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No Patent No Titel
1 DE102006026317A1 Verfahren und Vorrichtung zur Erhöhung der Produktivität und der Anlagenauslastung von Vakuumbeschichtungsanlagen
2 DE102006025751A1 Verfahren zur Abdichtung einer Vakuumkammer und Schleuseneinrichtung für eine Vakuumkammer
3 DE202007007709U1 Vakuumeinrichtung zur Behandlung von Substraten in mindestens einer Arbeitsstation
4 DE112005001190T5 Verfahren und Vorrichtung zur Vakuumbeschichtung durch Metall- und Legierungsverdampfung
5 DE102004008598B4 Verfahren für den Betrieb einer Inline-Beschichtungsanlage
6 DE102005024180A1 Vakuumbeschichtungsanlage und Transferkammer dafür
7 DE102005003047A1 Vorrichtung zum Bewegen von Werkstücken
8 DE102004019062A1 Vorrichtung zum Beschichten von schweren Bändern im Vakuum
9 DE102004012663A1 Anlage zum Beschichten von Hohlkörpern, insbesondere von Kunststoffflaschen, mit einem Hochvakuumbereich und einer Schleuse
10 DE69730429T2 VERFAHREN ZUM KONTINUIERLICHEN BESCHICHTEN EINES SICH BEWEGENDEN SUBSTRATS MIT EINEM METALLDAMPF
11 DE102004008598A1 Verfahren für den Betrieb einer Inline-Beschichtungsanlage
12 DE102004006849A1 Vorrichtung zum Beschichten von Substraten
13 DE69730185T2 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG VON SUBSTRATEN MIT DÜNNEN FILMEN
14 DE202005006309U1 Vakuumbeschichtungsanlage mit modularem Aufbau
15 DE202004005216U1 Umsetzbares Wartungsventil
16 DE69911804T2 VORRICHTUNG ZUM BESCHICHTEN VON GEGENSTÄNDEN MITTELS PVD
17 DE69629316T2 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM AUFBRINGEN VON PORÖSEN SCHICHTEN UND KATHODENFILM EINES ELEKTROLYTISCHEN KONDENSORS
18 DE69812305T2 Getter-System zur Behandlungsatmosphäre-Reinigung in physikalischen Dampfphasenabscheidungs-Verfahren
19 DE69722812T2 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG EINER BESCHICHTUNG AUF EINEM SUBSTRATMITTELS KATHODENZERSTÄUBUNG
20 DE69905274T2 VORRICHTUNG ZUR IN-LINE BEHANDLUNG VON GEGENSTÄNDEN IN EINEM KÜNSTLICHEN MEDIUM
21 DE69904517T2 Verfahren und Vorrichtung zur dreidimensionalen Verarbeitung von strangförmigen Substraten
22 DE69624896T2 Dichtung und Kammer mit einer Dichtung
23 DE69801291T2 Innenbeschichtung von Vakuumbehältern
24 DE69701284T2 VORRICHTUNG ZUM MATRIXBESCHICHTEN VON FASERN MIT METALLDAMPF
25 DE69604148T2 TRANSPORT-VORRICHTUNG FÜR DÜNNSCHICHT-SPUTTERANLAGE
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