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1 DE102006028856A1 Verfahren zum Aufbringen einer bioaktiven, gewebeverträglichen Schicht auf Formkörpern und Verwendung solcher Formkörper
2 DE102006046126A1 Verfahren zur Herstellung eines beschichteten Gegenstands durch Sputtern eines keramischen Targets
3 DE102006028977A1 Sputterdepositions-Vorrichtung und -Verfahren
4 DE102006019000A1 Einrichtung und Verfahren zur plasmagestützten Abscheidung von Hartstoffschichten
5 DE102006027029A1 Sputtertarget mit einem Sputtermaterial auf Basis TiO2 sowie Herstellverfahren
6 DE112006000209T5 Bedampfungsvorrichtung und Filmausbildungsverfahren
7 DE102006026005A1 Kaltgepresste Sputtertargets
8 DE102006021356A1 Kohlefilzhalterung für Sputtertargets
9 DE602004004756T2 Kontrollierte Abkühlung von Zerstaubungstarget
10 DE102006009749A1 Targetanordnung
11 DE102006008973A1 Kühlbare Trägerplatte für Targets in Vakuumzerstäubungsanlagen
12 DE102006003279A1 Sputtertarget mit hochschmelzender Phase
13 DE102005020250B4 Sputtertarget
14 DE102005055255A1 Verfahren zum Herstellen eines Targets
15 DE202006018079U1 Targetanordnung
16 DE112004002810T5 Dünnschichterzeugungsverfahren und Dünnschichterzeugungsvorrichtung
17 DE102005050424A1 Sputtertarget aus mehrkomponentigen Legierungen und Herstellverfahren
18 DE102005046976A1 Verfahren zur Herstellung einer Wolframverbindungsstruktur mit verbesserter Seitenwandbedeckung der Barrierenschicht
19 DE102005021927A1 Legierter Körper als Target für das PVD-Verfahren, Verfahren zur Herstellung des legierten Körpers und PVD-Verfahren mit dem legierten Körper
20 DE102005017191A1 Rohrförmiges Sputtertarget und Verfahren zu seiner Herstellung
21 DE202006008808U1 Rohrtarget-Wechselvorrichtung
22 DE102005050358A1 Vakuumbehandlungsanlage
23 DE102005020666A1 Filmbildungsquelle, vakuumunterstützte Vorrichtung zur Filmbildung, Verfahren zur Herstellung eines organischen elektrolumineszierenden Bauelements, und organisches elektrolumineszierendes Bauelement
24 DE102005019456A1 Target für das Sputtern und ein Sputterverfahren unter Verwendung dieses Targets
25 DE202005011974U1 Sputtertarget
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