PatentDe  


No Patent No Titel
1 DE102006029622A1 Verfahren zur Herstellung eines Bauelements, insbesondere ein mikromechanisches und/oder mikrofluidisches und/oder mikroelektronisches Bauelement und Bauelement
2 DE102006028914A1 Verfahren zur Herstellung von Mikronadeln aus porösem Material
3 DE102006028916A1 Verfahren zur Herstellung poröser Partikel, nach diesem Verfahren hergestellte poröse Partikel sowie deren Verwendung
4 DE102006004644B4 Werkzeug und Verfahren zum Erzeugen einer Schicht mit mikrostrukturierter Außenfläche auf einer Substratoberfläche
5 DE102006025121A1 Darstellung von Mikro- und Nanoporen-Massenanordnungen durch Selbstorganisation von Nanopartikeln und Sublimationstechnik
6 DE102006024287A1 Mikromechanisches Bauelement mit porösen vertikalen Strukturen sowie ein entsprechendes Herstellungsverfahren
7 DE602004004513T2 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER ELEKTRONISCHEN VORRICHTUNG UND ELEKTRONISCHE VORRICHTUNG
8 DE102006022378A1 Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements und mikromechanisches Bauelement
9 DE102006019656A1 Monolithische Fluid-Ausstoßeinrichtung und Verfahren zu deren Herstellung
10 DE102007013410A1 Verfahren zum Ausbilden von Diamant-Mikrokanal-Strukturen und daraus resultierende Vorrichtungen
11 DE102006019962A1 Imprint-Maske und Verfahren zum Ausrichten der Imprint-Maske
12 DE102006018027A1 Mikromechanisches Bauelement mit Waferdurchkontaktierung sowie entsprechendes Herstellungsverfahren
13 DE102006016811A1 Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements
14 DE102006007800B3 Strukturierungsverfahren und Bauteil mit einer strukturierten Oberfläche
15 DE102006004209B3 Mikromechanisches Bauelement und Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements
16 DE102007007178A1 Kapazitive mikrobearbeitete Ultraschalltransducer und Verfahren zur Herstellung derselben
17 DE102006007729A1 Verfahren zur Herstellung eines MEMS-Substrats, entsprechendes MEMS-Substrat und MEMS-Prozess unter Verwendung des MEMS-Substrats
18 DE102006006890A1 Verfahren zur Herstellung einer Prüfstruktur zur Prüfung der Durchbiegung einer Membran eines mikromechanischen Bauelements und entsprechende Prüfstruktur
19 DE102006003718A1 Fertigungsprozess für integrierte mikroelektro-mechanische Bauelemente
20 DE102006004644A1 Werkzeug und Verfahren zum Erzeugen einer Schicht mit mikrostrukturierter Außenfläche auf einer Substratoberfläche
21 DE102005059905A1 Mikromechanisches Bauelement und Herstellungsverfahren
22 DE102005060870A1 Verfahren zum Verschließen einer Öffnung
23 DE102006001386A1 Verfahren zum Herstellen einer Membran auf einem Halbleitersubstrat und mikromechanisches Bauelement mit einer solchen Membran
24 DE112005001713T5 Ätzen mit elektrostatisch angezogenen Ionen
25 DE102005052039A1 Verfahren zur Herstellung einer Mikropumpe und durch dieses Verfahren hergestellte Mikropumpe
26 DE102005050782A1 Mikrodüsenplatte und Herstellungsverfahren
27 DE102005047082A1 Verfahren zur Mikrostrukturierung von Oberflächen eines Werkstücks und seine Verwendung
28 DE102005025367A8 Verfahren zum Ausbilden einer Struktur mit optimierter Raumform
29 DE102005046058A1 Verfahren zur Herstellung einer eine monolithisch integrierte Schaltung unfassende Sensoranordnung und Sensoranordnung
30 DE102006040235A1 Verfahren zur Herstellung einer optischen Vorrichtung, sowie hiermit hergestellte optische Vorrichtung
31 DE102005025247B3 Verfahren zur Herstellung von Durchbrüchen in thermoplastischen Komponenten
32 DE102006018214A1 Verringerung von Oxiden in einem fluidbasierten Schalter
33 DE102005032115A1 Verfahren zum Fügen von Werkstücken und mikrostrukturiertes Bauteil
34 DE102004006156B4 Verfahren zum Herstellen eines mikrokapazitiven Ultraschall-Wandlers
35 DE102005026334A1 Verfahren zur Präzisionsbearbeitung der mittel- und langwelligen Oberflächenform eines Werkstück
36 DE102005025367A1 Verfahren zum Ausbilden einer Struktur mit optimierter Raumform
37 DE102005024860A1 Mikroimprint/Nanoimprint-Vorrichtung für eine gleichmässige Pressung
38 DE102005021324A1 Verfahren zur Verbindung von Si-Wafern in einem Hochtemperaturbondprozess
