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No Patent No Titel
1 DE60220063T2 INTEGRIERUNG VON FEHLERERKENNUNG MIT RUN-TO-RUN STEUERUNG
2 EP1852691 Kontrolle der Substratbearbeitung mittels reflektierter Strahlung
3 EP1852694 Kontrolle der Substratbearbeitung mittels reflektierter Strahlung
4 DE112005002988T5 Leitungskurzschlussermittlung in LCD-Pixelanordnungen
5 DE60124564T2 TEILEVERSENDUNG ZUR VERBINDUNG VON DIENSTANFORDERER EINER FERTIGUNGSANLAGE MIT DIENSTLIEFERANTEN
6 DE60309467T2 Sichtungs-System
7 DE60030658T2 Verfahren und Vorrichtung zur Überprüfung von Gegenständen
8 EP1809111 VERFAHREN UND GERÄT FÜR DIE NIEDERTEMPERATUR-PYROMETRIE, DIE SICH FÜR DIE THERMISCHE BEARBEITUNG VON SILICIUMSCHEIBEN EIGNEN
9 DE60030369T2 Rechner integrierte Fertigungstechniken
10 EP1808889 Entkoppelter Kammerkörper
11 EP1805802 POLYSILICIUM-GERMANIUM -GATE-STAPEL UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG
12 EP1806525 Gekrümmte Schlitzventiltür mit elastischen Kupplungen
13 EP1390968 GLATTER MEHRTEILIGER SUBSTRATTRÄGER FÜR CVD
14 EP1791063 Verfahren und Vorrichtung zur Überwachung des Verkehrs in einem Netzwerk
15 DE69934101T2 REAKTOR ZUR RADIOFREQUENZBETRIEBENEN PLASMA-AKTIVIERTEN CHEMISCHEN DAMPFABSCHEIDUNG UND VERFAHREN ZUR DURCHFÜHRUNG DER GENANNTEN ABSCHEIDUNG
16 EP1776610 OPTISCH FERTIGE SUBSTRATE MIT OPTISCHEM WELLENLEITER UND MIKROELKRONISCHEM SCHALTKREIS
17 DE102006051443A1 Prozessausrüstung und Zielobjekt für eine Substratverarbeitungskammer
18 DE69932165T2 EIN SENSOR ZUM MESSEN EINER SUBSTRATTEMPERATUR
19 DE202007001356U1 Vorrichtung zum Übertragen elektrischer Energie von einer Energiequelle außerhalb einer Vakuumkammer zu wenigstens einer Rohrkathode innerhalb der Vakuumkammer
20 EP1760881 Verfahren und Vorrichtung für symmetrische und/oder konzentrische Radiofrequenz-Anpassungsnetzwerke
21 DE69835479T2 Abscheidung von einem fluorierten Siliziumglas
22 DE69636286T2 PLASMAUNTERSTÜTZTER CHEMISCHER REAKTOR UND VERFAHREN
23 EP1749901 CVD-Kammer mit Zweifrequenz-Vorspannung sowie Verfahren zum Herstellen einer Photomaske
24 EP1750299 Verfahren und Apparat zum Transport von Substrathaltern
25 EP1744356 Magnetisch aufgehängtes Rotorsystem für eine RTP-Kammer
26 DE602004002971T2 Verfahren und Apparate zum Transportieren von Substrathaltern
27 DE69932496T2 Trägerplatte mit einstellbarem Druck und einstellbarer Oberfläche für eine chemisch-mechanische Poliervorrichtung
28 DE60116757T4 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR "IN-SITU" ÜBERWACHUNG DER DICKE WÄHREND DES CHEMISCH-MECHANISCHEN PLANIERVORGANGES
29 DE69932409T2 Thermisches CVD Verfahren zur Erzeugung eines mit Kohlenstoff dotierten Siliziumoxidfilms mit niedriger dielektrischer Konstante
30 EP1725013 Lasermustergenerator
31 DE69930649T2 ABSTIMMUNG EINES SUBSTRATTEMPERATURMESSSYSTEMS
32 EP1514094 Sichtungs-SYSTEM
33 DE202006011604U1 Substratträger für eine Halbleiterbehandlungskammer
34 DE60211878T2 LEITENDER POLIERKÖRPER ZUM ELEKTROCHEMISCH-MECHANISCHEN POLIEREN
