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No Patent No Titel
1 EP1853899 ZERSTÖRUNGSFREIES PRÜFVERFAHREN ZUR INSPEKTION DER VERBINDUNG FLEXIBLER BESTÜCKTER LEITERPLATTEN
2 DE60034032T2 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR KONTROLLE VON LOTPASTENSCHICHTEN AUF SUBSTRATEN
3 DE60030208T8 Waferinspektionsvorrichtung
4 DE102006000946B4 Verfahren und System zur Inspektion einer periodischen Struktur
5 DE112005000401T5 Systeme und Verfahren zur Erfassung von Fehlern in aufgedruckter Lötpaste
6 DE60030208T2 Waferinspektionsvorrichtung
7 DE102006000946A1 Verfahren und System zur optischen Inspektion einer periodischen Struktur
8 DE112005001256T5 Vorrichtung und Verfahren zum Prüfen von Halbleiter-Wafern
9 EP1181535 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR KONTROLLE VON LOTPASTENSCHICHTEN AUF SUBSTRATEN
10 DE112005001294T5 Halbleiteroberflächenprüfungsvorrichtung sowie Beleuchtungsverfahren
11 DE69735985T2 Verfahren und Vorrichtung zur Inspektion hochpräziser Muster
12 EP1337838 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR BESTIMMUNG VON EIGENSCHAFTEN EINER INTEGRIERTEN SCHALTUNG
13 EP1739409 Thermische Bildgebungs- und Laser-Scansysteme und Verfahren zur Bestimmung der Position und Winkelausrichtung eines Loches mit verstopfter Öffnung auf der Oberfläche eines Artikels
14 EP1739410 Systeme und Verfahren zur Bestimmung der Position und Winkelausrichtung eines Loches mit verstopfter Öffnung auf der Oberfläche eines Artikels
15 EP1736758 Vorrichtung zur Überprüfung von Leiterplatten, Verfahren zur Parametereinstellung und Vorrichtung zur Parametereinstellung
16 EP1712898 Verfahren zur Inspektion eines Wafers
17 DE10006663B4 Verfahren zur Vermessung von langwelligen Oberflächenstrukturen
18 EP1061359 Waferinspektionsvorrichtung
19 DE60025878T2 Vorrichtung und Verfahren zur Überprüfung eines Resistmusters
20 EP1682879 VERWENDUNG EINER OPTISCHEN FOURIER-TRANSFORMATION ZUR EINHALTUNG DER GRÖSSENTOLERANZ IN DER MIKROELEKTRONIK
21 DE60024924T2 Defektprüfvorrichtung
22 EP1662251 Optische Inspektionsvorrichtung für Substrate
23 EP1651948 SCANNING-SONDENINSPEKTIONSVORRICHTUNG
24 EP1649268 ERSTELLUNG VON TESTMUSTERN ZUR NACHKONTROLLE
25 DE102004001411B4 Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen von Defekten in einer regelmäßigen Struktur
26 EP1626270 INSPEKTIONSVERFAHREN MIT BETRACHTUNG VON AUSSEN, DAFÜR VERWENDETE MUSTERVORLAGE SOWIE DIE MUSTERVORLAGE AUFWEISENDE INSPEKTIONSVORRICHTUNG MIT BETRACHTUNG VON AUSSEN
27 EP1106994 Vorrichtung und Verfahren zur Überprüfung eines Resistmusters
28 EP1619494 Verfahren und Vorrichtung zur Substratinspektion
29 EP1584919 Vorrichtung zum Handhaben einer Scheibe, insbesondere einer Halbleiterscheibe
30 DE60021900T2 INSPEKTION DER BAUTEILPLAZIERUNG RELATIV ZU ANSCHLUSSFLÄCHEN
31 EP1065499 Defektprüfvorrichtung
32 EP1604194 OPTISCHES UNTERSUCHUNGSSYSTEM UND VERFAHREN ZUM ANZEIGEN ABGEBILDETER OBJEKTE IN MEHR ALS ZWEI DIMENSIONEN
33 EP1604193 OPTISCHES UNTERSUCHUNGSSYSTEM, BELEUCHTUNGSVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM ABBILDEN VON REFLEKTIERENDEN OBJEKTEN AUF DER BASIS VON BELEUCHTUNGSGRADIENTEN
34 DE60016682T2 Vorrichtung zur Photomaskeninspektion mittels Photolithographiesimulation
35 EP1564547 Vorrichtung und Verfahren zur Bildverarbeitung
36 EP1212606 INSPEKTION DER BAUTEILPLAZIERUNG RELATIV ZU ANSCHLUSSFLÄCHEN
37 EP1557661 VERDRAHTUNGSMUSTERUNTERSUCHUNGSEINRICHTUNG,UNTERSUCHUNGSVERFAHRN, DETEKTIONSEINRICHTUNG UND DETEKTIONSVERFAHREN
38 DE60012672T2 Prüfvorrichtung mit Laserstrahl
39 DE102004001411A1 Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen von Defekten in einer regelmäßigen Struktur
40 DE10361018A1 Verfahren zum Erkennen einer auf einem Substrat aufzubringenden Struktur mit mehreren Kameras sowie eine Vorrichtung hierfür
41 DE10392705T5 Verfahren zur Musterprüfung
