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Dokumentenidentifikation EP1856586 03.01.2008
EP-Veröffentlichungsnummer 0001856586
Titel VORRICHTUNG ZUM ABGEBEN PRÄZISER FLUIDVOLUMEN
Anmelder Lam Research Corp., Fremont, Calif., US
Erfinder GARCIA, James P., Santa Clara, CA 95050, US
Vertreter derzeit kein Vertreter bestellt
Vertragsstaaten AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LI, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR
Sprache des Dokument EN
EP-Anmeldetag 22.09.2005
EP-Aktenzeichen 057997074
WO-Anmeldetag 22.09.2005
PCT-Aktenzeichen PCT/US2005/034088
WO-Veröffentlichungsnummer 2006039197
WO-Veröffentlichungsdatum 13.04.2006
EP-Offenlegungsdatum 21.11.2007
Veröffentlichungstag im Patentblatt 03.01.2008
IPC-Hauptklasse G05D 11/00(2006.01)A, F, I, 20071023, B, H, EP








IPC
A Täglicher Lebensbedarf
B Arbeitsverfahren; Transportieren
C Chemie; Hüttenwesen
D Textilien; Papier
E Bauwesen; Erdbohren; Bergbau
F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
G Physik
H Elektrotechnik

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