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Dokumentenidentifikation DE60215827T8 06.12.2007
EP-Veröffentlichungsnummer 0001426771
Titel IMPEDANZMESSSCHALTUNG UND KAPAZITÄTSMESSSCHALTUNG
Anmelder Tokyo Electron Ltd., Tokio/Tokyo, JP;
Hokuto Electronics, Inc., Nishinomiya, Hyogo, JP
Erfinder YAKABE, M., Amagasaki-shi, Hyogo 660-0891, JP;
IKEUCHI, N., Amagasaki-shi, Hyogo 660-0891, JP;
MATSUMOTO, T., Amagasaki-shi, Hyogo 660-0891, JP;
NAKANO, Koichi, Nishinomiya-shi, Hyogo 669-1148, JP
Vertreter BOEHMERT & BOEHMERT, 80336 München
DE-Aktenzeichen 60215827
Vertragsstaaten AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LI, LU, MC, NL, PT, SE, SK, TR
Sprache des Dokument EN
EP-Anmeldetag 06.09.2002
EP-Aktenzeichen 027679208
WO-Anmeldetag 06.09.2002
PCT-Aktenzeichen PCT/JP02/09136
WO-Veröffentlichungsnummer 2003023419
WO-Veröffentlichungsdatum 20.03.2003
EP-Offenlegungsdatum 09.06.2004
EP date of grant 02.11.2006
Date of publication of correction 06.12.2007
Information on correction Berichtigung zu INID-Code (72)
IPC-Hauptklasse G01R 27/26(2006.01)A, F, I, 20051017, B, H, EP
IPC-Nebenklasse G01D 5/24(2006.01)A, L, I, 20051017, B, H, EP   G01N 27/22(2006.01)A, L, I, 20051017, B, H, EP   H04R 3/06(2006.01)A, L, I, 20051017, B, H, EP   








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