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No Patent No Titel
1 DE102006029627A1 Mikromechanisches System mit einstellbarem Schwingugnsverhalten und Verfahren zu seinem Betrieb
2 DE102006024671A1 Mikromechanisches Bauelement
3 DE102006024668A1 Mikromechanisches Bauelement und Verfahren zu dessen Herstellung
4 DE102006022377A1 Mikromechanische Vorrichtung, Verfahren zur Herstellung einer mikromechanischen Vorrichtung und Verwendung einer mikromechanischen Vorrichtung
5 DE102006022805A1 Mikromechanisches Bauelement und Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements
6 DE102006011545A1 Mikromechanisches Kombi-Bauelement und entsprechendes Herstellungsverfahren
7 DE102006004218B3 Elektromechanische Speicher-Einrichtung und Verfahren zum Herstellen einer elektromechanischen Speicher-Einrichtung
8 DE102006004922A1 Miniaturisiertes Federelement und Verfahren zu dessen Herstellung
9 DE102006004287A1 Mikromechanisches Bauelement und entsprechendes Herstellungsverfahren
10 DE102006002106A1 Mikromechanischer Sensor mit perforationsoptimierter Membran sowie ein geeignetes Hestellungsverfahren
11 DE102006002114A1 Mikromechanisches Sensorelement
12 DE102005046156B3 Vorrichtung mit Funktionselement und Verfahren zum Herstellen der Vorrichtung
13 DE102005056759A1 Mikromechanische Struktur zum Empfang und/oder zur Erzeugung von akustischen Signalen, Verfahren zur Herstellung einer mikromechanischen Struktur und Verwendung einer mikromechanischen Struktur
14 DE102005055478A1 Mikromechanische Struktur zum Empfang und/oder zur Erzeugung von akustischen Signalen, Verfahren zur Herstellung einer mikromechanischen Struktur und Verwendung einer mikromechanischen Struktur
15 DE102005055473A1 Mikromechanische Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer mikromechanischen Vorrichtung
16 DE102005042664A1 Mikromechanisches Sensorelement und Verfahren zu dessen Herstellung
17 DE102006018675A1 Dünnschichtstruktur und Herstellungsverfahren derselben
18 DE102005037741A1 Mikromechanisches Bauelement mit Anschlag
19 DE112005000510T5 MEMS-basierte Aktorvorrichtungen, die Elektrets verwenden
20 DE102005035058A1 Mikromechanische Vorrichtung, mikromechanischer Sensor und Verfahren
21 DE102005032927A1 Bewegungselement
22 DE102005032863A1 Mikroaktuator
23 DE102005023699A1 Mikromechanisches Bauelement mit einer Membran und Verfahren zur Herstellung eines solchen Bauelements
24 DE102005034927A1 Gelenkkonstruktion für eine Mikrospiegelvorrichtung
25 DE102005041577A1 Sensor für eine physikalische Grösse
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