kontakt. Die Federscheibe 6 ist somit, wie aus den 1 und 2 ersichtlich, derart in eine Öffnung 13 des Rahmens 7 eingesetzt, dass die Federscheibe 6 mit ihrem Außenumfang die Innenumfangswand der Öffnung 13 nicht berührt.

Im dargestellten Ausführungsbeispiel hat die Öffnung 13 die Form einer kreisförmigen Bohrung, die ein Vertikalelement 14 des Rahmens 7 in z-Richtung nicht vollständig durchdringt, so dass eine Wand 15 gebildet wird, die sich von der Umfangswand der Öffnung 13 radial nach innen erstreckt und dadurch eine Schulter bildet. In der Wand 15 ist eine mittige, axiale Durchgangsöffnung 16 vorgesehen, die derart ausgebildet ist, dass der Stößel 3 zusammen mit dem Befestigungsflansch 8 hindurchtreten kann.

Wie aus 2 ersichtlich, sind an der Wand 15 vier sockelartige Vorsprünge 17 vorgesehen, die in der Nähe der Durchgangsöffnung 16 angeordnet sind und in axialer Richtung über die Wand 15 vorstehen. Die Vorsprünge 17 sind regelmäßig verteilt und um die Durchgangsöffnung 16 an denjenigen Stellen angeordnet, an denen sich die inneren Enden der Federarme 11 befinden. Wie ersichtlich, sind die Federarme 11 mittels der Schrauben 12 auf den Vorsprüngen 17 befestigt, so dass sich der übrige Teil der Federarme 11 mit Abstand zur Wand 15 nach außen erstreckt. Auf diese Weise können sich die Federarme 11 außerhalb der Vorsprünge 17 in axialer Richtung bewegen, ohne an der Wand 15 anzustoßen.

Die Federarme 9 sind mit ihren inneren Enden in den vier Eckenbereichen des Befestigungsflansches 8 befestigt.

Im folgenden wird die in den 1 und 2 gezeigte Federscheibe 6 anhand der 3 und 4 näher erläutert. Die Federscheibe 6 ist nach Art einer ebenen Tellerfeder ausgebildet und weist einen ringförmigen Umfangsbereich 18 mit kreisförmiger Außenkontur auf. Von diesem Umfangsbereich 18 erstrecken sich vier Federarme 9 und vier Federarme 11 geradlinig radial nach innen. Die Federarme 9 und die Federarme 11 wechseln sich, in Umfangsrichtung gesehen ab, d.h., nach einem Federarm 9 folgt in Umfangsrichtung ein Federarm 11, anschließend wieder ein Federarm 9 usw.. Die Federarme 9, 11 sind in Umfangsrichtung regelmäßig verteilt angeordnet, d.h., die Längsachsen benachbarter Federarme 9, 11 schließen zueinander einen Winkel von 45° ein und treffen sich im Mittelpunkt der Federscheibe 6 (3). Die Federarme 9, 11 haben weiterhin dieselbe Länge, die so bemessen ist, dass die inneren Enden der Federarme 9, 11 auf einem Kreis mit einem Durchmesser liegen, der größer ist als der Außendurchmesser des Stößels 3. In den inneren Endbereichen der Federarme 9, 11 sind Bohrungen 19 vorgesehen, durch die die Schrauben 10, 12 (2) hindurch geführt werden können. Die Bohrungen 19 aller Federarme 9, 11 liegen auf einem konzentrischen Kreis um den Mittelpunkt der Federscheibe 6.

Die Breite der Federarme 9, 11 entspricht im vorliegenden Ausführungsbeispiel in etwa der Breite des Umfangsbereichs 18, kann jedoch in Abhängigkeit der jeweiligen Anforderungen variieren. Der Durchmesser desjenigen Kreises, auf dem die Mittelpunkte der Bohrungen 19 liegen, beträgt im Ausführungsbeispiel von 3 etwa 46 % des Außendurchmessers der Federscheibe 6, kann jedoch in Abhängigkeit der Anforderungen in weitem Umfang variieren. Weiterhin ist es nicht unbedingt erforderlich, dass die Federarme 9, 11 alle dieselbe Länge haben. Es ist auch vorstellbar, dass die Federarme 9 eine andere Länge als die Federarme 11 haben, oder dass die Federarme einer Gruppe auch untereinander unterschiedliche Längen haben.

Die Funktion der Federscheibe 6 ist derart, dass die vom Stößel 3 über den Befestigungsflansch 8 auf die Federarme 9 aufgebrachten Kräfte über den Umfangsbereich 18 auf die Federarme 11 übertragen und von diesen auf das Vertikalelement 14 des Rahmens 7 weitergeleitet werden. Über die Federarme 9, 11 ist der Stößel 3 somit in radialer Richtung gegenüber dem Rahmen 7 abgestützt, kann sich jedoch gleichzeitig in axialer Richtung hin- und herbewegen.

Das Vertikalelement 14 des Rahmens 7 ist wiederum, wie aus 1 ersichtlich, mit einem Horizontalelement 20 fest verbunden, an dem ein Gehäuse 21 der Bewegungserzeugungseinrichtung 2 befestigt ist.