39 DE102005054404A1 Mikro/Nano-Prägevorrichtung
40 DE102005002006A1 Vorrichtung zur Herstellung von 3D-Strukturen
41 DE102004063311A1 Kreiseltisch zur Entkopplung mechanischer Schwingungen in der Mikro- und Nanofertigung
42 DE102005000799A1 Fluidische Struktur und Verfahren zum Erzeugen einer fluidischen Struktur
43 DE10350460B4 Verfahren zur Herstellung von mikromechanische und/ oder mikroelektronische Strukturen aufweisenden Halbleiterbauelementen, die durch das feste Verbinden von mindestens zwei Halbleiterscheiben entstehen, und entsprechende Anordnung
44 DE102004060197A1 Verfahren und Vorrichtung zum Präzisionsausrichten und/oder Fügen von Bauteilen
45 DE102004061056A1 Verfahren zum Bonden und zugehöriges Produkt
46 DE102005059773A1 Mikrostruktur-Herstellungsverfahren
47 DE102005056361A1 Halbleitersensor für eine dynamische Grösse
48 DE102004011035B4 Verfahren zur Prüfung der Dichtigkeit von Scheibenbondverbindungen und Anordnung zur Durchführung des Verfahrens
49 DE19615329B4 Verfahren zur Herstellung einer verformbaren Spiegelvorrichtung
50 DE19616014B4 Verfahren zur Herstellung von mikromechanische Strukturen aufweisenden Halbleiterbauelementen
51 DE10331806B4 Verfahren zur Herstellung großflächiger mikrostrukturierter Funktionselemente
52 DE10360709A1 Mikropumpe und klebstoffreies Verfahren zur Verbindung zweier Substrate
53 DE102004011203A1 Verfahren zum Montieren von Halbleiterchips und entsprechende Halbleiterchipanordnung
54 DE102004011035A1 Verfahren zur Prüfung der Dichtigkeit von Scheibenbondverbindungen und Anordnung zur Durchführung des Verfahrens
55 DE102004055223A1 Stempel für die Prägelithographie
56 DE102004053789A1 Prägeverfahren mit indirektem Fluiddruck
57 DE10357152A1 Bauelement
58 DE10392431T5 Herstellungsverfahren für Mikrokomponenten
59 DE10350460A1 Verfahren zum Verbinden prozessierter Halbleiterscheiben bei dem neben dem festen isolierenden Zusammenfügen auch eine elektrische Verbindung hergestellt wird und entsprechende Anordnung
60 DE102004006156A1 Prägeverfahren zum Herstellen eines mikrokapazitiven Wandlers
61 DE10349540A1 Halbleiterdrucksensor und Verfahren zu seiner Herstellung
62 DE102004040067A1 Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen einer Zugspannungsmembran mit einer Druckspannungsregion
63 DE102004021258A1 Hermetische Abdichtungen für elektronische Komponenten
64 DE10334240A1 Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauteils vorzugsweise für fluidische Anwendungen und Mikropumpe mit einer Pumpmembran aus einer Polysiliciumschicht
65 DE10331806A1 Verfahren zur Herstellung großflächiger mikrostrukturierter Funktionselemente
66 DE10334243A1 Mikromechanisches Verfahren zum Herstellen eines flexiblen Schichtelements und Bauelement mit flexiblem Schichtelement mit verringerter Neigung zum Ankleben
67 DE10329326B3 Miniaturisiertes MEMS-Package mit Kontakten auf der Wafer-Rückseite
68 DE102004004539A1 Waferverbindung unter Verwendung von Reaktivfolien zum massiv parallelen Häusen mikro-elektromechanischer Systeme
69 DE10325559B3 Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen eines Systems mit einer an einer vorbestimmten Stelle einer Oberfläche eines Substrats aufgebrachten Komponente
70 DE10308050A1 Verfahren zum Verbinden von Röhrchen mit Kanälen von Trägerelementen
71 DE10302771A1 System und Verfahren zur Herstellung von Mikrobauteilen
72 DE10201640A1 Verfahren zur Herstellung einer Folie mit Oberflächenstrukturen im Mikro- und Nanometerbereich sowie eine diesbezügliche Folie
73 DE10146986A1 Verfahren zur Herstellung von mikrostrukturierten Prägewerkzeugen
74 DE19962231A1 Verfahren zur Herstellung mikromechanischer Strukturen
75 DE19926025A1 Verfahren zum Herstellen von Mikrobauteilen
1

IPC
A Täglicher Lebensbedarf
B Arbeitsverfahren; Transportieren
C Chemie; Hüttenwesen
D Textilien; Papier
E Bauwesen; Erdbohren; Bergbau
F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
G Physik
H Elektrotechnik

Anmelder
Datum

Patentrecherche

Copyright © 2008 Patent-De Alle Rechte vorbehalten. eMail: info@patent-de.com