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No Patent No Titel
1 EP1860764 Kammförmige Antriebsvorrichtung mit geschlossenem Regelkreis
2 EP1860765 Durch elektrisches Feld bewegbarer Aktuator und zugehöriges Verfahren
3 DE102006018848A1 Masse-Kraftfeld-Generator
4 EP1829198 ELEKTROSTATISCHE VORRICHTUNG ZUR OBJEKTVERSCHIEBUNG
5 EP1810395 BELEUCHTETE DREIDIMENSIONALE MODULE FÜR EIN MAGNETSPIELZEUG-KONSTRUKTIONSKIT
6 DE60307384T2 Elektrostatischer Betätiger zum Erreichen einer Querbewegung eines Fadens in einer Textilmaschine, und Textilmaschine mit diesem Betätiger
7 EP0925639 MIKROMECHANISCHE VORRICHTUNG
8 EP1751842 FÜR DIE BEREITSTELLUNG VON ZWEI MOBILITÄTSGERADEN AUSGELEGTE ELEKTROMECHANISCHE ANTRIEBE
9 DE102005042121A1 Elektrostatisches Feld
10 DE102005037876A1 Vorrichtung zur Umwandlung mechanischer Energie in elektrische Energie und Verfahren zum Betreiben dieser Vorrichtung
11 EP1733468 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON KAMM-ANSTEUEREINRICHTUNGEN UNTER VERWENDUNG VON ÄTZPUFFERN
12 DE102005018955B4 Mikropositioniersystem
13 DE60117611T2 ELEKTROSTATISCHER BZW. PNEUMATISCHER AKTUATOR FÜR AKTIVE OBERFLÄCHEN
14 EP1713170 Verfahren zur Herstellung von Elektroden für elektrostatische Motoren, Elektroden für elektrostatische Motoren und elektrostatische Motoren
15 DE102005018955A1 Mikropositioniersystem
16 DE102005018321A1 Kapazitiver Mikropower-Generator für mehrfrequente Vibrationsquellen
17 EP1698043 ELEKTROSTATISCHE MEMS-KOMPONENTEN, DIE EINE GROSSE VERTIKALE VERSCHIEBUNG GESTATTEN
18 EP1698041 ELEKTROSTATISCHE STEUEREINRICHTUNG
19 EP1698042 MESO-MIKROELEKTROMECHANISCHES SYSTEM MIT GLASBALKEN UND HERSTELLUNGSVERFAHREN DAFÜR
20 EP1381145 Elektrostatischer Betätiger zum Erreichen einer Querbewegung eines Fadens in einer Textilmaschine, und Textilmaschine mit diesem Betätiger
21 EP1680860 ENERGIESAMMELSCHALTUNG
22 EP0913921 Verfahren zur Herstellung einer Halbleiter Microantrieb, insbesondere für Lese-Schreibekopf einem Festplattengerät, und so hergestellter Microantrieb
23 EP1641112 Zoomlinseneinheit und Abbildungsaufnahmegerät
24 EP1643628 Elektrostatischer Mikromotor und Herstellungsverfahren
25 EP1332547 ELEKTROSTATISCHER BZW. PNEUMATISCHER AKTUATOR FÜR AKTIVE OBERFLÄCHEN
26 DE69924020T2 POLYMERE MICROANTRIEBSMATRIZE MIT MAKROSCOPISCHER KRAFT UND VERSCHIEBUNG
27 DE69733125T2 BISTABILER MICROANTRIEB MIT GEKOPPELTEN MEMBRANEN
28 EP0975086 Integrierte Anordnung mit einem Halbleiter-Microantrieb, insbesondere für einen Lese-/Schreibkopf für harte Speicherplatten
29 EP1601094 Elektrostatische Saug-Anregungsvorrichtung
30 EP1590880 VORRICHTUNG ZUM BERTRAGEN EINER AUSLENKUNG EINES AKTORS
31 EP1583212 Datenbusverbindung eines elektrostatischen Betätigers
32 EP1583213 Antrieb eines elektrostatischen Betätigers
