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Dokumentenidentifikation EP1861802 17.01.2008
EP-Veröffentlichungsnummer 0001861802
Titel AUFFINDEN VON SUBAUFLÖSUNGS-HILFSMERKMALEN BEI DER HALBLEITER-BAUELEMENTEHERSTELLUNG
Anmelder Texas Instruments Inc., Dallas, Tex., US
Erfinder ZHANG, Guohong, Plano, Texas 75024, US;
O'BRIEN, Sean, Dallas, Texas 75225, US
Vertreter derzeit kein Vertreter bestellt
Vertragsstaaten AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LI, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR
Sprache des Dokument EN
EP-Anmeldetag 24.02.2006
EP-Aktenzeichen 067210534
WO-Anmeldetag 24.02.2006
PCT-Aktenzeichen PCT/US2006/006734
WO-Veröffentlichungsnummer 2006091888
WO-Veröffentlichungsdatum 31.08.2006
EP-Offenlegungsdatum 05.12.2007
Veröffentlichungstag im Patentblatt 17.01.2008
IPC-Hauptklasse G06F 17/50(2006.01)A, F, I, 20071106, B, H, EP
IPC-Nebenklasse G06F 19/00(2006.01)A, L, I, 20071106, B, H, EP   G03F 1/00(2006.01)A, L, I, 20071106, B, H, EP   G21K 5/00(2006.01)A, L, I, 20071106, B, H, EP   








IPC
A Täglicher Lebensbedarf
B Arbeitsverfahren; Transportieren
C Chemie; Hüttenwesen
D Textilien; Papier
E Bauwesen; Erdbohren; Bergbau
F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
G Physik
H Elektrotechnik

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