35 DE69929771T2 PLASMAABSCHEIDUNGSPROZESS VON DIELEKTRISCHEN FILMEN MIT GERINGER DIELEKTRIZITÄTSKONSTANTE
36 DE69635816T2 Verfahren zum Herstellen einer Vorrichtung zur In-Situ-Kontrolle und Bestimmung des Endes von chemisch-mechanischen Planiervorgängen
37 EP1685280 VORRICHTUNG ZUR STROMLOSEN ABSCHEIDUNG
38 DE60304505T2 Polierartikel zum elektrochemisch-mechanischen Polieren von Substraten
39 EP1683176 IONENIMPLANTIERUNGS-ELEKTRODEN
40 DE69928649T2 Gerät und Verfahren zur Steuerung einer Strahlform in Litographiesystemen
41 DE60023989T2 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR FESTLEGUNG DER FORMEINKODIERUNG EINEN LADUNGSTRÄGERSTRAHLS IN LITHOGRAPHIE SYSTEMEN
42 DE60116757T2 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR "IN-SITU" ÜBERWACHUNG DER DICKE WÄHREND DES CHEMISCH-MECHANISCHEN PLANIERVORGANGES
43 DE60023630T2 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR ERZEUGUNG EINER RECHTECKIGEN LICHTSTRAHLMATRIX
44 DE60025072T2 Verfahren zur Nachbehandlung einer abgeschiedenen, kohlenstoffhaltigen Schicht auf einem Substrat
45 EP1649566 GEPULSTES QUANTEN-DOT-LASERSYSTEM MIT NIEDRIGEM JITTER
46 EP1361023 Polierartikel zum elektrochemisch-mechanischen Polieren von Substraten
47 DE69733544T2 KONISCHE PRALLFLACHE ZUR REDUZIERUNG DES AUFLADUNGSDRIFTS IN EINEM TEILCHENSTRAHLGERAT
48 DE60109675T2 Mesoporöse Silikaschichten mit Getterung von beweglichen Ionen und beschleunigter Verarbeitung
49 EP1627454 AUF VERUNREINIGUNGEN BASIERENDE WELLENLEITERDETEKTOREN
50 DE60023395T2 Verfahren zur Bearbeitung von Halbleitern
51 DE69733381T2 Verfahren und Vorrichtung zur Effizienzverbesserung strahlender Energiequellen für schnelle thermische Behandlung von Substraten durch Energiereflexion
52 DE69830944T2 Polierkissen mit Rillenmuster zur Verwendung in einer chemisch-mechanischen Poliervorrichtung
53 DE60018916T2 PRÜFSYSTEME MIT ZWEIDIMENSIONALER BILDGEBUNG MIT LICHTSTRICHEN
54 DE102005036521A1 Verfahren zum Testen von Pixeln für LCD TFT Displays
55 DE69923979T2 VORRICHTUNG ZUR ERZEUGUNG VON IONENSTRAHLEN
56 DE69925430T2 Verfahren zur Reduzierung von Artefakterscheinungen in der Raster-Elektronenmikroskopie
57 DE69927146T2 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR PROFILÄNDERUNG VON LÜCKEN MIT HOHEM ASPEKTVERHÄLTNIS DURCH ANWENDUNG VON DIFFERENTIALPLASMAENERGIE
58 DE69533928T2 Kammer für CVD-Behandlungen
59 DE69828613T2 IONENSTRAHLRAUMLADUNGSLNEUTRALISIERUNGSVORRICHTUNG UND VERFAHREN
60 EP1595974 Regelung der Plasma-Uniformität durch Formgebung der Gasverteiler-Löcher
61 EP1593756 CVD Verfahren
62 DE60016682T2 Vorrichtung zur Photomaskeninspektion mittels Photolithographiesimulation
63 DE69633770T2 Verfahren und Vorrichtung zur chemischen Gasphasenabscheidung dünner Schichten
64 DE69826961T2 PYROMETERKALIBRIERUNG UNTER VERWENDUNG MEHRERER LICHTQUELLEN
65 DE69730639T2 Verfahren und Vorrichtung zur Kalibrierung eines Infrarot-Pyrometers in einer Wärmebehandlungsanlage
66 DE69730371T2 Selbstkalibrierende Temperatursonde
67 DE102004059185A1 Elektronenstrahl-Testsystem mit intergrierter Substratüberführungseinheit