33 EP1580876 Elektrostatischmotor
34 DE60013943T2 Optisches Querverbindungskoppelfeld mit einem elektrostatischen Oberflächenbebetätiger
35 EP0991175 Integrierter Hochleistungs-Microantrieb insbesondere für einen Lese/Schreib-Kopf in Festplattenlaufwerken
36 EP1564879 Tropffahrsteuerungseinrichtung zwischen zwei oder mehr feste Substrate
37 EP1564878 Elektrostatischer Betätiger
38 EP1557939 Elektrostatischer Motor
39 EP1557938 Filmähnliche Elektrode für elektrostatischer Mikromotor
40 EP1557937 Elektrostatischer Linearmotor
41 EP1557936 Aktuator für eine optische Anordnung
42 EP0977349 Fernbedienbarer integrierter Microantrieb, insbesondere für einen Lese/Schreibköpf einer Festplattenanlage
43 DE69824364T2 Elektrostatischer Betätiger
44 EP1368888 HOCHEFFIZIENTER ELEKTROSTATISCHER MOTOR FÜR WECHSEL- UND GLEICHSTROM
45 EP0880817 BISTABILER MICROANTRIEB MIT GEKOPPELTEN MEMBRANEN
46 EP1521355 Motorregeleinheit eines elektrostatischen Betätigers
47 DE10252793B4 Elektrostatischer Antrieb und damit ausgestattetes Ventil
48 EP1512215 ELEKTROAKTIVE POLYMEREINRICHTUNGEN FÜR BEWEGLICHE FLUIDE
49 EP1145417 POLYMERE MICROANTRIEBSMATRIZE MIT MAKROSCOPISCHER KRAFT UND VERSCHIEBUNG
50 EP1508964 Zweiachsiger Betätiger mit grosser Abmessung
51 EP1508963 Bidirektionaler Mikroantrieb mit grosser zusätzlicher Trägerplatte
52 EP0975085 Integrierte Anordnung mit einer Vorrichtung für den elektrostatischen Transport von dielektrischen Teilchen, die in einer Vorrichtung zum Betätigen von Festplatten erzeugt werden, und elektrostatisches Transportverfahren
53 DE60105333T2 Elektrostatischer Mikromotor mit unterschiedlich gekrümmten Stator- und Rotoroberflächen
54 EP1488500 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR BETÄTIGUNG EINER ZWEIACHSEN-MEMS-EINRICHTUNG UNTER VERWENDUNG DREIER BETÄTIGUNGSELEMENTE
55 EP1481467 ELEKTROAKTIVE POLYMERBAUELEMENTE ZUR REGELUNG EINER FLUIDSTRÖMUNG
56 EP1480323 Elektrostatischer Aktuator und Verfahren zum Bewegen desselbens
57 EP1041707 Optisches Querverbindungskoppelfeld mit einem elektrostatischen Oberflächenbebetätiger
58 EP1130754 Elektrostatischer Mikromotor mit unterschiedlich gekrümmten Stator- und Rotoroberflächen
59 EP0911952 Elektrostatischer Betätiger
60 DE10252793A1 Elektrostatischer Antrieb und damit ausgestattetes Ventil
61 DE69814956T2 Elektrostatischer Betätiger
62 EP1387481 Mikromekanisch hergestellte Bewegungsvorrichtung
63 DE69813637T2 ANSTEUERUNGSVERFAHREN FÜR ELEKTROSTATISCHE BETÄTIGER
64 DE69812408T2 ELEKTROSTATISCHER MICROANTRIEB, DREIDIMENSIONALER AKTIVE MIKROKATHETER UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG
65 DE69905403T2 DOPPELKONFIGURATION ZUR ERHÖHUNG DER LEBENSDAUER EINES ELEKTROSTATISCHEN SCHALTERS
66 EP1344309 ELEKTROSTATISCHES BAUELEMENT