Aus 5 ist eine zweite Ausführungsform einer Federscheibe 6' ersichtlich, die vom Prinzip her ähnlich wie die Federscheibe 6 ausgebildet ist, jedoch anstelle von geraden Federarmen 9, 11 gekrümmte Federarme 9', 11' aufweist. Die Federarme 9', 11' haben einen S-förmig gebogenen Abschnitt bzw., je nach dem, von welcher Seite auf die Federscheibe 6' geblickt wird, einen gebogenen Abschnitt in der Form eines spiegelverkehrten "S". Aufgrund der gebogenen Abschnitte weisen die Federarme 9', 11' somit Abschnitte auf, die sich zumindest im Wesentlichen in Umfangsrichtung der Federscheibe 6' erstrecken, wodurch die Länge der Federarme 9', 11' verlängert werden kann, obwohl ihre inneren Enden auf einem Kreis mit dem gleichen Durchmesser wie bei der Federscheibe 6 liegen. Dies kann größere Auslenkungen in axialer Richtung des Stößels 3 ermöglichen.

Weiterhin ist aus 5 ersichtlich, dass die gebogenen Abschnitte aller Federarme 9', 11' gleich gerichtet angeordnet sind, d.h., die gebogenen Abschnitte erstrecken sich alle in die selbe Umfangsrichtung.

Aus 6 ist eine weitere Ausführungsvariante einer Federscheibe 6'' ersichtlich, die ganz ähnlich wie die Federscheibe 6' von 5 ausgebildet ist und daher auch sich vom Umfangsbereich 18 radial nach innen schlängelnde Federarme 9'', 11'' aufweist. Hier ist jedoch die Hälfte der gebogenen Abschnitte der Federarme 9'' gegenläufig zu den gebogenen Abschnitten des anderen Teils der Federarme 9'' ausgerichtet. In gleicher Weise sind die gebogenen Abschnitte der Hälfte der Federarme 11'' gegenläufig zu den gebogenen Abschnitten des anderen Teils der Federarme 11'' ausgerichtet. Durch die gegenläufige Orientierung der gebogenen Abschnitte wird hier erreicht, dass Drehkräfte, die bei einer Axialbewegung der Federarme 9'', 11'' von diesen selbst erzeugt werden, sich gegenseitig aufheben.

Als Materialien für die Federscheiben 6, 6', 6'' können verschiedenste Materialien gewählt werden, welche den auftretenden Belastungen standhalten, beispielsweise Federstähle oder Glasfaserverbundwerkstoffe. Endanschläge können eine Überstrapazierung der Vorrichtung in der gewünschten Auslenkungsvorrichtung verhindern.


Anspruch[de]
Handler zum Testen von elektronischen Bauelementen, mit einem Nest (5) zur Aufnahme der Bauelemente und einer Beschleunigungsvorrichtung (1), mit der die im Nest gehalterten Bauelemente Beschleunigungstests unterzogen werden, wobei die Beschleunigungsvorrichtung (1) einen Stößel (3), an dem das Nest (5) befestigbar ist, sowie eine Bewegungserzeugungseinrichtung (2) zur Beschleunigung des Stößels (3) in axialer Richtung aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass der Stößel (3) durch mindestens eine Federscheibe (6, 6', 6'') linear geführt ist, die zwei Gruppen von Federarmen (9, 9', 9''; 11, 11', 11'') aufweist, wobei eine Gruppe am Stößel (3) und die andere Gruppe an einem relativ zu einem Gehäuse (21) der Bewegungserzeugungseinrichtung (2) feststehenden Rahmen (7) befestigt ist. Handler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass jede Gruppe zwei bis sechs, insbesondere drei bis fünf, Federarme (9, 9', 9''; 11, 11', 11'') aufweist. Handler nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass sich die Federarme (9, 9', 9''; 11, 11', 11'') von einem ringförmig geschlossenen Umfangsbereich (18) zumindest im Wesentlichen radial nach innen erstrecken. Handler nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Umfangsbereich (18) kreisringförmig ausgebildet ist. Handler nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Federarme (9, 9', 9''; 11, 11', 11'') in Umfangsrichtung der Federscheibe (6, 6', 6'') gleichmäßig verteilt angeordnet sind. Handler nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Federarme (9, 11) geradlinig ausgebildet sind. Handler nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Federarme (9', 9''; 11', 11'') gekrümmt ausgebildet sind. Handler nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Federarme (9', 9''; 11', 11'') einen S-förmig gebogenen Abschnitt aufweisen. Handler nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die S-förmig gebogenen Abschnitte aller Federarme (9', 11') gleich gerichtet angeordnet sind. Handler nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die S-förmig gebogenen Abschnitte eines Teils der Federarme (9'', 11''), vorzugsweise die Hälfte aller Federarme (9'', 11''), gegenläufig zu den S-förmig gebogenen Abschnitten des anderen Teils der Federarme (9'', 11'') ausgerichtet sind. Handler nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Federarme (9, 9', 9''; 11, 11', 11'') an Befestigungsstellen mit dem Stößel (3) und dem Rahmen (7) verbunden sind, die auf einem gemeinsamen Kreis liegen. Handler nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Stößel (3) durch mindestens zwei axial beabstandete Federscheiben (6, 6', 6'') linear geführt ist. Handler nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine erste Federscheibe (6, 6', 6'') in Nachbarschaft des Nests (5) und mindestens eine weitere Federscheibe (6, 6', 6'') in Nachbarschaft der Bewegungserzeugungseinrichtung (2), entweder auf derselben Seite wie die erste Federscheibe (6, 6', 6'') oder jenseits der Bewegungserzeugungseinrichtung (2), angeordnet ist.






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