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No Patent No Titel
1 EP1794771 MOTIONING-GERÄTE FÜR EINE ELEKTRONENSÄULE
2 EP1751784 VORRICHTUNG ZUM AUSTASTEN EINES STRAHLS GELADENER TEILCHEN
3 EP1662538 Verfahren und Vorrichtung zur Driftkorrektur während eines automatisierten FIB Verfahrens
4 EP1087420 Teilchenoptisches Beleuchtungs-und Abbildungssystem mit einer Kondensor-Objektiv-Einfeldlinse sowie Verfahren dazu
5 EP1523027 Verfahren und Vorrichtung zur Ladungsträgerstrahllithographie
6 EP1482532 GRADIENT-FELD ABLENKEINHEIT
7 EP1453076 Ablenkvorrichtung, Herstellungsverfahren und Verwendung in einem geladenen Teilchen-Strahl-Beleuchtungsgerät
8 EP1306878 Verfahren und Vorrichtung zur Ausrichtung eines geladenen Teilchen Strahlsaüle
9 EP1302971 Verfahren und Vorrichtung zur Ausrichtung eines geladenen Teilchen Strahlsaüle
10 EP1253619 Ladungsträgerteilchenstrahl-Belichtungsgerät und dessen Anwendungverfahren zur Herstellung von Vorrichtungen
11 EP1153411 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR PRÄZISIONSRICHTUNG EINER ELEKTRONENSTRAHLSAÜLE MITTELS VERZETSTER SEMITRANSPARENTER MEMBRANEN
12 EP1150327 Mehrstrahl Ladungsträgerstrahlvorrichtung
13 EP0953202 KORPUSKULARSTRAHLGERÄT
14 EP0917177 Korpuskularstrahlgerät
15 EP0893816 Korpuskularstrahlgerät
16 EP0613169 Strahlaustaster mit differentieller, virtueller Erdung
17 DE69125577T2 Ablenksystem für einen Strahl geladener Teilchen
18 EP0603555 Verfahren zur Beleuchtung mit einem fokussierten Elektronenstrahl und zugehöriges elektronen-optisches Beleuchtungssystem
19 DE69209561T2 Strahlaustaster mit hoher Präzision
20 DE68911987T2 Ladungsteilchenstrahlgerät.
21 DE3734423C1 Vorrichtung zur Reflexion niederenergetischer Ionen
22 DE3219573C2 Elektronenstrahlunterbrecher
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