67 EP1344310 EINRICHTUNG MIT EINER MOBILEN STRUKTUR MIT VARIABLER STARRHEIT, VORZUGSWEISE MIT ELEKTROSTATISCHER STEUERUNG
68 EP1180486 Fördereinrichtung für den berührungslosen Transport von Bauteilen
69 EP1330867 BETÄTIGUNGSELEMENT UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG
70 EP1330017 Elektrostatischer Antrieb
71 DE10302618A1 Elektrostatische Betätigungsvorrichtung
72 EP1324482 Elektrostatischer Betätiger und mit diesem Betätiger funktionierender Kameramodul
73 EP1317054 Elektrostatischer Betätiger und Steuerungsverfahren dafür
74 EP0865151 Elektrostatischer Betätiger
75 DE69808525T2 VERFORMBARES ANTRIEBSELEMENT MIT ERHÖHTER RÜCKSTELLKRAFT
76 EP1306966 Elektrostatischer Mikroantrieb, Verfahren zu dessen Betätigung und Kameramodul
77 EP1125357 ANSTEUERUNGSVERFAHREN FÜR ELEKTROSTATISCHE BETÄTIGER
78 EP1299939 KOSTENGÜNSTIGES VEREINFACHTES VERFAHREN MIKROMECHANISCHES BETÄTIGUNGSGLIED MIT NIEDRIGEM ENERGIEVERBRAUCH
79 EP1295384 ELEKTRONISCHES MIKROBAUTEIL SOWIE DIESES ENTHALTENDER SENSOR BZW. ANTRIEB
80 EP1036433 ELEKTROSTATISCHER MICROANTRIEB, DREIDIMENSIONALER AKTIVE MIKROKATHETER UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG
81 EP1145418 DOPPELKONFIGURATION ZUR ERHÖHUNG DER LEBENSDAUER EINES ELEKTROSTATISCHEN SCHALTERS
82 EP1273094 MEHRSCHICHTIGE SELBSTJUSTIERTE VERTIKALE KAMMFÖRMIGE ELEKTROSTATISCHE ANTRIEBE UND HERSTELLUNGSVERFAHREN
83 EP1273095 VERBESSERTE TURBOPRODUKTKODES
84 EP1269619 KARDANISCHE ZWEIDIMENSIONALE ABTASTVORRICHTUNG MIT VERTIKALEN KAMMFÖRMIGEN ELEKTROSTATISCHEN ANTRIEBSVORRICHTUNGEN ZUR BETÄTIGUNG UND/ODER MESSUNG
85 EP1263123 MEMS-Verpackung mit Biegegelenkkupplung
86 EP1258979 Mikroantrieb
87 DE10126606A1 Nano-Wandler-Anordnung
88 EP1127403 VERFORMBARES ANTRIEBSELEMENT MIT ERHÖHTER RÜCKSTELLKRAFT
89 DE69526557T2 Verfahren zur Herstellung einer Mikrostruktur
90 EP1240708 AUSGEGLICHEN MIKROVORRICHTUNG UND ROTIERENDER ELEKTROSTATISCHER BETÄTIGER DER DIESE VERWENDET
91 EP1239580 Mikroantrieb
92 EP1223665 Verbesserungen in oder in Bezug auf Micromaschinen
93 EP1223664 Betätiger mit Biegungselement um ein weitreichendes von Bewegung anzupassen
94 EP0711029 Verfahren zur Herstellung einer Mikrostruktur
95 EP1195887 Umformungsvorrichtung der Verschiebungsrichtung eines Schiebers eines elektrostatischen Betätigers
96 EP1193853 Elektrostatischer Betätiger und Steuerungsverfahren dafür
97 EP1188225 Elektrostatischer kammförmiger Mikroantrieb mit versetzten und/ oder schrägen Fingern
98 EP1181765 ROTIERENDER ELEKTROSTATISCHER BETÄTIGER
99 EP1180848 Mikroelektromechanische Struktur mit unterschiedlichen Teilen, die durch eine Vorrichtung zur Umwandlung von translatorischen in rotatorische Bewegungen miteinander mechanisch verbunden sind
100 EP1174994 Einstufiger Mikroantrieb für mehrdimensionale Betätigung
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