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1 DE602005000396T2 Vorrichtung zum Transport von Substraten unter kontrollierter Atmosphäre
2 DE602005000395T2 Transportbehälter mit einem thermophoretischen Schutz
3 DE69935039T2 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM TRANSPORT VON HALBLEITERPLÄTTCHEN
4 DE112005003465A5 Blitzlampenspiegelanordnung
5 DE112006000131T5 Verfahren und Struktur zum Ausbilden eines integrierten räumlichen Lichtmodulators
6 DE602004004189T2 Vorrichtung und Verfahren zum Halten und Transportieren von dünnen und undurchsichtigen Platten
7 DE112006000210T5 Heizgerät für die Waferbearbeitung und Verfahren für dessen Betrieb und Herstellung
8 DE69934668T2 SCHLEUSENKAMMER FÜR ZWEI WAFER FÜR EINE WAFERVERARBEITUNGSVORRICHTUNG UND BE- UND ENTLADEVERFAHREN DAFÜR
9 DE602004003365T2 HALTERUNGSSYSTEM EINSETZBAR ÜBER EINEN BREITEN TEMPERATURBEREICH
10 DE69933806T2 Vorrichtung zur Wärmebehandlung eines Substrats und Verfahren zur Trennung des Substrats von der Vorrichtung
11 DE602004003967T2 BAUELEMENTE-SCHWELLENSTEUERUNG EINES FRONT-GATE-SILICIUM-AUF-ISOLATOR-MOSFET UNTER VERWENDUNG EINES SELBSTAUSGERICHTETEN BACK-GATE
12 DE602004003904T2 STRUKTURIERUNG EINER SCHICHT EINER DICKFILMPASTE DURCH BINDEMITTELDIFFUSION
13 DE69934022T2 APPARAT UND METHODE, SUBSTRATE ZU KÜHLEN
14 DE69932219T2 Abgeschlossene Vorrichtung
15 DE69934049T2 Keramisches Mehrschichtheizelement
16 DE602004002971T2 Verfahren und Apparate zum Transportieren von Substrathaltern
17 DE69933639T2 Chipverbindungsdüse
18 DE212005000023U1 Mobiles PVD/CVD-Beschichtungszentrum
19 DE102006025843A1 Stapel-Annealing-System
20 DE602004000739T2 Verfahren und Vorrichtung zum Berechnen einer Lichtmenge
21 DE112004002072T5 Lösbares, am Paket angeordnetes Spannungsregelungsmodul
22 DE102006003100A1 Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements
23 DE102005061594A1 Vorrichtung zum Herstellen einer Halbleitereinrichtung
24 DE112004000753T5 Verfahren zum Reduzieren der Kurzkanaleffekte in Speicherzellen und zugehörige Struktur
25 DE112004001232T5 Fensteranordnung
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