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No Patent No Titel
1 DE102006027957A1 Optische Elemente sowie Abbildungsoptiken
2 DE102006027958A1 Optokeramiken, daraus hergestellte optische Elemente sowie Abbildungsoptiken
3 DE102007014881A1 Ultraviolett-Sperrmaterial, Ultraviolett-Sperrfilter, Entladungslampe und Beleuchtungsvorrichtung
4 DE102007016555A1 Optische Vorrichtung und Verfahren zu deren Herstellung
5 EP1820050 OPTISCHES SENDEELEMENT UND OBJEKTIV FÜR EINE BELICHTUNGSVORRICHTUNG FÜR MIKROLITHOGRAPHISCHE PROJEKTIONEN
6 DE69932377T2 Optisches Bauteil, gesinterter Zinksulfid-Presskörper und Herstellungsverfahren hierfür
7 EP1760496 EIN OPTISCHES MEDIUM, EINE OPTISCHE LINSE UND EIN OPTISCHES PRISMA
8 DE102006045072A1 Optische Elemente und diese umfassende Abbildungsoptiken
9 DE102005010655A8 Verfahren zur Herstellung von optischen Elementen für die Mikrolithographie, damit erhältliche Linsensysteme und deren Verwendung
10 EP1722253 ZWEIDIMENSIONALER PHOTONISCHER KRISTALL UND OPTISCHER MULTIPLEXER/DEMULTIPLEXER DAMIT
11 DE102005024682A1 Optisches Material aus kristallisiertem Erdalkalimetallfluorid mit erhöhtem Brechungsindex
12 EP1701179 Verfahren zur Herstellung von optischen Elementen für die Mikrolithographie, damit erhältliche Linsensysteme und deren Verwendung
13 DE102005010655A1 Verfahren zur Herstellung von optischen Elementen für die Mikrolithographie, damit erhältliche Linsensysteme und deren Verwendung
14 DE102004063091A1 Optisches Element
15 DE102004054505A1 Photonische Kristallstruktur
16 EP1635195 PROZESS ZUR HERSTELLUNG EINES PHOTONISCHEN KRISTALLS UND PHOTONISCHER KRISTALL
17 DE69827964T2 OBJEKTIVSYSTEM AUS SAPHIR
18 EP1607770 ZWEIDIMENSIONALER PHOTONISCHER KRISTALL UND WELLENLEITER UND RESONATOR DAMIT
19 EP1589356 ZWEIDIMENSIONALER PHOTONISCHER KRISTALL
20 EP1548467 OPTISCHES ELEMENT, SPEKTROSKOP UND KONDENSATOR
21 EP1527362 UV-STREULICHT-FREIES FLUORID KRISTALL FÜR KLEINER 200 NM LASER-LITHOGRAPHIE UND HERSTELLUNGSVERFAHREN
22 EP1019756 OBJEKTIVSYSTEM AUS SAPHIR
23 DE10297462T5 Optischer Lithografiekristall zur Streuungslenkung für die optische Lithografie und 160nm und Verfahren hierzu
24 EP1464992 FLUORIDKRISTALLMATERIAL FÜR EINE OPTISCHE EINRICHTUNG FÜR EINE FOTOLITHOGRAPHISCHE VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG
25 EP1418447 Linse aus Fluorid-Kristall mit minimierter Doppelbrechung für VUV Mikrolithographie und optischer Rohling dafür
26 EP1403663 OPTISCHES GLIED, PROZESS ZU SEINER HERSTELLUNG UND PROJEKTIONSAUSRICHTUNGSVORRICHTUNG
27 DE10345895A1 Verfahren zur Herstellung eines durch einen Fluoridkristall gebildeten optischen Elements
28 EP1380855 Vorrichtung und Verfahren zur Fluorierungsbehandlung von Substraten
29 EP1369708 OPTISCHES GLIED UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG UND PROJEKTIONSAUSRICHTUNGSVORRICHTUNG
30 EP1329744 Etalon aus Lithiumniobat oder Lithiumtantalat und dessen Herstellungsverfahren
31 DE10204318A1 Photonische Kristalle mit Skelettstruktur
32 DE19857369C2 Schmalbandiger Excimerlaser und Optik dafür
33 EP1271185 Optisches Element aus einem Fluorid-Einkristall und Verfahren zur Herstellung des optischen Elements
34 DE10123727A1 Optisches Element, Projektionsobjektiv und Mikrolithographie-Projektionsbelichtungsanlage mit Fluoridkristall-Linsen
35 DE10116500A1 Photonische Kristalle
36 EP1200854 FLUORIDKRISTALLENLINSEN FÜR MIKROLITHOGRAPHIE VORRICHTUNGEN
37 EP1197764 Doppelbrechender Kristall mit Spannungsstabilisierung
38 DE10038213A1 Strahlungsquelle und Verfahren zur Herstellung einer Linsensform
39 EP1130419 Optisches Bauteil für den Vakuum-Ultraviolett-Wellenlängenbereich, Ausrichtungsvorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung unter Verwendung des Bauteils
40 DE19743716C2 Kristalloptisches Interferenzfilter mit periodischem Durchlaßbereich sowie Verfahren zur aktiven Anpassung des spektralen Durchlaßbereichs
41 EP1006373 Objektiv mit Kristall-Linsen und Projektionsbelichtungsanlage der Mikrolithographie
42 DE9321581U1 Silberhalogenid-Kristallinfasern
43 DE19929701A1 Objektiv mit Kristall-Linsen
44 DE19830449A1 SiO2-beschichtetes Spiegelsubstrat für EUV
45 DE19743716A1 Kristalloptisches Interferenzfilter mit periodischem Durchlaßbereich sowie Verfahren zur aktiven Anpassung des spektralen Durchlaßbereichs
46 DE19740096A1 Verfahren zur Herstellung einer oder mehrerer optischer Komponenten in porösem Silicium sowie solche optische Komponenten enthaltenes Bauelement
47 DE19704936A1 Optisches Glied und Herstellverfahren
48 DE69206854T2 Optisches Infrarotelement und Verfahren seiner Herstellung
49 DE69112347T2 Optische Elemente aus Zinksulfid.
50 DE4417888A1 Refraktives Breitband-Ir-Objektiv
51 DE4242440C1 Halbleiter-Folienstrahlteiler für ein Infrarot-Spektrometer
52 DE3415576C2 Miniaturisierte Halbleiterlinse
53 DE3312595C1 Hochleistungsspiegel, insbesondere für Laserstrahlen
54 DE9110969U1 Rundblick-Periskop für Tag- und Nachtsicht
55 DE4122085A1 Strahlungsharte optische Gegenstände aus einkristallinem Diamant hoher isotoper Reinheit
56 DE3640954A1 Frontlinsen für Mikroskopobjektive
57 DE3229697C1 Hochleistungsspiegel für die Lasertechnik
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