42 EP1528391 Verfahren zur Bestimmung von Veränderungen in einer Leiterplatte und Verfahren zur Herstellung
43 DE102004031877A1 Verfahren zum Untersuchen einer Maske oder eines Retikels zum Erkennen eines Defekts und Masken- oder Retikeluntersuchungssystem
44 DE10297664T5 Verfahren zur Anwendung von Streuungsmessungen mit statistisch relevanten Spektren zur Steuerung von Halbleiterfertigungsprozessen und Systeme, um dies zu erreichen
45 EP1081489 Vorrichtung zur Photomaskeninspektion mittels Photolithographiesimulation
46 EP1483570 MULTI-DETEKTOR EINRICHTUNG ZUR ERFASSUNG VON FEHLERN UND FEHLERERFASSUNGSVERFAHREN
47 EP0963548 INSPEKTIONSVERFAHREN
48 EP1451561 VERFAHREN ZUM NACHWEIS VON DEFEKTEN AN SUBSTRATEN
49 EP1450153 UNTERSUCHUNGSEINRICHTUNG UND UNTERSUCHUNGSVERFAHREN FÜR STRUKTURPROFILBELICHTUNGSSYSTEME
50 EP1442285 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR PRÜFUNG VON LÖTVERBINDUNGEN
51 EP1106995 Prüfvorrichtung mit Laserstrahl
52 EP1438570 COMPUTER-VISION-ERKENNUNG VON METALLOBJEKTEN VOR EINEM SCHLECHT KONTRASTIERENDEN HINTERGRUND
53 DE60100782T2 PROGRAMMIERGERÄT FÜR EIN VISUELLES INSPEKTIONSPROGRAMM
54 EP1410004 AUSWERTUNG VON MIKROSKOP-OBJEKTTRÄGERN
55 EP1400802 Verfahren und Vorrichtung zur Erfassung und Evaluierung von Oberflächenunebenheiten
56 EP1398622 Beleuchtungsverfahren
57 EP1386143 DYNAMISCH ERMITTELTE WERTE VERWENDENDES INSPEKTIONSSYSTEM UND ZUGEHÖRIGE VERFAHREN
58 EP1347286 Verfahren und Vorrichtung zur Kontrolle von Objekten
59 EP1210585 PROGRAMMIERGERÄT FÜR EIN VISUELLES INSPEKTIONSPROGRAMM
60 EP1329710 Vorrichtung zum Prüfen von Mustern
61 EP1324022 VORRICHTUNG ZUR UNTERSUCHUNG DER WAFER-OBERFLÄCHE, VERFAHREN ZUR UNTERSUCHUNG DER WAFER-OBERFLÄCHE, VORRICHTUNG ZUR BEURTEILUNG EINES DEFEKTEN WAFERS, VERFAHREN ZUR BEURTEILUNG EINES DEFEKTEN WAFERS UND VORRICHTUNG ZUR VERARBEITUNG VON INFORMATIONEN BEZÜGLICH DER WAFER-OBERFLÄCHE
62 DE10161737C1 Verfahren zum optischen Erfassen von lokalen Fehlern in einer periodischen Struktur
63 EP1300676 Verfahren und Gerät zur Inspektion von Mehrschichtenmasken nach Fehlstellen
64 EP1297326 OPTISCHES SYSTEM
65 EP1295109 OPTISCHES INSPEKTIONSVERFAHREN UND VORRICHTUNG MIT ADAPTIVEM RAUMFILTER
66 EP1203223 VERFAHREN ZUR AUTOMATISIERTEN PRÜFUNG MERKMALGEOMETRIEN VON PHOTOMASKEN
67 EP1203947 Vorrichtung zum Erkennen, Verarbeiten und Testen von Mustern
68 EP1203222 OPTISCHES INSPEKTIONSYSTEM AUF RÄUMLICHE FILTERUNG BASIEREND MIT NUTZUNG EINES BRECHZAHLGITTERS
69 EP1190238 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR ÜBERPRÜFUNG VON ARTIKELN DURCH VERGLEICH MIT EINEM MASTER
70 EP1174709 Kontrolle von Weichlot
71 EP1174708 Inspektionsverfahren
72 EP1174707 Verfahren zur Detektion von Fehlern und Vorrichtung dafür
73 DE10083372T1 Verfahren zum Untersuchen der Oberfläche von Halbleiterwafern
74 EP1158294 Verfahren und Vorrichtung zur Überprüfung von Leiterplatten
75 EP1116950 Verfahren und Vorrichtung zur Inspektion von bestückten Leiterplatten
76 DE10006663A1 Verfahren zur Vermessung von Oberflächenstrukturen
77 EP1113262 Verfahren und Vorrichtung zur Inspektion
78 EP1108208 BELEUCHTUNGSEINRICHTUNG
79 EP1098190 System zur Beleuchtung und Bilderfassung
80 EP1096250 Verfahren und Vorrichtung zum Aufbringen und Erfassen chemischer und biologischer Flüssigkeiten
81 EP1076237 Verfahren und Gerät zum Erhalten drei-dimensionaler Information
82 DE10041118A1 Verfahren und Vorrichtung zur Detektion von Mikrokratzern in einem Wafer
83 DE10027132A1 Verfahren und System der Mehrband-UV (ultraviolett)-Lichtillumination von Wafern für optische Mikroskopwaferprüfsysteme und -meßsysteme
84 EP1061360 Verfahren und Vorrichtung zur Überprüfung von Mustern
85 DE19955467A1 Vorrichtung zur Erfassung von Fehlern der Oberfläche von reflektierenden Teilen
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