68 EP0878270 Polierkissen mit Rillenmuster zur Verwendung in einer chemisch-mechanischen Poliervorrichtung
69 EP0811709 Verfahren und Vorrichtung zur Effizienzverbesserung strahlender Energiequellen für schnelle thermische Behandlung von Substraten durch Energiereflexion
70 DE60011509T2 Vorrichtung zur Reduzierung der Verzerrung von Fluidlagerflächen
71 EP1523671 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR MESSUNG KRITISCHER ABMESSUNGEN MITTELS EINES TEILCHENSTRAHLS
72 DE69632490T2 Verfahren und Vorrichtung zur In-Situ-Kontrolle und Bestimmung des Endes von chemisch-mechanischen Planiervorgängen
73 EP1146014 Mesoporöse Silikaschichten mit Getterung von beweglichen Ionen und beschleunigter Verarbeitung
74 DE69632275T2 Verfahren und Vorrichrung zur Reduzierung von Gasen bestehend aus Perfluoroverbindungen in Abgasen von einer Substrat-Bearbeitungsvorrichtung
75 DE69916256T2 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM MESSEN VON SUBSTRATTEMPERATUREN
76 DE69826587T2 VERFAHREN ZUM SCHREIBEN MIT GERASTERTEM STRAHL FÜR MUSTERBILDUNG
77 DE69728036T2 VACUUMKOMPATIBLE LINEARBEWEGUNGSVORRICHTUNG
78 EP1081489 Vorrichtung zur Photomaskeninspektion mittels Photolithographiesimulation
79 EP1483570 MULTI-DETEKTOR EINRICHTUNG ZUR ERFASSUNG VON FEHLERN UND FEHLERERFASSUNGSVERFAHREN
80 DE69820312T2 Verfahren und Vorrichtung zur Verminderung von Abgasen
81 DE69727624T2 Induktiv gekoppelter HDP-CVD-Reaktor
82 EP1451561 VERFAHREN ZUM NACHWEIS VON DEFEKTEN AN SUBSTRATEN
83 DE69819760T2 CVD-KAMMER MIT INNERER VERKLEIDUNG
84 EP1446676 ELEKTRONENSTRAHL-ABBILDUNGSSYSTEM MIT EINEM PUNKTGITTERARRAY
85 EP1446657 ABBILDUNGSSYSTEM MIT EINEM PUNKTGITTERARRAY
86 DE69911927T2 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM MESSEN DER SUBSTRATTEMPERATUR
87 EP1432978 FEHLERERKENNUNG MIT ERHOHTEM DYNAMISCHEN BEREICH
88 DE69912307T2 TRÄGERPLATTE MIT RANDSTEUERUNG FÜR CHEMISCH-MECHANISCHES POLIEREN
89 DE69724310T2 Abtastverfahren und -vorrichtung für ein Ionenimplantationsgerät
90 DE60100575T2 Vorrichtung zum Speichern und Bewegen einer Kassette
91 DE69819030T2 DOPPELFREQUENZ CVD VERFAHREN UND VORRICHTUNG
92 EP1417549 SYSTEM, VERFAHREN UND MEDIUM ZUR EXPERIMENTENVERWALTUNG
93 DE69817251T2 System und Verfahren zur Abscheidung von Schichten
94 EP1410106 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON OPTISCH BEBILDERTEN HOCHLEISTUNGSPHOTOMASKEN
95 DE69817962T2 DIFFERENTIAL-HITZEDRAHT-NÄHERUNGSMESSER
96 DE69722700T2 Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen von Siliciumschichten
97 DE69629231T2 Verwendung einer gegen Fluor-Plasma beständigen Keramik aus Aluminiumoxid und Verfahren zu ihrer Herstellung
98 EP1390812 ORGANISCHE BODEN-ANTIREFLEXBESCHICHTUNG ZUR OPTISCHEN HOCHLEISTUNGS-MASKENHERSTELLUNGS-ABBILDUNG
99 DE69908101T2 VERFAHREN ZUM BESCHICHTEN UND ÄTZEN EINER DIELEKTRISCHEN SCHICHT
100 DE69813689T2 VERFAHREN UND GERÄT ZUR LAUFZEITKORREKTUR VON NAHWIRKUNGSEFFEKTEN IN DER MUSTERERZEUGUNG
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