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1 DE102005040267B4 Verfahren zum Herstellen einer mehrschichtigen elektrostatischen Linsenanordnung, insbesondere einer Phasenplatte und derartige Phasenplatte
2 EP1774559 ELEKTROSTATISCHE LINSE FÜR IONENSTRAHLEN
3 DE102005040267A1 Verfahren zum Herstellen einer mehrschichtigen elektrostatischen Linsenanordnung
4 EP1683176 IONENIMPLANTIERUNGS-ELEKTRODEN
5 DE4435043B4 Verfahren zur Herstellung einer elektrostatischen Miniaturlinse
6 EP1505629 Mehrfach-Linse für Teilchenstrahlen und Teilchenstrahlapparat mit einer solchen Linse
7 DE69633338T2 Elektrostatische Vorrichtung zur Einwirkung auf einen Korpuskularstrahl
8 DE69821048T2 Elektrostatische Linse mit Beschleunigung und Abbremsung zur variablen Fokussierung und Massenauflösung eines Ionenstrahls in einer Ionenimplantationsanlage
9 DE10237297A1 Teilchenoptische Vorrichtung, Elektronenmikroskopiesystem und Lithogrphiesystem
10 EP0875918 Elekrostatische Linse mit Beschleunigung und Abbremsung zur variablen Fokussierung und Massenauflösung eines Ionenstrahls in einer Ionenimplantationsanlage
11 DE69133063T2 Ladungsträgerstrahlgerät
12 DE10117025A1 Teilchenoptische Vorrichtung,Beleuchtungsvorrichtung und Projektionssystem sowie Verfahren unter Verwendung derselben
13 EP1160824 Beleuchtungsvorrichtung für Ladungsträgerteilchen-Lithographiegerät
14 EP1139384 Elektronenoptische Anordnung, Verfahren zur Herstellung derselben, Ladungsträgerteilchenstrahl-Belichtungsgerät und Verfahren zur Herstellung der zugehörigen Vorrichtung
15 EP1062678 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR REINIGUNG EINER SILZIUM MIKROLINSE
16 EP0973186 Lithographiegerät
17 EP0971387 NIEDERENERGETISCHER RASTERELEKTRONENMIKROSKOP UND ELEKTRONENSTRAHLSCHREIBER MIT EINER INTEGRIERTEN FLACHE MIKROLINSE
18 DE19824783A1 Vorrichtung zur Formung eines Elektronenstrahls, Verfahren zur Herstellung der Vorrichtung und Anwendung
19 DE4435043A1 Elektrostatische Miniaturlinse
20 DE68917310T2 Delta-phi-Mikrolinse für Teilchenstrahlen niedriger Energie.
21 DE9213965U1 Mikrostruktur
22 DE3231036C2 Kombinierte elektrostatische Objektiv- und Emissionslinse
23 DE9109629U1 Elektrostatisches Fokussierungselement zur Ionen- bzw. Elektronenoptik
24 DE3734620C1 Elektrostatisches Quadrupollinsen-System zur Fokussierung von Teilchenstrahlen in einem Vakuumrohr
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