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1 DE102006024984A1 Interferometer zur Lage- und Geschwindigkeitsmessung im Raum
2 DE602004005338T2 DIGITALES HOLOGRAPHISCHES MIKROSKOP FÜR DREIDIMENSIONALE ABBILDUNG UND VERFAHREN ZU DESSEN VERWENDUNG
3 DE102006031822B3 Verfahren zur Abtastung optischer Interferenzmuster mit Zeilensensoren
4 DE112005002575A5 Interferometrisches Verfahren und Anordnung
5 DE602004005347T2 EINRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR EINDRINGUNGSFREIEN DETEKTION UND MESSUNG DER EIGENSCHAFTEN EINES MEDIUMS
6 DE102006016053A1 Verfahren zur interferometrischen Bestimmung einer optischen Weglänge zwischen der Oberfläche eines Objekts und einer Referenzfläche und Interferometeranordnung
7 DE102006015387A1 Interferometrische Messvorrichtung
8 DE102006014766A1 Interferometrische Messvorrichtung
9 DE102006014765A1 Sensorobjektiv
10 DE602004006567T2 Vorrichtung und Verfahren zur Selbstkalibration eines phasenverschiebenden Interferometers mit abstimmbarer Lichtquelle
11 DE102006037967B3 Michelson-Interferometer
12 DE102007003777A1 Messvorrichtung und Verfahren zur optischen Vermessung eines Objektes
13 DE102006021557B3 Vorrichtung und Verfahren zur kombinierten interferometrischen und abbildungsbasierten Geometrieerfassung, insbesondere in der Mikrosystemtechnik
14 DE102006037529A1 Littrow-Interferometer
15 DE102006042007A1 Interferometer mit geringer Abweichung
16 DE102006031917A1 Monolithisches Verschiebungsmessinterferometer
17 DE102006032267A1 Optisches Interferometer
18 DE112005001724T5 Interferometerkalibrierungsverfahren und -vorrichtung
19 DE102006016131A1 Interferometrische Messvorrichtung
20 DE102006016132A1 Interferometrische Messvorrichtung
21 DE102006023996A1 Interferometer zum Messen senkrechter Translationen
22 DE102006010741A1 System und Verfahren für eine Interferometer-Nichtlinearitäts-Kompensation
23 DE102006017253A1 Verschiebungsmessinterferometer mit niedrigem nichtlinearen Fehler
24 DE102006017235A1 Diskrete Viertelwellenplättchen für Verschiebungs-Mess-Interferometer
25 DE202004007647U1 Nachführbares Interferometer mit mechanisch und thermisch entkoppeltem, metrologischem Referenzelement (TRACER)
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